JPH07326697A - Manufacture of lead frame - Google Patents
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームの製造方
法に係り、特にヒートシンク部を有する半導体装置用の
リードフレームの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame manufacturing method, and more particularly to a lead frame manufacturing method for a semiconductor device having a heat sink portion.
【0002】[0002]
【従来の技術】IC及びトランジスタリードフレームの
需要は年々増加し、中でもパワートランジスタ用として
大きな熱放散が要求されるリードフレームはその傾向が
顕著である。このような用途に用いられるリードフレー
ムは、ヒートシンク部とリード部とを一体化した特異な
断面形状をもつ。2. Description of the Related Art Demand for IC and transistor lead frames is increasing year by year, and the tendency is particularly remarkable in lead frames for power transistors, which require large heat dissipation. The lead frame used for such an application has a unique cross-sectional shape in which a heat sink portion and a lead portion are integrated.
【0003】従来、このようなパワートランジスタ用リ
ードフレームを加工するプロセスには、次の2通りの方
法がある。Conventionally, there are the following two methods for processing such a power transistor lead frame.
【0004】まず、ヒートシンク部を有する異形条とい
う特殊形状の素条を用い、これを1つの順送り金型内に
入れて打抜き、曲げなどの成形加工を完了させてしまう
方法である。このプロセスに供される異形条1は図6に
示すように同一断面で異なる板厚部を持ち、中央が厚板
部で両側が薄板部となっている。また、加工プロセスは
図7に示すように、送出し装置2から異形条1を送りだ
し、レベラー3で異形条1の平滑化を行い、プレス機4
に入れて打抜き、成形、曲げ、切断等を行って短冊状の
リードフレーム5を形成し、これを整列機6によって整
列する。このような加工により完成した一般的なパワー
トランジスタ用リードフレーム例を図8に示す。このタ
イプはTO220と呼ばれている。その断面形状は、チ
ップ搭載部となるダイボンディング部7およびセンタ孔
13を有するヘッダ部14の板厚が厚く、リード部8が
薄い形状となっている。First, there is a method of using a special-shaped strip having a heat-sink portion, which has a special shape, and putting it into one progressive die to complete the forming process such as punching and bending. As shown in FIG. 6, the profiled strip 1 used in this process has different plate thickness portions with the same cross section, the center is a thick plate portion and both sides are thin plate portions. Further, in the processing process, as shown in FIG. 7, the profiled strip 1 is sent out from the delivery device 2, the profiled strip 1 is smoothed by the leveler 3, and the press machine 4 is used.
Then, the strip-shaped lead frame 5 is formed by punching, molding, bending, cutting, etc., and the strip-shaped lead frame 5 is aligned by the aligning machine 6. An example of a general lead frame for a power transistor completed by such processing is shown in FIG. This type is called TO220. The cross-sectional shape is such that the die bonding portion 7 serving as the chip mounting portion and the header portion 14 having the center hole 13 have a large plate thickness and the lead portion 8 has a thin shape.
【0005】次に、2枚の平条を別々に加工し、1枚は
ヒートシンク部となる部分をヒートシンク部用の金型に
て加工し、他の1枚はリード部となる部分をリード部用
の金型にて加工し、加工後、両者をかしめて一体化する
方法である。2枚の平条は、図9に示すように、1枚は
ヒートシンク部用に板厚の厚い平条9を使用し、他の1
枚はリード部用に板厚の薄い平条10を使用する。通
常、リード部用としては1/3厚さ程度のものが使用さ
れる。2枚の平条の各加工プロセスは、異形条を用いた
図7と同様であるが、図10に示すように1枚目のヒー
トシンク部11の形状としては、標準的なもの(図8参
照)の上半分というイメージとなる。これと同様に図1
1に示すように、2枚目のリード部12の形状として
は、標準的なものの下半分というイメージとなる。これ
ら2部品をかしめ加工して一体化することによりリード
フレームとする。かしめ後の完成品の形状は、図8と同
等レベルのものである。Next, two flat strips are processed separately, one part is processed as a heat sink part with a die for a heat sink part, and the other one is processed as a lead part as a lead part. It is a method of processing with a metal mold, and after processing, caulking both to integrate. As shown in FIG. 9, one of the two flat strips uses a thick flat strip 9 for the heat sink portion, and the other flat strip is
For the sheet, a flat strip 10 having a thin plate is used for the lead portion. Usually, one having a thickness of about 1/3 is used for the lead portion. Each processing process of the two flat strips is the same as that of FIG. 7 using the modified strip, but as shown in FIG. 10, the first heat sink portion 11 has a standard shape (see FIG. 8). ) Is the image of the upper half. Similar to this,
As shown in FIG. 1, the shape of the second lead portion 12 is an image of a standard lower half. A lead frame is obtained by caulking and integrating these two parts. The shape of the finished product after caulking is the same level as in FIG.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のものでは次のような欠点があった。However, the above-mentioned conventional device has the following drawbacks.
