JPH0729787A - 恒温部材の温度保持装置 - Google Patents
恒温部材の温度保持装置Info
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- JPH0729787A JPH0729787A JP19778693A JP19778693A JPH0729787A JP H0729787 A JPH0729787 A JP H0729787A JP 19778693 A JP19778693 A JP 19778693A JP 19778693 A JP19778693 A JP 19778693A JP H0729787 A JPH0729787 A JP H0729787A
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- Japan
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- temperature
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 移動体７上の熱の発生があっても、或いは移
動体７に熱が伝達されてもフレキシブルチューブで水を
送る必要がなく、ステージ等の恒温部材１が常に一定温
度に維持される温度保持装置を提供することにある。 【構成】 案内面に沿って移動し、或いは回転駆動し、
案内面からの発熱或いは駆動による発熱により昇温する
移動体７と同移動体７上に有り、恒温状態に保つステー
ジ等の恒温部材１との間に前記移動体７に対向する恒温
部材１の表面積に比べ十分小さな断面積を有し、電流の
向きや大きさにより汲み上げる熱量を調整するペルチェ
素子１１を取付けた柱状の連結部材１２を設け、ペルチ
ェ素子１１の近傍の恒温部材１に温度センサ１６を設
け、前記温度センサ１６の検出温度が常に一定となるよ
うにペルチェ素子１１に流す電流の向きや大きさを制御
するようにした。
動体７に熱が伝達されてもフレキシブルチューブで水を
送る必要がなく、ステージ等の恒温部材１が常に一定温
度に維持される温度保持装置を提供することにある。 【構成】 案内面に沿って移動し、或いは回転駆動し、
案内面からの発熱或いは駆動による発熱により昇温する
移動体７と同移動体７上に有り、恒温状態に保つステー
ジ等の恒温部材１との間に前記移動体７に対向する恒温
部材１の表面積に比べ十分小さな断面積を有し、電流の
向きや大きさにより汲み上げる熱量を調整するペルチェ
素子１１を取付けた柱状の連結部材１２を設け、ペルチ
ェ素子１１の近傍の恒温部材１に温度センサ１６を設
け、前記温度センサ１６の検出温度が常に一定となるよ
うにペルチェ素子１１に流す電流の向きや大きさを制御
するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子ビーム描画装置等の
ような発熱する移動体上にありながら常に恒温を保持す
るステージ等の恒温部材の温度保持装置に関する。
ような発熱する移動体上にありながら常に恒温を保持す
るステージ等の恒温部材の温度保持装置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来装置を電子ビーム描画装置に例を採り
図５により説明すると、不図示の被処理部材を載置する
ステージ１は真空チャンバ２に固着された固定ガイド３
に取付けたモータ４によりボールネジ５を回転させてコ
ロガリガイド６に沿って図中左右方向に移動するように
された移動体７に連結部材８を介して取付けられてい
る。
図５により説明すると、不図示の被処理部材を載置する
ステージ１は真空チャンバ２に固着された固定ガイド３
に取付けたモータ４によりボールネジ５を回転させてコ
ロガリガイド６に沿って図中左右方向に移動するように
された移動体７に連結部材８を介して取付けられてい
る。
【０００３】移動体７には恒温水通路９が設けてあり、
真空チャンバ２外から矢印ａのように導いた恒温水をフ
レキシブルチューブ１０を介して移動体７に作用させ、
コロガリガイド６による発熱、ボールネジ５の回転によ
る発熱で移動体７が昇温せず一定温度に保たれるるよう
にしている。
真空チャンバ２外から矢印ａのように導いた恒温水をフ
レキシブルチューブ１０を介して移動体７に作用させ、
コロガリガイド６による発熱、ボールネジ５の回転によ
る発熱で移動体７が昇温せず一定温度に保たれるるよう
にしている。
【０００４】
【発明が解決しょうとする課題】しかしながら、真空中
で使用される同装置は前記フレキシブルチューブ１０の
破裂や継手の水漏れ等真空中であってはならない事故の
可能性がある。
で使用される同装置は前記フレキシブルチューブ１０の
破裂や継手の水漏れ等真空中であってはならない事故の
可能性がある。
【０００５】本発明の目的は前述の欠点を取除き例へ移
動体上の熱の発生があっても、或いは移動体に熱が伝達
されても必ずしもフレキシブルチューブで水を送る必要
がなく、ステージ等の恒温部材が常に一定温度に維持さ
れる温度保持装置を提供することにある。
