JPH07301604A - 化学発光式窒素酸化物測定装置 - Google Patents
化学発光式窒素酸化物測定装置Info
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- JPH07301604A JPH07301604A JP11423594A JP11423594A JPH07301604A JP H07301604 A JPH07301604 A JP H07301604A JP 11423594 A JP11423594 A JP 11423594A JP 11423594 A JP11423594 A JP 11423594A JP H07301604 A JPH07301604 A JP H07301604A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成でＣＯ2濃度を測定して化学発光
強度を補正する。 【構成】 良熱伝導性材質の反応槽本体２２の外面には
温度調節用のヒータ３０が配置され、反応槽２の温度は
４０〜６０度の範囲の一定温度に調節される。試料ガス
流路４及びオゾン流路６は反応槽部分では反応槽本体２
２と同じ良熱伝導性の材質で構成されており、反応槽部
分の試料ガス流路４には流量が調節された試料ガスが供
給される。試料ガス流路４の中心に測温素子３４が設け
られており、試料ガス流路４内の一定点の内部温度を測
定することによりＣＯ2ガス濃度が求められる。
強度を補正する。 【構成】 良熱伝導性材質の反応槽本体２２の外面には
温度調節用のヒータ３０が配置され、反応槽２の温度は
４０〜６０度の範囲の一定温度に調節される。試料ガス
流路４及びオゾン流路６は反応槽部分では反応槽本体２
２と同じ良熱伝導性の材質で構成されており、反応槽部
分の試料ガス流路４には流量が調節された試料ガスが供
給される。試料ガス流路４の中心に測温素子３４が設け
られており、試料ガス流路４内の一定点の内部温度を測
定することによりＣＯ2ガス濃度が求められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は発電プラントなどの煙道
排ガスや自動車の排ガス中に含まれる窒素酸化物を測定
する化学発光式窒素酸化物測定装置に関するものであ
る。
排ガスや自動車の排ガス中に含まれる窒素酸化物を測定
する化学発光式窒素酸化物測定装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来の化学発光式窒素酸化物測定
装置を概略的に表わしたものである。反応槽２には試料
ガス流路４とオゾン流路６が接続されており、試料ガス
流路４からは試料ガス中の窒素酸化物が全てＮＯにされ
た試料ガスがポンプ８により吸引され、キャピラリー１
０を経て供給される。１２は試料ガス流路４の圧力を一
定にして流量を調節するための背圧調節弁である。反応
槽２ではＮＯとオゾンが気相反応することにより化学発
光を生じ、その発光強度が光電子増倍管やフォトダイオ
ードなどの光検出器１４により検出される。
装置を概略的に表わしたものである。反応槽２には試料
ガス流路４とオゾン流路６が接続されており、試料ガス
流路４からは試料ガス中の窒素酸化物が全てＮＯにされ
た試料ガスがポンプ８により吸引され、キャピラリー１
０を経て供給される。１２は試料ガス流路４の圧力を一
定にして流量を調節するための背圧調節弁である。反応
槽２ではＮＯとオゾンが気相反応することにより化学発
光を生じ、その発光強度が光電子増倍管やフォトダイオ
ードなどの光検出器１４により検出される。
【０００３】燃焼排ガスや自動車の排ガスなどにはＣＯ
2ガスが％オーダーで含まれており、化学発光式窒素酸
化物測定装置ではこのＣＯ2ガスが反応槽における励起
窒素酸化物のエネルギーを奪うことによる化学発光消光
作用が本質的に存在する。この消光作用を低減するため
には、反応槽内での圧力を低くするか又は試料ガスを希
