JPH07312481A - Manufacture of metal-coated glass epoxy resin board - Google Patents

Manufacture of metal-coated glass epoxy resin board

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JPH07312481A
JPH07312481A JP12825294A JP12825294A JPH07312481A JP H07312481 A JPH07312481 A JP H07312481A JP 12825294 A JP12825294 A JP 12825294A JP 12825294 A JP12825294 A JP 12825294A JP H07312481 A JPH07312481 A JP H07312481A
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JP
Japan
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epoxy resin
glass epoxy
metal
nickel
plating
Prior art date
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Application number
JP12825294A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Ogasawara
修一 小笠原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority to JP12825294A priority Critical patent/JPH07312481A/en
Publication of JPH07312481A publication Critical patent/JPH07312481A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide a method of manufacturing a glass epoxy resin board, which is necessary for forming a very microscopic circuit with good accuracy in the case where the board is used as an electronic component material, such as a printed-wiring board, and is formed with a metal-coated layer which is very thin and has a fully high-reliability adhesion. CONSTITUTION:In a process of manufacturing a metal-coated glass epoxy resin board of a constitution, wherein a plated film consisting of nickel, cobalt or each metal alloy of their metal alloys is formed on the surface of a glass epoxy resin board by an electroless plating, after the plated film consisting of the nickel, the cobalt or each metal alloy of their metal alloys is formed on the surface of the glass epoxy resin board by the electroless plating or after a copper plated film is further formed on the plated film, a heat treatment is performed on the board.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、微細な回路を有するプ
リント配線板用材料として適した金属被覆ガラスエポキ
シ樹脂基板の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a metal-coated glass epoxy resin substrate suitable as a material for a printed wiring board having a fine circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線板用の材料として用いられ
る銅張ガラスエポキシ樹脂基板は、ガラスクロスにエポ
キシ樹脂を含浸させたいわゆるガラスエポキシ樹脂板
と、接合面にあらかじめ接着剤を塗布した銅箔とを貼り
合わせる方法、あるいはガラスエポキシ樹脂にプリプレ
グと銅箔を熱圧着する方法等によって得られている。
2. Description of the Related Art A copper-clad glass epoxy resin substrate used as a material for a printed wiring board is a so-called glass epoxy resin plate in which glass cloth is impregnated with an epoxy resin, and a copper foil in which an adhesive is previously applied to a bonding surface. Or a method of thermocompression bonding a prepreg and a copper foil to a glass epoxy resin.

【0003】従来この種の銅張ガラスエポキシ樹脂積層
板の表面に形成する銅被覆層として用いられる銅箔はい
わゆる電解銅箔であり、通常その厚みは約35μmのも
のと約18μmのものが主流となっていた。またプリン
ト配線板における回路は銅張ガラスエポキシ樹脂基板に
おける銅箔における回路部以外の部分をエッチング処理
してその部分を溶解除去することによって得られている
が、このエッチング処理を行うに際しては形成される回
路部の側壁部も同時に溶解されるいわゆるサイドエッチ
ングを生じ、このサイドエッチングによる側壁部の溶解
は、被覆される銅箔の厚みが大きい程顕著に生じ、また
回路形状や回路形成位置によって一様にならないので、
寸法精度が正確で良好な形状の回路を形成することは極
めて困難であった。
Conventionally, the copper foil used as the copper coating layer formed on the surface of this type of copper-clad glass epoxy resin laminate is a so-called electrolytic copper foil, and the thickness thereof is usually about 35 μm and about 18 μm. It was. The circuit on the printed wiring board is obtained by etching a portion of the copper foil on the copper-clad glass epoxy resin substrate other than the circuit portion and dissolving and removing the portion. The side wall portion of the circuit portion that is also melted at the same time causes so-called side etching, and the side wall portion melted by this side etching becomes more remarkable as the thickness of the copper foil to be coated increases, and it also depends on the circuit shape and the circuit formation position. Because it doesn't look like
It was extremely difficult to form a circuit having a good dimensional accuracy and a good shape.

【0004】一方最近の電子機器の発達に伴って、プリ
ント配線板はテレビ、カメラ等の民生用機器類、コンピ
ューター等の産業機器類等に幅広く使用されるようにな
ってきたが、それにつれてより高密度な配線が要求され
るようになってきた。このような要求に対応するために
は、より薄い銅箔を用いて寸法精度よく銅張積層板を製
造することが要求され、最近では例えば9μm厚箔のよ
うなきわめて薄い電解銅箔を用いた銅張積層板が使用さ
れるようになってきた。
On the other hand, with the recent development of electronic equipment, printed wiring boards have come to be widely used for consumer equipment such as televisions and cameras, industrial equipment such as computers, and the like. High-density wiring has been required. In order to meet such requirements, it is required to manufacture a copper clad laminate using thinner copper foil with high dimensional accuracy, and recently, an extremely thin electrolytic copper foil such as a 9 μm thick foil has been used. Copper clad laminates have come into use.

