JPH0737497A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 平坦なフェースプレートの内面に形成された
スクリーン形成部材層に接近してマスターマスクを配置
し、光源部24から放射される光によりスクリーン形成部
材層にマスターマスクのパターンに対応したストライプ
状のパターンを焼付ける露光装置において、光源部を、
発光光源38と、この発光光源から放射される光を複数に
分割する光分割部40と、この光分割部の光出射端46をス
クリーン形成部材層に焼付けられるストライプ状のパタ
ーンと同方向に一列配置してなる露光光源部41とにより
構成した。 【効果】 スクリーン形成部材層に対するマスターマス
クの投影像の解像度を向上させ、かつ補正フィルターな
しで配光分布を補正することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、カラー受像管の蛍光
体スクリーン形成に用いられる露光装置に係り、特にマ
スターマスクを用いて、平坦なフェースプレートの内面
にストライプ状の蛍光体層を有する蛍光体スクリーンを
形成する露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年高品位放送あるいはこれにともなう
大画面をもつ高解像度受像管に対して種々の検討がなさ
れている。一般に受像管の高解像度化を達成するために
は、蛍光体スクリーン上の電子ビームのスポット径を小
さくしなければならない。

【０００３】これに対して、従来より電子銃の電極構造
の改良あるいは電子銃自体の大口径化、伸長化などが図
られてきたが、未だ十分な成果が得られていない。これ
は、大形管になるにしたがって、電子銃から蛍光体スク
リーンまでの距離が長くなり、電子レンズの倍率が大き
くなりすぎることが最大の原因である。したがって、高
解像度を実現するためには、電子銃から蛍光体スクリー
ンまでの距離（奥行き）を短縮することが重要である。
またこの場合、広角偏向にすると、画面中央と周辺との
倍率差の増大をまねく。そのため、広角偏向にすること
は、高解像度化にとって得策ではない。

【０００４】上記大画面をもち奥行きが短くかつ高解像
度が実現可能な受像管として、図６に示すカラー受像管
が提案されている。このカラー受像管は、ほぼ矩形状の
平坦なフェースプレート１、このフェースプレート１と
対向するほぼ矩形状の平坦なリアプレート２、これらフ
ェースプレート１とリアプレート２の周辺部に接合され
た側壁３および上記リアプレート２に形成された複数個
の開孔４のまわりに接合された複数個のファンネル５か
らなる真空外囲器６を有する。そして、フェースプレー
ト１の内面に、青、緑、赤に発光する垂直方向（Ｙ方
向）に細長いストライプ状の３色蛍光体層が所定間隔で
水平方向（Ｘ方向）に並列配置され、この３色蛍光体層
間にブラックストライプからなる光吸収層が設けられた
一体構造の蛍光体スクリーン８が形成され、その内側
に、蛍光体スクリーン８と所定間隔離れて、平坦なシャ
ドウマスク９がリアプレート２の内面に固定されたマス
ク架設手段１０に支持されている。また複数個の各ファ
ンネル４のネック１１内に、電子銃１２が封止された構
造に形成されている。

【０００５】そして、このカラー受像管では、上記複数
個の各ファンネル４のネック１１内に封止された電子銃
１２から放出される電子ビームを各ファンネル４の外側
に装着された偏向装置（図示せず）の発生する磁界によ
り、水平、垂直方向に偏向して、上記一体構造の蛍光体
スクリーン８を複数個の領域Ｒ1 〜Ｒ20に分割して走査
することにより、各領域Ｒ1 〜Ｒ20にカラー画像を描
く。この各領域Ｒ1 〜Ｒ20の画像は、電子銃１２や偏向
装置に印加する電圧により繋がり、蛍光体スクリーン８
の全面に重複や切れ目のないカラー画像を表示するもの
となっている。

【０００６】ところで、このカラー受像管の蛍光体スク
リーン８は、写真印刷法により、ガラス乾板に上記蛍光
体層に対応するパターンの形成された平板状のマスター
マスクを用い、かつこのマスターマスクをフェースプレ
ート１の内面に形成された感光剤層や蛍光体スラリ層な
どのスクリーン形成部材層に接近させて配置し、線状光
源から放射される光により露光するとよいことが知られ
ている。