【0007】異形条を用いる加工プロセスでは、 (1)プレス加工において一つの金型で済ますことがで
きるが、異形条は特殊圧延で成形するため、コストが一
般の圧延条に比して非常に高く、通常約2倍程度になっ
てしまう。In the processing process using the deformed strip, (1) one die can be used for the press working, but since the deformed strip is formed by special rolling, the cost is much higher than that of a general rolled strip. It is expensive and usually doubles.
【0008】(2)異形加工をするために、厚板部と薄
板部の加工歪バランスなどに差が生じ、品質的にも問題
が生じやすい。(2) Due to the deformed processing, a difference occurs in the processing strain balance between the thick plate portion and the thin plate portion, which easily causes a problem in quality.
【0009】(3)異形条は、一般に両側部が薄板とな
るため、素条完成後の輸送、取扱いなどにおいて変形や
歪を生じやすい。(3) Since the deformed strip is generally thin on both sides, it is likely to be deformed or distorted during transportation, handling, etc. after completion of the strip.
【0010】一方、2枚の平条を用いてかしめ加工する
プロセスの場合では、 (1)素条としては安価な一般平条でよいが、2枚の平
条に対してそれぞれ別個にプレス加工機を必要とするた
め2ライン、2金型となり、その上かしめ加工もしなけ
ればならないため、プロセスが複雑で加工コストも高く
なる。On the other hand, in the case of the caulking process using two flat strips, (1) an inexpensive general flat strip may be used as the raw strip, but the two flat strips are separately pressed. Since it requires a machine, it requires two lines and two dies, and since it also requires caulking, the process is complicated and the processing cost is high.
【0011】(2)プロセスが複雑になる分、納期管理
や品質管理が困難となる。(2) Due to the complexity of the process, delivery date management and quality control become difficult.
【0012】(3)かしめ加工についても、一般プレス
とは異なり技術上難しい点が多い。 本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消して、
一般の平条を使用しかつ一つの金型で加工成形できるよ
うにすることによって、素条の取扱いが容易で、高品質
であり、また加工が容易で加工コストも安く、しかもプ
ロセスが簡単で管理が容易なリードフレームの製造方法
を提供することにある。(3) Unlike the general press, there are many technical difficulties in the caulking process. The object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks of the prior art,
By using ordinary flat strips and allowing them to be processed and formed with one mold, the raw strips are easy to handle, high quality, easy to process, low in processing cost, and simple in process. It is to provide a method of manufacturing a lead frame that is easy to manage.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明のリードフレーム
の製造方法は、ベースとなる平条とヒートシンク部とな
る平条とを一つの金型内に同時に供給し、金型内にて2
つの平条を重ねたまま一緒に順送りして所定形状に打抜
くと共に、打抜かれた2つの平条の所定部分を潰し加工
して2つの平条を一体化してヒートシンク部を有するリ
ードフレームを製造するようにしたものである。According to the method of manufacturing a lead frame of the present invention, a flat strip serving as a base and a flat strip serving as a heat sink portion are simultaneously supplied into one mold, and two strips are formed in the mold.