【0005】上記したように厚さが9μmの電解銅箔を
用いることによって、かなり高密度な回路を有するプリ
ント配線板を得ることができるようになったが、厚さ9
μmの電解銅箔は、それ単独では機械強度が十分ではな
く取り扱いが困難であるためにアルミニウム箔を補強用
キャリアーとして銅箔に併せて用いなければならず、こ
のために銅張ガラスエポキシ樹脂基板に回路パターンを
形成するに際してアルミニウム箔をエッチングにより除
去する工程が必要となるために、工程的に複雑化する
し、経済的にも不利であった。
As described above, the use of the electrolytic copper foil having a thickness of 9 μm has made it possible to obtain a printed wiring board having a circuit with a considerably high density.
Since the electrolytic copper foil of μm has insufficient mechanical strength and is difficult to handle by itself, it is necessary to use the aluminum foil together with the copper foil as a reinforcing carrier. For this reason, the copper-clad glass epoxy resin substrate is used. Since the step of removing the aluminum foil by etching is required to form the circuit pattern on the above, the process becomes complicated and it is economically disadvantageous.

【0006】またさらに、配線板により微細な回路を精
度よく形成するためには、上記した薄さの電解銅箔を使
用しても未だ不十分であり、さらに一段と銅被覆層の薄
肉化を図ることが要望されている。
Furthermore, in order to accurately form a fine circuit on a wiring board, the use of the above-mentioned thin electrolytic copper foil is still insufficient, and the thickness of the copper coating layer is further reduced. Is required.

【0007】このような要望に応えるためにガラスエポ
キシ樹脂表面に無電解めっきにより薄膜の銅被覆を形成
する方法が検討された。一般に樹脂の表面に無電解めっ
きを形成するためには、樹脂をそのままの状態でめっき
処理を施しても、十分な密着性を有するめっき被膜の形
成が困難であるので、めっき処理に先立って樹脂表面を
化学的にエッチング処理して樹脂表面に親水基を形成し
たり、物理的手段により微細な凹凸面を形成するなどし
て、樹脂とめっき被膜の密着性の改善を図ることが行わ
れている。
In order to meet such a demand, a method of forming a thin copper coating on the surface of a glass epoxy resin by electroless plating has been studied. Generally, in order to form electroless plating on the surface of resin, it is difficult to form a plating film having sufficient adhesion even if the resin is subjected to plating treatment as it is. Chemically etching the surface to form hydrophilic groups on the resin surface or forming fine irregularities by physical means to improve the adhesion between the resin and the plating film. There is.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来の無電解めっき処理をガラスエポキシ樹脂
に適用しても密着性の十分な改善が認められず、さらに
密着強度の改善を図る手段として、N,N−ジメチルホ
ルムアミド等を用いてエッチング処理を施した場合にお
いても密着性のよいめっき被膜を均一に得ることが困難
であるばかりでなく、該N,N−ジメチルホルムアミド
等のようなガラスエポキシ樹脂のエッチングに効果があ
るような有機溶媒は人体に対してきわめて有害であるな
ど問題が多かった。
However, even if the above-mentioned conventional electroless plating treatment is applied to the glass epoxy resin, a sufficient improvement in the adhesion is not recognized, and as a means for further improving the adhesion strength. , N, N-dimethylformamide and the like, it is not only difficult to obtain a plated film with good adhesion even when it is subjected to an etching treatment, and glass such as N, N-dimethylformamide and the like There are many problems such as an organic solvent that is effective in etching an epoxy resin is extremely harmful to the human body.

