JPH07298647A - Electrostatic actuator driver - Google Patents
Electrostatic actuator driverInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、静電アクチュエータの
電極に供給する電流を制御することにより、電極に所望
の電荷を供給し、また、所望の電圧を発生させるため
の、静電アクチュエータ駆動装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic actuator drive for supplying a desired electric charge to an electrode and generating a desired voltage by controlling a current supplied to the electrode of the electrostatic actuator. It relates to the device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】本願の発明者等によって、多相交流を電
源とする静電気力により駆動される静電アクチュエータ
が提案された（特開平６−７８５６６号参照）。図１０
はかかる従来の静電アクチュエータの一部破断概略斜視
図、図１１はその静電アクチュエータの一例を示す構成
図である。2. Description of the Related Art The inventors of the present application have proposed an electrostatic actuator driven by electrostatic force using a polyphase alternating current as a power source (see Japanese Patent Laid-Open No. 6-78566). Figure 10
FIG. 11 is a partially cutaway schematic perspective view of such a conventional electrostatic actuator, and FIG. 11 is a configuration diagram showing an example of the electrostatic actuator.
【０００３】図１０に示すように、固定子１には絶縁体
２に帯状電極３が埋め込まれている。移動子５にも、固
定子１と同様に、絶縁体６に電極７が埋め込まれてい
る。固定子１の帯状電極３及び移動子５の電極７には、
３相交流電圧８，９が印加される。図１１に示すよう
に、固定子１１の絶縁体１２に埋め込まれる電極１３及
び移動子１５の絶縁体１６に埋め込まれる電極１７は、
それぞれ３相出力のインバータ回路１８に接続され、静
電気力により移動子１５は駆動される。As shown in FIG. 10, the stator 1 has a strip-shaped electrode 3 embedded in an insulator 2. Similarly to the stator 1, the mover 5 also has an electrode 7 embedded in the insulator 6. For the strip-shaped electrode 3 of the stator 1 and the electrode 7 of the mover 5,
Three-phase AC voltages 8 and 9 are applied. As shown in FIG. 11, the electrode 13 embedded in the insulator 12 of the stator 11 and the electrode 17 embedded in the insulator 16 of the mover 15 are
Each of them is connected to an inverter circuit 18 which outputs three phases, and the mover 15 is driven by electrostatic force.
【０００４】本願の発明者は、このような容量性負荷を
有する静電アクチュエータ駆動装置（駆動回路）へ適合
する回路構成について研究を重ねてきた。ところで、従
来の電流形電力変換器は、主たる目的として誘導形負荷
に対して電圧形電力変換器による電流供給方法におい
て、電圧波形がパルス状になるためそれによる電流波形
の歪みを軽減するために、誘導負荷と電力変換器の間に
容量負荷を挿入し、誘導負荷に印加される電圧波形の歪
みを低減させるものである。The inventor of the present application has conducted extensive research on a circuit configuration suitable for an electrostatic actuator drive device (drive circuit) having such a capacitive load. By the way, the conventional current source power converter is mainly intended to reduce the distortion of the current waveform due to the pulse waveform of the voltage waveform in the current supply method using the voltage source power converter for the inductive load. By inserting a capacitive load between the inductive load and the power converter, distortion of the voltage waveform applied to the inductive load is reduced.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の電流形電力変換器において、第１の従来技術
〔「ソフトウェアによる電流形インバータのＰＷＭパタ
ーン発生法」福岡大学工学集報，第４５号，ｐｐ. ２１
９〜２２７，１９９０参照〕では、３相電流形電力変換
器において、主たるスイッチング素子３組と補助のスイ
ッチング素子１組を持つ構成において、スイッチング素
子を駆動するためのスイッチング波形の生成で、上下の
スイッチング素子のスイッチング指令がゼロの時に補助
のスイッチング素子を駆動し、負荷に発生する電圧波形
の歪みを低減するようにしている。However, in the above-described conventional current source power converter, the first conventional technique [“Software-based PWM pattern generation method of current source inverter”, Fukuoka University Engineering Bulletin, No. 45, pp. 21
9-227, 1990], in a three-phase current source power converter having three main switching elements and one auxiliary switching element, switching waveforms for driving the switching elements are generated. When the switching command of the switching element is zero, the auxiliary switching element is driven to reduce the distortion of the voltage waveform generated in the load.
【０００６】このような構成では、補助のスイッチング
素子が必要となり、それに伴う駆動回路の増加等が懸念
される。また、第２の従来技術（Ｍ．Ｎａｋａｚａｔ
ｏ，ｅｔ．ａｌ「Ｈｉｇｈ−Ｓｐｅｅｄ Ｅｌｅｖａｔ
ｏｒｓ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ ｂｙ Ｓｉｎｕｓｏｉ
ｄａｌ Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｓｏｕｒｃｅ Ｉｎｖｅｒｔ
ｅｒｓ」Ｒｅｃ．ＩＥＥＥ，Ｐｏｗｅｒ Ｅｌｅｃｔｒ
ｏｎ Ｓｐｅｃ，Ｃｏｎｆ．，１９８７，ｐｐ. ６６０
〜６６６参照）では、零ベクトルを上下アームともオフ
にすることにより対応しており、電流源からみて、電流
が遮断されるモードが存在し、電流源に悪影響を及ぼ
す。In such a structure, an auxiliary switching element is required, and there is a concern that the number of drive circuits will increase accordingly. In addition, the second conventional technique (M. Nakazat
o, et. al "High-Speed Elevat
ors Controlled by Sinusoi
dal Current Source Invert
ers ”Rec. IEEE, Power Electr
on Spec, Conf. , 1987, pp. 660.
.. 666), the zero vector is turned off for both the upper and lower arms, and there is a mode in which the current is cut off as seen from the current source, which adversely affects the current source.