The two flat strips are piled up in order and punched into a predetermined shape, and the two punched flat strips are crushed to integrate the two flat strips into a lead frame having a heat sink. It is something that is done.
【0014】[0014]
【作用】ベースとなる平条とヒートシンク部となる平条
との2つの平条を同時に金型内に供給してやる。2つの
平条については、金型内での同時打抜きによる抜きバリ
により一体成形される部分と、さらに順送りによる潰し
加工により一体化される部分とが生じる。これにより2
つの平条は一体化される。したがって、一プロセス、一
金型でヒートシンク部を有するリードフレームが製造で
きる。[Operation] Two flat strips, a flat strip serving as a base and a flat strip serving as a heat sink portion, are simultaneously supplied into the mold. As for the two flat strips, a part integrally formed by a punching burr by simultaneous punching in a mold and a part integrated by a crushing process by progressive feeding occur. This makes 2
The two flat strips are integrated. Therefore, the lead frame having the heat sink can be manufactured by one process and one mold.
【0015】[0015]
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。本実施例
は、平条を使用し、しかも厚みの異なる2種類の平条を
一つの金型内に同時に供給し、金型内にて同時に順送り
される過程でプレス加工作業により打抜き、潰し、成
形、曲げなどの加工を付与することにより、所定形状の
ヒートシンク部を有するパワートランジスタまたはIC
用途向けの半導体用リードフレームを製造するものであ
る。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. In this embodiment, a flat strip is used, and two types of flat strips having different thicknesses are simultaneously fed into one die, and punched and crushed by press working in the process of being sequentially fed in the die, A power transistor or IC having a heat sink portion of a predetermined shape by imparting processing such as molding or bending.
It manufactures lead frames for semiconductors for applications.
【0016】図2に示すように、所定の最終形状板厚に
合せた2種類の平条21、22を一つのプレス金型23
内に同時に供給する。例えば、ベースとなる1枚目の平
条21の板厚を決定し、その後ヒートシンク部となる部
分の板厚からベース平条の板厚を差し引いた2枚目の平
条を選定する。2枚目の平条の板幅はベース平条の約1
/2程度とする。これらを中心線を合せて重ねてみると
異形条と同等の形状、断面を有するものとなる。As shown in FIG. 2, two types of flat strips 21 and 22 matched to a predetermined final shape plate thickness are combined into one press die 23.
Supply at the same time. For example, the plate thickness of the first flat strip 21 serving as the base is determined, and then the second flat strip obtained by subtracting the plate thickness of the base flat strip from the plate thickness of the heat sink portion is selected. The width of the second flat strip is about 1 of the base flat strip.
/ 2. When these are overlapped with their center lines aligned, they have the same shape and cross section as the profiled strip.
【0017】こうした2枚の平条21、22をそれぞれ
レベリングして平坦度を保ち、ベースを下にヒートシン
ク部を上にして金型23に供給するが、金型23は普通
の順送り型金型の機能に、潰し成形機能を加えた程度の
ものでよい。すなわち、精密加工用として一般に供され
ている精密順送り金型と同様でよく、金型23内で重ね
たままの2枚の平条21、22を同時にガイドし、所定
形状に打抜き、潰し、成形、曲げ加工してしまう。These two flat strips 21 and 22 are respectively leveled to maintain the flatness and supplied to the mold 23 with the base down and the heat sink part up. The mold 23 is an ordinary progressive die. It is sufficient that the crushing function is added to the function of. That is, it may be the same as a precision progressive die that is generally provided for precision machining, and two flat strips 21 and 22 that are still stacked in a die 23 are simultaneously guided, punched, crushed, and molded into a predetermined shape. , It will be bent.
【0018】金型23内での打抜きには、2枚の平条2
1、22を一体化させてガイドさせるために、金型23
の入口部に近いところで両者の共通位置にガイド用のパ
イロット孔を作成することが好ましい。なお、図2にお
いて、24は下型、25はストリッパ、26は上型であ
る。For punching in the die 23, two flat strips 2 are used.
