JPH07275942A - 曲げ機械の安全運転方法および安全装置 - Google Patents
曲げ機械の安全運転方法および安全装置Info
- Publication number
- JPH07275942A JPH07275942A JP6874294A JP6874294A JPH07275942A JP H07275942 A JPH07275942 A JP H07275942A JP 6874294 A JP6874294 A JP 6874294A JP 6874294 A JP6874294 A JP 6874294A JP H07275942 A JPH07275942 A JP H07275942A
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- JP
- Japan
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- light
- bending
- ultraviolet
- receiving sensor
- light receiving
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業者の手などの身体のみを確実に検出し、
曲げ加工効率を低下させることなく高い安全性を確保す
るプレスブレーキなどの曲げ機械の安全運転方法を提供
することにある。 【構成】 上部金型と下部金型とによる曲げ加工空間１
１に対して紫外線投光器１５により紫外線を放ち、その
紫外線の蛍光含有物（作業者が着用した蛍光物含有の手
袋Ｈ）よりの反射光の有無を受光センサ１７により検出
し、反射光検出時には金型移動を停止する。
曲げ加工効率を低下させることなく高い安全性を確保す
るプレスブレーキなどの曲げ機械の安全運転方法を提供
することにある。 【構成】 上部金型と下部金型とによる曲げ加工空間１
１に対して紫外線投光器１５により紫外線を放ち、その
紫外線の蛍光含有物（作業者が着用した蛍光物含有の手
袋Ｈ）よりの反射光の有無を受光センサ１７により検出
し、反射光検出時には金型移動を停止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プレスブレーキなどの
曲げ機械の安全運転方法および安全装置に関し、特に作
業者保護のための光学式の安全運転方法および安全装置
に関するものである。
曲げ機械の安全運転方法および安全装置に関し、特に作
業者保護のための光学式の安全運転方法および安全装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プレスブレーキなどの曲げ機械には、作
業者の手が金型により挟まれることを防止する安全装置
が設けられている。
業者の手が金型により挟まれることを防止する安全装置
が設けられている。
【０００３】この安全装置としては光学式のもの知られ
ている。光学式の安全装置は、基本的には、特公昭５６
−３８８３７号公報に示されているように、上部金型と
下部金型とによる曲げ加工空間の一方の側に配置された
投光器より他方の側に配置された受光器へ向けて光線を
放ち、曲げ加工空間に作業者の手があると、光線が遮ら
れ、受光器が投光器よりの光線を受光しなくなることに
より、曲げ機械の金型移動を停止する。
ている。光学式の安全装置は、基本的には、特公昭５６
−３８８３７号公報に示されているように、上部金型と
下部金型とによる曲げ加工空間の一方の側に配置された
投光器より他方の側に配置された受光器へ向けて光線を
放ち、曲げ加工空間に作業者の手があると、光線が遮ら
れ、受光器が投光器よりの光線を受光しなくなることに
より、曲げ機械の金型移動を停止する。
【０００４】安全性を高めるために、光学式安全装置に
は、投光器と受光器とを、金型移動方向、多くの場合、
上下方向に２０ｍｍ程度の小間隔をおいて複数個有する
多光軸方式のものがあり、この多光軸方式の光学式安全
装置が多く採用されている。
は、投光器と受光器とを、金型移動方向、多くの場合、
上下方向に２０ｍｍ程度の小間隔をおいて複数個有する
多光軸方式のものがあり、この多光軸方式の光学式安全
装置が多く採用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のような光学式安
全装置は、作業者保護と云う所期の目的を達成するが、