【0009】上記したような問題点を解決するために発
明者らは、先にガラスエポキシ樹脂表面に無電解めっき
により予めニッケルまたはコバルトまたはこれらの金属
の合金によるめっき被膜を形成することによって密着性
に優れた金属被覆を有するガラスエポキシ樹脂基板を製
造する方法について提案した。そして該製造方法を採用
することによって、従来の銅張ガラスエポキシ樹脂基板
を用いた場合に比べプリント配線板の高密度配線化が可
能になった。しかしながら、最近の電子機器部品におけ
るさらなる高密度化の要求に伴って回路配線幅を一層狭
くすることが要求されており、基板と金属被覆との間の
密着性を上記の製造方法によって得られる基板よりもさ
らに高めることが要望されるようになった。
In order to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention first formed a plating film of nickel or cobalt or an alloy of these metals on the surface of the glass epoxy resin by electroless plating, thereby improving the adhesion. We have proposed a method for manufacturing glass epoxy resin substrates with excellent metal coating. Then, by adopting the manufacturing method, it becomes possible to realize high-density wiring of the printed wiring board as compared with the case of using the conventional copper clad glass epoxy resin substrate. However, with the recent demand for higher density in electronic device parts, it is required to further reduce the circuit wiring width, and the adhesion between the substrate and the metal coating is obtained by the above-mentioned manufacturing method. There has been a demand for further improvement.

【0010】本発明は、このような要望に応えるべくな
されたものであり、きわめて微細な回路を精度よく形成
するために必要な、きわめて薄く且つ十分に信頼性の高
い密着性を有する金属被覆層が形成されたガラスエポキ
シ樹脂基板を製造する方法を提供することを目的とする
ものである。
The present invention has been made in order to meet such a demand, and is a metal coating layer having an extremely thin and sufficiently reliable adhesion necessary for forming an extremely fine circuit with high accuracy. It is an object of the present invention to provide a method for producing a glass epoxy resin substrate on which is formed.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者は、前述した本
発明者による先の提案において、ガラスエポキシ樹脂基
板とその表面に無電解めっきにより形成されたニッケ
ル、またはコバルトまたはそれらの合金によるめっき被
膜を形成した場合における基板との密着性は、これらの
めっき被膜がガラスエポキシ樹脂表面における凹凸部に
おける凹部に食い込んで析出することによる物理的な結
合力、即ちアンカー効果によって得られるものであり、
密着性の良否はそのアンカー効果の良否によって大きく
左右されること、またアンカー効果による密着性の改善
効果は、めっき被膜に熱処理を加えることによってめっ
き被膜自体の機械的強度の向上を図ることによってさら
に高めることができることなどを見出し本発明を完成す
るに至った。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventor has proposed, in the above-mentioned previous proposal by the inventor, plating with a glass epoxy resin substrate and nickel or cobalt or an alloy thereof formed by electroless plating on the surface thereof. Adhesion with the substrate in the case of forming a coating is obtained by a physical bonding force by these plating coatings biting into the recesses in the irregularities on the glass epoxy resin surface and depositing, that is, the anchor effect,
The quality of the adhesion is greatly influenced by the quality of the anchor effect, and the effect of improving the adhesion by the anchor effect is further improved by improving the mechanical strength of the plating film itself by applying heat treatment to the plating film. The inventors have found that they can be increased and have completed the present invention.

【0012】即ち、本発明はガラスエポキシ樹脂表面に
無電解めっきによりニッケルまたはコバルトまたはこれ
らそれぞれの金属の合金によるめっき被膜が形成された
金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板を製造する工程におい
て、ガラスエポキシ樹脂表面に無電解めっきによりニッ
ケル、またはコバルト、またはそれぞれの金属の合金に
よるめっき被膜を形成した後、またはさらにその上に銅
めっき被膜を形成した後、基板に熱処理を施すことを特
徴とする金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板の製造方法で
ある。
That is, according to the present invention, in the process of producing a metal-coated glass epoxy resin substrate in which a plating film of nickel or cobalt or an alloy of these metals is formed on the glass epoxy resin surface by electroless plating, A metal-coated glass, characterized in that the substrate is heat-treated after forming a plating film of nickel, cobalt, or an alloy of the respective metals by electroless plating, or after further forming a copper plating film thereon. It is a manufacturing method of an epoxy resin substrate.

【0013】本発明において、無電解めっきにより形成
されるニッケルまたはコバルトまたはそれぞれの金属の
合金によるめっき被膜の厚みは、0.01μm以上であ
ることが好ましく、また基板に熱処理を施すに際しての
温度は70〜300℃の範囲にすることが好ましい。
In the present invention, the thickness of the plating film made of nickel or cobalt or an alloy of each metal formed by electroless plating is preferably 0.01 μm or more, and the temperature at which heat treatment is applied to the substrate is It is preferably in the range of 70 to 300 ° C.