動体上の熱の発生があっても、或いは移動体に熱が伝達
されても必ずしもフレキシブルチューブで水を送る必要
がなく、ステージ等の恒温部材が常に一定温度に維持さ
れる温度保持装置を提供することにある。
【０００６】前述の目的を達成するため本発明は、案内
面に沿って移動或いは回転駆動され、案内面からの発熱
或いは駆動による発熱により昇温する移動体と、前記移
動体上に有り、恒温状態に保つ必要のあるステージ等の
恒温部材と、前記移動体に対向する恒温部材上の表面積
に比べ十分小さな断面積を有し、電流の向きや大きさに
より汲み上げる熱量を調整するペルチェ素子を設けた前
記移動体と恒温部材の間を連結する柱状の連結部材と、
前記ペルチェ素子の近傍の恒温部材に設けた温度センサ
と、前記温度センサの検出温度が常に一定となるように
ペルチェ素子に流す電流の向きや大きさを制御するペル
チェ素子制御装置とを有して成る恒温部材の温度保持装
置とした。
面に沿って移動或いは回転駆動され、案内面からの発熱
或いは駆動による発熱により昇温する移動体と、前記移
動体上に有り、恒温状態に保つ必要のあるステージ等の
恒温部材と、前記移動体に対向する恒温部材上の表面積
に比べ十分小さな断面積を有し、電流の向きや大きさに
より汲み上げる熱量を調整するペルチェ素子を設けた前
記移動体と恒温部材の間を連結する柱状の連結部材と、
前記ペルチェ素子の近傍の恒温部材に設けた温度センサ
と、前記温度センサの検出温度が常に一定となるように
ペルチェ素子に流す電流の向きや大きさを制御するペル
チェ素子制御装置とを有して成る恒温部材の温度保持装
置とした。
【０００７】また、前記連結部材に代えて移動体と恒温
部材の間に断熱材を設けるとともに、移動体と恒温部材
の間にペルチェ素子を設けた熱を導くための熱バイパス
を取付けたことを特徴とする請求項１記載の恒温部材の
温度保持装置とした。
部材の間に断熱材を設けるとともに、移動体と恒温部材
の間にペルチェ素子を設けた熱を導くための熱バイパス
を取付けたことを特徴とする請求項１記載の恒温部材の
温度保持装置とした。
【０００８】
【作用】これにより、恒温部材は移動体の温度に左右さ
れることがなく、所定の温度に保たれる。なお、移動体
はペルチェ素子による発熱、およびコロガリガイドやボ
ールネジによる発熱により昇温するが、移動体と固定ガ
イドとの相対温度差が増加する結果、コロガリカイドを
介して固定ガイドへ流れる熱量が増加し、この熱は固定
ガイドへ流れる冷却媒体等によって外部へ逃がすことが
できるため移動体の昇温はわずかな量の範囲でおさま
り、恒温部材に及ぼす悪影響はほとんどない。
れることがなく、所定の温度に保たれる。なお、移動体
はペルチェ素子による発熱、およびコロガリガイドやボ
ールネジによる発熱により昇温するが、移動体と固定ガ
イドとの相対温度差が増加する結果、コロガリカイドを
介して固定ガイドへ流れる熱量が増加し、この熱は固定
ガイドへ流れる冷却媒体等によって外部へ逃がすことが
できるため移動体の昇温はわずかな量の範囲でおさま
り、恒温部材に及ぼす悪影響はほとんどない。
【０００９】
【実施例】次に、図１により本発明の１実施例を説明す
る。説明に当たり従来装置と同一部材は同一番号を付
し、その説明を省き、新たに追加された部材のみ新番号
を付して説明する。
る。説明に当たり従来装置と同一部材は同一番号を付
し、その説明を省き、新たに追加された部材のみ新番号
を付して説明する。
【００１０】恒温部材であるステージ１は移動体７に対
向する下面の表面積に比べ十分小さな断面積を有し、電
流の向きや大きさにより汲み上げる熱量を調整するペル
チェ素子１１を設けた柱状の連結部材１２を介して移動
体７に取付けられている。前記移動体７はコロガリガイ
ド６に沿って固定ガイド１３に取付けたモータ４により
ボールネジ５を回転させて図中左右方向に進退するよう
になっている。
向する下面の表面積に比べ十分小さな断面積を有し、電
流の向きや大きさにより汲み上げる熱量を調整するペル
チェ素子１１を設けた柱状の連結部材１２を介して移動
体７に取付けられている。前記移動体７はコロガリガイ
ド６に沿って固定ガイド１３に取付けたモータ４により
ボールネジ５を回転させて図中左右方向に進退するよう
になっている。
【００１１】前記固定ガイド１３には真空チャンバ２の
外部から矢印ａのように恒温水（冷却媒体）を導くため
の通路１４が設けてあり，コロガリガイド６を介して移
動体７の熱を取去り、移動体７をほぼ所望の温度に保つ
るようになっている。
外部から矢印ａのように恒温水（冷却媒体）を導くため
の通路１４が設けてあり，コロガリガイド６を介して移
動体７の熱を取去り、移動体７をほぼ所望の温度に保つ
るようになっている。
【００１２】前記ペルチェ素子１１はペルチェ素子制御
装置１５に接続されていて、ペルチェ素子１１の近傍の
ステージ１に設けた温度センサ１６の検出する温度が常
に一定となるようにペルチェ素子制御装置１５が同素子
１１に流す電流の向きや大きさを制御している。
装置１５に接続されていて、ペルチェ素子１１の近傍の
ステージ１に設けた温度センサ１６の検出する温度が常
に一定となるようにペルチェ素子制御装置１５が同素子
