JPH0729786A - 高純度液の加熱方法と加熱装置 - Google Patents
高純度液の加熱方法と加熱装置Info
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- JPH0729786A JPH0729786A JP17021693A JP17021693A JPH0729786A JP H0729786 A JPH0729786 A JP H0729786A JP 17021693 A JP17021693 A JP 17021693A JP 17021693 A JP17021693 A JP 17021693A JP H0729786 A JPH0729786 A JP H0729786A
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- Japan
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- exchange tube
- purity
- heating
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 液槽１中に金属製の熱交換用チューブ２と、
溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チューブ３とを配
置し、金属製熱交換用チューブ２に高温水蒸気を導入
し、合成樹脂製熱交換用チューブ３に液槽１中の液体と
同純度の液体を導入し、金属製熱交換用チューブ２に導
入される高温水蒸気によって熱交換され加熱された液槽
１中の液体と、合成樹脂製熱交換用チューブ３に導入さ
れる液体とを熱交換して合成樹脂製熱交換用チューブ３
に導入される液体を加熱するようにした。 【効果】 液体を加熱するためのエネルギーコストが安
くつくと共に、高純度に維持しながら安定して加熱する
ことができる。
溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チューブ３とを配
置し、金属製熱交換用チューブ２に高温水蒸気を導入
し、合成樹脂製熱交換用チューブ３に液槽１中の液体と
同純度の液体を導入し、金属製熱交換用チューブ２に導
入される高温水蒸気によって熱交換され加熱された液槽
１中の液体と、合成樹脂製熱交換用チューブ３に導入さ
れる液体とを熱交換して合成樹脂製熱交換用チューブ３
に導入される液体を加熱するようにした。 【効果】 液体を加熱するためのエネルギーコストが安
くつくと共に、高純度に維持しながら安定して加熱する
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高純度液、例えば半導
体加工ラインで使用される超純水または純水などを加熱
するための加熱方法と加熱装置に関する。
体加工ラインで使用される超純水または純水などを加熱
するための加熱方法と加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高純度液、例えば超純水を加熱する際に
は、当然ながら加熱時に超純水中に不純物が混入しては
ならない。
は、当然ながら加熱時に超純水中に不純物が混入しては
ならない。
【０００３】このため、従来にあっては、電気加熱器を
使用する場合には、超純水が導入され加熱される加熱槽
の伝熱面には溶出度の少ないフッ素系樹脂を使用してい
るが、この電気加熱器で加熱するためのエネルギーコス
トが極めて高くつき、現状に合わないという難点があっ
た。
使用する場合には、超純水が導入され加熱される加熱槽
の伝熱面には溶出度の少ないフッ素系樹脂を使用してい
るが、この電気加熱器で加熱するためのエネルギーコス
トが極めて高くつき、現状に合わないという難点があっ
た。
【０００４】これを補うために、図２に示すようにフッ
素系樹脂を内面にコーティングするか、全体がフッ素系
樹脂からなる加熱槽Ａ中に、同じく渦巻き状に形成した
フッ素系樹脂からなる熱交換用チューブＢを配置して、
熱交換用チューブＢに導入した高温水蒸気によって、加
熱槽Ａ中に充填した超純水を熱交換により加熱するよう
にしたものが提案されている。
素系樹脂を内面にコーティングするか、全体がフッ素系
樹脂からなる加熱槽Ａ中に、同じく渦巻き状に形成した
フッ素系樹脂からなる熱交換用チューブＢを配置して、
熱交換用チューブＢに導入した高温水蒸気によって、加
熱槽Ａ中に充填した超純水を熱交換により加熱するよう
にしたものが提案されている。
【０００５】この加熱方法であると、電気加熱器よりも
約５分の１のエネルギーコストで済み安価に加熱するこ
とができるという利点があるが、加熱中の超純水の純度
を維持することに不安があるという別の難点があった。
即ち、上述のようにフッ素系樹脂からなるチューブを渦