【０００７】更に、第３の従来技術（大山・他「誘導機
用電流形インバータのＰＷＭ制御法」電気学会論文誌
Ｂ，Ｖｏｌ．１０５，Ｎｏ．１１，１９８５，ｐｐ. ２
１９〜２２７参照）では、キャリア波形と比較する電流
指令として、電流指令と位相の異なる信号が要求される
ため、波形が予め予想できない任意波形の電流指令には
対応することは困難である。Furthermore, the third prior art (Oyama et al., "PWM control method of current source inverter for induction machine", IEEJ Transactions B, Vol. 105, No. 11, 1985, pp. 2
19 to 227), a signal having a phase different from that of the current command is required as a current command to be compared with the carrier waveform, and thus it is difficult to deal with a current command having an arbitrary waveform whose waveform cannot be predicted in advance.
【０００８】本発明は、上記問題点を解決するために、
電流指令に対して、直接ＰＷＭを実行することにより、
予め予想できない任意の電流指令にも対応でき、かつ電
流源から負荷を見た場合、電流が遮断されることなく、
ＰＷＭ制御された電流によって負荷に発生する電圧波形
の歪みを低減し、しかも簡便な回路構成にて実現させる
ことができる静電アクチュエータ駆動装置を提供するこ
とを目的とする。In order to solve the above problems, the present invention provides
By directly executing PWM for the current command,
It can correspond to any current command that cannot be predicted in advance, and when the load is seen from the current source, the current is not interrupted,
An object of the present invention is to provide an electrostatic actuator drive device that can reduce distortion of a voltage waveform generated in a load due to a PWM-controlled current and that can be realized with a simple circuit configuration.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、静電アクチュエータ駆動装置において、
直流電流源と、前記直流電流源に接続され、出力電流を
制御するスイッチング素子と、前記スイッチング素子に
直列に接続される逆流阻止用ダイオードと、前記スイッ
チング素子を駆動する駆動回路と、前記駆動回路へ供給
する制御パルスを発生するパルス幅変調装置とを有し、
前記パルス幅変調装置は、複数のキャリア信号を発生す
る装置と、電流指令値の符号判別装置と、電流指令値と
前記キャリア信号を比較する比較装置と、前記符号判別
装置の出力に基づき、前記比較装置の出力を選択する装
置とを具備し、電流指令値に対応した密度のパルス状電
流を出力することにより、静電アクチュエータに対し、
所望の電荷を供給し、また、それにより所望の電圧を発
生させるようにしたものである。In order to achieve the above object, the present invention provides an electrostatic actuator driving device,
A direct current source, a switching element connected to the direct current source and controlling an output current, a reverse current blocking diode connected in series to the switching element, a drive circuit for driving the switching element, and the drive circuit A pulse width modulator that generates a control pulse to be supplied to
The pulse width modulation device, a device for generating a plurality of carrier signals, a sign discriminating device of the current command value, a comparison device for comparing the current command value and the carrier signal, based on the output of the sign discriminating device, With a device for selecting the output of the comparison device, by outputting a pulsed current of a density corresponding to the current command value, to the electrostatic actuator,
A desired charge is supplied and a desired voltage is thereby generated.
【００１０】[0010]
【作用】本発明によれば、上記のように構成したので、
容量性負荷からなる静電アクチュエータに対して、電流
指令に対応したパルス状の電流波形が入力され、その容
量性負荷には所望の電圧が発生することになり、回路構
成としては、補助的なスイッチング素子は必要とせず
に、しかも電流源に対して電流を遮断することなく、電
流のスイッチングが実行されるため、負荷電圧波形の歪
みが低減される。According to the present invention, since it is configured as described above,
A pulsed current waveform corresponding to a current command is input to the electrostatic actuator composed of a capacitive load, and a desired voltage is generated in the capacitive load. Current switching is performed without the need for a switching element and without interrupting the current to the current source, thus reducing distortion of the load voltage waveform.
【００１１】したがって、容量性負荷からなる静電アク
チュエータを、正確に、しかも確実に駆動させることが
できる。Therefore, the electrostatic actuator composed of the capacitive load can be driven accurately and surely.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら詳細に説明する。図１は本発明の実施例を示す静電
アクチュエータ駆動装置（第１の態様及び第２の態様）
の構成図、図２はその静電アクチュエータ駆動装置の第
１の態様の動作タイミングチャートである。つまり、電
流指令からのモード生成とキャリア波形の選択方法及び
ＰＷＭスイッチング波形と電流波形の関係を示す図であ
り、図２（ａ）は電流指令の波形図、図２（ｂ）は電流
指令値Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ*の符号を示す図、図２
（ｃ）は電流指令値Ｉａ* とキャリア波形を示す図、図
２（ｄ）は電流指令値Ｉｂ* とキャリア波形を示す図、
図２（ｅ）は電流指令値Ｉｃ* とキャリア波形を示す
図、図２（ｆ）はスイッチング素子Ｔｒａｈの駆動回路
へ送られるＰＷＭ波形図、図２（ｇ）はスイッチング素
子Ｔｒａｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図２
（ｈ）はスイッチング素子Ｔｒｂｈの駆動回路へ送られ
るＰＷＭ波形図、図２（ｉ）はスイッチング素子Ｔｒｂ
ｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図２（ｊ）はス
イッチング素子Ｔｒｃｈの駆動回路へ送られるＰＷＭ波
形図、図２（ｋ）はスイッチング素子Ｔｒｃｌの駆動回
路へ送られるＰＷＭ波形図、図２（ｌ）は容量性負荷に
供給される電流Ｉａの波形図、図２（ｍ）は容量性負荷
に供給される電流Ｉｂの波形図、図２（ｎ）は容量性負
荷に供給される電流Ｉｃの波形図である。Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an electrostatic actuator drive device according to an embodiment of the present invention (first mode and second mode).
FIG. 2 is an operation timing chart of the first mode of the electrostatic actuator driving device. That is, it is a diagram showing a mode generation from a current command, a method of selecting a carrier waveform, and a relationship between a PWM switching waveform and a current waveform. FIG. 2A is a waveform diagram of the current command, and FIG. 2B is a current command value. The figure which shows the code | symbol of Ia * , Ib * , and Ic * , FIG.
(C) is a diagram showing a current command value Ia * and a carrier waveform, and FIG. 2 (d) is a diagram showing a current command value Ib * and a carrier waveform.
2 (e) is a diagram showing the current command value Ic * and the carrier waveform, FIG. 2 (f) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trah, and FIG. 2 (g) is a drive circuit of the switching element Tral. PWM waveform diagram sent, Figure 2
(H) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trbh, and FIG. 2 (i) is the switching element Trb.
