JPH07283129A - Chemical liquid exchange time decision method - Google Patents
Chemical liquid exchange time decision methodInfo
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- JPH07283129A JPH07283129A JP6100629A JP10062994A JPH07283129A JP H07283129 A JPH07283129 A JP H07283129A JP 6100629 A JP6100629 A JP 6100629A JP 10062994 A JP10062994 A JP 10062994A JP H07283129 A JPH07283129 A JP H07283129A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、順次に二つの薬液によ
る処理を行なう場合の薬液の交換時期判定方法に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for determining the replacement time of chemicals when performing treatments with two chemicals sequentially.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、例えば半導体製造装置等の自動装
置において、レジスト剥離装置が使用されている。レジ
スト剥離装置は、二つの剥離槽内に、順次に被処理物を
浸漬することにより、２段階にて処理を行なうようにな
っている。2. Description of the Related Art Conventionally, a resist stripping apparatus has been used in an automatic apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus. The resist stripping apparatus is configured to perform the treatment in two stages by successively immersing the object to be treated in the two stripping tanks.
【０００３】このように２種類の薬液による処理を行な
う場合、図３に示すように、被処理物を第一槽１内に浸
漬して、第一の薬液２により処理を行なった後、該被処
理物を第二槽３内に浸漬して、第二の薬液４により処理
を行なうようにしている。When the treatment with two kinds of chemicals is carried out in this way, as shown in FIG. 3, the object to be treated is immersed in the first tank 1 and treated with the first chemical 2, and then the treatment is carried out. The object to be treated is immersed in the second tank 3 and treated with the second chemical liquid 4.
【０００４】ここで、各薬液２，４は、処理を繰返し行
なうことにより劣化するので、薬液２，４の交換が行な
われる。例えば、第一の薬液２については、１０バッチ
で、また第二の薬液４については、４０バッチで、交換
されるようになっている。Here, since the chemicals 2 and 4 are deteriorated by repeating the treatment, the chemicals 2 and 4 are exchanged. For example, the first chemical liquid 2 is exchanged in 10 batches, and the second chemical liquid 4 is exchanged in 40 batches.
【０００５】この場合、交換処理は、図４に示すフロー
チャートに従って、行なわれる。その際、各槽１，３に
おける処理の回数をカウントしておく。処理が開始され
ると、先づ第一槽１での処理を行なった後、該第一槽１
での処理回数を判定する。In this case, the exchange process is performed according to the flowchart shown in FIG. At that time, the number of treatments in each of the tanks 1 and 3 is counted. When the treatment is started, the treatment in the first tank 1 is performed first, and then the first tank 1 is treated.
To determine the number of times of processing.
【０００６】ここで、処理回数が１０回以上であるとき
は、交換表示アラームにより警告を行なった後、また処
理回数が１０回未満であるときは、直接に第二槽３での
処理を行ない、再び第二槽３での処理回数を判定する。Here, when the number of treatments is 10 or more, a warning is given by a replacement display alarm, and when the number of treatments is less than 10, the treatment in the second tank 3 is directly performed. Then, the number of treatments in the second tank 3 is determined again.
【０００７】ここで、処理回数が４０回以上であるとき
は、交換表示アラームにより警告を行ない、また処理回
数が４０回未満であるときは、そのままで処理が終了す
ることになる。Here, when the number of times of processing is 40 or more, a warning is given by a replacement display alarm, and when the number of times of processing is less than 40, the processing is terminated as it is.