【0014】[0014]

【作用】一般に、樹脂とその表面に形成されるめっき被
膜の密着性は、原子や分子間に生ずる化学的な結合力
と、双方の接合面が幾何学的に入り組むことによるアン
カー効果による物理的な結合力によるものに分類され
る。そして発明者が先に提案したガラスエポキシ樹脂表
面に先ず無電解めっきによりニッケル、またはコバル
ト、またはそれらの合金によりめっき被膜を形成させた
場合には、これらの金属は銅の場合に認められるような
柱状結晶の成長によるものと異なり、核発生が優先する
ために樹脂表面に存在する凹凸部における凹部から順次
析出が行われるために良好なアンカー効果を発揮させる
ことができ、めっき被膜の密着性を高めることができる
ことが分かった。しかしながら、このようなアンカー効
果による密着性の向上にも拘らず、時として被膜の剥離
が起こることがある。この原因の追及のために本発明者
の行った実験によれば、ガラスエポキシ樹脂からめっき
被膜を強制的に剥離させた場合に、剥離は樹脂表面と金
属めっき被膜との界面からは起こらずにめっき被膜自体
が破壊して起こること、つまりめっき被膜の密着力が高
くても、めっき被膜自体の機械的強度が低いときは、被
膜の剥離がめっき被膜層自体から起こり得ることが分か
った。従って、全く剥離の恐れのないめっき被膜を形成
するためにはめっき被膜層自体の機械的強度をさらに向
上させる必要があることが分かった。
[Function] Generally, the adhesion between the resin and the plating film formed on the surface of the resin is physically determined by the chemical bonding force generated between atoms and molecules and the anchor effect due to the geometrical interlocking of the bonding surfaces of both. It is categorized as one that is based on the specific binding force. And, when the inventors first formed a plating film on the glass epoxy resin surface by electroless plating with nickel, cobalt, or an alloy thereof, these metals are recognized as copper. Unlike the growth of columnar crystals, the nucleus generation is prioritized, so that the deposition is sequentially performed from the concave portions in the uneven portion present on the resin surface, so that it is possible to exert a good anchoring effect and to improve the adhesion of the plating film. It turns out that it can be increased. However, although the adhesion is improved by such an anchor effect, peeling of the coating sometimes occurs. According to an experiment conducted by the present inventors for the pursuit of this cause, when the plating coating is forcibly peeled from the glass epoxy resin, peeling does not occur from the interface between the resin surface and the metal plating coating. It was found that the plating film itself is destroyed, that is, the peeling of the film can occur from the plating film layer itself when the adhesion strength of the plating film is high but the mechanical strength of the plating film itself is low. Therefore, it was found that it is necessary to further improve the mechanical strength of the plating film layer itself in order to form a plating film that is completely free from peeling.

【0015】本発明者は、上記の問題について研究を行
った結果、ガラスエポキシ樹脂表面に、無電解めっきに
よりニッケル、またはコバルト、またはそれらの金属の
合金のめっき被覆を形成した後、またはその上にさらに
銅めっきを施した後、基板に対して適切な熱処理を施こ
すことによって、これらのめっき被膜自体の機械的強度
を改善し、密着性の向上を図ることに成功した。
The present inventor has conducted research on the above-mentioned problems, and as a result, after forming a plating coating of nickel, cobalt, or an alloy of these metals on the surface of a glass epoxy resin by electroless plating, or on it. We have succeeded in improving the mechanical strength of these plated coatings themselves and improving their adhesion by further subjecting the substrate to an appropriate heat treatment after copper plating.

【0016】本発明においてガラスエポキシ樹脂の表面
に施されるニッケル、またはコバルト、またはこれらの
金属の合金による無電解めっきには、公知の方法を適用
すればよく、この場合にニッケルとコバルトはそれぞれ
単体として析出させても、合金として析出させてもその
効果に変りはない。ガラスエポキシ樹脂上に析出させる
めっき被膜の厚さは0.01μm以上とすることが望ま
しい。厚みが0.01μm未満であるときは十分なアン
カー効果が得られず、密着性の改善を効果的に行うこと
はできない。またこの厚さをあまり厚くしてもアンカー
効果の改善には一定の限界があるのみならず、銅に比し
てニッケル、コバルトは電気伝導度が劣るので爾後の加
工により基板に導体回路を形成したときに導電性が低下
することになるので、その厚さは必要最小限に留めるこ
とが好ましく、例えば最終的な導体厚を5μmとすると
きには0.5μm程度以下にするのがよい。
In the present invention, a known method may be applied to the electroless plating with nickel or cobalt or an alloy of these metals applied to the surface of the glass epoxy resin. In this case, nickel and cobalt are respectively added. The effect is the same whether it is deposited as a simple substance or as an alloy. The thickness of the plating film deposited on the glass epoxy resin is preferably 0.01 μm or more. When the thickness is less than 0.01 μm, a sufficient anchoring effect cannot be obtained and the adhesion cannot be effectively improved. Also, even if this thickness is made too thick, there is a certain limit to the improvement of the anchor effect, and since nickel and cobalt have lower electrical conductivity than copper, a conductor circuit is formed on the substrate by subsequent processing. Since the conductivity will be reduced when this occurs, it is preferable to keep the thickness to the necessary minimum. For example, when the final conductor thickness is 5 μm, it is preferably about 0.5 μm or less.