2 (j) is a PWM waveform diagram sent to the driving circuit of the switching element Trch, FIG. 2 (j) is a PWM waveform diagram sent to the driving circuit of the switching element Trch, and FIG. 2 (k) is a PWM waveform diagram sent to the driving circuit of the switching element Trcl. 2 (l) is a waveform diagram of the current Ia supplied to the capacitive load, FIG. 2 (m) is a waveform diagram of the current Ib supplied to the capacitive load, and FIG. 2 (n) is supplied to the capacitive load. It is a wave form diagram of current Ic.
【００１３】図１に示すように、２１はモードを選択す
るパルス波とＰＷＭ波形から実際にトランジスタを駆動
させるスイッチング波形を選択するための論理回路、２
２は直流電流源、２３は静電アクチュエータ（容量性負
荷）、Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ * は電流指令値、Ｋｒｙ１
は第１のキャリア波形、Ｋｒｙ２は第２のキャリア波形
（反転キャリア波形）、ｃｐ１〜ｃｐ３はモード生成パ
ルス用比較器（符号判別装置）、つまり、電流指令値か
ら一周期を６つの区分に分割するためのパルス波を寄生
するゼロクロス比較器、ｃｐ４〜ｃｐ９は電流指令値と
キャリア波形を比較してＰＷＭ波形を生成させるＰＷＭ
用比較器（比較装置）、ｏｐ１は反転キャリア波形（Ｋ
ｒｙ２）を生成するためのＫｒｙ２生成用反転増幅器で
ある。As shown in FIG. 1, reference numeral 21 designates a mode.
Driving the transistor from the pulse wave and PWM waveform
A logic circuit for selecting a switching waveform to be caused, 2
2 is a direct current source, 23 is an electrostatic actuator (capacitive negative
Load), Ia*, Ib*, Ic *Is the current command value, Kry1
Is the first carrier waveform and Kry2 is the second carrier waveform
(Inverted carrier waveform), cp1 to cp3 are mode generation patterns
Rousse comparator (sign discriminator), that is, current command value
Parasitic pulse wave to divide one cycle into 6 sections
Zero cross comparator, cp4 to cp9
PWM to generate PWM waveforms by comparing carrier waveforms
Comparator (comparator), op1 is an inverted carrier waveform (K
ry2) inversion amplifier for generating Kry2
is there.
【００１４】また、Ｒ1 〜Ｒ11は抵抗、ＶCCは電源電
圧、Ｔｒａｈ，Ｔｒｂｈ，Ｔｒｃｈ，Ｔｒａｌ，Ｔｒｂ
ｌ，Ｔｒｃｌはスイッチング素子としてのトランジス
タ、Ｄ１〜Ｄ６は直流電流源への逆流を阻止するための
逆流阻止用ダイオード、Ｄｒｖはスイッチング素子駆動
回路である。図に示すように、電流指令値Ｉａ* ，Ｉｂ
* ，Ｉｃ* 〔図２（ａ）参照〕とキャリア波形〔図２
（ｃ），（ｄ），（ｅ）参照〕とを比較し、パルス幅を
変調し、その信号ＡＨ，ＡＬ，ＢＨ，ＢＬ，ＣＨ，ＣＬ
〔図２（ｆ），（ｇ），（ｈ），（ｉ），（ｊ），
（ｋ）参照〕をもとに、スイッチング素子としてのトラ
ンジスタＴｒａｈ，Ｔｒｂｈ，Ｔｒｃｈ，Ｔｒａｌ，Ｔ
ｒｂｌ，Ｔｒｃｌを駆動させる構成において、電流指令
値Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* の符号から電流指令の状態を
６つのモードに分割する〔図２（ｂ）参照〕。この６つ
のモードにより、変調すべき電流指令と、キャリア波形
を選択し、ＰＷＭを実行する。Further, R 1 to R 11 are resistors, V CC is a power source voltage, Trah, Trbh, Trch, Tral, Trb.
l and Trcl are transistors as switching elements, D1 to D6 are backflow blocking diodes for blocking backflow to the DC current source, and Drv is a switching element drive circuit. As shown in the figure, the current command values Ia * , Ib
* , Ic * [see Fig. 2 (a)] and carrier waveform [Fig. 2
(See (c), (d), (e)], the pulse width is modulated, and the signals AH, AL, BH, BL, CH, CL are compared.
[FIG. 2 (f), (g), (h), (i), (j),
(K)], the transistors Trah, Trbh, Trch, Tral, and T serving as switching elements
In the configuration for driving rbl and Trcl, the state of the current command is divided into six modes based on the signs of the current command values Ia * , Ib * , Ic * (see FIG. 2 (b)). According to these six modes, the current command to be modulated and the carrier waveform are selected and PWM is executed.
【００１５】キャリア波形は三角波または鋸歯状波を使
用する。キャリア波形の一周期の間に、容量性負荷２３
に２通りの経路によって電流を流す期間と、容量性負荷
２３に電流を流さずに、上下のスイッチング素子を短絡
する期間の、計３種の期間を生成する。それらの期間の
配置の方法には、次の４通りが考えられる。例として、
各電流指令値が（Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* ）＝（＋，
−，＋）であるモードＩの場合、負荷の端子Ｙａから負
荷の端子Ｙｂへ電流を流す時間をＴａ、負荷の端子Ｙｃ
から負荷の端子Ｙｂへ電流を流す時間をＴｃ、短絡時間
をＴｂとすると、 （第１の態様）Ｔｃ，Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｂ，Ｔａ，Ｔｃ
（図４参照） （第２の態様）Ｔｃ，Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，Ｔａ，Ｔｂ
（図５参照） （第３の態様）Ｔｃ，Ｔｂ，Ｔａ，Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ
（図８参照） （第４の態様）Ｔｃ，Ｔｂ，Ｔａ，Ｔｃ，Ｔｂ，Ｔａ
（図９参照） の組み合わせが考えられる。As the carrier waveform, a triangular wave or a sawtooth wave is used. During one cycle of the carrier waveform, the capacitive load 23
There are three types of periods, that is, a period in which a current flows through two paths and a period in which the upper and lower switching elements are short-circuited without flowing a current through the capacitive load 23. There are four possible ways of arranging these periods. As an example,
Each current command value is (Ia * , Ib * , Ic * ) = (+,
In the case of mode I which is −, +), the time for which a current is passed from the load terminal Ya to the load terminal Yb is Ta, and the load terminal Yc is
When the time for flowing a current from the load to the terminal Yb of the load is Tc and the short-circuit time is Tb, (first mode) Tc, Ta, Tb, Tb, Ta, Tc
(See FIG. 4) (Second mode) Tc, Ta, Tb, Tc, Ta, Tb
(See FIG. 5) (Third aspect) Tc, Tb, Ta, Ta, Tb, Tc
(See FIG. 8) (Fourth aspect) Tc, Tb, Ta, Tc, Tb, Ta
(See FIG. 9).