巻き状に形成した熱交換用チューブＢ内に高温加圧した
水蒸気を導入してこれを超純水中に配置するのであるか
ら、合成樹脂特有の透過性によって、その加熱途上でチ
ューブＢ内の水蒸気成分がチューブＢの壁から外部に、
即ち超純水中に透過して混入し、このためＰＰＢ（１／
１０9 ）〜ＰＰＴ（１／１０12）という高純度の要求さ
れる超純水を汚す危険性があるという問題があった。
約５分の１のエネルギーコストで済み安価に加熱するこ
とができるという利点があるが、加熱中の超純水の純度
を維持することに不安があるという別の難点があった。
即ち、上述のようにフッ素系樹脂からなるチューブを渦
巻き状に形成した熱交換用チューブＢ内に高温加圧した
水蒸気を導入してこれを超純水中に配置するのであるか
ら、合成樹脂特有の透過性によって、その加熱途上でチ
ューブＢ内の水蒸気成分がチューブＢの壁から外部に、
即ち超純水中に透過して混入し、このためＰＰＢ（１／
１０9 ）〜ＰＰＴ（１／１０12）という高純度の要求さ
れる超純水を汚す危険性があるという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は、上
記従来技術の問題点に鑑み、エネルギーコストが安価に
つき、且つ高純度液の純度を維持しながら所定温度に加
熱することを解決しようとする課題である。
記従来技術の問題点に鑑み、エネルギーコストが安価に
つき、且つ高純度液の純度を維持しながら所定温度に加
熱することを解決しようとする課題である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に係る高純度液の加熱方法にあっ
ては、実施例の参照符号を付して示せば、液槽１中に金
属製の熱交換用チューブ２と、溶出度の少ない合成樹脂
製の熱交換用チューブ３とを配置し、金属製熱交換用チ
ューブ２に高温水蒸気を導入し、合成樹脂製熱交換用チ
ューブ３に液槽１中の液体と同純度の液体を導入し、金
属製熱交換用チューブ２に導入される高温水蒸気によっ
て熱交換され加熱された液槽１中の液体と、合成樹脂製
熱交換用チューブ３に導入される液体とを熱交換して合
成樹脂製熱交換用チューブ３に導入される液体を加熱す
るようにした構成からなるものである。
に、本発明の請求項１に係る高純度液の加熱方法にあっ
ては、実施例の参照符号を付して示せば、液槽１中に金
属製の熱交換用チューブ２と、溶出度の少ない合成樹脂
製の熱交換用チューブ３とを配置し、金属製熱交換用チ
ューブ２に高温水蒸気を導入し、合成樹脂製熱交換用チ
ューブ３に液槽１中の液体と同純度の液体を導入し、金
属製熱交換用チューブ２に導入される高温水蒸気によっ
て熱交換され加熱された液槽１中の液体と、合成樹脂製
熱交換用チューブ３に導入される液体とを熱交換して合
成樹脂製熱交換用チューブ３に導入される液体を加熱す
るようにした構成からなるものである。
【０００８】また請求項２に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２は、ステン
レススチールからなる請求項１記載の構成を採用するも
のである。
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２は、ステン
レススチールからなる請求項１記載の構成を採用するも
のである。
【０００９】また請求項３に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チ
ューブ３は、フッ素系またはポリアミド系樹脂よりなる
請求項１または２記載の構成を採用するものである。
あっては、前記溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チ
ューブ３は、フッ素系またはポリアミド系樹脂よりなる
請求項１または２記載の構成を採用するものである。
【００１０】また請求項４に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記液槽１は、ステンレススチール、フッ素
系またはポリアミド系樹脂よりなる請求項１〜３のいず
れか記載の構成を採用するものである。
あっては、前記液槽１は、ステンレススチール、フッ素
系またはポリアミド系樹脂よりなる請求項１〜３のいず
れか記載の構成を採用するものである。
【００１１】また請求項５に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２に導入され
る高温水蒸気は、２ｋｇ／ｃｍ2 〜５ｋｇ／ｃｍ2 で、
１２０°Ｃ〜１６０°Ｃであり、これによって液槽１中
の液体は８０°Ｃ〜９０°Ｃに加熱され、前記合成樹脂
製の熱交換用チューブ３に導入される液体は、常温の約
２０°Ｃものが５０°Ｃ〜６０°Ｃに加熱される請求項
