JPH0731554Y2 - エキシマレーザ発振器 - Google Patents
エキシマレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH0731554Y2 JPH0731554Y2 JP1987154322U JP15432287U JPH0731554Y2 JP H0731554 Y2 JPH0731554 Y2 JP H0731554Y2 JP 1987154322 U JP1987154322 U JP 1987154322U JP 15432287 U JP15432287 U JP 15432287U JP H0731554 Y2 JPH0731554 Y2 JP H0731554Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- container
- gases
- buffer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案はエキシマレーザ発振器に関し、特に塩化水素ガ
スやフッ素ガスなどのハロゲンガスと、ArガスやKrガ
ス，あるいはXeガスなどの希ガスとの混合ガスをレーザ
媒質として用いるエキシマレーザ発振器に関する。
スやフッ素ガスなどのハロゲンガスと、ArガスやKrガ
ス，あるいはXeガスなどの希ガスとの混合ガスをレーザ
媒質として用いるエキシマレーザ発振器に関する。
従来技術 従来、この種のエキシマレーザ発振器においては、希ガ
スとハロゲンガスとの混合ガスをレーザ媒質とし、この
レーザ媒質に対する気体放電励起によりレーザ発振を得
ている。
スとハロゲンガスとの混合ガスをレーザ媒質とし、この
レーザ媒質に対する気体放電励起によりレーザ発振を得
ている。
このレーザ媒質はハロゲンガス（たとえば、塩化水素ガ
スやフッ素ガスなど）と、希ガス（たとえば、Arガスや
Krガス、るいはXeガス）とにより構成され、これにバッ
ファガス（たとえば、HeガスやNeガスなど）を加えたも
のがレーザガス容器に封入されていた。
スやフッ素ガスなど）と、希ガス（たとえば、Arガスや
Krガス、るいはXeガス）とにより構成され、これにバッ
ファガス（たとえば、HeガスやNeガスなど）を加えたも
のがレーザガス容器に封入されていた。
これらハロゲンガスと希ガスとバッファガスとの分圧濃
度は夫々0.1％、１％、98.9％程度であり、全体で３〜
４気圧の圧力でレーザガス容器に封入されている。
度は夫々0.1％、１％、98.9％程度であり、全体で３〜
４気圧の圧力でレーザガス容器に封入されている。
これらのガスをレーザガス容器に封入する場合、これら
のガスにおける分圧濃度比が大きいため、ハロゲンガス
や希ガスをレーザガス容器に封入するときには低圧力レ
ンジの圧力計を使用し、バッファガスをレーザガス容器
に封入するときには高圧力レンジの圧力計を使用してい
る。あるいは、これらのガスに共通して測定精度が高
く、かつ測定範囲の広い高価な圧力計を使用している。
のガスにおける分圧濃度比が大きいため、ハロゲンガス
や希ガスをレーザガス容器に封入するときには低圧力レ
ンジの圧力計を使用し、バッファガスをレーザガス容器
に封入するときには高圧力レンジの圧力計を使用してい
る。あるいは、これらのガスに共通して測定精度が高
く、かつ測定範囲の広い高価な圧力計を使用している。
このような従来のエキシマレーザ発振器では、レーザ媒
質を含むガスの分圧濃度比が大きいため、ハロゲンガス
や希ガスを封入するときと、バッファガスを封入すると
きとにより夫々別々の圧力計を必要とするという欠点が
ある。
質を含むガスの分圧濃度比が大きいため、ハロゲンガス
や希ガスを封入するときと、バッファガスを封入すると
きとにより夫々別々の圧力計を必要とするという欠点が
ある。
また、レーザガス容器内に封入されたガスの一部を排気
し、新たにガスを注入して部分的なガス交換を行う場合
には、各々のガスを独立にレーザガス容器に注入しなけ
ればならなかったので、これらのガスを注入する毎にレ
ーザガス容器内の各ガスの成分比が一時的に変化するた
め、レーザ発振動作を一時停止してレーザガス容器内で
の部分的なガス交換を行わなければならないという欠点
がある。
し、新たにガスを注入して部分的なガス交換を行う場合
には、各々のガスを独立にレーザガス容器に注入しなけ
ればならなかったので、これらのガスを注入する毎にレ
ーザガス容器内の各ガスの成分比が一時的に変化するた
め、レーザ発振動作を一時停止してレーザガス容器内で
の部分的なガス交換を行わなければならないという欠点
がある。
考案の目的 本考案は上記のような従来のものの欠点を除去すべくな
されたもので、ハロゲンガスと希ガスとバッファガスと
における各分圧濃度を精度よくレーザガス容器内に封入
することができ、レーザ発振動作を行いながらこれらの
ガスの部分的な供給を行うことができるエキシマレーザ
発振器の提供を目的とする。
されたもので、ハロゲンガスと希ガスとバッファガスと
における各分圧濃度を精度よくレーザガス容器内に封入
することができ、レーザ発振動作を行いながらこれらの
ガスの部分的な供給を行うことができるエキシマレーザ
発振器の提供を目的とする。
考案の構成 本考案によるエキシマレーザ発振器は、少なくとも分圧