【００１６】〔Ａ〕上記第１の態様と第２の態様のＰＷ
Ｍ実行方法について説明する。電流指令値が正のとき
は、正のキャリア波形を、電流指令値が負のときは、負
のキャリア波形を使用する。各区間の電流指令値の状態
は、Ｉａ* ＋Ｉｂ* ＋Ｉｃ* ＝０がいつも成り立ってい
るので、各電流指令値の正負の関係は（＋，＋，−）、
（＋，−，−）のいずれかの状態になっており、各モー
ドでは電流指令値が必ず、正の値のものが２つで負の値
のものが１つか、正の値のものが１つで負の値のものが
２つかのいずれかの組み合わせになっている。[A] PW of the first and second aspects
The M execution method will be described. A positive carrier waveform is used when the current command value is positive, and a negative carrier waveform is used when the current command value is negative. Since the state of the current command value in each section is always Ia * + Ib * + Ic * = 0, the positive / negative relationship between the current command values is (+, +,-),
It is in one of the (+,-,-) states, and in each mode, the current command value must be two with positive values, one with negative values, or one with positive values. One negative value is a combination of two.
【００１７】第１あるいは第２の態様では、電流指令値
のうち、同符号のもののいずれか１つと、符号が異なる
ものの、計２チャンネルの信号を選択する。選択された
２個の指令値を用いてＰＷＭを行い、それぞれの入力チ
ャンネルに対応した出力スイッチのスイッチング波形を
生成する。選択されなかったチャンネルのスイッチング
波形は、他の２チャンネルのスイッチング波形を用いて
生成する。In the first or second mode, a signal of two channels in total is selected, although the current command value has a sign different from any one of the current command values having the same sign. PWM is performed using the two selected command values to generate the switching waveform of the output switch corresponding to each input channel. The switching waveforms of the unselected channels are generated using the switching waveforms of the other two channels.
【００１８】例えば、モードＩ〔（Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉ
ｃ* ）＝（＋，−，＋）〕の場合、選択しうる波形は
（Ｉａ* ，Ｉｂ* ）または（Ｉｂ* ，Ｉｃ* ）となる。
この２種類のいずれでも波形発生は可能であるが、全体
のバランスを考慮し、６個のモードに対し、各電流指令
値が正の時２回、負の時２回の計４回選択されるようす
る。ここでは、モードＩの時、（Ｉｂ* ，Ｉｃ* ）を選
択する。For example, mode I [(Ia * , Ib * , I
When c * ) = (+,-, +)], the selectable waveforms are (Ia * , Ib * ) or (Ib * , Ic * ).
Waveforms can be generated with either of these two types, but considering the overall balance, a total of 4 modes are selected for each of the 6 modes: 2 times when each current command value is positive and 2 times when it is negative. To do. Here, in the mode I, (Ib * , Ic * ) is selected.
【００１９】次に、図３は本発明の実施例を示す静電ア
クチュエータ駆動装置の第２の態様の動作タイミングチ
ャートであり、電流指令からのモード生成とキャリア波
形の選択方法を示している。上記第１の態様では、キャ
リア波形を三角波としたが、この第２の態様では、図３
に示すように、キャリア波形を鋸歯状波とするようにし
ている。Next, FIG. 3 is an operation timing chart of the second mode of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention, showing a mode generation from a current command and a carrier waveform selection method. In the first mode, the carrier waveform is a triangular wave, but in the second mode, the carrier wave shown in FIG.
As shown in, the carrier waveform is a sawtooth wave.
【００２０】図４は本発明の実施例を示す静電アクチュ
エータ駆動装置の第１の態様の電流指令とＰＷＭスイッ
チング波形と電流の関係を示す図であり、図４（ａ）は
電流指令値Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* とキャリア波形を示
す図、図４（ｂ）はスイッチング素子Ｔｒａｈの駆動回
路へ送られるＰＷＭ波形図、図４（ｃ）はスイッチング
素子Ｔｒａｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図４
（ｄ）はスイッチング素子Ｔｒｂｈの駆動回路へ送られ
るＰＷＭ波形図、図４（ｅ）はスイッチング素子Ｔｒｂ
ｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図４（ｆ）はス
イッチング素子Ｔｒｃｈの駆動回路へ送られるＰＷＭ波
形図、図４（ｇ）はスイッチング素子Ｔｒｃｌの駆動回
路へ送られるＰＷＭ波形図、図４（ｈ）は容量性負荷に
供給される電流Ｉａの波形図、図４（ｉ）は容量性負荷
に供給される電流Ｉｂの波形図、図４（ｊ）は容量性負
荷に供給される電流Ｉｃの波形図である。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the current command, the PWM switching waveform, and the current in the first mode of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 4A shows the current command value Ia. * , Ib * , Ic * and carrier waveforms, FIG. 4B is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trah, and FIG. 4C is a PWM waveform sent to the drive circuit of the switching element Tral. Figure, Figure 4
4D is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trbh, and FIG. 4E is the switching element Trb.
4 is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trch, FIG. 4 (f) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trch, and FIG. 4 (g) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trcl. 4 (h) is a waveform diagram of the current Ia supplied to the capacitive load, FIG. 4 (i) is a waveform diagram of the current Ib supplied to the capacitive load, and FIG. 4 (j) is supplied to the capacitive load. It is a wave form diagram of current Ic.
