JPH0735714A - 耐湿性評価装置 - Google Patents
耐湿性評価装置Info
- Publication number
- JPH0735714A JPH0735714A JP18154693A JP18154693A JPH0735714A JP H0735714 A JPH0735714 A JP H0735714A JP 18154693 A JP18154693 A JP 18154693A JP 18154693 A JP18154693 A JP 18154693A JP H0735714 A JPH0735714 A JP H0735714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaluated
- moisture
- resin
- sensitive element
- humidity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】感湿素子を被評価樹脂で外装することにより、
被評価樹脂そのものから、もしくは被評価樹脂と金属端
子の界面から、侵入する水分が感湿素子に到達するまで
の時間を測定する、電子部品用の外装樹脂材料の耐湿性
評価装置を提供することにある。 【構成】被評価物を内部に収容するとともに、槽内の湿
度を経時的に制御する制御手段を備えた試験槽と、該試
験槽内に配置される感湿素子のインピーダンスを経時的
に測定する測定手段を備えた測定装置と、前記インピー
ダンスの経時変化を記録する記録手段を備えた記録装置
と、を備えた耐湿性評価装置において、前記被評価物
を、前記感湿素子を外装する被評価樹脂としたことを特
徴とする。
被評価樹脂そのものから、もしくは被評価樹脂と金属端
子の界面から、侵入する水分が感湿素子に到達するまで
の時間を測定する、電子部品用の外装樹脂材料の耐湿性
評価装置を提供することにある。 【構成】被評価物を内部に収容するとともに、槽内の湿
度を経時的に制御する制御手段を備えた試験槽と、該試
験槽内に配置される感湿素子のインピーダンスを経時的
に測定する測定手段を備えた測定装置と、前記インピー
ダンスの経時変化を記録する記録手段を備えた記録装置
と、を備えた耐湿性評価装置において、前記被評価物
を、前記感湿素子を外装する被評価樹脂としたことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の耐湿性評価
装置に関するものである。
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の耐湿性評価装置を用いた耐湿性評
価方法について、図５〜図６にもとづいて説明する。被
評価物１は次のような構成からなる。つまり、略四角形
状のシリコン基板２の一面上に、材質がアルミニウムの
少なくとも２本のワイヤ線路３，４が一定間隔をおいて
配線したものを、ＩＣ用パッケージ、例えば、８ピンＤ
ＩＰ（ＤＵＡＬ ＩＮ−ＬＩＮＥ ＰＡＣＫＡＧＥ）６
に載置して、少なくとも基板２を覆うように被評価樹脂
７で外装して構成されている。尚、ワイヤ線路３，４は
８ピンＤＩＰ６の金属端子８，９と金属端子１０，１１
にそれぞれ電気的に接続される。
価方法について、図５〜図６にもとづいて説明する。被
評価物１は次のような構成からなる。つまり、略四角形
状のシリコン基板２の一面上に、材質がアルミニウムの
少なくとも２本のワイヤ線路３，４が一定間隔をおいて
配線したものを、ＩＣ用パッケージ、例えば、８ピンＤ
ＩＰ（ＤＵＡＬ ＩＮ−ＬＩＮＥ ＰＡＣＫＡＧＥ）６
に載置して、少なくとも基板２を覆うように被評価樹脂
７で外装して構成されている。尚、ワイヤ線路３，４は
８ピンＤＩＰ６の金属端子８，９と金属端子１０，１１
にそれぞれ電気的に接続される。
【０００３】係る構成における被評価物１は、耐湿性評
価として不飽和蒸気加圧負荷試験と呼ばれる、湿中且つ
加圧負荷電圧下で試験されるものである。その評価方法
は、評価条件に適合する湿度に制御される試験槽内で、
被評価物１の金属端子８，９と金属端子１０，１１、す
なわちワイヤ線路３，４間に、例えば３０Ｖの電圧を印
加しながら、被評価物１の金属端子８，９と金属端子１
０，１１間のリーク電流を測定するものである。
価として不飽和蒸気加圧負荷試験と呼ばれる、湿中且つ
加圧負荷電圧下で試験されるものである。その評価方法
は、評価条件に適合する湿度に制御される試験槽内で、
被評価物１の金属端子８，９と金属端子１０，１１、す
なわちワイヤ線路３，４間に、例えば３０Ｖの電圧を印
加しながら、被評価物１の金属端子８，９と金属端子１