【０００７】すなわち、フェースプレートが球面状をな
し、その内側に配置されるシャドウマスクも球面状をな
す従来のカラー受像管では、カラー受像管に組込まれる
シャドウマスクをフォトマスクとし、かつフェースプレ
ートに対してシャドウマスクをカラー受像管に組込む位
置に配置して蛍光体スクリーンを形成する。このカラー
受像管の蛍光体スクリーンをマスターマスクを用いて形
成すると、形成される３色蛍光体層の配列ピッチと球面
状に成形されるシャドウマスクの電子ビーム通過孔の配
列ピッチとが整合せず、電子ビームのランデイングがず
れ、３色蛍光体層の選択発光に問題が生じやすい。しか
し平坦なフェースプレート１の内側に平坦なシャドウマ
スク９が配置されるカラー受像管では、シャドウマスク
を球面状に成形する必要がないため、平板状のマスター
マスクを用いて蛍光体スクリーンを形成しても、電子ビ
ームが３色蛍光体層に正しくランデイングする蛍光体ス
クリーンを形成することができる。しかも蛍光体スクリ
ーン形成工程でのシャドウマスクの着脱が不要となり、
シャドウマスクの損傷を回避でき、かつ生産性が向上す
るという利点がある。

【０００８】また、フェースプレートの内側に形成され
たスクリーン形成部材層にフォトマスクのパターンを焼
付ける露光には、面光源を用いてスクリーン形成部材層
の全面あるいは部分的に露光する面光源方式と、線状光
源を用いてその長手方向と直交する方向に動かしてスク
リーン形成部材層の全面を露光する線光源方式とがある
が、面光源方式は、スクリーン形成部材層の広面積を同
時に露光するため、高輝度光源が必要であり、またスク
リーン形成部材層に対する配光を補正する特定の濃度分
布の補正フィルターなどが必要となる。これに対して、
線光源方式は、面光源方式の場合よりも低輝度光源でも
露光が可能である。またスクリーン形成部材層に対する
配光を補正する場合、線状光源の長手方向には補正フィ
ルターが必要であるが、直交する方向は、線状光源の移
動速度を変化させることにより補正することができる。

【０００９】また、フォトマスクの配置位置として、密
着方式と離間方式とがあるが、密着方式によりカラー受
像管の蛍光体スクリーンを形成するとすると、剥がれや
すい蛍光体スラリ層を損傷するおそれがある。これに対
して、離間方式は、スクリーン形成部材層を損傷するお
それは少ないが、露光光線が平行でない限り、離間間隔
に応じて光の拡散が生じ、フォトマスクのパターンが拡
大投影される。また回折光や光源径の影響を受ける。

【００１０】つまり、平坦なフェースプレートの内面に
蛍光体スクリーンを形成する場合は、その内面に形成さ
れたスクリーン形成部材層に接近して平板状のマスター
マスクを配置して露光するのが有利である。しかしな
お、スクリーン形成部材層に対する配光分布、露光光源
の大きさなどに問題がある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、平坦な
フェースプレートの内面にストライプからなる蛍光体ス
クリーンが形成され、この蛍光体スクリーンと所定間隔
離れて平坦なシャドウマスクが配置されるカラー受像管
では、その蛍光体スクリーンを写真印刷法によりフェー
スプレートの内面に形成されたスクリーン形成部材層に
マスターマスクを接近させ、線状光源を用いて露光する
とよいことが知られている。

【００１２】すなわち、フェースプレートとシャドウマ
スクが平坦であるため、球面状のフェースプレートの内
面にマスターマスクを用いて蛍光体スクリーンを形成す
る場合と異なり、電子ビームが蛍光体層に正しくランデ
ィングするようにすることができ、しかも蛍光体スクリ
ーン形成工程でのシャドウマスクの損傷を回避でき、か
つ生産性を向上させることができる。また、面光源方式
にくらべて低輝度光源でも露光が可能であり、スクリー
ン形成部材層に対する配光分布を補正する補正フィルタ
ーも簡略化できる。また、スクリーン形成部材層に対し
てマスターマスクを離間して配置することにより、スク
リーン形成部材層の損傷を少なくすることができる。し
かしなお、線状光源の長手方向には、補正フィルターが
必要であり、またスクリーン形成部材層に対してマスタ
ーマスクが離間しているため、光の拡散、回折光、光源
の大きさなどによる投影像の解像度の劣化などの問題が
ある。