【０００８】かくして、上述した交換表示アラームによ
る警告が行なわれた場合には、当該処理槽１または３の
薬液が交換される。これにより、第一槽１及び第二槽３
における薬液の交換は、図５に示すように、行なわれる
ことになる。Thus, when the warning by the above-mentioned replacement display alarm is issued, the chemical solution in the processing tank 1 or 3 is replaced. Thereby, the first tank 1 and the second tank 3
The exchange of the chemical solution in step 2 will be performed as shown in FIG.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな薬液交換時期判定方法においては、第二の薬液４が
比較的新しい場合には、第一の薬液２が１０バッチを越
えたとしても、第二槽３における第二の薬液４による処
理が終了したときに、レジスト残り等は発生しない。従
って、この場合、第一の薬液２を交換しなくても、処理
が確実に行なわれ得ることになる。かくして、一律に１
０バッチで第一の薬液２を交換することは、コストが高
くなってしまうと共に、省資源の点からも好ましくな
い。However, in such a method for determining the chemical solution exchange timing, when the second chemical solution 4 is relatively new, even if the first chemical solution 2 exceeds 10 batches, When the treatment with the second chemical liquid 4 in the second tank 3 is completed, no resist residue or the like occurs. Therefore, in this case, the processing can be surely performed without exchanging the first chemical liquid 2. Thus, 1 uniformly
Replacing the first chemical liquid 2 in 0 batch is not preferable from the viewpoint of cost saving and resource saving.
【００１０】本発明は、以上の点に鑑み、コストが低減
され得ると共に、省資源の点で有利である、薬液交換時
期判定方法を提供することを目的としている。In view of the above points, it is an object of the present invention to provide a chemical liquid replacement timing determination method which can reduce costs and is advantageous in resource saving.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、第一槽にて第一の薬液により処理を行なった後、
第二層にて第二の薬液による処理を行なう処理工程に
て、各槽における処理回数をカウントしておき、各槽で
の処理が終了した後、処理回数を判定して、それぞれ対
応する交換回数以上の場合には交換時期であると判定す
る、薬液交換時期判定方法において、第一槽での処理が
終了した後に、第二槽での処理回数が所定回数未満の場
合には第一の回数で、また所定回数以上の場合には該第
一の回数より少ない第二の回数で、第一槽での処理回数
を判定するようにしたことを特徴とする、薬液交換時期
判定方法により、達成される。According to the present invention, the above-mentioned object is as follows:
In the process step of performing treatment with the second chemical solution in the second layer, the number of treatments in each tank is counted, and after the treatment in each tank is completed, the number of treatments is determined and the corresponding exchange is performed. If it is more than the number of times, it is determined that it is the replacement time, in the method for determining the replacement time of the chemical liquid, after the processing in the first tank is completed, if the number of times of processing in the second tank is less than the predetermined number of times, the first By the number of times, and in the case of a predetermined number of times or more, a second number less than the first number, characterized in that the number of times of treatment in the first tank is determined, by the method for determining the liquid chemical replacement time, To be achieved.
【００１２】[0012]
【作用】上記構成によれば、第二槽での処理回数が所定
回数未満の場合には、第二槽内の第二の薬液が比較的新
しいので、第一槽の第一の薬液の交換時期を第二の回数
から第一の回数まで延ばすことにより、第一の薬液の寿
命が長くなる。これにより、第一の薬液の交換回数が少
なくて済むことになる。According to the above construction, when the number of treatments in the second tank is less than the predetermined number of times, the second chemical liquid in the second tank is relatively new, so the first chemical liquid in the first tank is replaced. By prolonging the period from the second number to the first number, the life of the first chemical liquid is extended. As a result, the number of times of exchanging the first chemical liquid can be reduced.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて、本発
明を詳細に説明する。図１は、本発明による薬液交換時
期判定方法の一実施例のフローチャートを示している。
この場合、薬液処理工程は、図３に示した従来の薬液処
理装置によって行なわれる。即ち、被処理物を第一槽１
内に浸漬して、第一の薬液２により処理を行なった後、
該被処理物を第二槽３内に浸漬して、第二の薬液４によ
り処理を行なうと共に、各槽１，３における処理の回数
をカウントしておく。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below based on the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 shows a flow chart of an embodiment of a method for determining a chemical solution replacement timing according to the present invention.
In this case, the chemical liquid treatment step is performed by the conventional chemical liquid treatment device shown in FIG. That is, the object to be treated is the first tank 1
After being dipped in and treated with the first chemical liquid 2,
The object to be processed is dipped in the second tank 3 to be processed by the second chemical solution 4, and the number of times of processing in each tank 1, 3 is counted.
【００１４】図１において、処理が開始されると、先づ
第一槽１での処理を行なった後、該第二槽３での処理回
数を判定する。In FIG. 1, when the treatment is started, the treatment in the first tank 1 is performed first, and then the number of treatments in the second tank 3 is determined.