０，１１間のリーク電流を測定するものである。
【０００４】この際、時間の経過に伴い湿度中に含まれ
る水分は、被評価樹脂７を通過する、もしくは、被評価
樹脂７と金属端子８〜１１との界面を通過して被評価物
１の内部に侵入し、基板２のワイヤ線路３，４まで達す
る。そして、ワイヤ線路３，４が水分により腐食し、そ
の結果、その間のリーク電流値が変化するもので、この
ことから、ワイヤ線路３，４間のリーク電流値を経時的
に測定することで、耐湿性評価の一基準としている。こ
こで、リーク電流値の測定データの一例を図６に示す。
図６からも明らかなように、測定開始からＴ１時間後に
リーク電流値の特異点が現れ、ワイヤ線路３，４間で、
リークしたことが推測される。
る水分は、被評価樹脂７を通過する、もしくは、被評価
樹脂７と金属端子８〜１１との界面を通過して被評価物
１の内部に侵入し、基板２のワイヤ線路３，４まで達す
る。そして、ワイヤ線路３，４が水分により腐食し、そ
の結果、その間のリーク電流値が変化するもので、この
ことから、ワイヤ線路３，４間のリーク電流値を経時的
に測定することで、耐湿性評価の一基準としている。こ
こで、リーク電流値の測定データの一例を図６に示す。
図６からも明らかなように、測定開始からＴ１時間後に
リーク電流値の特異点が現れ、ワイヤ線路３，４間で、
リークしたことが推測される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た耐湿性評価方法では、水分が被評価樹脂を通過する、
もしくは、被評価樹脂と金属端子との界面を通過してワ
イヤ線路まで到達した後、ワイヤ線路が腐食をし、その
腐食の度合いに応じてリーク電流値に変化が生じ、ある
時点でリークが発生する。そして、リークが観察される
までの時間を耐湿性評価の代替としているため、評価に
要する時間は、ワイヤ線路に水分が到達してからワイヤ
線路が腐食してリークするまでに要する時間だけ余分に
必要になる、という問題点を有していた。
た耐湿性評価方法では、水分が被評価樹脂を通過する、
もしくは、被評価樹脂と金属端子との界面を通過してワ
イヤ線路まで到達した後、ワイヤ線路が腐食をし、その
腐食の度合いに応じてリーク電流値に変化が生じ、ある
時点でリークが発生する。そして、リークが観察される
までの時間を耐湿性評価の代替としているため、評価に
要する時間は、ワイヤ線路に水分が到達してからワイヤ
線路が腐食してリークするまでに要する時間だけ余分に
必要になる、という問題点を有していた。
【０００６】また、評価開始から水分が被評価樹脂を通
過する、もしくは、被評価樹脂と金属端子との界面を通
過してリークが観察されるまでのリーク開始時間は測定
できるが、基板近傍まで水分が到達するのに要する時間
と、その時の湿度、および基板近傍の経時的湿度変化は
測定できなかった。
過する、もしくは、被評価樹脂と金属端子との界面を通
過してリークが観察されるまでのリーク開始時間は測定
できるが、基板近傍まで水分が到達するのに要する時間
と、その時の湿度、および基板近傍の経時的湿度変化は
測定できなかった。
【０００７】本発明の目的は、上記問題点を解消すべく
なされたもので、感湿素子を被評価樹脂で外装して、外
装樹脂そのものから、もしくは樹脂と金属端子の界面か
ら、侵入する水分が感湿素子に到達するまでの時間を測
定する、電子部品用の外装樹脂材料の耐湿性評価装置を
提供することにある。
なされたもので、感湿素子を被評価樹脂で外装して、外
装樹脂そのものから、もしくは樹脂と金属端子の界面か
ら、侵入する水分が感湿素子に到達するまでの時間を測
定する、電子部品用の外装樹脂材料の耐湿性評価装置を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため本発明の構成
は、被評価物を内部に収容するとともに、槽内の湿度を
経時的に制御する制御手段を備えた試験槽と、該試験槽
内に配置される感湿素子のインピーダンスを経時的に測
定する測定手段を備えた測定装置と、前記インピーダン
スの経時変化を記録する記録手段を備えた記録装置と、
を備えた耐湿性評価装置において、前記被評価物を、前
記感湿素子を外装する被評価樹脂としたことを特徴とす
る。
は、被評価物を内部に収容するとともに、槽内の湿度を
経時的に制御する制御手段を備えた試験槽と、該試験槽
内に配置される感湿素子のインピーダンスを経時的に測
定する測定手段を備えた測定装置と、前記インピーダン
スの経時変化を記録する記録手段を備えた記録装置と、
を備えた耐湿性評価装置において、前記被評価物を、前