【００１３】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、写真印刷法によりフェースプレー
トの内面に形成されたスクリーン形成部材層にマスター
マスクを接近させ、線状光源を用いて露光することによ
り、フェースプレートの内面にストライプからなる蛍光
体スクリーンを形成する場合、スクリーン形成部材層に
対する投影像の解像度を良好にすることができ、かつ補
正フィルターを不要とすることができる露光装置を構成
することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】平坦なフェースプレート
の内面に形成されたスクリーン形成部材層に接近して所
定のパターンが形成されたマスターマスクを配置し、光
源部から放射される光によりスクリーン形成部材層にマ
スターマスクのパターンに対応したストライプ状のパタ
ーンを焼付ける露光装置において、光源部を、発光光源
と、この発光光源から放射される光を複数に分割する光
分割部と、この光分割部の光出射端をスクリーン形成部
材層に焼付けられるストライプ状のパターンと同方向に
一列配置してなる露光光源部とにより構成した。

【００１５】また、平坦なフェースプレートを位置決め
支持するプレート支持部と、プレート支持部に位置決め
支持されたフェースプレートの内面に形成されたスクリ
ーン形成部材層に接近して所定のパターンが形成された
マスターマスクを支持するマスク支持部と、スクリーン
形成部材層にマスターマスクのパターンに対応したスト
ライプ状のパターンを焼付ける光を放射する光源部とを
有する露光装置において、プレート支持部およびマスク
支持部の少なくとも一方にこれら支持部に支持されたフ
ェースプレートまたはマスターマスクをスクリーン形成
部材層に焼付けられるストライプ状のパターンの長手方
向と直交する方向に動かす移動機構を設け、光源部を発
光光源とこの発光光源から放射される光を複数に分割す
る光分割部とこの光分割部の光出射端をスクリーン形成
部材層に焼付けられるストライプ状のパターンと同方向
に一列配置してなる露光光源部とにより構成し、かつ露
光光源部をスクリーン形成部材層に焼付けられるストラ
イプ状パターンの長手方向と直交する方向に動かす移動
機構を設けた。

【００１６】

【作用】上記のように、光源部を、発光光源と、この発
光光源から放射される光を複数に分割する光分割部と、
この光分割部の光出射端をスクリーン形成部材層に焼付
けられるストライプ状パターンと同方向に一列配置して
なる露光光源部とにより構成すると、一列配置の露光光
源部の幅を小さくすることができ、かつ露光光源部から
スクリーン形成部材層までの距離を短くすることができ
るため、スクリーン形成部材層に対するマスターマスク
のパターンの投影像の解像度を向上させることができ
る。また露光光源部を構成する光分割部の光出射端の配
列ピッチや露光光源部からスクリーン形成部材層までの
距離を変えることにより、露光光源部の長手方向の配光
分布を調整することができる。さらに露光光源部のみを
動かしてスクリーン形成部材層を露光することができる
ため、装置を小形化することができる。

【００１７】

【実施例】以下、図面を参照してこの発明を実施例に基
づいて説明する。

【００１８】図１にこの発明の一実施例である露光装置
の全体の構成を示す。この露光装置は、図５に示したカ
ラー受像管の蛍光体スクリーンの形成に用いられる露光
装置であり、架台２０と、この架台２０の上端部に水平
に設けられたフェースプレート１を支持するプレート支
持部２１と、このプレート支持部２１に接近してその下
部に水平に設けられたマスターマスク２２を支持するマ
スク支持部２３と、このマスク支持部２３の下方に設け
られた光源部２４とにより構成されている。

