JPH07321418A - 部品支持治具、光デバイスと光ファイバが組み込まれたモジュールを構成する為の光学部品ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】光学部品に余計な力がかからない様に、光学部
品を治具に設置したり・治具から解放したりできる光デ
バイスと光ファイバとの光結合を実現するモジュール用
組立て治具、このモジュールを構成する光学部品ホルダ
である。 【構成】光素子の光導波路と光ファイバがレンズ等の光
学部品を介して光学的に結合するモジュールの組み立て
工程において用いられる部品支持治具１である。細く伸
びた先端は切り込み１ｃによって所望の間隔をもって２
つの先端部１ａ，１ｂに分割されている。それぞれの先
端部１ａ，１ｂは、光学部品が組み込まれ一体化した光
学部品ホルダを挟むことでハンドリングするための爪２
ａ，２ｂがある。切り込み１ｃによって可能となる弾性
変形に伴う弾性力により、爪２ａ，２ｂで光学部品ホル
ダを保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体光デバイスと光
ファイバとの光結合を実現する該デバイスと光ファイバ
が組み込まれたモジュール用の組立て治具、モジュール
を構成するレンズホルダに関する。

【０００２】

【従来技術】従来、例えば、光通信においては、光源・
受信器・光増幅器などといった光導波路素子と情報伝達
媒体としての光ファイバとを光学的に結合させた光モジ
ュールが用いられている。この様なモジュールにおいて
は、光導波路と光ファイバの光結合が高効率で行われ、
しかも経時変化が少ないようになされることが重要な要
件となる。

【０００３】従来技術では、普通、図１２に示すように
光デバイスとの光結合にボールレンズ１５２が用いられ
ている。ボールレンズ１５２は、位置調整後、レーザ溶
接されて固定される。ボールレンズ１５２を最適な位置
に調整するためには、ボールレンズホルダ１５１をマニ
ピュレータにてハンドリングして精密制御動作が要求さ
れる。実際には、従来は、図１２に示すようにピンセッ
トの如き治具１５０を用いてボールレンズホルダ５１を
挟んでいた。治具１５０は２つの爪からなり、その爪の
間隔はボールレンズホルダ１５１の幅よりも僅かに小さ
く設計されている。この爪の間にボールレンズホルダ１
５１をはめると、爪の弾性力により２つの爪がボールレ
ンズホルダ１５１を締め付けこれを支持する。

【０００４】

【発明が解決しようとしている課題】しかし前記従来技
術では、レンズホルダを最適位置に調整し固定してから
レンズホルダを支持治具から外すので、その際、支持治
具の保持力によって部品が引っ張られ、溶接部を支点と
して部品があらぬ方向に向いてしまうといったケースが
あった。また、光導波路と光ファイバの光結合は各光学
部品の位置精度に敏感であり、レンズホルダに不必要な
ストレスがかかるのは好ましくない。この様に、治具を
解除する際に慎重な作業が要求され、また、簡単な方法
で、光学部品に余計な力がかからない様に、光学部品を
治具に設置したり・治具から解放したりする方法が必要
とされていた。

【０００５】よって、本発明の目的は、上記課題を解決
する為に、光デバイスと光ファイバとの光結合を実現す
る該デバイスと光ファイバが組み込まれたモジュール用
の組立て治具、モジュールを構成する光学部品ホルダを
提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する第１
の形態の本発明では、部品を保持する治具の部分を能動
的に操縦者が開閉させることのできる構造を持たせるこ
とで、部品保持力を意図的にフリーから必要な強さまで
調整させることができる。これにより、作業者は治具と
部品の取り付け・取り外しを、部品と治具の間で力を加
えることなく行える。

【０００７】又、上記目的を達成する第２の形態の本発
明では、治具と部品の一方に凸形状を形成し、他方に凹
形状を形成する。両者の凹凸形状が噛み合うことによっ
て治具と部品の相対的な向き及び位置を一定にすること
ができる。

【０００８】又、上記目的を達成する第３の形態の本発
明では、支持治具の保持する部分を能動的に操作できる
構造を持たせることで、部品ホルダを保持する力を、外
部圧力を変化させて解放状態から必要とされる強さまで
調整出来る。これにより、支持治具と部品ホルダの取付
け・取り外しを、余分な力を加えることなく行える。