【００２１】また、図５は本発明の実施例を示す静電ア
クチュエータ駆動装置の第２の態様の電流指令とＰＷＭ
スイッチング波形と電流の関係を示す図であり、図５
（ａ）は電流指令値Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* とキャリア
波形を示す図、図５（ｂ）はスイッチング素子Ｔｒａｈ
の駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図５（ｃ）はスイ
ッチング素子Ｔｒａｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形
図、図５（ｄ）はスイッチング素子Ｔｒｂｈの駆動回路
へ送られるＰＷＭ波形図、図５（ｅ）はスイッチング素
子Ｔｒｂｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図５
（ｆ）はスイッチング素子Ｔｒｃｈの駆動回路へ送られ
るＰＷＭ波形図、図５（ｇ）はスイッチング素子Ｔｒｃ
ｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図５（ｈ）は容
量性負荷に供給される電流Ｉａの波形図、図５（ｉ）は
容量性負荷に供給される電流Ｉｂの波形図、図５（ｊ）
は容量性負荷に供給される電流Ｉｃの波形図である。Further, FIG. 5 shows a current command and PWM of the second mode of the electrostatic actuator driving device showing the embodiment of the present invention.
6 is a diagram showing a relationship between a switching waveform and a current, and FIG.
5A is a diagram showing current command values Ia * , Ib * , Ic * and carrier waveforms, and FIG. 5B is a switching element Trah.
5C is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Tral, FIG. 5C is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Tral, and FIG. 5D is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trbh. FIG. 5E is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trbl, FIG.
(F) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trch, and FIG. 5 (g) is a switching element Trc.
PWM waveform diagram sent to the drive circuit of FIG. 1, FIG. 5 (h) is a waveform diagram of the current Ia supplied to the capacitive load, and FIG. 5 (i) is a waveform diagram of the current Ib supplied to the capacitive load. 5 (j)
FIG. 4 is a waveform diagram of a current Ic supplied to a capacitive load.
【００２２】ここで、モードＩ〔（Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉ
ｃ* ）＝（＋，−，＋）〕の場合の、第１及び第２の態
様における波形発生の方法を、それぞれ図４及び図５に
詳細に示す。モードＩの間は、Ｔｒｂｌは常にオンとす
る。指令値Ｉｂ* と、それと同符号のキャリア信号（こ
こでは、Ｋｒｙ２）とを比較し、Ｔｒｂｈをオン、すな
わち、上下のスイッチング素子を短絡させる時間Ｔｂと
決定する。また、もう一方の選択された指令値Ｉｃ
* と、それと同符号のキャリア信号（ここでは、Ｋｒｙ
１）を比較し、Ｔｒｃｈをオンさせる時間Ｔｃを決定す
る。キャリア周期ＴからＴｂとＴｃを引いた残りの時間
の間、Ｔｒａｈをオンさせる。Here, the mode I [(Ia * , Ib * , I
The method of waveform generation in the first and second modes in the case of c * ) = (+,-, +)] is shown in detail in FIGS. 4 and 5, respectively. During Mode I, Trbl is always on. The command value Ib * is compared with a carrier signal (here, Kry2) having the same sign as that of the command value Ib *, and Trbh is turned on, that is, the time Tb for short-circuiting the upper and lower switching elements is determined. In addition, the other selected command value Ic
* And a carrier signal of the same sign as that (here, Kry
1) is compared to determine the time Tc for turning on the Trch. Trah is turned on for the rest of the carrier period T minus Tb and Tc.
【００２３】他のモードの場合も、選択される指令値
と、使用するキャリア及びスイッチの符号をモードに応
じて変更することで、同様に駆動パルスを生成できる。
これにより、電流指令に対応したパルス状の電流が容量
性負荷２３に流れる。スイッチング素子の駆動回路に入
力するＰＷＭパルス波形発生方法は、ソフトウェアでも
実現可能である。In other modes, the drive pulse can be similarly generated by changing the selected command value and the sign of the carrier and the switch to be used according to the mode.
As a result, a pulsed current corresponding to the current command flows through the capacitive load 23. The PWM pulse waveform generation method for inputting to the switching element drive circuit can also be realized by software.
【００２４】〔Ｂ〕上記第３の態様と第４の態様のＰＷ
Ｍ実行方法について説明する。図６は本発明の実施例を
示す静電アクチュエータ駆動装置の第３の態様の電流指
令からのモード生成とキャリア波形の選定方法を示す図
であり、図６（ａ）は電流指令の波形図、図６（ｂ）は
電流指令値Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* の符号を示す図、図
６（ｃ）は電流指令値Ｉａ* とキャリア波形を示す図、
図６（ｄ）は電流指令値Ｉｂ* とキャリア波形を示す
図、図６（ｅ）は電流指令値Ｉｃ* とキャリア波形を示
す図である。[B] PW of the above-mentioned third and fourth aspects
The M execution method will be described. FIG. 6 is a diagram showing a method of generating a mode from a current command and selecting a carrier waveform according to a third aspect of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 6A is a waveform diagram of the current command. 6 (b) is a diagram showing the signs of the current command values Ia * , Ib * , Ic * , and FIG. 6 (c) is a diagram showing the current command values Ia * and carrier waveforms.
6D is a diagram showing the current command value Ib * and the carrier waveform, and FIG. 6E is a diagram showing the current command value Ic * and the carrier waveform.
【００２５】図７は本発明の実施例を示す静電アクチュ
エータ駆動装置の第４の態様の電流指令からのモード生
成とキャリア波形の選定方法を示す図であり、図７
（ａ）は電流指令の波形図、図７（ｂ）は電流指令値Ｉ
ａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* の符号を示す図、図７（ｃ）は電
流指令値Ｉａ* とキャリア波形を示す図、図７（ｄ）は
電流指令値Ｉｂ* とキャリア波形を示す図、図７（ｅ）
は電流指令値Ｉｃ* とキャリア波形を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a method of generating a mode from a current command and selecting a carrier waveform according to a fourth mode of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention.
7A is a waveform diagram of the current command, and FIG. 7B is a current command value I.
a *, Ib *, indicates the sign of Ic * figures, FIG. 7 (c) shows a current command value Ia * and the carrier waveform, FIG. 7 (d) shows a current command value Ib * and the carrier wave, Figure 7 (e)
FIG. 4 is a diagram showing a current command value Ic * and a carrier waveform.