１〜４のいずれか記載の構成を採用するものである。
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２に導入され
る高温水蒸気は、２ｋｇ／ｃｍ2 〜５ｋｇ／ｃｍ2 で、
１２０°Ｃ〜１６０°Ｃであり、これによって液槽１中
の液体は８０°Ｃ〜９０°Ｃに加熱され、前記合成樹脂
製の熱交換用チューブ３に導入される液体は、常温の約
２０°Ｃものが５０°Ｃ〜６０°Ｃに加熱される請求項
１〜４のいずれか記載の構成を採用するものである。
【００１２】また請求項６に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記両液体は、超純水または純水である請求
項１〜５のいずれか記載の構成を採用するものである。
あっては、前記両液体は、超純水または純水である請求
項１〜５のいずれか記載の構成を採用するものである。
【００１３】また請求項７に係る高純度液の加熱装置に
あっては、液槽１と、該液槽１中に配置され、内部に導
入される高温水蒸気によって該液槽１中の液体を熱交換
により加熱する金属製の熱交換用チューブ２と、液槽１
中に配置され、内部に導入される液体を液槽１中の液体
によって熱交換する溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換
用チューブ３と、からなる構成を採用するものである。
あっては、液槽１と、該液槽１中に配置され、内部に導
入される高温水蒸気によって該液槽１中の液体を熱交換
により加熱する金属製の熱交換用チューブ２と、液槽１
中に配置され、内部に導入される液体を液槽１中の液体
によって熱交換する溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換
用チューブ３と、からなる構成を採用するものである。
【００１４】
【作用】本発明の請求項１に係る高純度液の加熱方法に
よれば、液槽１中の液体は、金属製の熱交換用チューブ
２に導入される高温の水蒸気によって熱交換されて加熱
されることになる。この際、該熱交換用チューブ２は金
属製であるから伝熱効率、即ち熱交換効率がよいため、
液槽１中の液体は容易に加熱されることになり、このた
め、該液体を加熱するためのエネルギーコストは安くつ
く。
よれば、液槽１中の液体は、金属製の熱交換用チューブ
２に導入される高温の水蒸気によって熱交換されて加熱
されることになる。この際、該熱交換用チューブ２は金
属製であるから伝熱効率、即ち熱交換効率がよいため、
液槽１中の液体は容易に加熱されることになり、このた
め、該液体を加熱するためのエネルギーコストは安くつ
く。
【００１５】更には、金属製熱交換用チューブ２は内部
の水蒸気を外部に透過することがなく、従ってこれによ
って熱交換される液槽１中の液体を汚染することはない
と共に、金属製熱交換用チューブ２の金属成分が一部溶
出するようなことがあっても、その純度は殆ど減退する
ことがない。
の水蒸気を外部に透過することがなく、従ってこれによ
って熱交換される液槽１中の液体を汚染することはない
と共に、金属製熱交換用チューブ２の金属成分が一部溶
出するようなことがあっても、その純度は殆ど減退する
ことがない。
【００１６】また溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用
チューブ３に導入される液体は、液槽１中の加熱された
液体と熱交換されて所要温度に加熱されることになる。
チューブ３に導入される液体は、液槽１中の加熱された
液体と熱交換されて所要温度に加熱されることになる。
【００１７】この際、合成樹脂製熱交換用チューブ３中
の液体は、液槽１中の液体と同純度のものが流通するた
め、例え不測に液槽１中の液体が合成樹脂製熱交換用チ
ューブ３中に透過して侵入することがあっても、合成樹
脂製熱交換用チューブ３中の液体を汚染することがな
い。しかも合成樹脂製熱交換用チューブ３中を流通する
液体は当然に加圧されているから、その液体成分が合成
樹脂製熱交換用チューブ３の壁から透過して液槽１中に
侵入することがあっても、液槽１の液体が合成樹脂製熱
交換用チューブ３内に侵入することはない。
の液体は、液槽１中の液体と同純度のものが流通するた
め、例え不測に液槽１中の液体が合成樹脂製熱交換用チ
ューブ３中に透過して侵入することがあっても、合成樹
脂製熱交換用チューブ３中の液体を汚染することがな
い。しかも合成樹脂製熱交換用チューブ３中を流通する
液体は当然に加圧されているから、その液体成分が合成
樹脂製熱交換用チューブ３の壁から透過して液槽１中に
侵入することがあっても、液槽１の液体が合成樹脂製熱
交換用チューブ３内に侵入することはない。
【００１８】このため、合成樹脂製熱交換用チューブ３
中の高純度液は、その加熱途上で汚染されることがなく