【００１９】上記プレート支持部２１は、図１および図
２に示すように、矩形状に形成され、その四隅部に設け
られたガイド孔２６を架台２０に固定されたガイドポス
ト２７に嵌合することにより、架台２０の上端部に水平
に固定された固定枠２８と、この固定枠２８の内側に矢
印２９で示す水平方向に摺動可能に配置された矩形状の
内枠３０と、この内枠３０の内側に設けられたフェース
プレートを支持する支持枠３１とを有する。その内枠３
０の隣接２辺には、支持枠３１に支持されたフェースプ
レート１の隣接２辺を当接して、フェースプレート１を
位置決めする３個の位置決めパッド３２が設けられてい
る。また固定枠２８の長辺の中央部には、内枠３０をそ
の内側の支持枠３１とともに水平方向に動かす移動機構
（図示せず）が設けられている。

【００２０】フェースプレート１は、たとえば板厚５mm
のほぼ矩形状の平坦なガラス板からなり、スクリーン形
成部材層の形成された面を下向きにし、かつ内枠３０に
取付けられた３個の位置決めパッド３２に当接して、支
持枠３１上に位置決め支持される。そして内枠３０を動
かす移動機構により、支持枠３１とともに水平方向に移
動される。その移動距離は、たとえばストライプ状の３
色蛍光体層の配列ピッチが０．６mmの場合、各色蛍光体
層の配列ピッチが０．２mmとなるため、緑蛍光体層を基
準にして、青蛍光体層を形成する場合は、右方向に０．
２mm、赤蛍光体層を形成する場合は、左方向に０．２mm
動かす。３３は、その移動距離を示す基準目盛板であ
る。

【００２１】マスク支持部２３は、上記プレート支持部
２１の固定枠２８と同様に矩形状に形成され、その四隅
部に設けられたガイド孔３４を架台２０に固定されたガ
イドポスト２７に嵌合することにより、固定枠２８とと
もに、架台２０に固定されている。このマスク支持部２
３の四隅部の内側には、マスターマスク２２を固定する
ための取付部３５、およびこの取付部３５に取付けられ
てマスターマスク２２を位置決め固定する固定具３６が
設けられている。

【００２２】マスターマスク２２は、たとえば板厚５mm
のほぼ矩形状の平坦なガラス乾板の一方の面に所定ピッ
チで３色蛍光体層に対応するストライプ状のパターンが
形成されたものであり、このパターンの形成された面を
上向きとし、かつプレート支持部２１の支持枠３１上に
位置決め支持されたフェースプレート１のスクリーン形
成部材層形成面（下面）と１mm離間して、上記取付部３
５上に位置決め支持されている。

【００２３】光源部２４は、図３に示すように、発光光
源３８などを収容する光源ボックス３９と、この光源ボ
ックス３９内に一端部が位置して、発光光源３８からの
放射される光を複数に分割する光ファイバーからなる光
分割部４０と、この光分割部４０の光出射端を一列配置
してなる露光光源部４１とを主構成としている。光源ボ
ックス３９内には、発光光源３８のほかに、反射板（図
示せず）および発光光源３８や反射板からの光を光分割
部４０の一端面（光入射端）に集光する反射防止コート
の施された集光レンズ４２が設置されている。この露光
光源４１は、図１に示した架台２０の下部に設けられた
ガイド４４（図１参照）に沿って、上記マスク支持部２
３に位置決め支持されたマスターマスク２２のストライ
プ状パターンの長手方向、すなわち、フェースプレート
１の内面に形成されるストライプ状の３色蛍光体層の長
手方向と直交する方向に移動機構（図示せず）により往
復移動可能になっている。

【００２４】発光光源３８としては、たとえば７００Ｗ
の超高圧水銀ランプが使用される。光分割部４０は、た
とえばコア径が２００μm の石英ファイバーを２３００
本を束ねて直径１２mmの光入射端４５とし、この２３０
０本の石英ファイバーからランダムに１１５本づつ選択
して、直径２．５mmの光出射端４６を２０個構成したも
のとなっている。露光光源部４１は、上記光分割部４０
の光出射端４６を上記マスク支持部２３に位置決め支持
されたマスターマスク２２のストライプ状パターンの長
手方向に所定間隔で一列配置し、この一列配置の光出射
端４６を取付板４７に取付け、かつこの取付板４７上に
一列配置の光出射端４６から放射される光が通過するス
リット４８が形成されたカバー４９を配置した構成に形
成されている。