１１に流す電流の向きや大きさを制御している。
【００１３】前述の説明は恒温部材をステージとして説
明したが、勿論これに限るものでなく図２に示す第２の
実施例のようにステージ１を取付けた連結棒１７でも良
い。
明したが、勿論これに限るものでなく図２に示す第２の
実施例のようにステージ１を取付けた連結棒１７でも良
い。
【００１４】また、図３により本発明の第３の実施例を
説明すると、移動体７と連結棒１７を断熱材１８を介し
て取付けるとともに、移動体７と連結棒１７の間に同連
結棒１７に接したペルチェ素子１１を持つ熱バイパス１
９を設け、ペルチェ素子１１と温度センサ１６により前
述のような温度制御をするようになっている。
説明すると、移動体７と連結棒１７を断熱材１８を介し
て取付けるとともに、移動体７と連結棒１７の間に同連
結棒１７に接したペルチェ素子１１を持つ熱バイパス１
９を設け、ペルチェ素子１１と温度センサ１６により前
述のような温度制御をするようになっている。
【００１５】さらに第４の実施例を図４により説明する
と、リニアモータ２０により移動体７を移動させるよう
にしたものである。なお、２１は移動体７に固着された
コイル、２２は固定ガイド１３に固着された磁気回路で
あり、特にコイル２１の発熱が大きいが、このような場
合にも有効である。この場合、駆動系が前述の実施例と
異なる以外は恒温部材をステージ、連結棒を前述の実施
例１ないし３のように自在に組合わせることができるこ
とは自明であり、さらに、本発明は回転駆動されるもの
にも適用可能である。なお、移動体７とステージ１又は
連結棒１７等の恒温部材との間に輻射熱を遮るための熱
遮断板を介在させれば、より好ましいことは言うでもな
い。
と、リニアモータ２０により移動体７を移動させるよう
にしたものである。なお、２１は移動体７に固着された
コイル、２２は固定ガイド１３に固着された磁気回路で
あり、特にコイル２１の発熱が大きいが、このような場
合にも有効である。この場合、駆動系が前述の実施例と
異なる以外は恒温部材をステージ、連結棒を前述の実施
例１ないし３のように自在に組合わせることができるこ
とは自明であり、さらに、本発明は回転駆動されるもの
にも適用可能である。なお、移動体７とステージ１又は
連結棒１７等の恒温部材との間に輻射熱を遮るための熱
遮断板を介在させれば、より好ましいことは言うでもな
い。
【００１６】
【発明の効果】これにより、恒温部材は移動体の温度に
左右されることなく、所定の温度に保たれる。なお移動
体はペルチェ素子による発熱、およびコロガリガイドや
ボールネジによる発熱により昇温するが、移動体と固定
ガイドとの相対温度差が増加する結果、コロガリカイド
を介して固定ガイドへ流れる熱量が増加し、この熱は固
定ガイド内を流れる冷却媒体等により外部へ逃がすこと
ができるため移動体の昇温はわずかな量の範囲でおさま
る。
左右されることなく、所定の温度に保たれる。なお移動
体はペルチェ素子による発熱、およびコロガリガイドや
ボールネジによる発熱により昇温するが、移動体と固定
ガイドとの相対温度差が増加する結果、コロガリカイド
を介して固定ガイドへ流れる熱量が増加し、この熱は固
定ガイド内を流れる冷却媒体等により外部へ逃がすこと
ができるため移動体の昇温はわずかな量の範囲でおさま
る。
【図１】本発明の１実施例を示す図。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図。
【図３】本発明の第３の実施例を示す図。
【図４】本発明の第４の実施例を示す図。
【図５】従来装置を示す図。
１ ステージ（恒温部材） ２ 真空チャンバ ３ 固定ガイド ４ モータ ５ ボールネジ ６ コロガリガイド ７ 移動体 ８ 連結部材 ９ 恒温水通路 １０ フレキシブルチューブ １１ ペルチェ素子 １２ 連結部材 １３ 固定ガイド １４ 通路 １５ ペルチェ素子制御装置 １６ 温度センサ １７ 連結棒（恒温部材） １８ 断熱材 １９ 熱バイパス ２０ リニアモータ ２１ コイル ２２ 磁気回路
Claims (2)
- 【請求項１】 案内面に沿って移動或いは回転駆動さ
れ、案内面からの発熱或いは駆動による発熱により昇温
する移動体と、 前記移動体上に有り、恒温状態に保つ必要のあるステー
ジ等の恒温部材と、 前記移動体に対向する恒温部材上の表面積に比べ十分小
さな断面積を有し、電流の向きや大きさにより汲み上げ
る熱量を調整するペルチェ素子を設けた前記移動体と恒
温部材の間を連結する柱状の連結部材と、 前記ペルチェ素子の近傍の恒温部材に設けた温度センサ
と、 前記温度センサの検出温度が常に一定となるようにペル
チェ素子に流す電流の向きや大きさを制御するペルチェ
素子制御装置とを有して成る恒温部材の温度保持装置。 - 【請求項２】 前記連結部材に代えて移動体と恒温部材
の間に断熱材を設けるとともに、移動体と恒温部材の間
にペルチェ素子を設けた熱を導くための熱バイパスを取
付けたことを特徴とする請求項１記載の恒温部材の温度