安定して所望温度に加熱することができる。
中の高純度液は、その加熱途上で汚染されることがなく
安定して所望温度に加熱することができる。
【００１９】また請求項２に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２は、ステン
レススチールからなるため腐食することなく、また合成
樹脂製熱交換用チューブに比べて熱交換効率がよいと共
に、格段に安価に製作することができる。
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２は、ステン
レススチールからなるため腐食することなく、また合成
樹脂製熱交換用チューブに比べて熱交換効率がよいと共
に、格段に安価に製作することができる。
【００２０】また請求項３に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チ
ューブ３は、フッ素系またはポリアミド系樹脂よりなる
ため、より一層溶出度が少なく高純度の液体を加熱する
ことができる。
あっては、前記溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チ
ューブ３は、フッ素系またはポリアミド系樹脂よりなる
ため、より一層溶出度が少なく高純度の液体を加熱する
ことができる。
【００２１】また請求項４に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記液槽１は、ステンレススチールからなる
ことによって、合成樹脂製液槽、特にフッ素系またはポ
リアミド系液槽に比べて格段に安価に製作することがで
きる。また前記液槽１が、フッ素系またはポリアミド系
樹脂からなることによって、液槽１中に充填される液体
を汚染することなく純度を高率に維持することができ
る。
あっては、前記液槽１は、ステンレススチールからなる
ことによって、合成樹脂製液槽、特にフッ素系またはポ
リアミド系液槽に比べて格段に安価に製作することがで
きる。また前記液槽１が、フッ素系またはポリアミド系
樹脂からなることによって、液槽１中に充填される液体
を汚染することなく純度を高率に維持することができ
る。
【００２２】また請求項５に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２に導入され
る高温水蒸気は、２ｋｇ／ｃｍ2 〜５ｋｇ／ｃｍ2 で、
１２０°Ｃ〜１６０°Ｃであり、これによって液槽１中
の液体は８０°Ｃ〜９０°Ｃに加熱され、前記合成樹脂
製の熱交換用チューブ３に導入される液体は、常温の約
２０°Ｃものが５０°Ｃ〜６０°Ｃに加熱されることに
なり、特に比較的に低温に合成樹脂製熱交換用チューブ
３中の液体を加熱する方法として最適である。
あっては、前記金属性の熱交換用チューブ２に導入され
る高温水蒸気は、２ｋｇ／ｃｍ2 〜５ｋｇ／ｃｍ2 で、
１２０°Ｃ〜１６０°Ｃであり、これによって液槽１中
の液体は８０°Ｃ〜９０°Ｃに加熱され、前記合成樹脂
製の熱交換用チューブ３に導入される液体は、常温の約
２０°Ｃものが５０°Ｃ〜６０°Ｃに加熱されることに
なり、特に比較的に低温に合成樹脂製熱交換用チューブ
３中の液体を加熱する方法として最適である。
【００２３】また請求項６に係る高純度液の加熱方法に
あっては、前記両液体は、超純水または純水であること
によって、安価に且つ高純度を維持して加熱することが
できる。
あっては、前記両液体は、超純水または純水であること
によって、安価に且つ高純度を維持して加熱することが
できる。
【００２４】また請求項７に係る高純度液の加熱装置に
あっては、液槽１に、加熱用の金属製熱交換用チューブ
２と、非加熱液体を導入する合成樹脂製熱交換用チュー
ブ３とを配置するだけの簡単な構成であるから安価に製
作することができる。
あっては、液槽１に、加熱用の金属製熱交換用チューブ
２と、非加熱液体を導入する合成樹脂製熱交換用チュー
ブ３とを配置するだけの簡単な構成であるから安価に製
作することができる。
【００２５】
【実施例】図１は、本発明の第一実施例に係る高純度液
の加熱装置を示すもので、ステンレススチールまたはフ
ッ素系樹脂からなる液槽１には、高純度液、例えば超純
水が充填され、該液槽１の一方側には、ステンレススチ
ール（ＳＵＳ）製の熱交換用チューブ２が渦巻き状に形
成されて、外部から延びて液槽１中に配置され、該液槽
１の他方側には、フッ素系またはポリアミド系の溶出度
の少ない合成樹脂製の熱交換用チューブ３が渦巻き状に
形成されて、外部から延びて液槽１中に配置される。
の加熱装置を示すもので、ステンレススチールまたはフ
ッ素系樹脂からなる液槽１には、高純度液、例えば超純
水が充填され、該液槽１の一方側には、ステンレススチ
ール（ＳＵＳ）製の熱交換用チューブ２が渦巻き状に形