【００２５】この光源部２４では、発光光源３８から放
射される光は、集光レンズ４２により集光されて光分割
部４０の光入射端４５の端面に入射し、光ファイバーを
通って露光光源４１を構成する一列配置の光出射端４６
から放射される。上記光出射端４６の直径が２．５mmの
場合、光出射端４６での光径は１mmであり、光は、この
光出射端４６から５０°の角度で放射される。図４に示
すように、上記一列配置の光出射端４６から放射される
光５０は、隣接光出射端から放射される光と重なり合
い、マスク支持部２３に位置決め支持されたマスターマ
スク２２を介して、上記プレート支持部２１の支持枠３
１上に位置決め支持されたフェースプレート１に形成さ
れたスクリーン形成部材層５２に投射される。したがっ
て上記一列配置の光出射端４６を構成とする露光光源４
１を、マスターマスク２２のストライプ状パターンの長
手方向と直交する方向に動かすことにより、フェースプ
レート１に形成されたスクリーン形成部材層５２にマス
ターマスク２２のパターンに対応するパターンを焼付け
ることができる。発光光源３８として７００Ｗの超高圧
水銀ランプを用いた場合、フェースプレート１の内面で
０．４mW／cm² の光量が得られ、露光光源４１を３０mm
／秒で１往復することにより、各色蛍光体層を形成する
ことができ、また５往復することにより、ブラックスト
ライプを形成することができる。

【００２６】つぎに、 図６に示したカラー受像管の３
色蛍光体層とブラックストライプとからなる蛍光体スク
リーンの形成方法について説明する。この蛍光体スクリ
ーンは、最初にブラックストライプを形成し、ついでこ
の間隙部に蛍光体層を形成することにより形成される。

【００２７】まず図５（ａ）に示すように、フェースプ
レート１の内面にポリビニルアルコール（ＰＶＡ）と重
クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ）を主成分とする感光剤
を塗布し乾燥して感光膜５４を形成する。そしてこの感
光膜５４の形成されたフェースプレート１を上記露光装
置の支持枠に、感光膜５４の形成面を下向きにして位置
決めし、マスク支持部に位置決め支持されたマスターマ
スクを介して露光し、マスターマスクのパターンを焼付
ける。この場合、フェースプレート１を支持する支持枠
を順次青蛍光体層形成位置、緑蛍光体層形成位置、赤蛍
光体層形成位置に動かしてセットし、３回露光を繰返
す。つぎに上記マスターマスクのパターンの焼付けられ
た感光膜５４を現像して未感光部を除去し、同（ｂ）に
示すように、マスターマスクのパターンに対応するレジ
スト膜５５を形成する。つぎに同（ｃ）に示すように、
上記レジスト膜５５の形成されたフェースプレート１の
内面上に光吸収塗料を塗布し乾燥して光吸収塗料層５６
を形成する。つぎにレジスト膜５５上に塗布された光吸
収塗料をレジスト膜５５とともに剥離除去し、同（ｄ）
に示すように、フェースプレート１上にブラックストラ
イプ５７を形成する。

【００２８】その後、同（ｅ）に示すように、このブラ
ックストライプ５７の形成されたフェースプレート１の
内面上に任意１色の蛍光体、たとえば緑蛍光体とＰＶＡ
およびＡＤＣを主成分とする蛍光体スラリを塗布し乾燥
して、蛍光体スラリ層５８を形成する。つぎにこの蛍光
体スラリ層５８の形成されたフェースプレート１を上記
露光装置の支持枠に、蛍光体スラリ層５８の形成面を下
向きにして位置決め支持し、この支持枠を緑蛍光体層形
成位置にセットして、マスク支持部に位置決め支持され
たマスターマスクを介して露光し、マスターマスクのパ
ターンを焼付ける。つぎにこのマスターマスクのパター
ンの焼付けられた蛍光体スラリ層５８を現像して未感光
部を除去し、同（ｆ）に示すように、ブラックストライ
プ５７の間隙部に緑蛍光体層５９G を形成する。さらに
上記緑蛍光体層５９G の形成工程を、順次青蛍光体、赤
蛍光体について繰返すことにより、同（ｇ）に示すよう
に、ブラックストライプ５７の間隙部に青蛍光体層５９
B 、赤蛍光体５９R を形成する。