釈することにより、ＣＯ2と励起窒素酸化物との衝突頻
度を減らす必要がある。
2ガスが％オーダーで含まれており、化学発光式窒素酸
化物測定装置ではこのＣＯ2ガスが反応槽における励起
窒素酸化物のエネルギーを奪うことによる化学発光消光
作用が本質的に存在する。この消光作用を低減するため
には、反応槽内での圧力を低くするか又は試料ガスを希
釈することにより、ＣＯ2と励起窒素酸化物との衝突頻
度を減らす必要がある。
【０００４】消光作用自体を低減する方法として、試料
ガス流路に圧力調節式の流量調節機構を設け、試料ガス
流量を変化させている。この場合、試料ガスの粘性によ
る圧力損失を生じるキャピラリーやオリフィスなどを微
調節することが必要であるだけでなく、ＣＯ2以外にも
粘性を変化させるガスが存在する場合にはその影響も受
ける。試料ガスを希釈する方法は、検出感度が低下して
低濃度の窒素酸化物測定が難しくなる。他の方法ではＣ
Ｏ2センサを別途設けて試料ガス中のＣＯ2濃度を測定
し、そのＣＯ2濃度測定値に応じて化学発光強度を補正
している。
ガス流路に圧力調節式の流量調節機構を設け、試料ガス
流量を変化させている。この場合、試料ガスの粘性によ
る圧力損失を生じるキャピラリーやオリフィスなどを微
調節することが必要であるだけでなく、ＣＯ2以外にも
粘性を変化させるガスが存在する場合にはその影響も受
ける。試料ガスを希釈する方法は、検出感度が低下して
低濃度の窒素酸化物測定が難しくなる。他の方法ではＣ
Ｏ2センサを別途設けて試料ガス中のＣＯ2濃度を測定
し、そのＣＯ2濃度測定値に応じて化学発光強度を補正
している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のようにＣＯ2セ
ンサを別途設けた場合にはその分だけ装置が高価にな
る。本発明はＣＯ2濃度を測定して化学発光強度を補正
する手段を採用するものであるが、簡単な構成でＣＯ2
濃度を測定できるようにすることを目的とするものであ
る。
ンサを別途設けた場合にはその分だけ装置が高価にな
る。本発明はＣＯ2濃度を測定して化学発光強度を補正
する手段を採用するものであるが、簡単な構成でＣＯ2
濃度を測定できるようにすることを目的とするものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、反応槽に試
料ガスを供給する試料ガス流路に圧力調節式流量制御器
を備え、反応槽には温度を一定に調節する温度調節手段
を備え、前記流量制御器の下流側で流路の壁温が前記温
度調節手段により一定温度とされている部分の前記試料
ガス流路内の試料ガス温度を検出する位置に測温素子を
備え、この測温素子による検出温度から試料ガス中のＣ
Ｏ2ガス濃度を算出し、化学発光強度に及ぼすＣＯ2ガス
の消光効果を補正する。
料ガスを供給する試料ガス流路に圧力調節式流量制御器
を備え、反応槽には温度を一定に調節する温度調節手段
を備え、前記流量制御器の下流側で流路の壁温が前記温
度調節手段により一定温度とされている部分の前記試料
ガス流路内の試料ガス温度を検出する位置に測温素子を
備え、この測温素子による検出温度から試料ガス中のＣ
Ｏ2ガス濃度を算出し、化学発光強度に及ぼすＣＯ2ガス
の消光効果を補正する。
【０００７】熱線風速計、熱伝導度式流量計、ＴＣＤ検
出器などは内部に発熱源と測温部の２つのサーミスタを
有し、流量一定下で熱伝導度を測定するか又は熱伝導度
一定（すなわちガス組成一定）下で流量又は流速を測定
している。本発明が対象とする化学発光式窒素酸化物測
定装置では、化学発光検出指示値の温度変化による影響
を減らすために、反応槽の温度が一定になるように温度
調節を行なっている。また試料ガス流路の流量も一定に
なるように調節されている。そこで、試料ガス流路中の
一定点の測温により試料ガスの熱伝導度を検知し、ＣＯ
2ガス濃度を求める。
出器などは内部に発熱源と測温部の２つのサーミスタを
有し、流量一定下で熱伝導度を測定するか又は熱伝導度