【００２６】図８は本発明の実施例を示す静電アクチュ
エータ駆動装置の第３の態様の電流指令とＰＷＭスイッ
チング波形と容量性負荷に供給される電流の関係を示す
図であり、図８（ａ）は電流指令値Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉ
ｃ* とキャリア波形を示す図、図８（ｂ）はスイッチン
グ素子Ｔｒａｈの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図
８（ｃ）はスイッチング素子Ｔｒａｌの駆動回路へ送ら
れるＰＷＭ波形図、図８（ｄ）はスイッチング素子Ｔｒ
ｂｈの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図８（ｅ）は
スイッチング素子Ｔｒｂｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ
波形図、図８（ｆ）はスイッチング素子Ｔｒｃｈの駆動
回路へ送られるＰＷＭ波形図、図８（ｇ）はスイッチン
グ素子Ｔｒｃｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図
８（ｈ）は容量性負荷に供給される電流Ｉａの波形図、
図８（ｉ）は容量性負荷に供給される電流Ｉｂの波形
図、図８（ｊ）は容量性負荷に供給される電流Ｉｃの波
形図である。FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the current command, the PWM switching waveform, and the current supplied to the capacitive load in the third mode of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention. a) is the current command value Ia * , Ib * , I
c * and shows a carrier waveform, FIG. 8 (b) PWM waveform sent to the driving circuit of the switching elements Trah, FIG. 8 (c) PWM waveform sent to the driving circuit of the switching elements Tral, 8 ( d) is a switching element Tr
PWM waveform diagram sent to the drive circuit of bh, FIG. 8E shows PWM waveform sent to the drive circuit of the switching element Trbl
Waveform diagram, FIG. 8 (f) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trch, FIG. 8 (g) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trcl, and FIG. 8 (h) is a capacitive load. Waveform diagram of the current Ia supplied to the
FIG. 8 (i) is a waveform diagram of the current Ib supplied to the capacitive load, and FIG. 8 (j) is a waveform diagram of the current Ic supplied to the capacitive load.
【００２７】図９は本発明の実施例を示す静電アクチュ
エータ駆動装置の第４の態様の電流指令とＰＷＭスイッ
チング波形と容量性負荷に供給される電流の関係を示す
図であり、図９（ａ）は電流指令値Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉ
ｃ* とキャリア波形を示す図、図９（ｂ）はスイッチン
グ素子Ｔｒａｈの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図
９（ｃ）はスイッチング素子Ｔｒａｌの駆動回路へ送ら
れるＰＷＭ波形図、図９（ｄ）はスイッチング素子Ｔｒ
ｂｈの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図９（ｅ）は
スイッチング素子Ｔｒｂｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ
波形図、図９（ｆ）はスイッチング素子Ｔｒｃｈの駆動
回路へ送られるＰＷＭ波形図、図９（ｇ）はスイッチン
グ素子Ｔｒｃｌの駆動回路へ送られるＰＷＭ波形図、図
９（ｈ）は容量性負荷に供給される電流Ｉａの波形図、
図９（ｉ）は容量性負荷に供給される電流Ｉｂの波形
図、図９（ｊ）は容量性負荷に供給される電流Ｉｃの波
形図である。FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the current command, the PWM switching waveform, and the current supplied to the capacitive load in the fourth mode of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention. a) is the current command value Ia * , Ib * , I
c * and shows a carrier waveform, FIG. 9 (b) PWM waveform sent to the driving circuit of the switching elements Trah, FIG. 9 (c) PWM waveform sent to the driving circuit of the switching elements Tral, 9 ( d) is a switching element Tr
PWM waveform diagram sent to the drive circuit of bh, FIG. 9 (e) shows PWM waveform sent to the drive circuit of the switching element Trbl
Waveform diagram, FIG. 9 (f) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trch, FIG. 9 (g) is a PWM waveform diagram sent to the drive circuit of the switching element Trcl, and FIG. 9 (h) is a capacitive load. Waveform diagram of the current Ia supplied to the
9 (i) is a waveform diagram of the current Ib supplied to the capacitive load, and FIG. 9 (j) is a waveform diagram of the current Ic supplied to the capacitive load.
【００２８】各区間の電流指令の状態は、Ｉａ* ＋Ｉｂ
* ＋Ｉｃ* ＝０がいつも成り立っているので、各指令値
の正負の関係は（＋，＋，−）、（＋，−，−）、のい
ずれかの状態になっており、各モードでは、電流指令値
が必ず、正の値のものが２つで負の値のものが１つか、
正の値のものが１つで負の値のものが２つかのいずれか
の組み合わせになっている。The state of the current command in each section is Ia * + Ib
Since * + Ic * = 0 always holds, the positive / negative relation of each command value is either (+, +,-) or (+,-,-), and in each mode, There are always two positive current command values and one negative value,
There is one positive value and two negative values.
【００２９】第３あるいは第４の態様では、電流指令値
のうち、同符号のものを２つ選択する。例えば、モード
Ｉ〔（Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* ）＝（＋，−，＋）〕の
場合、（Ｉａ* ，Ｉｃ* ）を選択する。選択された２個
の指令値を用いてＰＷＭを行い、それぞれの入力チャン
ネルに対応した出力スイッチのスイッチング波形を生成
する。In the third or fourth mode, two current command values having the same sign are selected. For example, in the case of mode I [(Ia * , Ib * , Ic * ) = (+,-, +)], (Ia * , Ic * ) is selected. PWM is performed using the two selected command values to generate the switching waveform of the output switch corresponding to each input channel.
【００３０】モードＩの場合の、第３及び第４の態様に
おける波形生成の方法を、それぞれ図８及び図９に詳細
に示す。モードＩの間は、Ｔｒｂｌは常にオンとする。
指令値Ｉａ* と、それと同符号のキャリア信号（ここで
は、Ｋｒｙ２）とを比較し、Ｔｒａｈをオンさせる時間
Ｔａを決定する。また、もう一方の選択された指令値Ｉ
ｃ* と、前出のキャリア信号と同符号で逆勾配のキャリ
ア信号（ここでは、Ｋｒｙ１）とを比較し、Ｔｒｃｈを
オンさせる時間Ｔｃを決定する。キャリア周期ＴからＴ
ｂとＴｃを引いた残りの時間の間、Ｔｒｂｈをオン、す
なわち、上下のスイッチング素子を短絡させる。The method of waveform generation in the third and fourth modes for mode I is shown in detail in FIGS. 8 and 9, respectively. During Mode I, Trbl is always on.