しかし感度がよいほど曲げ加工空間に配置された曲げ加
工素材の存在にも感応し、これは曲げ加工効率を低下さ
せる原因になる。
全装置は、作業者保護と云う所期の目的を達成するが、
しかし感度がよいほど曲げ加工空間に配置された曲げ加
工素材の存在にも感応し、これは曲げ加工効率を低下さ
せる原因になる。
【０００６】特に箱曲げなどにおいて、曲げ加工素材が
折り曲げ起立片を有していると、この折り曲げ起立片に
より光線が遮られ、このことにより安全装置が動作し、
金型移動が不必要に停止することになる。
折り曲げ起立片を有していると、この折り曲げ起立片に
より光線が遮られ、このことにより安全装置が動作し、
金型移動が不必要に停止することになる。
【０００７】本発明は、従来の光学式安全装置に於ける
上述の如き問題点に着目してなされたものであり、作業
者の手などの身体のみを確実に検出し、曲げ加工効率を
低下させることなく高い安全性を確保するプレスブレー
キなどの曲げ機械の安全運転方法および安全装置を提供
することを目的としている。
上述の如き問題点に着目してなされたものであり、作業
者の手などの身体のみを確実に検出し、曲げ加工効率を
低下させることなく高い安全性を確保するプレスブレー
キなどの曲げ機械の安全運転方法および安全装置を提供
することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的は、本発明に
よれば、上部金型と下部金型とによる曲げ加工空間に対
して紫外線を放ち、その紫外線の蛍光含有物よりの反射
光の有無を検出し、反射光検出時には金型移動を停止す
ることを特徴とする曲げ機械の安全運転方法によって達
成される。
よれば、上部金型と下部金型とによる曲げ加工空間に対
して紫外線を放ち、その紫外線の蛍光含有物よりの反射
光の有無を検出し、反射光検出時には金型移動を停止す
ることを特徴とする曲げ機械の安全運転方法によって達
成される。
【０００９】また上述の目的を達成するため、本発明に
よる曲げ機械の安全装置は、上部金型と下部金型とによ
る曲げ加工空間に対して紫外線を放つ紫外線投光器と、
前記曲げ加工空間における紫外線の蛍光含有物よりの反
射光の有無を検出する受光センサとを有し、前記受光セ
ンサによる反射光検出により金型移動を停止することを
特徴としている。
よる曲げ機械の安全装置は、上部金型と下部金型とによ
る曲げ加工空間に対して紫外線を放つ紫外線投光器と、
前記曲げ加工空間における紫外線の蛍光含有物よりの反
射光の有無を検出する受光センサとを有し、前記受光セ
ンサによる反射光検出により金型移動を停止することを
特徴としている。
【００１０】本発明による曲げ機械の安全装置が使用す
る紫外線投光器は波長が３１５ｎｍ以上の無害紫外線を
放射することを詳細な特徴としていてよい。
る紫外線投光器は波長が３１５ｎｍ以上の無害紫外線を
放射することを詳細な特徴としていてよい。
【００１１】また本発明による曲げ機械の安全装置にお
いては、前記受光センサは可視光に感応する受光センサ
であってよい。
いては、前記受光センサは可視光に感応する受光センサ
であってよい。
【００１２】また本発明による曲げ機械の安全装置にお
いては、前記紫外線投光器と前記受光センサは曲げ加工
空間の水平方向の一方の側と垂直方向の一方の側のいず
れか一方あるいは両方に配置されている。
いては、前記紫外線投光器と前記受光センサは曲げ加工
空間の水平方向の一方の側と垂直方向の一方の側のいず
れか一方あるいは両方に配置されている。
【００１３】
【作用】上述の如き構成によれば、曲げ加工空間に蛍光
含有物が存在すると、その蛍光含有物に紫外線が照射さ
れ、当該蛍光物よりの紫外線の反射光は蛍光物の物理的
効果により長波長光に変化しており、この反射光の存在
により金型移動が停止される。従って、作業者が白色軍
手など蛍光物を含有した作業手袋、作業服を着用してい
れば、それらを着用した作業者の存在により金型移動が
停止し、通常、蛍光物を含んでいない金属板などの曲げ
加工素材の存在によって金型移動が停止することがな
い。
含有物が存在すると、その蛍光含有物に紫外線が照射さ
れ、当該蛍光物よりの紫外線の反射光は蛍光物の物理的
効果により長波長光に変化しており、この反射光の存在
により金型移動が停止される。従って、作業者が白色軍
手など蛍光物を含有した作業手袋、作業服を着用してい
れば、それらを着用した作業者の存在により金型移動が