【0017】本発明においてニッケルまたはコバルトあ
るいはこれらの合金のめっき被膜を形成したガラスエポ
キシ樹脂基板上には、さらに銅めっきを施すことによっ
て導体形成が行われる。この場合において銅めっきは無
電解めっきによって行ってもよいし、電気めっきにより
行ってもよい。そしてこれらの銅めっきも常法により行
って差し支えない。そして、このようにして得られたガ
ラスエポキシ樹脂基板に形成される導体厚は、特に限定
されることはないが、例えば基板をセミアディティブ用
基板として用いる場合には、1〜5μm程度の厚さが適
当である。勿論本発明によって得られた基板上に従来の
銅張ガラスエポキシ樹脂基板と同様に導体厚18μm乃
至は35μmの基板を得ることもできることは云うまで
もないことである。
In the present invention, a conductor is formed by further copper plating on the glass epoxy resin substrate on which the plating film of nickel, cobalt or their alloy is formed. In this case, the copper plating may be performed by electroless plating or electroplating. The copper plating may be carried out by the usual method. The conductor thickness formed on the glass epoxy resin substrate thus obtained is not particularly limited. For example, when the substrate is used as a semi-additive substrate, the thickness is about 1 to 5 μm. Is appropriate. Of course, it goes without saying that a substrate having a conductor thickness of 18 μm to 35 μm can be obtained on the substrate obtained by the present invention similarly to the conventional copper clad glass epoxy resin substrate.

【0018】本発明において、基板に対して行う熱処理
の温度は70〜300℃の範囲であることが好ましい。
熱処理温度が70℃未満であるときは、たとえ熱処理時
間を長くしても上記したニッケル、またはコバルト、ま
たはこれらの金属の合金によるめっき被膜における機械
的強度の改善の効果は乏しい。一方熱処理温度が300
℃を超えるとエポキシ樹脂が変質して機械的性質に悪影
響を及ぼすようになる危険性がある。熱処理時間は、熱
処理時間、めっき被膜の組成や厚さ、エポキシ樹脂の表
面状態等により変動するので一概に限定できず、予め適
当な範囲を求めておく必要がある。そしてこれらの熱処
理は、ガラスエポキシ樹脂表面に無電解めっきによるニ
ッケル、またはコバルト、またはこれらの金属の合金に
よるめっき被膜を施した後に行った場合においても、こ
れにさらに銅めっきを施した後に行った場合において
も、その効果に殆ど変りはない。
In the present invention, the temperature of the heat treatment applied to the substrate is preferably in the range of 70 to 300 ° C.
When the heat treatment temperature is lower than 70 ° C., the effect of improving the mechanical strength of the plated coating by nickel, cobalt, or an alloy of these metals is poor even if the heat treatment time is extended. On the other hand, the heat treatment temperature is 300
If the temperature exceeds ℃, there is a risk that the epoxy resin will deteriorate and adversely affect the mechanical properties. The heat treatment time varies depending on the heat treatment time, the composition and thickness of the plating film, the surface condition of the epoxy resin, etc., and therefore cannot be unconditionally limited, and it is necessary to determine an appropriate range in advance. And, even when these heat treatments are performed after applying a plating film of nickel, cobalt, or an alloy of these metals to the glass epoxy resin surface by electroless plating, it is performed after further copper plating Even in some cases, the effect is almost unchanged.

【0019】[0019]

【実施例】次に本発明の実施例について説明する。 実施例1 長さ1m、幅1m、厚さ1.0mmのガラスエポキシ樹
脂表面にマット処理によりRa.0.3μm、Rma
x.1μmの微細な凹凸を形成し、エチルアルコールで
洗浄し、水洗した後、奥野製薬社製「OPC−80 キ
ャタリストM」を用い、25℃で5分間露出したエポキ
シ樹脂表面に触媒付与処理を行い水洗した後、奥野製薬
社製「OPC−555 アクセレーター」を用いて25
℃で7分間の促進処理を行い水洗した。
EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described. Example 1 Ra. 0.3 μm, Rma
x. After forming fine irregularities of 1 μm, washing with ethyl alcohol, and washing with water, using “OPC-80 Catalyst M” manufactured by Okuno Seiyaku Co., Ltd., a catalyst application treatment was performed on the exposed epoxy resin surface at 25 ° C. for 5 minutes. After washing with water, use Okuno Seiyaku's "OPC-555 Accelerator" to remove 25
After accelerating treatment for 7 minutes at ℃, it was washed with water.