成されて、外部から延びて液槽１中に配置され、該液槽
１の他方側には、フッ素系またはポリアミド系の溶出度
の少ない合成樹脂製の熱交換用チューブ３が渦巻き状に
形成されて、外部から延びて液槽１中に配置される。
【００２６】上記のフッ素系樹脂としては、四フッ化エ
チレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルの共重合
樹脂、四フッ化エチレンとパーフルオロアルキルビニル
エーテルと六フッ化プロピレンの三元共重合樹脂、四フ
ッ化エチレンと六フッ化プロピレンの共重合樹脂、ポリ
テトラフルオロエチレン樹脂が挙げられ、特に四フッ化
エチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルの共重
合樹脂が成形性と耐熱性の面より好適である。なお、こ
れらフッ素系樹脂またはポリアミド系樹脂の市販品とし
ては、米国イー・アイ・デュポン社製の商品名テフロン
ＰＦＡ、同テフロンＥＰＥ、同テフロンＦＥＰ、同ＰＴ
ＦＥ、同ＰＶＤＦ、同ピーク等がある。
チレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルの共重合
樹脂、四フッ化エチレンとパーフルオロアルキルビニル
エーテルと六フッ化プロピレンの三元共重合樹脂、四フ
ッ化エチレンと六フッ化プロピレンの共重合樹脂、ポリ
テトラフルオロエチレン樹脂が挙げられ、特に四フッ化
エチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルの共重
合樹脂が成形性と耐熱性の面より好適である。なお、こ
れらフッ素系樹脂またはポリアミド系樹脂の市販品とし
ては、米国イー・アイ・デュポン社製の商品名テフロン
ＰＦＡ、同テフロンＥＰＥ、同テフロンＦＥＰ、同ＰＴ
ＦＥ、同ＰＶＤＦ、同ピーク等がある。
【００２７】またフッ素系樹脂製熱交換用チューブ３の
チューブ外径の一例としては２０〜５０ｍｍ程度で、厚
みは１〜２ｍｍである。
チューブ外径の一例としては２０〜５０ｍｍ程度で、厚
みは１〜２ｍｍである。
【００２８】しかして、ステンレススチール製熱交換用
チューブ２に導入される飽和蒸気あるいは過熱蒸気から
なる高温水蒸気は、２ｋｇ／ｃｍ2 〜５ｋｇ／ｃｍ
2 で、１２０°Ｃ〜１６０°Ｃであり、これによって液
槽１中の液体は８０°Ｃ〜９０°Ｃに加熱され、加熱さ
れた液体のうち、その蒸発気体は液槽１の排出口４より
排出される。そして液槽１中に配置されるＰＦＡ製の熱
交換用チューブ３に導入される液体は、液槽１中の液体
によって、常温の約２０°Ｃものが５０°Ｃ〜６０°Ｃ
に熱交換によって加熱されることになる。
チューブ２に導入される飽和蒸気あるいは過熱蒸気から
なる高温水蒸気は、２ｋｇ／ｃｍ2 〜５ｋｇ／ｃｍ
2 で、１２０°Ｃ〜１６０°Ｃであり、これによって液
槽１中の液体は８０°Ｃ〜９０°Ｃに加熱され、加熱さ
れた液体のうち、その蒸発気体は液槽１の排出口４より
排出される。そして液槽１中に配置されるＰＦＡ製の熱
交換用チューブ３に導入される液体は、液槽１中の液体
によって、常温の約２０°Ｃものが５０°Ｃ〜６０°Ｃ
に熱交換によって加熱されることになる。
【００２９】この際、該熱交換用チューブ２は伝熱高率
の良いステンレススチール製である熱交換効率がよく、
液槽１中の液体、たとえば超純水は容易に加熱されるこ
とになり、このため、該超純水を加熱するためのエネル
ギーコストは安くつく。
の良いステンレススチール製である熱交換効率がよく、
液槽１中の液体、たとえば超純水は容易に加熱されるこ
とになり、このため、該超純水を加熱するためのエネル
ギーコストは安くつく。
【００３０】更には、ステンレススチール製熱交換用チ
ューブ２は内部の水蒸気を外部に透過することがなく、
従ってこれによって熱交換される液槽１中の超純水を汚
染することはないと共に、ステンレススチール製熱交換
用チューブ２の金属成分が一部溶出するようなことがあ
っても、その純度は殆ど減退することがない。
ューブ２は内部の水蒸気を外部に透過することがなく、
従ってこれによって熱交換される液槽１中の超純水を汚
染することはないと共に、ステンレススチール製熱交換
用チューブ２の金属成分が一部溶出するようなことがあ
っても、その純度は殆ど減退することがない。
【００３１】またフッ素系樹脂からなる熱交換用チュー
ブ３は、溶出度が少なく、これに導入される超純水を汚
染することなく高純度を維持しながら、液槽１中の加熱
された液体と熱交換されて所要温度に加熱されることに
なる。
ブ３は、溶出度が少なく、これに導入される超純水を汚
染することなく高純度を維持しながら、液槽１中の加熱
された液体と熱交換されて所要温度に加熱されることに
なる。
【００３２】またフッ素系樹脂製熱交換用チューブ３中