一定（すなわちガス組成一定）下で流量又は流速を測定
している。本発明が対象とする化学発光式窒素酸化物測
定装置では、化学発光検出指示値の温度変化による影響
を減らすために、反応槽の温度が一定になるように温度
調節を行なっている。また試料ガス流路の流量も一定に
なるように調節されている。そこで、試料ガス流路中の
一定点の測温により試料ガスの熱伝導度を検知し、ＣＯ
2ガス濃度を求める。
【０００８】
【作用】図２は試料ガス流路をモデル的に示したもので
ある。試料ガスの流れを層流とすると、その温度分布は
次の式により与えられる。 Ｔ−Ｔｃ ＝(1/α)(∂T/∂x)(u0r0 2/4){(r/r0)2-(r/r0)4/4} こごで、Ｔは試料ガス流路の中心から任意の位置での温
度、Ｔｃは試料ガス流路の中心での温度、ｘは試料ガス
の流れの方向、ｕ0は試料ガスの流量、ｒ0は流路の内
径、ｒは試料ガス流路の中心から測温点までの距離であ
る。また、 １／α＝ρ・Ｃｐ／ｋ であり、ρは密度、Ｃｐは比熱、ｋは熱伝導度である。
ある。試料ガスの流れを層流とすると、その温度分布は
次の式により与えられる。 Ｔ−Ｔｃ ＝(1/α)(∂T/∂x)(u0r0 2/4){(r/r0)2-(r/r0)4/4} こごで、Ｔは試料ガス流路の中心から任意の位置での温
度、Ｔｃは試料ガス流路の中心での温度、ｘは試料ガス
の流れの方向、ｕ0は試料ガスの流量、ｒ0は流路の内
径、ｒは試料ガス流路の中心から測温点までの距離であ
る。また、 １／α＝ρ・Ｃｐ／ｋ であり、ρは密度、Ｃｐは比熱、ｋは熱伝導度である。
【０００９】試料ガス流路の半径方向の温度分布は１／
αに依存する。純粋なＣＯ2ガスと純粋なＮ2ガスやＯ2
ガスとでは１／αの値は２倍近く異なるため、本発明で
流路の壁温が反応槽の温度調節手段により一定にされ、
かつ試料ガスの流速ｕ0が流量制御器により一定にされ
ているので、壁温と管路中の一定点との温度差はガスの
種類によって定まる。
αに依存する。純粋なＣＯ2ガスと純粋なＮ2ガスやＯ2
ガスとでは１／αの値は２倍近く異なるため、本発明で
流路の壁温が反応槽の温度調節手段により一定にされ、
かつ試料ガスの流速ｕ0が流量制御器により一定にされ
ているので、壁温と管路中の一定点との温度差はガスの
種類によって定まる。
【００１０】また、混合ガスの熱伝導度ｋmixは ｋmix＝Σｘi・ｋi （ｘiはモル分率） で近似され、またρ・Ｃｐもガス濃度に依存するので、
試料ガス流路内の一定点と壁温との温度差を測定するこ
とによりＣＯ2ガス濃度が求められる。本発明では壁温
が一定であるので、試料ガス流路内の一定点の内部温度
を測定することによりＣＯ2ガス濃度が求められる。Ｃ
Ｏ2ガス濃度を精度よく求めるに、ＣＯ2濃度が既知又は
ＣＯ2に代る濃度既知のガスを使用して測温素子による
温度測定を行ない、検量線を作成しておく。
試料ガス流路内の一定点と壁温との温度差を測定するこ
とによりＣＯ2ガス濃度が求められる。本発明では壁温
が一定であるので、試料ガス流路内の一定点の内部温度
を測定することによりＣＯ2ガス濃度が求められる。Ｃ
Ｏ2ガス濃度を精度よく求めるに、ＣＯ2濃度が既知又は
ＣＯ2に代る濃度既知のガスを使用して測温素子による
温度測定を行ない、検量線を作成しておく。
【００１１】
【実施例】図３は一実施例を表わしたものである。図１
と同様に、反応槽２には試料ガス流路４とオゾン流路６
が接続されており、試料ガス流路４からは試料ガス中の
窒素酸化物が全てＮＯにされた試料ガスがポンプ８によ
り吸引され、キャピラリー１０を経て供給される。ポン
プ８とキャピラリー１０の間には試料ガス流路４の圧力
を一定にして流量を調節する背圧調節弁１２が設けられ
ている。反応槽２ではＮＯとオゾンが気相反応すること
により化学発光を生じ、その発光強度が光電子増倍管や
フォトダイオードなどの光検出器１４により検出され
る。本実施例では、試料ガス流路４で反応槽２の部分に
本発明でのＣＯ2測定部２０が設けられている。