記感湿素子を外装する被評価樹脂としたことを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】感湿素子を被評価樹脂で外装して、感湿素子を
介してインピーダンスを測定するため、被評価樹脂を通
過した水分量を、直接測定できるものである。
介してインピーダンスを測定するため、被評価樹脂を通
過した水分量を、直接測定できるものである。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を添付の図１ない
し図４にもとづいて説明する。図１において、複数個の
被評価物１４を装填した評価物台１５が試験槽１６内部
に装着されている。評価物台１５に接続されている第１
のケーブル１７の一端は試験槽１６の外部に導出されて
いる。第１のケーブル１７の一端は、インピーダンスの
経時的変化を測定する測定装置１８に電気的に接続さ
れ、測定装置１８は第２のケーブル１９を介して記録装
置２０に電気的に接続されている。
し図４にもとづいて説明する。図１において、複数個の
被評価物１４を装填した評価物台１５が試験槽１６内部
に装着されている。評価物台１５に接続されている第１
のケーブル１７の一端は試験槽１６の外部に導出されて
いる。第１のケーブル１７の一端は、インピーダンスの
経時的変化を測定する測定装置１８に電気的に接続さ
れ、測定装置１８は第２のケーブル１９を介して記録装
置２０に電気的に接続されている。
【００１１】被評価物１４は、図２に示すように、例え
ば、略四角形状の基板２１の一面に、例えば、薄板から
なる棒状の金属端子２２，２２の一端側を装着し、その
他端を基板２１の外方まで延出させ、金属端子２２，２
２の一端側の間に感湿素子２３を装着し、感湿素子２３
と金属端子２２，２２の一端側とをそれぞれリード線２
４，２４で電気的に接続してなるものを、被評価樹脂２
５でモールドして外装したものである。
ば、略四角形状の基板２１の一面に、例えば、薄板から
なる棒状の金属端子２２，２２の一端側を装着し、その
他端を基板２１の外方まで延出させ、金属端子２２，２
２の一端側の間に感湿素子２３を装着し、感湿素子２３
と金属端子２２，２２の一端側とをそれぞれリード線２
４，２４で電気的に接続してなるものを、被評価樹脂２
５でモールドして外装したものである。
【００１２】評価物台１５は、図３に示すように、被評
価物１４を着脱できる複数個のコネクター２６が配設さ
れ、被評価物１４が整列配置される台２７と、一端が各
コネクター２６に電気的に接続され、他端が台２７の外
方に延設された第１のケーブル１７とからなる。
価物１４を着脱できる複数個のコネクター２６が配設さ
れ、被評価物１４が整列配置される台２７と、一端が各
コネクター２６に電気的に接続され、他端が台２７の外
方に延設された第１のケーブル１７とからなる。
【００１３】試験槽１６は、図１に示すように、ハウジ
ング２８を備えてなるもので、ハウジング２８内に配置
された、例えば網棚２９上に、複数個の被評価物１４を
装填した評価物台１５が載置されるものである。また、
ハウジング２８内には、加湿するための蒸気発生装置３
０が配置されていて、加湿された気体は、ファン（図示
せず）によってハウジング２８内を撹拌される。ハウジ
ング２８内の湿度は湿度センサーコントローラ（図示せ
ず）により感知し、蒸気発生装置３０を制御することに
より、ハウジング２８内の湿度を評価条件の湿度に合致
させるものである。尚、試験槽１６には、内部の温度を
制御するヒータ（図示せず）を設けてもよい。
ング２８を備えてなるもので、ハウジング２８内に配置
された、例えば網棚２９上に、複数個の被評価物１４を
装填した評価物台１５が載置されるものである。また、
ハウジング２８内には、加湿するための蒸気発生装置３
０が配置されていて、加湿された気体は、ファン（図示
せず）によってハウジング２８内を撹拌される。ハウジ
ング２８内の湿度は湿度センサーコントローラ（図示せ
ず）により感知し、蒸気発生装置３０を制御することに
より、ハウジング２８内の湿度を評価条件の湿度に合致
させるものである。尚、試験槽１６には、内部の温度を
制御するヒータ（図示せず）を設けてもよい。
【００１４】測定装置１８は、第１のケーブル１７を介
して被評価物１４の湿度による変化をインピーダンスと
して連続的に受けとり、経時的なインピーダンス変化と
して測定するものである。測定装置１８で測定したイン
ピーダンスの経時的な測定データは、一端が測定装置１
８に接続された第２のケーブル１９を介して、電気的な
信号として記録装置２０に送られるものである。