の超純水は、液槽１中の超純水または純水と同純度のも
のが流通するため、例え不測に液槽１中の液体がフッ素
系樹脂製熱交換用チューブ３中に透過して侵入すること
があっても、該熱交換用チューブ３中の超純水を汚染す
ることがない。しかもフッ素系樹脂製熱交換用チューブ
３中を流通する超純水は当然に加圧状態で導入されてい
るから、その液体成分がフッ素系樹脂製熱交換用チュー
ブ３の壁から透過して液槽１中に侵入することがあって
も、液槽１の純水がフッ素系樹脂製熱交換用チューブ３
内に侵入することはない。
の超純水は、液槽１中の超純水または純水と同純度のも
のが流通するため、例え不測に液槽１中の液体がフッ素
系樹脂製熱交換用チューブ３中に透過して侵入すること
があっても、該熱交換用チューブ３中の超純水を汚染す
ることがない。しかもフッ素系樹脂製熱交換用チューブ
３中を流通する超純水は当然に加圧状態で導入されてい
るから、その液体成分がフッ素系樹脂製熱交換用チュー
ブ３の壁から透過して液槽１中に侵入することがあって
も、液槽１の純水がフッ素系樹脂製熱交換用チューブ３
内に侵入することはない。
【００３３】このため、フッ素系樹脂製熱交換用チュー
ブ３中の超純水は、その加熱途上で汚染されることがな
く高純度を維持して安定して所望温度に加熱することが
できる。
ブ３中の超純水は、その加熱途上で汚染されることがな
く高純度を維持して安定して所望温度に加熱することが
できる。
【００３４】しかして本発明は、特に半導体の加工工程
で使用される超純水の加熱手段として好適に採用するこ
とができる。
で使用される超純水の加熱手段として好適に採用するこ
とができる。
【００３５】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、液体を加熱す
るためのエネルギーコストが安くつくと共に、高純度に
維持しながら安定して加熱することができる。
るためのエネルギーコストが安くつくと共に、高純度に
維持しながら安定して加熱することができる。
【００３６】また請求項２の発明によれば、前記金属性
の熱交換用チューブは、ステンレススチールからなるた
め腐食することなく、また合成樹脂製熱交換用チューブ
に比べて熱交換効率がよいと共に、格段に安価に製作す
ることができる。
の熱交換用チューブは、ステンレススチールからなるた
め腐食することなく、また合成樹脂製熱交換用チューブ
に比べて熱交換効率がよいと共に、格段に安価に製作す
ることができる。
【００３７】また請求項３の発明によれば、前記溶出度
の少ない合成樹脂製の熱交換用チューブは、フッ素系ま
たはポリアミド系樹脂よりなるため、より一層溶出度が
少なく高純度の液体を加熱することができる。
の少ない合成樹脂製の熱交換用チューブは、フッ素系ま
たはポリアミド系樹脂よりなるため、より一層溶出度が
少なく高純度の液体を加熱することができる。
【００３８】また請求項４の発明によれば、前記液槽
は、ステンレススチールからなることによって、合成樹
脂製液槽、特にフッ素系またはポリアミド系液槽に比べ
て格段に安価に製作することができる。また前記液槽
が、フッ素系またはポリアミド系樹脂からなることによ
って、液槽中に充填される液体を汚染することなく純度
を高率に維持することができる。
は、ステンレススチールからなることによって、合成樹
脂製液槽、特にフッ素系またはポリアミド系液槽に比べ
て格段に安価に製作することができる。また前記液槽
が、フッ素系またはポリアミド系樹脂からなることによ
って、液槽中に充填される液体を汚染することなく純度
を高率に維持することができる。
【００３９】また請求項５の発明によれば、特に比較的
に低温に合成樹脂製熱交換用チューブ中の液体を加熱す
る方法として最適である。
に低温に合成樹脂製熱交換用チューブ中の液体を加熱す
る方法として最適である。
【００４０】また請求項６の発明によれば、前記両液体
は、超純水または純水であることによって、安価に且つ
高純度を維持して加熱することができる。
は、超純水または純水であることによって、安価に且つ
高純度を維持して加熱することができる。
【００４１】また請求項７の発明によれば、簡単な構成
であるから安価に製作することができる。
であるから安価に製作することができる。
【図１】 本発明の一実施例を示す概略図である。
【図２】 同従来例を示す概略図である。
１ 液槽 ２ 金属製熱交換用チューブ ３ 合成樹脂製熱交換用チューブ
Claims (7)
- 【請求項１】 液槽中に金属製の熱交換用チューブと、
溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チューブとを配置
し、金属製熱交換用チューブに高温水蒸気を導入し、合
成樹脂製熱交換用チューブに液槽中の液体と同純度の液
体を導入し、金属製熱交換用チューブに導入される高温