と同様に、反応槽２には試料ガス流路４とオゾン流路６
が接続されており、試料ガス流路４からは試料ガス中の
窒素酸化物が全てＮＯにされた試料ガスがポンプ８によ
り吸引され、キャピラリー１０を経て供給される。ポン
プ８とキャピラリー１０の間には試料ガス流路４の圧力
を一定にして流量を調節する背圧調節弁１２が設けられ
ている。反応槽２ではＮＯとオゾンが気相反応すること
により化学発光を生じ、その発光強度が光電子増倍管や
フォトダイオードなどの光検出器１４により検出され
る。本実施例では、試料ガス流路４で反応槽２の部分に
本発明でのＣＯ2測定部２０が設けられている。
【００１２】図４（Ａ）に一実施例の反応槽２を詳細に
示す。良熱伝導性材質の反応槽本体２２の開口が透明ガ
ラス板２４で閉じられ、ガラス板２４と本体２２の間に
は気密封止のためのＯリング２６が介在している。本体
２２にはガラス面２４に平行に試料ガス流路４とオゾン
流路６がそれぞれの出口が互いに対向するように配置さ
れている。反応槽本体２２のガラス面と反対側の面には
排気孔２８が設けられている。本体２２の外面には温度
調節用のヒータ３０が配置され、本体２２の外側は断熱
材３２で囲まれている。反応槽２の温度は４０〜６０度
の範囲の一定温度に調節される。試料ガス流路４及びオ
ゾン流路６は反応槽部分では反応槽本体２２と同じ良熱
伝導性の材質で構成されている。反応槽部分の試料ガス
流路４には流量が調節された試料ガスが供給される。
示す。良熱伝導性材質の反応槽本体２２の開口が透明ガ
ラス板２４で閉じられ、ガラス板２４と本体２２の間に
は気密封止のためのＯリング２６が介在している。本体
２２にはガラス面２４に平行に試料ガス流路４とオゾン
流路６がそれぞれの出口が互いに対向するように配置さ
れている。反応槽本体２２のガラス面と反対側の面には
排気孔２８が設けられている。本体２２の外面には温度
調節用のヒータ３０が配置され、本体２２の外側は断熱
材３２で囲まれている。反応槽２の温度は４０〜６０度
の範囲の一定温度に調節される。試料ガス流路４及びオ
ゾン流路６は反応槽部分では反応槽本体２２と同じ良熱
伝導性の材質で構成されている。反応槽部分の試料ガス
流路４には流量が調節された試料ガスが供給される。
【００１３】図４（Ｂ）は（Ａ）中の試料ガス流路４の
うち、鎖線で囲まれた部分を拡大して示したものであ
り、試料ガス流路４の中心に測温素子３４が設けられて
いる。測温素子としてはサーミスタ（測温抵抗体）、熱
電対、測温用ＩＣのいずれでもよいが、測温素子は接ガ
ス部に配置されることから、サーミスタやＩＣの場合に
は耐食性処理を行なう必要がある。測温素子３４は反応
槽内部の試料ガス流路内に設置しているが、壁温と試料
ガス温度との温度差が検知できる個所であれば必ずしも
反応槽内部に限らない。
うち、鎖線で囲まれた部分を拡大して示したものであ
り、試料ガス流路４の中心に測温素子３４が設けられて
いる。測温素子としてはサーミスタ（測温抵抗体）、熱
電対、測温用ＩＣのいずれでもよいが、測温素子は接ガ
ス部に配置されることから、サーミスタやＩＣの場合に
は耐食性処理を行なう必要がある。測温素子３４は反応
槽内部の試料ガス流路内に設置しているが、壁温と試料
ガス温度との温度差が検知できる個所であれば必ずしも
反応槽内部に限らない。
【００１４】本発明は見方を変えると、圧力調節式流量
制御器により流量を一定に制御し、熱伝導度式流量計を
組合せて熱伝導式流量計の指示差により両者の特性の差
からＣＯ2濃度を求めるものであるが、その他の態様と
して、反応槽２の温度調節機構を利用した熱伝導度式流
量制御器により流量を一定に制御し、オリフィス（絞り
部）のガス通路の差圧力検出流量計とを組み合せて差圧
検出流量計の指示差によりＣＯ2濃度を求めてもよい。
つまり現在の圧力若しくは熱伝導式流量計は圧力のみあ
るいは熱伝導度のみにより流量検出を行なっているた
め、圧力制御の場合は熱伝導度の変化、熱伝導度制御の