【００２９】ところで、上記のように露光装置を構成す
ると、露光光源部４１の幅、すなわち光分割部４０の光
出射端４６の径を小さくしても、発光光源３８から放射
される光の減衰を抑えてフェースプレート１内面のスク
リーン形成部材層５２に対するマスターマスク２２のパ
ターン焼付けに必要な光量を十分に確保でき、その露光
光源部４１の幅の縮小とスクリーン形成部材層５２に接
近して露光光源部４１を配置することにより、スクリー
ン形成部材層に対するマスターマスク２２のパターンの
投影像の解像度を向上させることができる。

【００３０】また露光光源部４１を構成する光分割部４
０の光出射端４６の配列ピッチあるいはフェースプレー
ト１内面から露光光源部４１までの距離を変えることに
より、ストライプの長手方向の配光分布を調整できる。
したがってストライプの長手方向と直交する方向につい
ては、露光光源部４１の移動速度を変化させることによ
り、補正フィルターを用いることなく、スクリーン形成
部材層に対する配光分布を容易かつ最適に補正すること
ができ、画面中央部から周辺部にかけて３色蛍光体層５
９B ，５９G ，５９R の幅をグレード付けして、表示画
像の視感度を向上させることができる。また大気圧荷重
に対して平坦なフェースプレート１およびリアプレート
を支えるプレート支持手段の当接部近傍のブラックスト
ライプ５７の幅を連続的に滑らから広くすることがで
き、プレート支持手段の配置精度を緩和することができ
る。

【００３１】さらに発光光源３８とは別に露光光源部４
１を設け、発光光源３８を動かすことなく、露光光源部
４１を移動して露光するように構成したので、光源部２
４を動かす駆動装置を小形にでき、露光装置を小形に構
成することができるなどの効果が得られる。

【００３２】なお、上記実施例では、フェースプレート
を位置決め支持するプレート支持部の支持枠を動かす構
成としたが、この支持枠のかわりに、マスターマスクを
支持するマスク支持部を動かすように構成してもよい。

【００３３】また、上記実施例では、フェースプレート
およびマスターマスクをそれぞれ水平に支持する露光装
置について説明したが、フェースプレートおよびマスタ
ーマスクの少なくとも一方が自重により撓むおそれがあ
る場合は、これらフェースプレートおよびマスターマス
クを垂直あるいは傾斜して支持する構造にするとよい。

【００３４】また、上記実施例では、発光光源から放射
される光を分割する光分割部を光ファイバーで構成した
が、この光分割手段としては、光ファイバーのほか、プ
リズムやハーフミラーなども使用可能である。

【００３５】また、上記実施例では、発光光源が１個の
場合について説明したが、複数個の発光光源を用い、こ
の複数個の発光光源から放射される光を光分割部により
複数に分割することも可能である。

【００３６】また、上記実施例では、光分割部の光ファ
イバーの光出射端から直接光を放射させたが、この光フ
ァイバーの光出射端から放射される光は、ガウス分布を
なすため、この光出射端から放射される光の分布を補正
あるいは平均化したり、さらに光の放射角度を拡大する
ために、光出射端に光学レンズを設置することは、任意
である。

【００３７】また上記実施例では、ブラックストライプ
と３色蛍光体層を同じマスターマスクを用いて形成する
場合について説明したが、このマスターマスクは、ブラ
ックストライプを形成するマスターマスクと３色蛍光体
層を形成するマスターマスクとを、区別して使い分けて
もよい。

【００３８】なお、上記実施例では、露光光源部にスリ
ットの形成されたカバーを配置したが、フェースプレー
トに形成されたスクリーン形成部材層に対してマスター
マスクを密接状態で露光する場合は、このスリットの形
成されたカバーは、省略できる。