水蒸気によって熱交換され加熱された液槽中の液体と、
合成樹脂製熱交換用チューブに導入される液体とを熱交
換して合成樹脂製熱交換用チューブに導入される液体を
加熱するようにした高純度液の加熱方法。 - 【請求項２】 前記金属性の熱交換用チューブは、ステ
ンレススチールからなる請求項１記載の高純度液の加熱
方法。 - 【請求項３】 前記溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換
用チューブは、フッ素系またはポリアミド系樹脂よりな
る請求項１または２記載の高純度液の加熱方法。 - 【請求項４】 前記液槽は、ステンレススチール、フッ
素系またはポリアミド系樹脂よりなる請求項１〜３のい
ずれか記載の高純度液の加熱方法。 - 【請求項５】 前記金属性の熱交換用チューブに導入さ
れる高温水蒸気は、２ｋｇ／ｃｍ2 〜５ｋｇ／ｃｍ
2 で、１２０°Ｃ〜１６０°Ｃであり、これによって液
槽中の液体は８０°Ｃ〜９０°Ｃに加熱され、前記合成
樹脂製の熱交換用チューブに導入される液体は、常温の
約２０°Ｃものが５０°Ｃ〜６０°Ｃに加熱される請求
項１〜４のいずれか記載の高純度液の加熱方法。 - 【請求項６】 前記両液体は、超純水または純水である
請求項１〜５のいずれか記載の高純度液の加熱方法。 - 【請求項７】 液槽と、該液槽中に配置され、内部に導
入される高温水蒸気によって該液槽中の液体を熱交換に
より加熱する金属製の熱交換用チューブと、液槽中に配
置され、内部に導入される液体を液槽中の液体によって
熱交換する溶出度の少ない合成樹脂製の熱交換用チュー
ブと、からなる高純度液の加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17021693A JP2688561B2 (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 高純度液の加熱方法と加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17021693A JP2688561B2 (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 高純度液の加熱方法と加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729786A true JPH0729786A (ja) | 1995-01-31 |
| JP2688561B2 JP2688561B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=15900826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17021693A Expired - Fee Related JP2688561B2 (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 高純度液の加熱方法と加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2688561B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006159003A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Mayekawa Mfg Co Ltd | 超純水の加熱冷却方法及び装置 |
| KR100737799B1 (ko) * | 2001-08-01 | 2007-07-10 | 주식회사 포스코 | 암모니아 포집액 가열장치 |
-
1993
- 1993-07-09 JP JP17021693A patent/JP2688561B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100737799B1 (ko) * | 2001-08-01 | 2007-07-10 | 주식회사 포스코 | 암모니아 포집액 가열장치 |
| JP2006159003A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Mayekawa Mfg Co Ltd | 超純水の加熱冷却方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2688561B2 (ja) | 1997-12-10 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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