In order to integrally guide 1 and 22, the mold 23
It is preferable to form a pilot hole for guide at a position common to both of them near the entrance of the. In FIG. 2, 24 is a lower mold, 25 is a stripper, and 26 is an upper mold.
【0019】2枚の平条21、22は、図3に示すよう
に金型23内で同時打抜きするが、この同時打抜きによ
る抜きバリにより一体成形される部分と、一般に耐湿性
(パッケージ後の外部からの侵入による)向上のために
付与する潰し加工により一体成形される部分とができ
る。これらの部分により2枚の平条からなるリードフレ
ームの合せ部は隙間の無いレベルまで一体化される。つ
まり、孔は打抜きによって、また周囲は打抜き及び各種
潰し加工により一体成形されて合せ部は全てシールされ
ることになる。As shown in FIG. 3, the two flat strips 21 and 22 are punched at the same time in the mold 23. However, a portion integrally formed by a punching burr by this simultaneous punching and generally a moisture resistance (after packaging). A portion integrally formed by a crushing process provided for improvement (due to invasion from the outside). By these portions, the mating portion of the lead frame composed of two flat strips is integrated to a level with no gap. That is, the holes are punched out, and the periphery is integrally formed by punching and various crushing processes to seal the entire mating portion.
【0020】次に、TO220タイプと呼ばれる標準的
なパワートランジスタ用リードフレームの製造方法につ
いて具体的に説明する。供給素条は図4に示すように2
種類の平条を選択し、ベースとなる平条の寸法は0.4
mm厚×64mm幅、これに重ね合わせるヒートシンク部と
なる平条の寸法は0.86mm厚×36mm幅とする。これ
ら平条の材料は、脱酸銅、無酸素銅、42アロイ、リン
青銅などの銅合金であり、形状は主に圧延によって加工
完了したものを使う。Next, a method of manufacturing a standard lead frame for a power transistor called a TO220 type will be specifically described. Supply strips are 2 as shown in Fig. 4.
Select the type of flat strip, and the size of the base strip is 0.4
mm thickness x 64 mm width, and the dimensions of the flat strip to be the heat sink portion to be superposed thereon are 0.86 mm thickness x 36 mm width. The material of these flat strips is a copper alloy such as deoxidized copper, oxygen-free copper, 42 alloy, phosphor bronze, etc., and its shape is mainly that which has been processed by rolling.
【0021】両平条は同一材料で構成しても、あるいは
上記材料を任意に組合わせても良いが、特にベースとな
る平条は機能面となるダイパッド部、リード部が形成さ
れるため、42アロイなどの高強度合金材を使用して強
度的に問題がないようにし、またヒートシンク部となる
平条は熱伝導性の良い無酸素銅とすることが好ましい。Both flat strips may be made of the same material, or any combination of the above materials may be used. In particular, since the flat strip serving as the base is provided with the die pad portion and the lead portion serving as the functional surface, It is preferable that a high-strength alloy material such as 42 alloy is used so that there is no problem in strength, and the flat strip serving as the heat sink is made of oxygen-free copper having good thermal conductivity.
【0022】これらを金型23内に挿入し、各ステージ
にてスタンピング打抜き、潰し成形などにより一体成形
する。プレス抜きそのものになる部分、すなわち周囲の
全ては2枚を一緒に打抜くことによって、抜きバリなど
によりほぼ隙間なく一体化される。また、成形後のリー
ドフレーム例を示す図1のように、ダイパッド部29に
形成される凹み18および溝19、また打抜きによるセ
ンター孔部27の周辺での2ヵ所の潰し成形部28、ヒ
ートシンク部20ないしダイパッド部29での4ヵ所の
潰し成形部30によりさらに一体化の強度は向上する。
これらの加工による一体化により2種類の平条21、2
2は異形条と同様の形状、断面を有することになる。These are inserted into the mold 23, and integrally molded by stamping punching, crushing molding or the like at each stage. The part that becomes the press punch itself, that is, the entire periphery, is punched out together so that it is integrated with almost no gap due to punch burrs and the like. Further, as shown in FIG. 1 showing an example of the lead frame after molding, the recess 18 and the groove 19 formed in the die pad portion 29, the two crushed molding portions 28 around the center hole portion 27 by punching, and the heat sink portion. 20 to the die pad portion 29 at the four crush-molded portions 30 further improve the strength of integration.