【００１５】ここで、処理回数が３０回以上であるとき
は、Ｎ1＝１０とし、また処理回数が３０回未満である
ときは、Ｎ1＝１５として、第一槽１での処理回数を判
定する。Here, when the number of treatments is 30 or more, N 1 = 10, and when the number of treatments is less than 30, N 1 = 15 and the number of treatments in the first tank 1 is set. judge.
【００１６】処理回数がＮ1回以上であるときは、交換
表示アラームにより警告を行なった後、また処理回数が
Ｎ1回未満であるときは、直接に第二槽３での処理を行
ない、再び第二槽３での処理回数を判定する。When the number of treatments is N 1 or more, a warning is given by a replacement display alarm, and when the number of treatments is less than N 1 , the treatment in the second tank 3 is directly performed. The number of treatments in the second tank 3 is determined again.
【００１７】ここで、処理回数が４０回以上であるとき
は、交換表示アラームにより警告を行ない、また処理回
数が４０回未満であるときは、そのままで処理が終了す
ることになる。Here, when the number of times of processing is 40 or more, a warning is issued by an exchange display alarm, and when the number of times of processing is less than 40, the processing is terminated as it is.
【００１８】かくして、上述した交換表示アラームによ
る警告が行なわれた場合には、当該処理槽１または３の
薬液が交換される。これにより、第一槽１及び第二槽３
における薬液の交換は、図２に示すように、行なわれる
ことになる。Thus, when the warning by the above-mentioned replacement display alarm is issued, the chemical solution in the processing tank 1 or 3 is replaced. Thereby, the first tank 1 and the second tank 3
The exchange of the chemical solution in step 2 will be performed as shown in FIG.
【００１９】これにより、第二槽３の薬液４が４０バッ
チで一回交換される間に、第一槽１の薬液２は、従来は
図５に示すように１０バッチ毎に４回交換されていたの
に対して、上記実施例においては、最初の２回は１５バ
ッチ毎に交換され、最後に１０バッチで交換されること
になり、３回の交換で済むことになる。かくして、従来
の４回交換に対して、３回交換でよいことから、一回分
の第一の薬液３が節約され得ることになると共に、交換
作業も一回少なくて済む。これにより、コストが低減さ
れ得ると共に、省資源に寄与することになる。As a result, while the chemical solution 4 in the second tank 3 is exchanged once in 40 batches, the chemical solution 2 in the first tank 1 is conventionally exchanged 4 times in every 10 batches as shown in FIG. On the other hand, in the above-described embodiment, the first two times are exchanged every 15 batches, and the last 10 batches are exchanged, so that the exchange is performed 3 times. In this way, since three replacements are sufficient as compared with the conventional four replacements, the first chemical solution 3 for one time can be saved, and the replacement work can be reduced once. This can reduce the cost and contribute to resource saving.
【００２０】尚、上記実施例においては、レジスト剥離
工程における２段階の剥離液処理の場合について説明し
たが、これに限らず、例えば洗浄工程等の複数の薬液処
理槽を有する自動機に対して、本発明を適用し得ること
は明らかである。In the above embodiment, the case of the two-step stripping solution treatment in the resist stripping step has been described, but the present invention is not limited to this, and for an automatic machine having a plurality of chemical solution processing tanks for a cleaning step or the like. It is obvious that the present invention can be applied.