濃度が大きいバッファガスと前記分圧濃度が小さい複数
のガスとが混合されかつレーザガス容器に封入されたレ
ーザ媒質を放電励起することによりレーザ発振を行うエ
キシマレーザ発振器であって、各ガスを混合して前記レ
ーザ媒質を生成するガス混合手段と、前記複数のガスが
前記分圧濃度の小さいものから順次前記ガス混合手段に
封入される毎に前記ガス混合手段内の前記レーザ媒質の
圧力を検出する検出手段とを有し、前記検出手段で前記
レーザ媒質の圧力を検出しながら各ガスの前記ガス混合
手段への封入を行った後前記バッファガスとともに前記
レーザガス容器に注入するようにしたことを特徴とす
る。
濃度が大きいバッファガスと前記分圧濃度が小さい複数
のガスとが混合されかつレーザガス容器に封入されたレ
ーザ媒質を放電励起することによりレーザ発振を行うエ
キシマレーザ発振器であって、各ガスを混合して前記レ
ーザ媒質を生成するガス混合手段と、前記複数のガスが
前記分圧濃度の小さいものから順次前記ガス混合手段に
封入される毎に前記ガス混合手段内の前記レーザ媒質の
圧力を検出する検出手段とを有し、前記検出手段で前記
レーザ媒質の圧力を検出しながら各ガスの前記ガス混合
手段への封入を行った後前記バッファガスとともに前記
レーザガス容器に注入するようにしたことを特徴とす
る。
実施例 次に、本考案の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を示す構成図である。図にお
いて、本考案の一実施例によるエキシマレーザ発振器
は、ガス混合容器１と、レーザガス容器２と、ハロゲン
ガス用バルブ３と、希ガス用バルブ４と、バッファガス
用バルブ５と、圧力計６と、レーザガス導入バルブ７
と、全反射鏡８と、部分透過鏡９と、排気バルブ10と、
真空ポンプ11とにより構成されている。
いて、本考案の一実施例によるエキシマレーザ発振器
は、ガス混合容器１と、レーザガス容器２と、ハロゲン
ガス用バルブ３と、希ガス用バルブ４と、バッファガス
用バルブ５と、圧力計６と、レーザガス導入バルブ７
と、全反射鏡８と、部分透過鏡９と、排気バルブ10と、
真空ポンプ11とにより構成されている。
ガス混合容器１は予めレーザガス容器２との容積比が測
定されているものとする。
定されているものとする。
エキシマレーザ発振器においてハロゲンガスと希ガスと
バッファガスとをレーザガス容器２に封入する場合、レ
ーザガス導入バルブ７と排気バルブ10とを開として、レ
ーザガス容器２を真空ポンプ11によって排気することに
より予め真空としておく。
バッファガスとをレーザガス容器２に封入する場合、レ
ーザガス導入バルブ７と排気バルブ10とを開として、レ
ーザガス容器２を真空ポンプ11によって排気することに
より予め真空としておく。
真空とされたレーザガス容器２に各ガスを封入する場合
には、ハロゲンガスまたは希ガスから封入を行う。この
とき、レーザガス導入バルブ７は閉としておき、まずハ
ロゲンガス用バルブ３を開として、予めレーザガス容器
２内に設定された圧力濃度と、ガス混合容器１とレーザ
ガス容器２との容積比とにより算出された値まで、圧力
計６により測定しながらガス混合容器１にハロゲンガス
を封入する。
には、ハロゲンガスまたは希ガスから封入を行う。この
とき、レーザガス導入バルブ７は閉としておき、まずハ
ロゲンガス用バルブ３を開として、予めレーザガス容器
２内に設定された圧力濃度と、ガス混合容器１とレーザ
ガス容器２との容積比とにより算出された値まで、圧力
計６により測定しながらガス混合容器１にハロゲンガス
を封入する。
次に、希ガス用バルブ４を開として、予めレーザガス容
器２内に設定された圧力濃度と、ガス混合容器１とレー
ザガス容器２との容積比とにより算出された値まで、圧
力計６により測定しながらガス混合容器１に希ガスを封
入する。
器２内に設定された圧力濃度と、ガス混合容器１とレー
ザガス容器２との容積比とにより算出された値まで、圧
力計６により測定しながらガス混合容器１に希ガスを封
入する。
ガス混合容器１において、ハロゲンガスと希ガスとが混
合されると、レーザガス導入バルブ７を開としてガス混
合容器１内のハロゲンガスと希ガスとの混合ガスをレー
ザガス容器２内に封入した後に、バッファガス用バルブ
５を開として、予め設定された圧力まで圧力計６により
測定しながらバッファガスをレーザガス容器２内に封入
する。
合されると、レーザガス導入バルブ７を開としてガス混
合容器１内のハロゲンガスと希ガスとの混合ガスをレー
ザガス容器２内に封入した後に、バッファガス用バルブ
５を開として、予め設定された圧力まで圧力計６により
測定しながらバッファガスをレーザガス容器２内に封入
する。
このように、レーザ媒質を構成するハロゲンガスと希ガ
スとをガス混合容器１で混合してから、これらのガスと
バッファガスとをレーザガス容器２内で混合するように
することで、分圧濃度比の小さいハロゲンガスと希ガス
とをガス混合容器１内で混合してから、これらハロゲン
ガスと希ガスとバッファガスとによるレーザガス容器２
内での圧力が予め設定された圧力になるようにすればよ
いため、１個の圧力計６によりレーザガス容器２内の各
ガスの分圧濃度を精度よく封入することができる。
スとをガス混合容器１で混合してから、これらのガスと
バッファガスとをレーザガス容器２内で混合するように