保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19778693A JPH0729787A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 恒温部材の温度保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19778693A JPH0729787A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 恒温部材の温度保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729787A true JPH0729787A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16380334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19778693A Pending JPH0729787A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 恒温部材の温度保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729787A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012518901A (ja) * | 2009-02-22 | 2012-08-16 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ． | リソグラフィ機械装置のための準備ユニット |
| US9460954B2 (en) | 2009-02-22 | 2016-10-04 | Mapper Lithography Ip B.V. | Method of clamping a substrate and clamp preparation unit using capillary clamping force |
| US9575418B2 (en) | 2011-04-28 | 2017-02-21 | Mapper Lithography Ip B.V. | Apparatus for transferring a substrate in a lithography system |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP19778693A patent/JPH0729787A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012518901A (ja) * | 2009-02-22 | 2012-08-16 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ． | リソグラフィ機械装置のための準備ユニット |
| US9117631B2 (en) | 2009-02-22 | 2015-08-25 | Mapper Lithography Ip B.V. | Method of handling a substrate support structure in a lithography system |
| US9460954B2 (en) | 2009-02-22 | 2016-10-04 | Mapper Lithography Ip B.V. | Method of clamping a substrate and clamp preparation unit using capillary clamping force |
| US10078274B2 (en) | 2009-02-22 | 2018-09-18 | Mapper Lithography Ip B.V. | Method and arrangement for handling and processing substrates |
| USRE49725E1 (en) | 2009-02-22 | 2023-11-14 | Asml Netherlands B.V. | Method and arrangement for handling and processing substrates |
| US9575418B2 (en) | 2011-04-28 | 2017-02-21 | Mapper Lithography Ip B.V. | Apparatus for transferring a substrate in a lithography system |
| USRE48903E1 (en) | 2011-04-28 | 2022-01-25 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus for transferring a substrate in a lithography system |
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