場合には圧力の変化を検出できない。ガス成分中のＣＯ
2濃度が変化した場合には、粘性の変化の仕方と熱伝導
度の変化の仕方が異なるので、その両検出原理の指示差
からＣＯ2濃度が検出可能である。
制御器により流量を一定に制御し、熱伝導度式流量計を
組合せて熱伝導式流量計の指示差により両者の特性の差
からＣＯ2濃度を求めるものであるが、その他の態様と
して、反応槽２の温度調節機構を利用した熱伝導度式流
量制御器により流量を一定に制御し、オリフィス（絞り
部）のガス通路の差圧力検出流量計とを組み合せて差圧
検出流量計の指示差によりＣＯ2濃度を求めてもよい。
つまり現在の圧力若しくは熱伝導式流量計は圧力のみあ
るいは熱伝導度のみにより流量検出を行なっているた
め、圧力制御の場合は熱伝導度の変化、熱伝導度制御の
場合には圧力の変化を検出できない。ガス成分中のＣＯ
2濃度が変化した場合には、粘性の変化の仕方と熱伝導
度の変化の仕方が異なるので、その両検出原理の指示差
からＣＯ2濃度が検出可能である。
【００１５】ＣＯ2測定部を備えているので、ＣＯ2測定
部の校正のために一般には２本の標準ガス流路が必要に
なる。しかし、好ましい実施例としては、ＣＯ2ガス濃
度が既知の基準ガスを用いる代りに、露点温度が一定で
一定水分を含んだ空気を基準ガスとして代用することに
よりＣＯ2測定部の校正を簡易的に行なうようにする。
その実施例を図５に示す。
部の校正のために一般には２本の標準ガス流路が必要に
なる。しかし、好ましい実施例としては、ＣＯ2ガス濃
度が既知の基準ガスを用いる代りに、露点温度が一定で
一定水分を含んだ空気を基準ガスとして代用することに
よりＣＯ2測定部の校正を簡易的に行なうようにする。
その実施例を図５に示す。
【００１６】図５で、ＮＯｘ計４０は図３及び図４に示
した窒素酸化物測定装置であり、その試料ガス流路にＣ
Ｏ2測定部の校正ガス流路を接続したものである。試料
ガス中の窒素酸化物がＮＯに変換された後の試料ガスが
供給される試料ガス流路４２と、試料ガス中の水分を一
定濃度にする電子式冷却器４４の間に四方コック４６が
設けられており、四方コック４６にはフィルタ４８を介
して空気を取り込む空気流路５０と、ＮＯｘ計４０を校
正するための一定濃度のＮＯを含んだスパンガス流路５
２が接続されている。電子式冷却器４４と試料用ポンプ
８の間には三方コック５４が設けられており、三方コッ
ク５４にはＮＯｘ計４０を校正するためのゼロガス流路
５６が接続されている。三方コック５４とポンプ８の間
には圧力変動を抑制するためにオーバーフローライン５
８が接続され、電子式冷却器４４のドレインライン６０
と合流して排気される。
した窒素酸化物測定装置であり、その試料ガス流路にＣ
Ｏ2測定部の校正ガス流路を接続したものである。試料
ガス中の窒素酸化物がＮＯに変換された後の試料ガスが
供給される試料ガス流路４２と、試料ガス中の水分を一
定濃度にする電子式冷却器４４の間に四方コック４６が
設けられており、四方コック４６にはフィルタ４８を介
して空気を取り込む空気流路５０と、ＮＯｘ計４０を校
正するための一定濃度のＮＯを含んだスパンガス流路５
２が接続されている。電子式冷却器４４と試料用ポンプ
８の間には三方コック５４が設けられており、三方コッ
ク５４にはＮＯｘ計４０を校正するためのゼロガス流路
５６が接続されている。三方コック５４とポンプ８の間
には圧力変動を抑制するためにオーバーフローライン５
８が接続され、電子式冷却器４４のドレインライン６０
と合流して排気される。
【００１７】スパンガスは窒素中にＮＯを一定濃度含ん
だガスであり、ゼロガスはＮＯを含んでいない窒素ガス
である。いずれも水分は含んでいない。空気を冷却器４
４に通すと、一定露点に保持されて除湿が行なわれる。
ＮＯｘ計４０を校正するために使用するスパンガス５２
は窒素中にＰＰＭオーダのＮＯを含んだものであるが、
熱伝導度の観点からはＮＯの影響を無視してＮ2ガスと
考えてもよいので、冷却器４４を通ったＨ2Ｏ含有ガス