停止し、通常、蛍光物を含んでいない金属板などの曲げ
加工素材の存在によって金型移動が停止することがな
い。
【００１４】紫外線投光器が放つ紫外線は波長が３１５
ｎｍ以上の無害紫外線であることにより、紫外線が作業
者の人体に悪影響を及ぼすことがない。
ｎｍ以上の無害紫外線であることにより、紫外線が作業
者の人体に悪影響を及ぼすことがない。
【００１５】蛍光物よりの紫外線の反射光は蛍光含有物
の物理的効果により長波長光に変化し、可視光であるか
ら、受光センサは、太陽電池、ホトダイオード、ＣｄＳ
系光導電セルなど、可視光に感応する受光センサで構成
される。
の物理的効果により長波長光に変化し、可視光であるか
ら、受光センサは、太陽電池、ホトダイオード、ＣｄＳ
系光導電セルなど、可視光に感応する受光センサで構成
される。
【００１６】紫外線投光器と受光センサとが曲げ加工空
間の水平方向の一方の側と垂直方向の一方の側とに配置
されていれば、その一方の紫外線投光器よりの紫外線が
曲げ加工素材の片部により遮られても、他方の紫外線投
光器よりの紫外線により蛍光含有物の有無が検出され
る。
間の水平方向の一方の側と垂直方向の一方の側とに配置
されていれば、その一方の紫外線投光器よりの紫外線が
曲げ加工素材の片部により遮られても、他方の紫外線投
光器よりの紫外線により蛍光含有物の有無が検出され
る。
【００１７】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
【００１８】図１は本発明による安全装置を装備された
プレスブレーキを示している。プレスブレーキは、サイ
ドフレーム１に固定された上部固定テーブル３と、内蔵
シリンダ装置により上下動される下部可動テーブル５と
を有している。上部固定テーブル３の下端に上部金型
（パンチ）７が装着され、下部可動テーブル５の上部に
下部金型（ダイ）９が装着され、上部金型７と下部金型
９との間に曲げ加工空間１１が画定されている。
プレスブレーキを示している。プレスブレーキは、サイ
ドフレーム１に固定された上部固定テーブル３と、内蔵
シリンダ装置により上下動される下部可動テーブル５と
を有している。上部固定テーブル３の下端に上部金型
（パンチ）７が装着され、下部可動テーブル５の上部に
下部金型（ダイ）９が装着され、上部金型７と下部金型
９との間に曲げ加工空間１１が画定されている。
【００１９】曲げ加工空間１１の水平方向の一方の側に
は下部可動テーブル５に取り付けられたマウント部材１
３によりと紫外線投光器１５と受光センサ１７とが配置
されている。紫外線投光器１５と受光センサ１７とは、
隣合わせに近接配置されて一つのケース１９にパッケー
ジされ、一つの検出器として取り扱われ、紫外線投光器
１５は曲げ加工空間１１に対して紫外線を放射するよ
う、また受光センサ１７は曲げ加工空間１１よりの光線
を受光するよう、取り付け方向を選定されている。
は下部可動テーブル５に取り付けられたマウント部材１
３によりと紫外線投光器１５と受光センサ１７とが配置
されている。紫外線投光器１５と受光センサ１７とは、
隣合わせに近接配置されて一つのケース１９にパッケー
ジされ、一つの検出器として取り扱われ、紫外線投光器
１５は曲げ加工空間１１に対して紫外線を放射するよ
う、また受光センサ１７は曲げ加工空間１１よりの光線
を受光するよう、取り付け方向を選定されている。
【００２０】紫外線投光器１５が放つ紫外線は波長が３
１５ｎｍ以上、例えば３６５ｎｍ程度の無害紫外線に設
定されている。
１５ｎｍ以上、例えば３６５ｎｍ程度の無害紫外線に設
定されている。
【００２１】受光センサ１７は波長が４５０〜７８０ｎ
ｍ程度の可視光に応動する可視光型受光センサにより構
成されており、ここでは太陽電池、ホトダイオード、Ｃ
ｄＳ系光導電セルなどが使用されてよい。
ｍ程度の可視光に応動する可視光型受光センサにより構
成されており、ここでは太陽電池、ホトダイオード、Ｃ
ｄＳ系光導電セルなどが使用されてよい。
【００２２】また受光センサ１７には紫外線が入射しな
いよう、図２に示されているように、受光センサ１７の
受光面２１には光学式の紫外線カットフィルタ２３が配
置されていてよい。
いよう、図２に示されているように、受光センサ１７の
受光面２１には光学式の紫外線カットフィルタ２３が配
置されていてよい。
【００２３】紫外線投光器１５と受光センサ１７は駆動
制御装置２５に接続され、駆動制御装置２５は、紫外線