The command value Ia * is compared with a carrier signal (here, Kry2) having the same sign as the command value Ia * to determine the time Ta for turning on Trah. In addition, the other selected command value I
c * is compared with the above-mentioned carrier signal and a carrier signal (here, Kry1) having the same sign and a reverse gradient, and the time Tc for turning on the Trch is determined. Carrier period T to T
During the remaining time after subtracting b and Tc, Trbh is turned on, that is, the upper and lower switching elements are short-circuited.
【００３１】他のモードの場合も、選択される指令値
と、使用するキャリア及びスイッチの符号をモードに応
じて変更することで、同様に駆動パルスを生成できる。
これにより、電流指令に対応したパルス状の電流が容量
性負荷２３に流れる。なお、電流指令の絶対値とキャリ
ア信号を比較するように構成すれば、負のキャリアが不
要になり、必要なキャリアの数が２種類に減少する。In the case of other modes, the drive pulse can be similarly generated by changing the selected command value and the sign of the carrier and the switch to be used according to the mode.
As a result, a pulsed current corresponding to the current command flows through the capacitive load 23. If the absolute value of the current command is compared with the carrier signal, the negative carrier becomes unnecessary and the number of required carriers is reduced to two.
【００３２】また、スイッチング素子の駆動回路に入力
するＰＷＭパルス波形発生方法はソフトウェアでも実現
可能である。なお、上記実施例においては、わかり易く
するために、電流指令値の正弦波に対して、キャリア波
形が２〜４個しか示されていないが、実際には、指令値
の数十倍〜数百倍の周波数のキャリア波形を使用するこ
とは言うまでもない。The PWM pulse waveform generation method for inputting to the switching element drive circuit can also be realized by software. In the above embodiment, for the sake of clarity, only 2 to 4 carrier waveforms are shown with respect to the sine wave of the current command value, but in reality, it is several tens of times to several hundreds of the command value. It goes without saying that a carrier waveform having a doubled frequency is used.
【００３３】また、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能
であり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。Further, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various modifications can be made within the scope of the present invention, and they are not excluded from the scope of the present invention.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、容量性負荷からなる静電アクチュエータに対し
て電流指令に対応したパルス状の電流波形が入力され、
その容量性負荷には所望の電圧が発生することになり、
回路構成としては、補助的なスイッチング素子は必要と
せずに、しかも電流源に対して電流を遮断することな
く、電流のスイッチングが実行されるため、負荷電圧波
形の歪みが低減される。As described above in detail, according to the present invention, a pulsed current waveform corresponding to a current command is input to an electrostatic actuator composed of a capacitive load,
The capacitive load will generate the desired voltage,
As for the circuit configuration, the switching of the current is executed without the need for an auxiliary switching element and without interrupting the current to the current source, so that the distortion of the load voltage waveform is reduced.
【００３５】したがって、容量性負荷からなる静電アク
チュエータを正確に、しかも確実に駆動させることがで
きる。Therefore, the electrostatic actuator composed of the capacitive load can be accurately and reliably driven.
【図１】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an electrostatic actuator drive device showing an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第１の態様の動作タイミングチャートである。FIG. 2 is an operation timing chart of the first mode of the electrostatic actuator driving device showing the embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第２の態様の動作タイミングチャートである。FIG. 3 is an operation timing chart of the second mode of the electrostatic actuator driving device showing the embodiment of the present invention.
【図４】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第１の態様の電流指令とＰＷＭスイッチング波形
と電流の関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a current command, a PWM switching waveform, and a current in the first mode of the electrostatic actuator driving device according to the embodiment of the present invention.
【図５】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第２の態様の電流指令とＰＷＭスイッチング波形
と電流の関係を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a current command, a PWM switching waveform, and a current in the second mode of the electrostatic actuator driving device showing the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第３の態様の電流指令からのモード生成とキャリ
ア波形の選定方法を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a method of generating a mode from a current command and a method of selecting a carrier waveform according to a third aspect of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図７】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第４の態様の電流指令からのモード生成とキャリ
ア波形の選定方法を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a method of generating a mode from a current command and a method of selecting a carrier waveform according to a fourth mode of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第３の態様の電流指令とＰＷＭスイッチング波形
と容量性負荷に供給される電流の関係を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a current command, a PWM switching waveform, and a current supplied to a capacitive load according to a third aspect of the electrostatic actuator driving device according to the embodiment of the present invention.
【図９】本発明の実施例を示す静電アクチュエータ駆動
装置の第４の態様の電流指令とＰＷＭスイッチング波形
と容量性負荷に供給される電流の関係を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a relationship between a current command, a PWM switching waveform, and a current supplied to a capacitive load according to a fourth aspect of the electrostatic actuator driving apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図１０】従来の静電アクチュエータの一部破断概略斜
視図である。FIG. 10 is a partially cutaway schematic perspective view of a conventional electrostatic actuator.
【図１１】従来の静電アクチュエータの一例を示す構成
図である。FIG. 11 is a configuration diagram showing an example of a conventional electrostatic actuator.