【００２１】また、上記実施例においては、各薬液２，
４の交換時期は、交換表示アラームによる警告を行なう
ことにより、告知され得るようになっているが、これに
限らず、他の警告手段を使用することも可能であり、さ
らに自動交換装置によって第一槽１及び第二槽３の各薬
液２，４を自動交換するようにしてもよい。In the above embodiment, each chemical solution 2,
The replacement timing of No. 4 can be notified by issuing a warning by an exchange display alarm, but the present invention is not limited to this, and other warning means can be used. The chemicals 2 and 4 in the first tank 1 and the second tank 3 may be automatically replaced.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、第
二槽での処理回数が所定回数未満の場合には、第二槽内
の第二の薬液が比較的新しいので、第一槽の第一の薬液
の交換時期を第二の回数から第一の回数まで延ばすこと
により、第一の薬液の寿命が長くなる。これにより、第
一の薬液の交換回数が少なくて済むことになる。従っ
て、第一の薬液の使用量が低減されると共に、交換作業
の回数が削減される。これにより、コストが低減され得
ると共に、省資源の点で有利となる。かくして、本発明
によれば、コストが低減され得ると共に、省資源の点で
有利である、極めて優れた薬液交換時期判定方法が提供
され得ることになる。As described above, according to the present invention, when the number of treatments in the second tank is less than the predetermined number, the second chemical liquid in the second tank is relatively new. By extending the replacement time of the first chemical liquid in the tank from the second number to the first number, the life of the first chemical liquid is extended. As a result, the number of times of exchanging the first chemical liquid can be reduced. Therefore, the usage amount of the first chemical liquid is reduced and the number of times of replacement work is reduced. This can reduce costs and is advantageous in saving resources. Thus, according to the present invention, it is possible to provide an extremely excellent method for determining the replacement time of the liquid chemical, which is advantageous in terms of resource saving as well as cost reduction.
【図１】本発明による薬液交換時期判定方法の一実施例
を示すフローチャートである。FIG. 1 is a flowchart showing an embodiment of a method for determining a liquid chemical replacement timing according to the present invention.
【図２】図１の方法による第一槽及び第二槽の薬液交換
タイミングを示すタイムチャートである。FIG. 2 is a time chart showing the chemical liquid exchange timing of the first tank and the second tank by the method of FIG.
【図３】二槽による薬液処理工程を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing a chemical liquid treatment process using two tanks.
【図４】従来の薬液交換時期判定方法の一例を示すフロ
ーチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing an example of a conventional method for determining a liquid chemical replacement time.
【図５】図４の方法による第一槽及び第二槽の薬液交換
タイミングを示すタイムチャートである。5 is a time chart showing the chemical liquid exchange timing of the first tank and the second tank by the method of FIG.
１ 第一槽 ２ 第一の薬液 ３ 第二槽 ４ 第二の薬液 1 1st tank 2 1st chemical liquid 3 2nd tank 4 2nd chemical liquid
Claims (1)
った後、第二層にて第二の薬液による処理を行なう処理
工程にて、各槽における処理回数をカウントしておき、
各槽での処理が終了した後、処理回数を判定して、それ
ぞれ対応する交換回数以上の場合には交換時期であると
判定する、薬液交換時期判定方法において、 第一槽での処理が終了した後に、第二槽での処理回数が
所定回数未満の場合には第一の回数で、また所定回数以
上の場合には該第一の回数より少ない第二の回数で、第
一槽での処理回数を判定するようにしたことを特徴とす
る、薬液交換時期判定方法。1. The number of treatments in each tank is counted in a treatment step in which a treatment with the first chemical liquid is performed in the first tank and then a treatment with the second chemical liquid is performed in the second layer,
After the treatment in each tank is completed, the number of treatments is judged, and if it is more than the corresponding number of exchanges, it is judged that it is the replacement time. After that, if the number of treatments in the second tank is less than the predetermined number of times, the first number of times, and if the number of times of treatment is more than the predetermined number of times, the second number of times smaller than the first number of times, in the first tank A method for determining a chemical liquid replacement time, characterized in that the number of treatments is determined.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10062994A JP3301213B2 (en) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | How to determine chemical replacement time |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10062994A JP3301213B2 (en) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | How to determine chemical replacement time |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07283129A true JPH07283129A (en) | 1995-10-27 |
| JP3301213B2 JP3301213B2 (en) | 2002-07-15 |
Family
ID=14279137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10062994A Expired - Lifetime JP3301213B2 (en) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | How to determine chemical replacement time |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301213B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103567110A (en) * | 2012-08-03 | 2014-02-12 | 东京毅力科创株式会社 | Process liquid supply apparatus operating method, and process liquid supply apparatus |
-
1994
- 1994-04-13 JP JP10062994A patent/JP3301213B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103567110A (en) * | 2012-08-03 | 2014-02-12 | 东京毅力科创株式会社 | Process liquid supply apparatus operating method, and process liquid supply apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3301213B2 (en) | 2002-07-15 |
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