【０００９】詳細には、本発明の支持治具は、光素子の
光導波路と光ファイバがレンズ等の光学部品を介して光
学的に結合するモジュールの組み立て工程において用い
られる部品支持治具であって、細く伸びた先端は切り込
みによって所望の間隔をもって２つの先端部に分割され
ていて、そのそれぞれの先端部は、光学部品が組み込ま
れ一体化した光学部品ホルダを挟むことでハンドリング
するための爪があり、該切り込みによって可能となる弾
性変形に伴う弾性力により、該爪で光学部品ホルダを保
持することを特徴とする。

【００１０】更には、本発明の支持治具は、光学部品ホ
ルダに対する保持力を調整するために、前記切り込みの
間隔を制御する手段を有し、それは、ねじ、圧電素子、
磁力手段などである。

【００１１】又、本発明の支持治具の爪は、光学部品ホ
ルダに対向する側面に凹凸構造で嵌まり合う形状部分を
有しており、光学部品ホルダの向き・位置を一意に決め
られることを特徴とする。爪の嵌まり合う形状部分は、
Ｖ断面突起、テーパのついた複数の突起などから成る。

【００１２】また更には、本発明の支持治具は、半導体
レーザ素子と該半導体レーザ素子を光ファイバへ光学的
に結合させる為のレンズと該レンズを保持する為のレン
ズホルダと該レンズホルダを搭載する為のステムと該ス
テムの温度制御をする為の電子式冷却素子との５つの要
素が包含され一端から前記光ファイバを外部に取り出せ
るパッケージ形の光伝送用モジュールの該レンズホルダ
を該ステムに組み立てる為の治具、或は光素子の光導波
路と光ファイバがレンズ等の光学部品を介して光学的に
結合するモジュールの組み立て工程において用いられる
部品支持治具であって、該レンズホルダを挟み込めるよ
うに先端が２つに分かれており、且つ該支持治具の先端
部の少なくとも一方に圧力を外部から加えることが出来
るように構成され、該少なくとも一方の先端部の一部
が、該圧力により膨らむことでレンズホルダを保持する
ことの出来る膨張部を有することを特徴とする。膨張部
は、金属薄膜、ゴム系材料などにより形成され、２つに
分割されている支持治具の両側の先端部に夫々設けられ
てもよい。

【００１３】更に、本発明の光学部品ホルダは、光素子
の光導波路と光ファイバがレンズ等の光学部品を介して
光学的に結合するモジュールの組み立て工程において用
いられる部品支持治具に支持される光学部品ホルダであ
って、支持治具に対向する側面に凹凸構造で嵌まり合う
形状部分を有していることを特徴とする。前記嵌まり合
う形状部分は、Ｖ溝、テーパのついた複数の穴などから
成る。

【００１４】

【実施例１】図１は本実施例の特徴を最もよく表す図面
である。同図において、１はボールレンズホルダ治具で
あり、中央の切り欠き１ｃと調整ネジ３によって爪２
ａ，２ｂが開閉する仕組みを持つ。通常、治具１は切り
欠き１ｃによって先端部である１ａと１ｂとに別れてお
り、先端部１ａと１ｂは弾性力によって或る距離に保た
れている。断面の様子を示す図２のごとく、治具先端部
１ｂには、ただの穴３ｃが開けられており、先端部１ａ
には、調整ネジ３に対応するメネジ３ｂが切ってある。

【００１５】ネジ３を締め込んで行くと切り欠き１ｃの
部分は徐々に閉じて行くことになり、先端の爪２ａ，２
ｂが閉じることで部品を保持することができる。そし
て、限られた範囲においては調整ネジ３の締め込みの状
態によって部品を保持する力を調整することができる。
部品が固定された後には調整ネジ３を弛めて治具１を解
放状態として、部品を治具１より外して作業が完了す
る。本方法では特別な装置を必要とせず、本発明を実施
することができる。

【００１６】図３に沿って、光デバイスないし半導体レ
ーザ１１との光結合にボールレンズ１２が用いられる場
合について説明する。ボールレンズ１２は位置調整後、
レーザ溶接（１６）されてサブキャリア１４に固定され
る。ボールレンズ１２を最適な位置に調整するためには
ボールレンズホルダ１３をハンドリングして動かすが、
この際、治具１を用いてボールレンズホルダ１３を挟
む。上記した如く、治具１は中央で分離される２つの部
分１ａ，１ｂからなり、その組み合せでできる爪２ａ，
２ｂの部分はボールレンズホルダ１３の幅よりもわずか
に小さく設計されている。治具１の先端近くに設けられ
たネジ３を締めるかどうかで、ボールレンズホルダ１３
の固定と解放が行われる。ボールレンズホルダ１３は最
適位置に調整後にレーザ溶接（１６）により固定され
る。ここで調整ネジ３を弛めることで治具１は解放状態
となりボールレンズホルダ１３を放す。