Two types of flat strips 21 and 2 are integrated by these processes.
2 has the same shape and cross section as the profiled strip.
【0023】なお、図5に、TO3Pと呼ばれるクラス
の大型パワートランジスタ用リードフレームの例を示
す。リード部49を構成するベースには0.6mm厚で9
0mm幅程度のものを使用し、ヒートシンク部50として
は1.4mm厚で45mm幅程度のものを使用した例であ
る。センタ孔51の周囲4ヵ所、ヘッダ52の頭部2ヵ
所、ダイパッド53の両サイド2ヵ所にそれぞれ潰し加
工部54、55、56を施し、これらの部分にて両平条
は確実にかしめられ、一つの金型内で一体成形される。FIG. 5 shows an example of a lead frame for a large power transistor of a class called TO3P. The base forming the lead portion 49 has a thickness of 0.6 mm and is 9
In this example, the heat sink 50 has a width of 0 mm and the heat sink 50 has a thickness of 1.4 mm and a width of 45 mm. Crushing portions 54, 55, 56 are provided at four places around the center hole 51, two head portions of the header 52, and two places on both sides of the die pad 53, and both flat strips are securely caulked at these portions. It is integrally molded in one mold.
【0024】したがって2枚の平条を同時にプレス加工
する金型としては、異形条を用いた従来の一つの金型と
ほぼ同様のもので構成することができる。すなわち、異
形条の代わりに2枚の平条が金型に供給されることにな
るが、その素条の相違は金型の入口部のガイド形状を変
えたり、抜き順序を検討したりする(例えば最初に2枚
の平条を重ねるための孔を開ける等)ことにより容易に
対処でき、ほとんど従来の金型がそのまま使用できる。Therefore, as a die for simultaneously pressing two flat strips, it is possible to use a die substantially the same as a conventional die using a deformed strip. In other words, two flat strips are supplied to the die instead of the irregular strip, but the difference in the strips changes the guide shape at the inlet of the die or considers the drawing order ( This can be easily dealt with, for example, by first making a hole for overlapping the two flat strips, etc., and almost the conventional mold can be used as it is.
【0025】また、素条は、一般的で安価な圧延平条を
2枚使用することにより対処できるため、特殊な異形条
に比較して入手が容易で、コストも半分以下にすること
ができる。また、2枚の平条の寸法を選択することによ
って、種々のタイプのリードフレームに対処することが
でき、異なる材質の平条を組合わせることによって、同
一素材による異形条よりも特性を向上させたリードフレ
ームも供給することができる。Further, since the bare strip can be dealt with by using two general and inexpensive rolled flat strips, it can be easily obtained and the cost can be reduced to half or less as compared with the special profile strip. . Also, by selecting the dimensions of the two flat strips, various types of lead frames can be dealt with, and by combining flat strips of different materials, the characteristics can be improved over modified strips of the same material. Lead frames can also be supplied.
【0026】[0026]
【発明の効果】本発明によれば、一般の平条を使用する
ので、異形条の場合に比して取扱いが容易で、品質的に
も問題がなく、安価に製造できる。また、2種類の平条
を一つの金型で一緒に打抜き、潰し加工して一体化する
ので、別々に加工成形した後にかしめ加工する場合に比
して加工が容易で加工費が安い。さらに一つ金型でヒー
トシンク部を有するリードフレームを製造するようにし
たので、プロセスが簡単で納期管理や品質管理が容易で
ある。EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, since a general flat strip is used, it can be easily handled, has no problem in quality, and can be manufactured at a low cost as compared with the case of a modified strip. In addition, since two types of flat strips are punched together by one die, crushed, and integrated, the processing is easier and the processing cost is lower than the case where they are separately processed and caulked. Further, since the lead frame having the heat sink portion is manufactured by one mold, the process is simple and the delivery date control and the quality control are easy.