して被評価物１４の湿度による変化をインピーダンスと
して連続的に受けとり、経時的なインピーダンス変化と
して測定するものである。測定装置１８で測定したイン
ピーダンスの経時的な測定データは、一端が測定装置１
８に接続された第２のケーブル１９を介して、電気的な
信号として記録装置２０に送られるものである。
【００１５】記録装置２０は、測定装置１８から送られ
てきたデータを記録保存するためのもので、例えば紙や
表示装置やフロッピーディスクなど他の媒体への出力が
できるものである。
てきたデータを記録保存するためのもので、例えば紙や
表示装置やフロッピーディスクなど他の媒体への出力が
できるものである。
【００１６】係る構成において、被評価物１４の耐湿性
評価を行うには、試験槽１６内の湿度を試験条件に設定
しておき、被評価物１４の金属端子２２，２２間に電圧
を印加しながら、その金属端子２２，２２間のインピー
ダンスを測定するものである。
評価を行うには、試験槽１６内の湿度を試験条件に設定
しておき、被評価物１４の金属端子２２，２２間に電圧
を印加しながら、その金属端子２２，２２間のインピー
ダンスを測定するものである。
【００１７】ここで、外装樹脂である被評価樹脂２５を
通過する、もしくは、被評価樹脂２５と金属端子２２，
２２との界面を通過した水分が、感湿素子２３の表面に
到達すると、その表面には水素イオンやヒドロニウムイ
オンが発生し、感湿素子２３のインピーダンス変化とし
て捕らえることができるものである。
通過する、もしくは、被評価樹脂２５と金属端子２２，
２２との界面を通過した水分が、感湿素子２３の表面に
到達すると、その表面には水素イオンやヒドロニウムイ
オンが発生し、感湿素子２３のインピーダンス変化とし
て捕らえることができるものである。
【００１８】インピーダンスの測定データの一例を、図
４に示す。図４からも明らかなように、測定開始からＴ
２時間後に、インピーダンスが減少を始め、水分が被評
価樹脂２５を通過する、もしくは、被評価樹脂２５と金
属端子２２，２２との界面を通過して感湿素子２３まで
到達したことがわかる。
４に示す。図４からも明らかなように、測定開始からＴ
２時間後に、インピーダンスが減少を始め、水分が被評
価樹脂２５を通過する、もしくは、被評価樹脂２５と金
属端子２２，２２との界面を通過して感湿素子２３まで
到達したことがわかる。
【００１９】尚、試験槽１６や測定装置１８や記録装置
２０は各々独立して設ける必要はなく、２つの機能や３
つの機能を一体化することもできる。また、本発明によ
る被評価樹脂２５としては、エポキシ系樹脂，フェノー
ル系樹脂，ポリフェニレンサルファイド系樹脂，シリコ
ン系樹脂などが用いられる。
２０は各々独立して設ける必要はなく、２つの機能や３
つの機能を一体化することもできる。また、本発明によ
る被評価樹脂２５としては、エポキシ系樹脂，フェノー
ル系樹脂，ポリフェニレンサルファイド系樹脂，シリコ
ン系樹脂などが用いられる。
【００２０】本発明による耐湿性評価装置によれば、被
評価樹脂２５を通過する水分と、被評価樹脂２５と金属
端子２２，２２との界面を通過する水分とを、同時に一
つのインピーダンスに変換して評価していることにな
る。
評価樹脂２５を通過する水分と、被評価樹脂２５と金属
端子２２，２２との界面を通過する水分とを、同時に一
つのインピーダンスに変換して評価していることにな
る。
【００２１】しかし、上述した被評価物１４の被評価樹
脂２５の表面のみを、例えば無電解めっきなどの耐湿性
被膜で覆い、本発明による耐湿性評価装置で評価する
と、被評価樹脂２５を通過する水分を遮ることができる
ため、被評価樹脂２５と金属端子２２，２２との界面を
通過する水分すなわち被評価樹脂２５と金属端子２２，
２２との界面の封止性をインピーダンスに変換して評価
することができる。
脂２５の表面のみを、例えば無電解めっきなどの耐湿性
被膜で覆い、本発明による耐湿性評価装置で評価する
と、被評価樹脂２５を通過する水分を遮ることができる
ため、被評価樹脂２５と金属端子２２，２２との界面を
通過する水分すなわち被評価樹脂２５と金属端子２２，
２２との界面の封止性をインピーダンスに変換して評価
することができる。
【００２２】同様に、被評価樹脂２５と金属端子２２，
２２との界面のみを無電解めっきなどの耐湿性被膜で塞
ぐことで、被評価樹脂２５のみの封止性を評価すること
ができる。
２２との界面のみを無電解めっきなどの耐湿性被膜で塞
ぐことで、被評価樹脂２５のみの封止性を評価すること
ができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明の耐湿性評価装置によれば、水分