【００１７】

【実施例２】図４は本発明の実施例２を示す図面であ
り、同図において、２１はボールレンズホルダ治具であ
り、中央の切り欠き２１ｃによって爪２２ａ，２２ｂが
開閉する仕組みを持つ。通常、治具２１は切り欠き２１
ｃによって先端部である２１ａと２１ｂとに別れてお
り、先端部２１ａと２１ｂは弾性力によって或る距離に
保たれている。治具先端部２１ａと２１ｂの間には圧電
素子２４が組み込まれており、ここに電圧を印加するこ
とで圧電素子２４の全長が伸びる。これにより切り欠き
の部分２１ｃは徐々に開いて行くことになり、先端の爪
２２ａ，２２ｂに部品を取り付けたり、そこから部品を
取り外しすることが可能な状態となる。そして、部品を
保持する力は、治具２１の弾性力によって発生している
ので、圧電素子２４にかかる電圧を解除することで常に
一定となる。本方法では治具本体の設計で部品保持力を
決定することができる。また、治具２１に非接触で部品
の保持・解放を制御できる。

【００１８】

【実施例３】図５は本発明の実施例３を示す図面であ
り、同図において、３１はボールレンズホルダ治具であ
り、中央の切り欠き３１ｃと電磁石３５によって爪３２
ａ，３２ｂが開閉する仕組みを持つ。通常、治具３１は
切り欠き３１ｃによって先端部である３１ａと３１ｂと
に別れており、先端部３１ａと３１ｂは弾性力によって
或る距離に保たれている。治具先端部３１ｂには電磁石
３５が埋められており、ここに電圧を印加することで先
端部３１ａ側が磁力により引き寄せられ、先端の爪３２
ａ，３２ｂが閉じる。これにより爪３２ａ，３２ｂの間
に部品を保持することができる。電磁石コイル部３５ａ
と鉄芯３５ｂからなる電磁石３５の組み込み状態を図６
の断面図に示す。限られた範囲においては、電磁石コイ
ル部３５ａへの電圧の印加の仕方及び、切り込み３１ｃ
の始まりと電磁石３５の位置と爪３２ａ，３２ｂの部品
保持部分の位置で決まるレバー比によって、部品を保持
する力を調整することができる。爪３２ａ，３２ｂの間
に部品が固定された後には、電磁石３５にかかる電圧を
切ることで治具３１を解放状態とし、部品を外して作業
が完了する。本方法によれば、治具３１に非接触で部品
の保持・解放を制御できる。

【００１９】

【実施例４】図７は本実施例の特徴を最もよく表す図面
であり、同図において、４１はボールレンズホルダ治具
であり、中央の切り欠き４１ｃと調整ネジ４４によって
凸の嵌め合い構造４５が開閉する仕組みを持つ。治具４
１は切り欠き４１ｃによって先端部である４１ａと４１
ｂとに別れており、先端部４１ａ，４１ｂは弾性力によ
って或る距離に保たれている。４８はボールレンズホル
ダで、ボールレンズホルダ４８にはボールレンズ４９が
組み込まれている。このボールレンズホルダ４８の側面
には、治具４１に形成された凸の嵌め合い構造４５に合
う凹形の嵌め合い構造４６がつくられている。治具４１
をもってボールレンズホルダ４８を保持する時、調整ネ
ジ４４で治具４１の先端部４１ａ，４１ｂの爪４２ａ，
４２ｂを閉じると嵌め合い構造４５と４６が噛み合っ
て、治具４１に対して一定の位置・向きでボールレンズ
ホルダ４８は安定する。この状態で、所望の位置にボー
ルレンズホルダ４８を固定するまでボールレンズホルダ
４８を支持している。ボールレンズホルダ４８が固定さ
れた後に調整ネジ４４を弛めて治具４１を解放状態と
し、治具４１をボールレンズホルダ４８から外して作業
が完了する。