【図1】本発明のリードフレームの製造方法の実施例を
説明するためのパワートランジスタリードフレーム(T
O220タイプ)の成形例を示す平面図。FIG. 1 is a power transistor lead frame (T) for explaining an embodiment of a lead frame manufacturing method of the present invention.
The top view which shows the example of shaping | molding of O220 type.
【図2】本実施例の金型入口部と2枚の平条の挿入状況
を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a state of insertion of a die inlet portion and two flat strips of the present embodiment.
【図3】本実施例の同時プレス打抜きを説明する断面
図。FIG. 3 is a sectional view illustrating simultaneous press punching according to the present embodiment.
【図4】本実施例の平条2枚の選択例を示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of selecting two flat strips according to the present embodiment.
【図5】本実施例の他のパワートランジスタリードフレ
ーム(TO3Pタイプ)の成形例を示す平面図。FIG. 5 is a plan view showing a molding example of another power transistor lead frame (TO3P type) of the present embodiment.
【図6】従来のパワートランジスタリードフレーム用に
使用される異形条を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing a profile strip used for a conventional power transistor lead frame.
【図7】従来のリードフレーム用スタンピングプロセス
を示す構成図。FIG. 7 is a configuration diagram showing a conventional lead frame stamping process.
【図8】従来のパワートランジスタリードフレーム(T
O220)の成形例を示す平面図。FIG. 8 Conventional power transistor lead frame (T
The top view which shows the example of molding of (O220).
【図9】従来の2つの成形部品をかしめ加工してパワー
トランジスタリードフレームを成形するための素材とな
る2枚の厚物条と薄物条との斜視図。FIG. 9 is a perspective view of two thick strips and thin strips which are materials for forming a power transistor lead frame by caulking two conventional molded parts.
【図10】図9の厚物条から成形したヒートシンク部の
形状例を示す平面図。10 is a plan view showing an example of the shape of a heat sink portion formed from the thick strip shown in FIG.
【図11】図9の薄物条から成形したリード部の形状例
を示す平面図。11 is a plan view showing an example of the shape of a lead portion formed from the thin strip shown in FIG.
20 ヒートシンク部 21 ベースとなる平条 22 ヒートシンク部となる平条 27 センター孔部 28 センター孔部の潰し形成部 29 ダイパッド部 30 ダイパッド部の潰し成形部 31 リード部 20 Heat Sink Part 21 Flat Strip as Base 22 Flat Strip as Heat Sink Section 27 Center Hole 28 Center Hole Crush Formed Area 29 Die Pad Section 30 Die Pad Section Crush Formed Section 31 Lead Section
Claims (2)
平条とを一つの金型内に同時に供給し、該金型内にて2
つの平条を重ねたまま一緒に順送りして所定形状に打抜
くと共に、打抜かれた2つの平条の所定部分を潰し加工
して2つの平条を一体化してヒートシンク部を有するリ
ードフレームを製造することを特徴とするリードフレー
ムの製造方法。1. A flat strip serving as a base and a flat strip serving as a heat sink portion are simultaneously supplied into one mold, and two strips are supplied in the mold.
The two flat strips are piled up in order and punched into a predetermined shape, and the two punched flat strips are crushed to integrate the two flat strips into a lead frame having a heat sink. A method for manufacturing a lead frame, comprising:
し、ヒートシンク部となる平条を良熱伝導材で構成した
ことを特徴とする請求項1に記載のリードフレームの製
造方法。2. The method of manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein the flat strip serving as the base is made of a high-strength material, and the flat strip serving as the heat sink is made of a good heat conductive material.
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JP2882281B2 JP2882281B2 (en) | 1999-04-12 |
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