投光器１５を所定の周波数をもってパルス発光駆動し、
紫外線投光器１５の駆動周波数と同一の周波数特性をも
って受光センサ１７の受光量を処理し、所定のしきい値
以上の受光量があれば、下部可動テーブル５の駆動制御
装置２７へ停止指令を出力する。
制御装置２５に接続され、駆動制御装置２５は、紫外線
投光器１５を所定の周波数をもってパルス発光駆動し、
紫外線投光器１５の駆動周波数と同一の周波数特性をも
って受光センサ１７の受光量を処理し、所定のしきい値
以上の受光量があれば、下部可動テーブル５の駆動制御
装置２７へ停止指令を出力する。
【００２４】駆動制御装置２７は停止指令を入力する
と、下部可動テーブル５を上下駆動する内蔵シリンダ装
置（図示省略）の動作を緊急停止する。
と、下部可動テーブル５を上下駆動する内蔵シリンダ装
置（図示省略）の動作を緊急停止する。
【００２５】上述の如き構成によれば、図２に示されて
いるように、紫外線投光器１５より曲げ加工空間１１へ
紫外線が照射され、この曲げ加工空間１１に白色軍手な
ど蛍光物を含有した作業手袋Ｈを着用した作業者の手が
あると、この作業手袋Ｈに紫外線が当たり、紫外線は作
業手袋Ｈが含有している蛍光物の物理的効果により長波
長光に変化して可視光となる。これにより紫外線の作業
手袋Ｈよりの反射光が可視光とし受光センサ１７に入射
し、受光センサ１７がこれに感応する。この時には受光
センサ１７の感知受光量は所定のしきい値以上になり、
駆動制御装置２５は下部可動テーブル５の駆動制御装置
２７へ停止指令を出力する。
いるように、紫外線投光器１５より曲げ加工空間１１へ
紫外線が照射され、この曲げ加工空間１１に白色軍手な
ど蛍光物を含有した作業手袋Ｈを着用した作業者の手が
あると、この作業手袋Ｈに紫外線が当たり、紫外線は作
業手袋Ｈが含有している蛍光物の物理的効果により長波
長光に変化して可視光となる。これにより紫外線の作業
手袋Ｈよりの反射光が可視光とし受光センサ１７に入射
し、受光センサ１７がこれに感応する。この時には受光
センサ１７の感知受光量は所定のしきい値以上になり、
駆動制御装置２５は下部可動テーブル５の駆動制御装置
２７へ停止指令を出力する。
【００２６】これに対し、曲げ加工空間１１に曲げ加工
素材のみが存在している場合には、曲げ加工素材に紫外
線投光器１５よりの紫外線が当たっても、曲げ加工素材
は蛍光物を含んでいないことにより、これよりの紫外線
の反射光が可視光になることがなく、受光センサ１７の
感知受光量が所定のしきい値以上になることがない。
素材のみが存在している場合には、曲げ加工素材に紫外
線投光器１５よりの紫外線が当たっても、曲げ加工素材
は蛍光物を含んでいないことにより、これよりの紫外線
の反射光が可視光になることがなく、受光センサ１７の
感知受光量が所定のしきい値以上になることがない。
【００２７】この場合には、駆動制御装置２５が駆動制
御装置２７へ停止指令を出力することがない。
御装置２７へ停止指令を出力することがない。
【００２８】従って、箱曲げなどにおいて、曲げ加工素
材が折り曲げ起立片を有していても、安全装置の誤動作
により金型移動が不必要に停止することがなくなり、こ
の種の曲げ加工も、安全に、しかも能率よく行われるよ
うになる。
材が折り曲げ起立片を有していても、安全装置の誤動作
により金型移動が不必要に停止することがなくなり、こ
の種の曲げ加工も、安全に、しかも能率よく行われるよ
うになる。
【００２９】図３は本発明による曲げ機械の安全装置の
他の実施例を示している。この実施例においては、紫外
線投光器１５と受光センサ１７とが曲げ加工空間１１の
水平方向の一方の側（図にて右側）と垂直方向の一方の
側（図にて上側）とに各々配置されている。
他の実施例を示している。この実施例においては、紫外
線投光器１５と受光センサ１７とが曲げ加工空間１１の
水平方向の一方の側（図にて右側）と垂直方向の一方の
側（図にて上側）とに各々配置されている。
【００３０】この実施例においては、図示されているよ
うに、加工曲げ素材Ｗの両側の折り曲げ起立片ａの内側
に作業手袋着用の作業者の手があることにより、水平方
向に配置された紫外線投光器１５と受光センサ１７とで
は、作業者の手の存在が検出されなくても、垂直方向に
配置された紫外線投光器１５と受光センサ１７とにより
作業者の手の存在が的確に検出される。
うに、加工曲げ素材Ｗの両側の折り曲げ起立片ａの内側
に作業手袋着用の作業者の手があることにより、水平方