【００２０】本実施例によれば、最適位置への調整中
に、例えば、光デバイスのサブキャリア（図３参照）と
ボールレンズホルダ４８の接触によって挟み付けている
部分が滑りをおこし、ボールレンズホルダ４８があらぬ
方向に向いてしまうということがなくなる。もしこの様
になると、一旦作業を中断し、あらためてボールレンズ
ホルダ４８をハンドリングし直して作業を行う必要があ
る。また、本実施例の様な工夫が無いと、治具に対して
角度をもって部品をハンドリングしてしまう場合も考え
られ、治具に設置する際は慎重な作業が要求される。本
実施例はこうした問題点をも解消する。

【００２１】

【実施例５】図８は本発明の他の実施例を示す図面であ
り、同図において、５１はボールレンズホルダ治具であ
り、中央の切り欠き５１ｃと調整ネジ５４によって先端
部５１ａ，５１ｂが開閉する仕組みを持つ。治具５１は
切り欠き５１ｃによって先端部である５１ａと５１ｂと
に別れており、先端部５１ａ，５１ｂは弾性力によって
或る距離に保たれている。また、治具５１の先端部５１
ａ，５１ｂの爪５２ａ，５２ｂには２本の内側に向いた
突起５７が凸の嵌め合い構造としてつくられている。突
起５７は適当な長さで、テーパがついている。５９はボ
ールレンズホルダで、ボールレンズホルダ５９にボール
レンズ６０が組み込まれている。このボールレンズホル
ダ５９の側面には治具５１に形成された凸の嵌め合い構
造５７に合う凹形の嵌め合い構造、ここでは２個の穴５
８が作られている。治具５１をもってボールレンズホル
ダ５９を保持する時、調整ネジ５４で治具５１の先を閉
じると突起５７が穴５８にはまり、治具５１に対して一
定の位置・向きでボールレンズホルダ５９は安定する。
この状態で、所望の位置にボールレンズホルダ５９を固
定するまで、ボールレンズホルダ５９を支持している。
ボールレンズホルダ５９が固定された後に調整ネジ５４
を弛めて治具５１を解放状態とし、治具５１をボールレ
ンズホルダ５９から外して作業が完了する。本実施例で
も実施例４と同じ効果が奏される。

【００２２】

【実施例６】図９は本実施例の特徴を最もよく表してい
る。同図において、６１はボールレンズホルダ支持治具
を示しており、その先端部分は６４ａ，６４ｂと２つに
別れてレンズホルダ６６（図１１参照）を挟み込めるよ
うになっている。

【００２３】図１０に先端部６４ａの内部断面図を示
す。その内部は中空構造６５になっており、ここに支持
治具６１の外部から圧力を加えることが出来る様になっ
ている（外部の圧力印加部分については不図示）。先端
部６４ａのレンズホルダと接触する側には、外部から加
えた圧力を逃さない為の金属薄膜６２が先端部６４ａに
溶接されている。６３はその溶接部分を示している。

【００２４】図１１を用いて、この様に作製された支持
治具６１を用いてレンズホルダ６６をステム（ここに光
デバイスが設置されている）に固定する作業について次
に記述する。まず、マニピュレータ（不図示）に支持治
具６１を取り付ける。次に支持治具６１でレンズホルダ
６６を挟み込む。この時、支持治具６１はレンズホルダ
６６に力を加えることなく滑らかにレンズホルダ６６を
挟むことが出来る。この状態で支持治具６１に外部から
圧力を加えると、図１１のごとく金属薄膜６２が２’の
様に膨らんでレンズホルダ６６を先端部６４ｂに押さえ
付け、支持治具６１はレンズホルダ６６を保持すること
が出来る。この状態で、レンズホルダ６６がステム上で
調整される。レンズホルダ６６がステムに固定された後
に、外部から印加していた圧力を抜くことで金属薄膜６
２は元の状態に戻り、レンズホルダ６６は支持治具６１
から解放されて、取り付け作業は終了する。

【００２５】本実施例によれば、支持治具６１はレンズ
ホルダ６６を３面で保持するので、レーザ溶接によるレ
ンズホルダ６６の固定の際に、ヒートショックによりず
れや回転等が起きることがない。