に感応する感湿素子を被評価樹脂で被覆して、被評価物
の耐湿性をインピーダンス変化に置き換えて、自動的に
且つ連続的に測定することができる。このため、被評価
樹脂を通過した水分が感湿素子表面に到達すると、ただ
ちに感湿素子上に水素イオンやヒドロニウムイオンが発
生して、感湿素子のインピーダンスが変化し、リアルタ
イムに感湿素子近傍の湿度がわかり、被評価樹脂の正確
な耐湿性評価ができる。
に感応する感湿素子を被評価樹脂で被覆して、被評価物
の耐湿性をインピーダンス変化に置き換えて、自動的に
且つ連続的に測定することができる。このため、被評価
樹脂を通過した水分が感湿素子表面に到達すると、ただ
ちに感湿素子上に水素イオンやヒドロニウムイオンが発
生して、感湿素子のインピーダンスが変化し、リアルタ
イムに感湿素子近傍の湿度がわかり、被評価樹脂の正確
な耐湿性評価ができる。
【００２４】また、本発明の方法では、従来方法によ
る、アルミ線路が腐食を始めてからリークするまでに要
する、余分な時間を必要としないため、耐湿性評価に要
する時間のロスがない。
る、アルミ線路が腐食を始めてからリークするまでに要
する、余分な時間を必要としないため、耐湿性評価に要
する時間のロスがない。
【図１】本発明の一実施例における耐湿性評価装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】本発明の一実施例における被評価物の一部切除
斜視図である。
斜視図である。
【図３】本発明の一実施例における評価物台の斜視図で
ある。
ある。
【図４】本発明の一実施例における被評価物の時間対イ
ンピーダンスの測定データである。
ンピーダンスの測定データである。
【図５】従来例における被評価物の耐湿性評価のための
負荷電圧配線図である。
負荷電圧配線図である。
【図６】従来例における被評価物の時間対リーク電流の
測定データである。
測定データである。
１４ 被評価物 １６ 試験槽 １８ 測定装置 ２０ 記録装置 ２３ 感湿素子 ２５ 被評価樹脂
Claims (1)
- 【請求項１】被評価物を内部に収容するとともに、槽内
の湿度を経時的に制御する制御手段を備えた試験槽と、
該試験槽内に配置される感湿素子のインピーダンスを経
時的に測定する測定手段を備えた測定装置と、前記イン
ピーダンスの経時変化を記録する記録手段を備えた記録
装置と、を備えた耐湿性評価装置において、 前記被評価物を、前記感湿素子を外装する被評価樹脂と
したことを特徴とする耐湿性評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18154693A JPH0735714A (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 耐湿性評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18154693A JPH0735714A (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 耐湿性評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0735714A true JPH0735714A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16102680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18154693A Pending JPH0735714A (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 耐湿性評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735714A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013145194A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Advantest Corp | 検出装置および検出方法 |
-
1993