【００３９】

【発明の効果】平坦なフェースプレートの内面に形成さ
れたスクリーン形成部材層に接近して所定のパターンが
形成されたマスターマスクを配置し、光源部からマスタ
ーマスクを介してスクリーン形成部材層に光を投射して
スクリーン形成部材層にマスターマスクのパターンに対
応したストライプ状のパターンを焼付ける露光装置にお
いて、光源部を、発光光源とこの発光光源からの放射光
を複数に分割する光分割部と、この光分割部の光出射端
をスクリーン形成部材層に焼付けられるストライプ状パ
ターンと同方向に一列配置してなる露光光源部とにより
構成すると、一列配置の露光光源部の幅を小さくするこ
とができ、またスクリーン形成部材層までの距離を短く
することにより、スクリーン形成部材層に対するマスタ
ーマスクのパターンの投影像の解像度を向上させること
ができる。また露光光源部を構成する光分割部の光出射
端の配列ピッチあるいはフェースブレート内面から露光
光源部までの距離を変えることにより、露光光源部の長
手方向の配光分布を調整することができ、露光光源部の
直交する方向への移動を変化させることと相俟って、補
正フィルターを用いることなく、スクリーン形成部材層
に対する配光分布を補正することができる。さらに露光
光源部のみを動かしてスクリーン形成部材層を露光する
ことができるため、装置を小形化することができるなど
の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例である露光装置の全体の構
成を示す斜視図である。

【図２】上記露光装置のフェースプレートを支持する上
部枠部およびマスターマスクを支持する下部枠部の構成
を示す斜視図である。

【図３】図３（ａ）および（ｂ）はそれぞれ上記露光装
置の光源部の構造を示す斜視図である。

【図４】上記光源部から放射される光の重なり合いを説
明するための図である。

【図５】図５（ａ）ないし（ｇ）はそれぞれ蛍光スクリ
ーン形成方法を説明するための図である。

【図６】図６（ａ）は、平坦なフェースプレートの内面
に形成された蛍光スクリーンを複数個の領域に分割して
走査するカラー受像管の構成を示す斜視図、図６（ｂ）
はそのＹ−Ｙ断面図である。

【符号の説明】

１…フェースプレート ２１…プレート支持部 ２２…マスターマスク ２３…マスク支持部 ２４…光源部 ３０…内枠 ３１…支持枠 ３８…発光光源 ４０…光分割部 ４１…露光光源部 ４５…光入射端 ４６…光出射端 ４８…スリット ４９…カバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原口 雄次 埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番２号 株式 会社東芝深谷電子工場内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平坦なフェースプレートの内面に形成さ
   れたスクリーン形成部材層に接近して所定のパターンが
   形成されたマスターマスクを配置し、光源部から放射さ
   れる光により上記スクリーン形成部材層に上記マスター
   マスクのパターンに対応してストライプ状のパターンを
   焼付ける露光装置において、 上記光源部は、発光光源と、この発光光源から放射され
   る光を複数に分割する光分割部と、この光分割部の光出
   射端を上記スクリーン形成部材層に焼付けられるストラ
   イプ状のパターンと同方向に一列配置してなる露光光源
   部とにより構成されていることを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 平坦なフェースプレートを位置決め支持
   するプレート支持部と、このプレート支持部に位置決め
   支持されたフェースプレートの内面に形成されたスクリ
   ーン形成部材層に接近して、所定のパターンが形成され
   たマスターマスクを支持するマスク支持部と、上記スク
   リーン形成部材層に上記マスターマスクのパターンに対
   応したストライプ状のパターンを焼付ける光を放射する
   光源部とを有する露光装置において、 上記プレート支持部および上記マスク支持部の少なくと
   も一方にこれら支持部に支持されたフェースプレートま
   たはマスターマスクを上記スクリーン形成部材層に焼付
   けられるストライプ状のパターンの長手方向と直交する
   方向に動かす移動機構が設けられ、上記光源部が発光光
   源とこの発光光源から放射される光を複数に分割する光
   分割部とこの光分割部の光出射端を上記スクリーン形成
   部材層に焼付けられるストライプ状のパターンと同方向
   に一列配置してなる露光光源部とにより構成され、かつ
   上記露光光源部を上記スクリーン形成部材層に焼付けら
   れるストライプ状パターンの長手方向と直交する方向に
   動かす移動機構が設けられているいることを特徴とする
   露光装置。