とスパンガスとを基準ガスとしてＣＯ2の校正を行な
う。ここでは熱伝導度の比率のみが問題であり、ＣＯ2
自体で校正する代りにＨ2Ｏで校正し、Ｈ2ＯとＣＯ2の
熱伝導度の比を用いてＣＯ2濃度の校正とする。Ｈ2Ｏと
ＣＯ2のＣＯ2測定部による指示値の差を予め求めてお
き、それを係数として保持しておけばよい。
だガスであり、ゼロガスはＮＯを含んでいない窒素ガス
である。いずれも水分は含んでいない。空気を冷却器４
４に通すと、一定露点に保持されて除湿が行なわれる。
ＮＯｘ計４０を校正するために使用するスパンガス５２
は窒素中にＰＰＭオーダのＮＯを含んだものであるが、
熱伝導度の観点からはＮＯの影響を無視してＮ2ガスと
考えてもよいので、冷却器４４を通ったＨ2Ｏ含有ガス
とスパンガスとを基準ガスとしてＣＯ2の校正を行な
う。ここでは熱伝導度の比率のみが問題であり、ＣＯ2
自体で校正する代りにＨ2Ｏで校正し、Ｈ2ＯとＣＯ2の
熱伝導度の比を用いてＣＯ2濃度の校正とする。Ｈ2Ｏと
ＣＯ2のＣＯ2測定部による指示値の差を予め求めてお
き、それを係数として保持しておけばよい。
【００１８】流量が一定のもとで流入ガスの熱伝導度を
測定すると、検出されるのは１／αの差であり、ガスの
種類による選択性はない。したがって、１０体積％程度
のＣＯ2を含む煙道排ガス中や自動車の排ガス中に存在
するＣＯ2濃度を検出するには、１０体積％のＣＯ2を含
むガスと同程度のαをもつガスを基準ガスとしてＣＯ2
測定部を校正すればよい。
測定すると、検出されるのは１／αの差であり、ガスの
種類による選択性はない。したがって、１０体積％程度
のＣＯ2を含む煙道排ガス中や自動車の排ガス中に存在
するＣＯ2濃度を検出するには、１０体積％のＣＯ2を含
むガスと同程度のαをもつガスを基準ガスとしてＣＯ2
測定部を校正すればよい。
【００１９】図５の実施例の動作について説明する。Ｃ
Ｏ2測定部を校正する際には、四方コック４６を空気を
流入する位置に切り換え、冷却器４４で一定露点に保っ
た空気をＮＯｘ計４０へ導く。冷却器４４は例えば２℃
に保たれているとすれば、その空気中のＨ2Ｏ濃度は約
０.７％になる。一方、ゼロ校正の際には四方コック４
６を切り換えてスパンガスを導くか、又は三方コック５
４を切り換えてゼロガスをＮＯｘ計４０へ導く。スパン
ガス及びゼロガス中にはＨ2Ｏは含まれていない。
Ｏ2測定部を校正する際には、四方コック４６を空気を
流入する位置に切り換え、冷却器４４で一定露点に保っ
た空気をＮＯｘ計４０へ導く。冷却器４４は例えば２℃
に保たれているとすれば、その空気中のＨ2Ｏ濃度は約
０.７％になる。一方、ゼロ校正の際には四方コック４
６を切り換えてスパンガスを導くか、又は三方コック５
４を切り換えてゼロガスをＮＯｘ計４０へ導く。スパン
ガス及びゼロガス中にはＨ2Ｏは含まれていない。
【００２０】冷却器４４として電子式冷却器を使用した
が、パーマピュアドライヤや分離膜（中空膜）を使用し
てもよい。ＣＯ2測定部の校正手順は、この窒素酸化物
測定装置の一連の動作の中にシーケンスとして組み込ん
でおき、窒素酸化物測定装置の自動校正システムに含め
ておいてもよい。本発明の他の態様としては以下のもの
がある。 （１）前記測温素子による検出温度から試料ガス中のＣ
Ｏ2ガス濃度を算出する際のＣＯ2ガス濃度の基準ガスと
して、露点温度が一定で一定水分を含んだ空気を用い
る。これによれば、ＣＯ2測定部の校正のために標準ガ
ス流路を別途設ける必要がなくなり、ＣＯ2測定部の構
成が簡単になる。
が、パーマピュアドライヤや分離膜（中空膜）を使用し
てもよい。ＣＯ2測定部の校正手順は、この窒素酸化物
測定装置の一連の動作の中にシーケンスとして組み込ん
でおき、窒素酸化物測定装置の自動校正システムに含め
ておいてもよい。本発明の他の態様としては以下のもの
がある。 （１）前記測温素子による検出温度から試料ガス中のＣ
Ｏ2ガス濃度を算出する際のＣＯ2ガス濃度の基準ガスと
して、露点温度が一定で一定水分を含んだ空気を用い