- 1993-07-22 JP JP18154693A patent/JPH0735714A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013145194A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Advantest Corp | 検出装置および検出方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6725715B2 (en) | Characteristics adjusting apparatus of physical quantity sensing device and a thermal type air flow measuring instrument, and associated adjusting method | |
| US11054480B2 (en) | Electrical load for electronic battery tester and electronic battery tester including such electrical load | |
| US5051921A (en) | Method and apparatus for detecting liquid composition and actual liquid level | |
| US4719428A (en) | Storage battery condition tester utilizing low load current | |
| US20100102975A1 (en) | Battery leakage detection system | |
| US20110291674A1 (en) | Apparatus and method for analyzing the state of oil-filled electrical devices | |
| US5199303A (en) | Pressure sensor for determination of pressure in the combustion chamber of an internal combustion engine | |
| US20120074968A1 (en) | Method for sulfur-based corrosion testing | |
| JPH0735714A (ja) | 耐湿性評価装置 | |
| US3427537A (en) | Direct measuring moisture apparatus including replaceable scale dials | |
| JP3787509B2 (ja) | 発熱抵抗式空気流量測定装置 | |
| JPH08211115A (ja) | 被覆電線用絶縁被膜劣化診断装置 | |
| US5646540A (en) | Apparatus and method for measuring electromagnetic ageing parameter of a circuit element and predicting its values | |
| JPS62215194A (ja) | 断熱板及びその検査方法 | |
| US6404209B1 (en) | Measuring instrument for fill level sensors | |
| JP3878203B2 (ja) | 発熱抵抗式空気流量装置 | |
| EP0395149A1 (en) | Method and device for accelerated determining of ageing of one or more elements with an electromagnetic ageing parameter | |
| JPH09304322A (ja) | 湿度検出器およびそれを用いたエンジン制御装置 | |
| Frank et al. | Microcondensation Sensors for Field Tests and for Simulation of Environments in Climate Chambers | |
| JPH0455768A (ja) | プリント配線板の電気絶縁寿命評価方法 | |
| JPH10206466A (ja) | 電圧測定装置 | |
| JPH0619339B2 (ja) | 被覆金属の高感度分極測定方法及び装置 | |
| Miksic et al. | VCI's for Mitigating Electronic Corrosion | |
| JP2001185424A (ja) | 高電圧機器 | |
| JPH06341916A (ja) | 振動センサの水密性評価方法 |