【００２６】

【実施例７】実施例６では支持治具６１の膨らむ部分の
材質を金属薄膜を用いたが、本実施例ではゴム系材料を
用いた。ゴム系を用いることにより金属薄膜よりも外部
から印加する圧力が低減出来る上、レンズホルダ６６を
保持する際にレンズホルダ６６を斜めに挟み込んでも、
ゴムの膨らみ方により先端部６４ｂの内面に、レンズホ
ルダ６６を面できちんと接触させることが出来る。又、
ゴム自体の取り付け方も金属薄膜よりも容易である。

【００２７】

【実施例８】実施例６、７では支持治具６１の片側に膨
張部分を設けたが、本実施例では両側にこれを設け、且
つその材質をゴムにする。このことでレンズホルダ６６
への締め付けが強くなり、ステムへの取り付け時の操作
が容易になる。又、レンズホルダ６６がゴム系材料で締
め付けられるのでホルダ６６への加重を均一にすること
が出来る。

【００２８】

【発明の効果】本発明によって、光学部品を位置調整を
して固定する際の治具において、部品を常に安定して確
実に保持することと共に、特に作業部品から治具を外す
際に余計な力をかけることなく部品の取り付け・取り外
しが可能になる。また、シンプルな構造で、部品の保持
を最適な強度から完全にフリーな状態まで操作できるた
め、位置精度にうるさくかつ狭いところで作業をするボ
ールレンズホルダのような部品の固定作業が簡単にな
り、またその信頼性も向上する。

【００２９】更に、特に、凹凸構造で嵌まり合う形状部
分を有する本発明の構成では、治具で光学部品を位置調
整をして固定する際、部品を常に安定した位置・向きに
保持することが可能となり、また作業途中にずれたり外
れるようなことがなくなる。

【００３０】また更に、特に、膨張部を有する本発明の
構成では、（１）支持治具がレンズホルダを３面で保持
するのでレンズホルダ固定時のレーザ溶接によるヒート
ショックで生じるずれや回転等が起きない、（２）レン
ズホルダを斜めに支持治具で挟み込んでも膨張部の膨ら
み方によりレンズホルダを支持治具の内面にきちんと面
接触させることが出来る、（３）レンズへの加重を均一
化することが出来る、（４）レンズホルダを支持治具か
ら外す為の工具が不要である等により作業性の向上、組
み立て精度の向上等が期待出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明を実施した先端の開閉をネジで行う第
１実施例の斜視図。

【図２】 図１の断面図。

【図３】 第１実施例においてレンズホルダを組み込む
時の様子を示している斜視図。

【図４】 本発明を実施した治具先端の開閉を圧電素子
で行う第２実施例の断面図。

【図５】 本発明を実施した治具先端の開閉を電磁石で
行う第３実施例の斜視図。

【図６】 図５の断面図。

【図７】 本発明を実施した楔形状の爪とＶ溝を有する
第４実施例の斜視図。

【図８】 円錐状の爪を複数本治具に形成し、これに対
する部品に複数個の穴を開けた第５実施例の斜視図。

【図９】 本発明を実施した第６実施例の支持治具の外
観図。

【図１０】 第６実施例の支持治具の圧力印加する部分
の内部断面図。

【図１１】 レンズホルダを挟み込んだ時の様子を示し
ている第６実施例の図。

【図１２】 従来例を示す図。

【符号の説明】

１，２１，３１，４１，５１，６１ 治具 １ａ，１ｂ，２１ａ，２１ｂ，３１ａ，，３１ｂ，４１
ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ 先端部 １ｃ，２１ｃ，３１ｃ，４１ｃ，５１ｃ 切り込み ２ａ，２ｂ，２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ，４２
ａ，４２ｂ，５２ａ，５２ｂ，６４ａ，６４ｂ 保持
爪 ３，４４，５４ 調整ネジ ３ｂ メネジ ３ｃ 貫通穴 １１ 半導体レーザ １２，４９，６０ ボールレンズ １３，４８，５９，６６ レンズホルダ １４ サブキャリア １６ 溶接 ２４ 圧電素子 ３５ 電磁石 ３５ａ コイル部 ３５ｂ 鉄芯 ４５ 凹凸嵌め合い構造（楔形状爪） ４６ 凹凸嵌め合い構造（Ｖ溝） ５７ 凹凸嵌め合い構造（円錐突起） ５８ 凹凸嵌め合い構造（テーパ穴） ６２ 膨張部 ６３ 溶接部 ６５ 中空部分 ６２’ 膨張した膨張部