る。これによれば、ＣＯ2測定部の校正のために標準ガ
ス流路を別途設ける必要がなくなり、ＣＯ2測定部の構
成が簡単になる。
【００２１】
【発明の効果】本発明では、試料ガス流路中の一定点の
測温により試料ガスの熱伝導度を検知し、ＣＯ2ガス濃
度を求め、そのＣＯ2ガス濃度測定値を用いて化学発光
強度を補正するようにしたので、別途ＣＯ2センサを設
けたものと比べると装置コストを低減することができ
る。
測温により試料ガスの熱伝導度を検知し、ＣＯ2ガス濃
度を求め、そのＣＯ2ガス濃度測定値を用いて化学発光
強度を補正するようにしたので、別途ＣＯ2センサを設
けたものと比べると装置コストを低減することができ
る。
【図１】従来の窒素酸化物測定装置を示す概略構成図で
ある。
ある。
【図２】本発明を説明するための試料ガス流路を概略的
に示した図である。
に示した図である。
【図３】一実施例を示す概略構成図である。
【図４】（Ａ）は同実施例における反応槽を示す断面図
であり、（Ｂ）は同反応槽における試料ガス中に配置し
た測温素子を示す断面図である。
であり、（Ｂ）は同反応槽における試料ガス中に配置し
た測温素子を示す断面図である。
【図５】他の実施例において窒素ガス測定装置の試料ガ
ス流路にＣＯ2測定部の校正ガス流路を備えたものを示
す流路図である。
ス流路にＣＯ2測定部の校正ガス流路を備えたものを示
す流路図である。
２ 反応槽 ４ 試料ガス流路 ６ オゾン流路 ２０ ＣＯ2測定部 ３４ 測温素子
Claims (1)
- 【請求項１】 試料ガス中の窒素酸化物とオゾンとを気
相反応させ、その化学発光強度を検出する反応槽を有す
る化学発光式窒素酸化物測定装置において、 反応槽に試料ガスを供給する試料ガス流路には圧力調節
式流量制御器を備え、反応槽には温度を一定に調節する
温度調節手段を備え、前記流量制御器の下流側で流路の
壁温が前記温度調節手段により一定温度とされている部
分の前記試料ガス流路内の試料ガス温度を検出する位置
に測温素子を備え、この測温素子による検出温度から試
料ガス中のＣＯ2ガス濃度を算出し、化学発光強度に及
ぼすＣＯ2ガスの消光効果を補正するようにしたことを
特徴とする化学発光式窒素酸化物測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11423594A JPH07301604A (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | 化学発光式窒素酸化物測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11423594A JPH07301604A (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | 化学発光式窒素酸化物測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07301604A true JPH07301604A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14632649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11423594A Pending JPH07301604A (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | 化学発光式窒素酸化物測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07301604A (ja) |
-
1994
- 1994-04-30 JP JP11423594A patent/JPH07301604A/ja active Pending
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