【0020】以上の処理を行った後、硫酸ニッケル6水
和物0.1モル/リットル、グリシン0.3モル/リッ
トル、ホスフィン酸ナトリウム1水和物0.3モル/リ
ットルを含む無電解めっき液を用い、めっき液のpHを
7に設定して、50℃で1分間無電解めっきを行い、ガ
ラスエポキシ樹脂の表面に厚さ0.05μmの均一なニ
ッケル・リン合金めっき被膜(ニッケル組成95%)を
形成した。
After the above treatment, electroless plating containing nickel sulfate hexahydrate 0.1 mol / liter, glycine 0.3 mol / liter, and sodium phosphinate monohydrate 0.3 mol / liter. Solution, the pH of the plating solution is set to 7, and electroless plating is performed at 50 ° C. for 1 minute to form a uniform 0.05 μm thick nickel-phosphorus alloy plating film (nickel composition 95 on the surface of the glass epoxy resin). %) Was formed.

【0021】次に、得られた基板を150℃に設定した
加熱炉において30分間保持する熱処理を行った。以上
の処理によって、ガラスエポキシ樹脂表面に厚さ0.0
5μmのニッケル・リンめっき被膜を有する金属被覆ガ
ラスエポキシ樹脂基板が得られた。
Next, the obtained substrate was heat-treated by holding it in a heating furnace set at 150 ° C. for 30 minutes. By the above treatment, the thickness of the glass epoxy resin surface is 0.0
A metal-coated glass epoxy resin substrate having a nickel / phosphorus plating film of 5 μm was obtained.

【0022】得られた金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板
における金属被覆の密着強度を「JIS C−648
1」に従って測定したところ、その値は1.6kgf/
cmであり、その密着性は十分に満足し得るものであっ
た。 実施例2 実施例1において、ガラスエポキシ樹脂表面に無電解ニ
ッケルめっきを施す代りに、塩化コバルト6水和物0.
1モル/リットル、クエン酸3ナトリウム2水和物0.
3モル/リットル、ホスフィン酸ナトリウム1水和物
0.3モル/リットルを含む無電解めっき液を用い、め
っき液のpHを9に設定し、90℃で1分間無電解めっ
きを用い、ガラスエポキシ樹脂の表面に厚さ0.01μ
mのコバルト・リン合金めっき被膜(コバルト組成93
%)を形成し、基板に対する熱処理を70℃に設定した
加熱炉において3時間保持することにより行った以外は
実施例1と同様の手順で金属被覆ガラスエポキジ樹脂基
板を得た。
The adhesion strength of the metal coating on the obtained metal-coated glass epoxy resin substrate was measured according to JIS C-648.
1 ", the value is 1.6 kgf /
cm, and the adhesiveness was sufficiently satisfactory. Example 2 Instead of performing electroless nickel plating on the surface of the glass epoxy resin in Example 1, cobalt chloride hexahydrate 0.
1 mol / liter, trisodium citrate dihydrate 0.
Using an electroless plating solution containing 3 mol / liter and 0.3 mol / liter of sodium phosphinate monohydrate, the pH of the plating solution is set to 9, and electroless plating is performed at 90 ° C. for 1 minute to obtain a glass epoxy. 0.01μ thick on the surface of resin
m cobalt-phosphorus alloy plating film (cobalt composition 93
%) Was formed and the heat treatment for the substrate was performed by holding the substrate in a heating furnace set at 70 ° C. for 3 hours to obtain a metal-coated glass epoxy resin substrate in the same procedure as in Example 1.