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光素子の光導波路と光ファイバがレンズ
   等の光学部品を介して光学的に結合するモジュールの組
   み立て工程において用いられる部品支持治具であって、
   細く伸びた先端は切り込みによって所望の間隔をもって
   ２つの先端部に分割されていて、そのそれぞれの先端部
   は、光学部品が組み込まれ一体化した光学部品ホルダを
   挟むことでハンドリングするための爪があり、該切り込
   みによって可能となる弾性変形に伴う弾性力により、該
   爪で光学部品ホルダを保持することを特徴とする支持治
   具。
2. 【請求項２】 光学部品ホルダに対する保持力を調整す
   るために、前記切り込みの間隔を制御する手段を有する
   ことを特徴とする請求項１記載の支持治具。
3. 【請求項３】 前記切り込みの間隔を制御する手段がね
   じであることを特徴とする請求項２記載の支持治具。
4. 【請求項４】 前記切り込みの間隔を制御する手段が圧
   電素子であることを特徴とする請求項２記載の支持治
   具。
5. 【請求項５】 前記切り込みの間隔を制御する手段が磁
   力手段であることを特徴とする請求項２記載の支持治
   具。
6. 【請求項６】 前記爪は、光学部品ホルダに対向する側
   面に凹凸構造で嵌まり合う形状部分を有しており、光学
   部品ホルダの向き・位置を一意に決められることを特徴
   とする請求項１記載の支持治具。
7. 【請求項７】 前記爪の嵌まり合う形状部分がＶ断面突
   起から成ることを特徴とする請求項６記載の支持治具。
8. 【請求項８】 前記爪の嵌まり合う形状部分がテーパの
   ついた複数の突起から成ることを特徴とする請求項６記
   載の支持治具。
9. 【請求項９】 半導体レーザ素子と該半導体レーザ素子
   を光ファイバへ光学的に結合させる為のレンズと該レン
   ズを保持する為のレンズホルダと該レンズホルダを搭載
   する為のステムと該ステムの温度制御をする為の電子式
   冷却素子との５つの要素が包含され一端から前記光ファ
   イバを外部に取り出せるパッケージ形の光伝送用モジュ
   ールの該レンズホルダを該ステムに組み立てる為の治具
   において、該レンズホルダを挟み込めるように先端が２
   つに分かれており、且つ該支持治具の先端部の少なくと
   も一方に圧力を外部から加えることが出来るように構成
   され、該少なくとも一方の先端部の一部が、該圧力によ
   り膨らむことでレンズホルダを保持することの出来る膨
   張部を有することを特徴とする光伝送用モジュール組立
   て支持治具。
10. 【請求項１０】 光素子の光導波路と光ファイバがレン
    ズ等の光学部品を介して光学的に結合するモジュールの
    組み立て工程において用いられる部品支持治具であっ
    て、光学部品ホルダを挟み込めるように先端が２つに分
    かれており、且つ該支持治具の先端部の少なくとも一方
    に圧力を外部から加えることが出来るように構成され、
    該少なくとも一方の先端部の一部が、該圧力により膨ら
    むことで光学部品ホルダを保持することの出来る膨張部
    を有することを特徴とすることを特徴とする支持治具。
11. 【請求項１１】 前記膨張部が金属薄膜により形成され
    ていることを特徴とする請求項９または１０記載の支持
    治具。
12. 【請求項１２】 前記膨張部がゴム系材料により形成さ
    れていることを特徴とする請求項９または１０記載の支
    持治具。
13. 【請求項１３】 前記膨張部が、２つに分割されている
    支持治具の両側の先端部に夫々設けられていることを特
    徴とする請求項９または１０記載の支持治具。
14. 【請求項１４】 光素子の光導波路と光ファイバがレン
    ズ等の光学部品を介して光学的に結合するモジュールの
    組み立て工程において用いられる部品支持治具に支持さ
    れる光学部品ホルダであって、支持治具に対向する側面
    に凹凸構造で嵌まり合う形状部分を有していることを特
    徴とする光学部品ホルダ。
15. 【請求項１５】 前記嵌まり合う形状部分がＶ溝から成
    ることを特徴とする請求項１４記載の光学部品ホルダ。
16. 【請求項１６】 前記嵌まり合う形状部分がテーパのつ
    いた複数の穴から成ることを特徴とする請求項１４記載
    の光学部品ホルダ。