２１ 論理回路 ２２ 直流電流源 ２３ 静電アクチュエータ（容量性負荷） Ｉａ* ，Ｉｂ* ，Ｉｃ* 電流指令値 Ｋｒｙ１ 第１のキャリア波形 Ｋｒｙ２ 第２のキャリア波形（反転キャリア波形） ｃｐ１〜ｃｐ３ モード生成パルス用比較器（ゼロク
ロス比較器） ｃｐ４〜ｃｐ９ ＰＷＭ用比較器 ｏｐ１ Ｋｒｙ２生成用反転増幅器 Ｒ1 〜Ｒ11 抵抗 ＶCC 電源電圧 Ｔｒａｈ，Ｔｒｂｈ，Ｔｒｃｈ，Ｔｒａｌ，Ｔｒｂｌ，
Ｔｒｃｌ スイッチング素子（トランジスタ） Ｄ１〜Ｄ６ 逆流阻止用ダイオード Ｄｒｖ スイッチング素子駆動回路 Ｙａ，Ｙｂ，Ｙｃ 負荷の端子21 logic circuit 22 direct current source 23 electrostatic actuator (capacitive load) Ia * , Ib * , Ic * current command value Kry1 first carrier waveform Kry2 second carrier waveform (reverse carrier waveform) cp1 to cp3 mode generation pulse use comparator (zero-cross comparator) Cp4～cp9 inverting amplifier R 1 for the PWM comparator op1 Kry2 product to R 11 resistors V CC supply voltage Trah, Trbh, Trch, Tral, Trbl,
Trcl switching element (transistor) D1 to D6 backflow blocking diode Drv switching element drive circuit Ya, Yb, Yc load terminal
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樋口 俊郎 神奈川県横浜市港北区茅ヶ崎南４−14−１ −109 (72)発明者 柄川 索 茨城県新治郡千代田町稲吉三丁目15番29号 新治寮Ａ−431 (72)発明者 柳田 靖人 神奈川県横浜市緑区池辺町2627 ポーレル ＹＡＢＥ401 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshiro Higuchi 4-14-1-109 Chigasaki-Minami, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa (72) Inventor, Search for Eikawa 3-29 Inayoshi 3-chome, Chiyoda-cho, Ibaraki Prefecture Shinji Dormitory A-431 (72) Inventor Yasuhito Yanagida 2627 Ikebe-cho, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Paulel YABE401
Claims (5)
スイッチング素子と、 （ｃ）前記スイッチング素子に直列に接続される逆流阻
止用ダイオードと、 （ｄ）前記スイッチング素子を駆動する駆動回路と、 （ｅ）前記駆動回路へ供給する制御パルスを発生するパ
ルス幅変調装置とを有し、 （ｆ）前記パルス幅変調装置は、 （ｉ）複数のキャリア信号を発生する装置と、（ii）電
流指令値の符号判別装置と、（iii ）電流指令値と前記
キャリア信号を比較する比較装置と、（iv）前記符号判
別装置の出力に基づき、前記比較装置の出力を選択する
装置とを具備し、 （ｇ）電流指令値に対応した密度のパルス状電流を出力
することにより、静電アクチュエータに対し、所望の電
荷を供給し、また、それにより所望の電圧を発生させる
ことを特徴とする静電アクチュエータ駆動装置。1. A direct current source; (b) a switching element connected to the direct current source for controlling an output current; (c) a reverse current blocking diode connected in series to the switching element. (D) a drive circuit that drives the switching element, and (e) a pulse width modulator that generates a control pulse to be supplied to the drive circuit. (F) the pulse width modulator includes (i) A device for generating a plurality of carrier signals; (ii) a sign discriminating device for the current command value; (iii) a comparing device for comparing the current command value with the carrier signal; and (iv) based on the output of the sign discriminating device. A device for selecting the output of the comparator, and (g) supplying a desired charge to the electrostatic actuator by outputting a pulsed current having a density corresponding to the current command value, and By that Electrostatic actuator driving apparatus characterized by generating a desired voltage.
を満足する任意波形の電流指令値である請求項１記載の
静電アクチュエータ駆動装置。2. The electrostatic actuator drive device according to claim 1, wherein the current command value is a current command value having an arbitrary waveform that satisfies a total of zero.
１又は２記載の静電アクチュエータ駆動装置。3. The electrostatic actuator driving device according to claim 1, wherein the carrier signal is a triangular wave.
項１又は２記載の静電アクチュエータ駆動装置。4. The electrostatic actuator driving device according to claim 1, wherein the carrier signal is a sawtooth wave.
て実現する請求項１又は２記載の静電アクチュエータ駆
動装置。5. The electrostatic actuator drive device according to claim 1, wherein the pulse width modulation device is realized by software.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6083550A JPH07298647A (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Electrostatic actuator driver |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6083550A JPH07298647A (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Electrostatic actuator driver |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07298647A true JPH07298647A (en) | 1995-11-10 |
Family
ID=13805625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6083550A Withdrawn JPH07298647A (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Electrostatic actuator driver |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07298647A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998012799A1 (en) * | 1996-09-20 | 1998-03-26 | Hitachi, Ltd. | Electrostatic actuator and helping device utilizing it |
| DE19730443A1 (en) * | 1997-07-16 | 1999-01-21 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Micromechanical device |
| JP2007295786A (en) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Fujitsu General Ltd | Power conversion apparatus |
| US7719162B2 (en) | 2005-04-07 | 2010-05-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Electrostatic actuator and controller with PWM driving |
| JP2017538393A (en) * | 2014-10-05 | 2017-12-21 | シー−モーティヴ テクノロジーズ インコーポレイテッド | Electrostatic mechanical system and method of operation |
| US11114951B2 (en) * | 2016-11-08 | 2021-09-07 | C-Motive Technologies Inc. | Electrostatic machine system and method of operation |
-
1994
- 1994-04-22 JP JP6083550A patent/JPH07298647A/en not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998012799A1 (en) * | 1996-09-20 | 1998-03-26 | Hitachi, Ltd. | Electrostatic actuator and helping device utilizing it |
| DE19730443A1 (en) * | 1997-07-16 | 1999-01-21 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Micromechanical device |
| US7719162B2 (en) | 2005-04-07 | 2010-05-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Electrostatic actuator and controller with PWM driving |
| JP2007295786A (en) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Fujitsu General Ltd | Power conversion apparatus |
| JP2017538393A (en) * | 2014-10-05 | 2017-12-21 | シー−モーティヴ テクノロジーズ インコーポレイテッド | Electrostatic mechanical system and method of operation |
| US11114951B2 (en) * | 2016-11-08 | 2021-09-07 | C-Motive Technologies Inc. | Electrostatic machine system and method of operation |
| US11601069B2 (en) | 2016-11-08 | 2023-03-07 | C-Motive Technologies, Inc. | Electrostatic machines that include a malonate in a dielectric fluid |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010703 |