【0023】得られた金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板
における被膜の密着を「JIS C−6481」に従っ
て測定したところ、その値は1.4kgf/cmであ
り、その密着性は十分に満足し得るものであった。 実施例3 実施例1において、ガラスエポキシ樹脂表面に無電解ニ
ッケルめっきを施す代りに、硫酸ニッケル6水和物0.
1モル/リットル、硫酸銅5水和物0.1モル/リット
ル、クエン酸3ナトリウム2水和物0.3モル/リット
ル、ホスフィン酸ナトリウム1水和物0.3モル/リッ
トルを含む無電解めっき液を用い、めっき液のpHを9
に設定し、60℃で10分間無電解めっきを行い、ガラ
スエポキシ樹脂の表面に厚さ2μmの銅・ニッケル合金
めっき被膜(銅:ニッケル:リンの組成比50:45:
5)を形成し、基板に対する熱処理を300℃に設定し
た加熱炉において2分間保持して行った以外は実施例1
と同様の手順で金属被覆ガラスエポキジ樹脂基板を得
た。
The adhesion of the coating on the obtained metal-coated glass epoxy resin substrate was measured according to "JIS C-6481", and the value was 1.4 kgf / cm, and the adhesion was sufficiently satisfactory. there were. Example 3 In Example 1, instead of performing electroless nickel plating on the glass epoxy resin surface, nickel sulfate hexahydrate 0.
Electroless containing 1 mol / l, copper sulfate pentahydrate 0.1 mol / l, trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / l, sodium phosphinate monohydrate 0.3 mol / l Use a plating solution and adjust the pH of the plating solution to 9
And electroless plating for 10 minutes at 60 ° C., and a copper / nickel alloy plating film (copper: nickel: phosphorus composition ratio 50:45:
Example 5 except that 5) was formed and the heat treatment for the substrate was carried out by holding it in a heating furnace set at 300 ° C. for 2 minutes.
A metal-coated glass epoxy resin substrate was obtained by the same procedure as described above.

【0024】得られた金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板
における金属被膜の密着強度を「JIS C−648
1」に従って測定したところ、その値は1.4kgf/
cmであり、その密着性は十分に満足し得るものであっ
た。 実施例4 実施例1において得られた無電解ニッケル・リン合金め
っき被膜上に、さらに硫酸銅5水和物80グラム/リッ
トルおよび180グラム/リットルを含む電気めっき液
を用い、含リン銅を陽極とし、空気攪拌およびカソード
ロッカーを行いながら、陰極電流密度3A/dm、温
度23℃で10分間の電気銅めっきを行い、ニッケル・
リン被膜上に5μmの銅被膜を形成した金属被覆ガラス
エポキシ基板を得た。
The adhesion strength of the metal coating on the obtained metal-coated glass epoxy resin substrate was measured according to "JIS C-648".
The value was 1.4 kgf /
cm, and the adhesiveness was sufficiently satisfactory. Example 4 On the electroless nickel-phosphorus alloy plating film obtained in Example 1, an electroplating solution further containing 80 g / l and 180 g / l of copper sulfate pentahydrate was used, and phosphorus-containing copper was anodized. Then, while performing air stirring and cathode locker, electrolytic copper plating was performed for 10 minutes at a cathode current density of 3 A / dm 2 and a temperature of 23 ° C. to obtain nickel.
A metal-coated glass epoxy substrate having a copper coating of 5 μm formed on the phosphorus coating was obtained.

【0025】得られた金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板
における金属被膜の密着強度を「JIS C−648
1」に従って測定したところ、その値は1.6kgf/
cmであり、その密着性は十分に満足し得るものであっ
た。 比較例1 実施例1において、無電解ニッケルめっき被膜形成後の
基板の熱処理を60℃に設定した加熱炉に24時間保持
することによって行った以外は、実施例1と同様の手順
で金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板を得た。
The adhesion strength of the metal coating on the obtained metal-coated glass epoxy resin substrate was measured according to JIS C-648.
1 ", the value is 1.6 kgf /
cm, and the adhesiveness was sufficiently satisfactory. Comparative Example 1 Metal-coated glass was prepared in the same procedure as in Example 1 except that the heat treatment of the substrate after the electroless nickel plating film formation was carried out by holding it in a heating furnace set at 60 ° C. for 24 hours. An epoxy resin substrate was obtained.

【0026】得られた金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板
における金属被膜の密着強度を「JIS C−648
1」に従って測定したところ、その値は1.2kgf/
cmであり、この程度の値では十分信頼性のある密着強
度を有するものとは云えなかった。 比較例2 実施例1において、無電解ニッケルめっき被膜形成後の
基板の熱処理を310℃に設定した加熱炉に1分間保持
することによって行った以外は、実施例1と同様の手順
で金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板を得た。
The adhesion strength of the metal coating on the obtained metal-coated glass epoxy resin substrate was measured according to JIS C-648.
1 ”, the value is 1.2 kgf /
Since it is cm, it cannot be said that the adhesive strength is sufficiently reliable at a value of this level. Comparative Example 2 Metal-coated glass was prepared in the same procedure as in Example 1 except that the heat treatment of the substrate after the formation of the electroless nickel plating film was carried out by holding the substrate in a heating furnace set at 310 ° C. for 1 minute. An epoxy resin substrate was obtained.