向に配置された紫外線投光器１５と受光センサ１７とで
は、作業者の手の存在が検出されなくても、垂直方向に
配置された紫外線投光器１５と受光センサ１７とにより
作業者の手の存在が的確に検出される。
【００３１】以上に於ては、本発明を特定の実施例につ
いて詳細に説明したが、本発明は、これに限定されるも
のではなく、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能で
あることは当業者にとって明らかであろう。
いて詳細に説明したが、本発明は、これに限定されるも
のではなく、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能で
あることは当業者にとって明らかであろう。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明から理解される如く、本発明
による曲げ機械の安全運転方法および安全装置によれ
ば、曲げ加工空間に蛍光含有物が存在することが検出さ
れたときのみて金型移動が停止するから、作業者が蛍光
物を含有した作業手袋、作業服を着用していることによ
り、曲げ加工空間に作業者の手などがある場合にのみ自
動停止が行われ、金属板などの曲げ加工素材の存在によ
っては金型移動が停止することがない。これにより箱曲
げなどにおいても安全性高く、また能率よく曲げ加工が
行われるようになる。
による曲げ機械の安全運転方法および安全装置によれ
ば、曲げ加工空間に蛍光含有物が存在することが検出さ
れたときのみて金型移動が停止するから、作業者が蛍光
物を含有した作業手袋、作業服を着用していることによ
り、曲げ加工空間に作業者の手などがある場合にのみ自
動停止が行われ、金属板などの曲げ加工素材の存在によ
っては金型移動が停止することがない。これにより箱曲
げなどにおいても安全性高く、また能率よく曲げ加工が
行われるようになる。
【００３３】また紫外線投光器が放つ紫外線は波長が３
１５ｎｍ以上の無害紫外線であることにより、紫外線が
作業者の人体に悪影響を及ぼすことがない。
１５ｎｍ以上の無害紫外線であることにより、紫外線が
作業者の人体に悪影響を及ぼすことがない。
【００３４】紫外線投光器と受光センサとが曲げ加工空
間の水平方向の一方の側と垂直方向の一方の側とに配置
されていれば、その一方の紫外線投光器よりの紫外線が
曲げ加工素材の片部により遮られても、他方の紫外線投
光器よりの紫外線により蛍光含有物の有無が検出される
から、箱曲げなどがより一層安全性高く行われるように
なる。
間の水平方向の一方の側と垂直方向の一方の側とに配置
されていれば、その一方の紫外線投光器よりの紫外線が
曲げ加工素材の片部により遮られても、他方の紫外線投
光器よりの紫外線により蛍光含有物の有無が検出される
から、箱曲げなどがより一層安全性高く行われるように
なる。
【図１】本発明による安全装置を装備されたプレスブレ
ーキの一実施例を示す正面図である。
ーキの一実施例を示す正面図である。
【図２】本発明による曲げ機械の安全装置の一実施例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】本発明による曲げ機械の安全装置の他の実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
１ 本体フレーム ３ 上部固定テーブル ５ 下部可動テーブル ７ 上部金型 ９ 下部金型 １１ 曲げ加工空間 １５ 紫外線投光器 １７ 受光センサ ２５ 駆動制御装置 ２７ 駆動制御装置
Claims (5)
- 【請求項１】 上部金型と下部金型とによる曲げ加工空
間に対して紫外線を放ち、その紫外線の蛍光含有物より
の反射光の有無を検出し、反射光検出時には金型移動を
停止することを特徴とする曲げ機械の安全運転方法。 - 【請求項２】 上部金型と下部金型とによる曲げ加工空
間に対して紫外線を放つ紫外線投光器と、前記曲げ加工
空間における紫外線の蛍光含有物よりの反射光の有無を
検出する受光センサとを有し、前記受光センサによる反
射光検出により金型移動を停止することを特徴とする曲
げ機械の安全装置。 - 【請求項３】 前記紫外線投光器は波長が３１５ｎｍ以
上の無害紫外線を放射することを特徴とする請求項２記
載の曲げ機械の安全装置。 - 【請求項４】 前記受光センサは可視光に感応する受光
センサであることを特徴とする請求項２または３記載の