することで、分圧濃度比の小さいハロゲンガスと希ガス
とをガス混合容器１内で混合してから、これらハロゲン
ガスと希ガスとバッファガスとによるレーザガス容器２
内での圧力が予め設定された圧力になるようにすればよ
いため、１個の圧力計６によりレーザガス容器２内の各
ガスの分圧濃度を精度よく封入することができる。
またガス混合容器１内において、これらハロゲンガスと
希ガスとバッファガスとを混合しておくことにより、こ
のガス混合容器１内の混合されたガスを、レーザガス容
器２内の各ガスの成分比を変化させることなく、レーザ
ガス容器２内に供給することができるので、レーザ発振
動作を行いながらレーザガス容器２内へのこれらガスの
部分的な供給も行うことができる。
希ガスとバッファガスとを混合しておくことにより、こ
のガス混合容器１内の混合されたガスを、レーザガス容
器２内の各ガスの成分比を変化させることなく、レーザ
ガス容器２内に供給することができるので、レーザ発振
動作を行いながらレーザガス容器２内へのこれらガスの
部分的な供給も行うことができる。
考案の効果 以上説明したように本考案によれば、レーザ媒質を混合
生成してからレーザガス容器内に封入するようにするこ
とによって、ハロゲンガスと希ガスとバッファガスとに
おける各分圧濃度を精度よくレーザガス容器内に封入す
ることができ、レーザ発振動作を行いながらこれらガス
の部分的な供給も行うことができるという効果がある。
生成してからレーザガス容器内に封入するようにするこ
とによって、ハロゲンガスと希ガスとバッファガスとに
おける各分圧濃度を精度よくレーザガス容器内に封入す
ることができ、レーザ発振動作を行いながらこれらガス
の部分的な供給も行うことができるという効果がある。
第１図は本考案の一実施例の構成を示す構成図である。 主要部分の符号の説明 １……ガス混合容器 ２……レーザガス容器 ３……ハロゲンガス用バルブ ４……希ガス用バルブ ５……バッファガス用バルブ ６……圧力計 10……排気バルブ
Claims (1)
- 【請求項１】少なくとも分圧濃度が大きいバッファガス
と前記分圧濃度が小さい複数のガスとが混合されかつレ
ーザガス容器に封入されたレーザ媒質を放電励起するこ
とによりレーザ発振を行うエキシマレーザ発振器であっ
て、各ガスを混合して前記レーザ媒質を生成するガス混
合手段と、前記複数のガスが前記分圧濃度の小さいもの
から順次前記ガス混合手段に封入される毎に前記ガス混
合手段内の前記レーザ媒質の圧力を検出する検出手段と
を有し、前記検出手段で前記レーザ媒質の圧力を検出し
ながら各ガスの前記ガス混合手段への封入を行った後前
記バッファガスとともに前記レーザガス容器に注入する
ようにしたことを特徴とするエキシマレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987154322U JPH0731554Y2 (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | エキシマレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987154322U JPH0731554Y2 (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | エキシマレーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158968U JPH0158968U (ja) | 1989-04-13 |
| JPH0731554Y2 true JPH0731554Y2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=31430949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987154322U Expired - Lifetime JPH0731554Y2 (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | エキシマレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731554Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3447281B2 (ja) * | 2001-12-11 | 2003-09-16 | サイマー・インコーポレーテッド | エキシマレーザ用のガス補充の方法と装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6048267U (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | 日本電気株式会社 | 炭酸ガスレ−ザ用ガス混合装置 |
-
1987
- 1987-10-08 JP JP1987154322U patent/JPH0731554Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0158968U (ja) | 1989-04-13 |
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