【0027】得られた金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板
における金属被膜の密着強度を「JIS C−648
1」に従って測定したところ1.6kgf/cmの値が
得られたが、エポキシ樹脂が変色し、この基板を電子部
品材料として用いることはできない。 比較例3 実施例1において、無電解ニッケルめっき時間を45秒
とすることによって、ガラスエポキシ樹脂表面に厚さ
0.005μmのニッケル・リン合金被膜(ニッケル組
成95%)を形成した以外は実施例1と同様の手順で金
属被覆ガラスエポキシ樹脂基板を得た。
The adhesion strength of the metal coating on the obtained metal-coated glass epoxy resin substrate was measured according to "JIS C-648".
The value of 1.6 kgf / cm was obtained when measured according to "1", but the epoxy resin was discolored and this substrate cannot be used as a material for electronic parts. Comparative Example 3 An example except that a nickel-phosphorus alloy coating (nickel composition 95%) having a thickness of 0.005 μm was formed on the glass epoxy resin surface by setting the electroless nickel plating time to 45 seconds in Comparative Example 3. A metal-coated glass epoxy resin substrate was obtained by the same procedure as in 1.

【0028】得られた金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板
における金属被膜の密着強度を「JIS C−648
1」に従って測定したところ、その値は1.2kgf/
cmであり、十分信頼性のある密着強度を有する金属被
覆ガラスエポキシ樹脂基板が得られなかった。
The adhesion strength of the metal coating on the obtained metal-coated glass epoxy resin substrate was measured according to "JIS C-648".
1 ”, the value is 1.2 kgf /
cm, and a metal-coated glass epoxy resin substrate having sufficiently reliable adhesion strength could not be obtained.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上述べたように、本発明の方法による
ときは、ガラスエポキシ樹脂表面に従来困難であったき
わめて薄く、且つ密着性において十分に信頼性のおける
金属被覆を有する金属被覆ガラスエポキシ基板を得るこ
とができるので、この基板を用いることによってごく微
細な回路を有する高密度プリント配線板等の電子部品を
有利に得ることができ、その効果は大きい。
As described above, according to the method of the present invention, a metal-coated glass epoxy having a metal coating on the surface of the glass epoxy resin, which has been extremely difficult in the past and has an extremely thin and sufficiently reliable adhesion, is obtained. Since a substrate can be obtained, an electronic component such as a high-density printed wiring board having a very fine circuit can be advantageously obtained by using this substrate, and the effect is great.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラスエポキシ樹脂表面に無電解めっき
により、ニッケル、またはコバルト、またはそれぞれこ
れらの金属の合金によるめっき被膜が形成された金属被
覆ガラスエポキシ樹脂基板を製造する工程において、ガ
ラスエポキシ樹脂表面に無電解めっきにより、ニッケ
ル、または、コバルトまたはそれぞれの金属の合金によ
るめっき被膜を形成した後、基板に熱処理を施すことを
特徴とする金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板の製造方
法。
1. A process for producing a metal-coated glass epoxy resin substrate in which a plating film made of nickel, cobalt, or an alloy of these metals is formed by electroless plating on the surface of the glass epoxy resin. A method for producing a metal-coated glass epoxy resin substrate, which comprises subjecting a substrate to heat treatment after forming a plating film of nickel, cobalt, or an alloy of respective metals by electroless plating.
【請求項2】 前記無電解めっきによるめっき被膜の上
に更に銅めっき被膜を形成した請求項1記載の金属被覆
ガラスエポキシ樹脂基板の製造方法。
2. The method for producing a metal-coated glass epoxy resin substrate according to claim 1, wherein a copper plating film is further formed on the plating film formed by the electroless plating.
【請求項3】 無電解めっきにより形成されるニッケ
ル、またはコバルト、またはこれらの金属の合金による
めっき被膜の厚みは、0.01μm以上である請求項1
又は2記載の金属被覆ガラスエポキシ樹脂基板の製造方
法。
3. The thickness of the plating film made of nickel, cobalt, or an alloy of these metals formed by electroless plating is 0.01 μm or more.
Alternatively, the method for producing a metal-coated glass epoxy resin substrate according to the above item 2.
【請求項4】 基板に施す熱処理は、70〜300℃の
温度範囲で行う請求項1乃至3のいずれか1項記載の金
属被覆ガラスエポキシ樹脂基板の製造方法。
4. The method for producing a metal-coated glass epoxy resin substrate according to claim 1, wherein the heat treatment applied to the substrate is performed in a temperature range of 70 to 300 ° C.
JP12825294A 1994-05-18 1994-05-18 Manufacture of metal-coated glass epoxy resin board Pending JPH07312481A (en)

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