曲げ機械の安全装置。 - 【請求項５】 前記紫外線投光器と前記受光センサは曲
げ加工空間の水平方向の一方の側と垂直方向の一方の側
のいずれか一方あるいは両方に配置されることを特徴と
する請求項２〜４の何れに記載の曲げ機械の安全装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6874294A JPH07275942A (ja) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 曲げ機械の安全運転方法および安全装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6874294A JPH07275942A (ja) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 曲げ機械の安全運転方法および安全装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07275942A true JPH07275942A (ja) | 1995-10-24 |
Family
ID=13382545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6874294A Pending JPH07275942A (ja) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 曲げ機械の安全運転方法および安全装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07275942A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020093538A (ko) * | 2001-06-09 | 2002-12-16 | 캐리어엘지 유한회사 | 절곡기의 안전운전방법 및 그 장치 |
| KR20020093539A (ko) * | 2001-06-09 | 2002-12-16 | 캐리어엘지 유한회사 | 절곡기의 안전운전방법 |
| JP2019038588A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | 大森機械工業株式会社 | ピロー包装機 |
| WO2019181811A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 新東工業株式会社 | 洗浄装置及びバレル研磨システム |
| WO2019181815A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | 株式会社アマダホールディングス | 加工機の安全装置 |
-
1994
- 1994-04-06 JP JP6874294A patent/JPH07275942A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020093538A (ko) * | 2001-06-09 | 2002-12-16 | 캐리어엘지 유한회사 | 절곡기의 안전운전방법 및 그 장치 |
| KR20020093539A (ko) * | 2001-06-09 | 2002-12-16 | 캐리어엘지 유한회사 | 절곡기의 안전운전방법 |
| JP2019038588A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | 大森機械工業株式会社 | ピロー包装機 |
| WO2019181815A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | 株式会社アマダホールディングス | 加工機の安全装置 |
| JP2019166529A (ja) * | 2018-03-22 | 2019-10-03 | 株式会社アマダホールディングス | 加工機の安全装置 |
| WO2019181811A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 新東工業株式会社 | 洗浄装置及びバレル研磨システム |
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