JPH07275762A - 超音波振動子および超音波霧化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 霧化媒体が超音波放射面に滞留したり、霧化
されずに滴下してしまうことのない、効率よくかつ安定
した霧化の行える超音波振動子および超音波霧化装置を
提供する。 【構成】 超音波霧化装置は、超音波振動子１とこれを
取り付ける本体ケース３と霧化媒体を供給する液供給ポ
ンプ４と超音波振動子を駆動する発振器５とからなる。
この超音波振動子１の超音波放射面１１ａには霧化促進
孔１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆ，
１０ｇ，１０ｈが設けられ、かつ網目状金属板が取り付
けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動子および該
超音波振動子を用いた超音波霧化装置に関し、主として
病院や医院等において手等を消毒殺菌するための消毒液
を霧化する等の用途に用いたり、溶融金属噴霧、農薬液
散布、くん蒸消毒液噴霧、気化器、タービン、ペンキ噴
霧器、スラリの噴霧およびバーナーや、燃料の噴射、芳
香材の散布に用いられる。

【０００２】

【従来の技術】医療用として消毒液を霧化して手等に噴
出し消毒を行い、かつ手拭きの必要としない装置として
超音波霧化装置が要望されており、最近においていくつ
かの装置が開発されている。現在、液体を霧化するのに
超音波を利用する手段が一般的に採用されている。その
理由は、霧化量と霧化粒径とをそれぞれ超音波振動子へ
の供給電力および超音波周波数を可変することにより個
々に独立してコントロールできる利点を有しているため
である。従来の超音波霧化装置の構成例を図９，図１０
とともに説明する。図９は従来の超音波霧化装置に用い
る超音波振動子の構成を示す分解斜視図であり、図１０
は超音波振動子を用いた超音波霧化装置の一部破断正面
図である。前面（手前側）が一部開口した本体ケース３
内に、ボルト締めランジュバン型超音波振動子８（以下
超音波振動子８とする）が本体ケース３の側面を貫通し
て内方に突設された複数本の支持体３３，３４の各先端
で圧接され、後述する放射金属ブロックの超音波放射面
８１ａが水平に吊り下げ支持されている。超音波振動子
８は放射金属ブロック８１とリア金属ブロック８２との
間に２個の円環状の圧電素子８３，８４とを介在させる
とともに、放射金属ブロック８１と圧電素子８３、圧電
素子８３と圧電素子８４それぞれの間に電極板８５、８
６を介在させている。各金属ブロック８１，８２はその
中央部分にネジ孔が貫通して形成されており、また電極
板８５，８６の一部にも貫通孔が設けられており、これ
ら各孔にボルト８７を螺入することにより各構成要素が
締め付け固定されている。この超音波振動子８は、圧電
素子８３，８４の引張応力が圧縮応力よりも弱いことか
らボルトで引っ張り応力を持たせて大きなパワーを入力
する超音波発生源として使用される。超音波振動子の放
射金属ブロックの下端面である超音波放射面８１ａに
は、網目状金属板９が接合固定されている。この網目状
金属板は同出願人が先に出願した特願平５−６８３２８
号に媒体拡散部として開示したものであり、これにより
液体の霧化が促進される。

【０００３】また、網目状金属板９あるいは放射金属ブ
ロック８１の側面に消毒液を供給するための液供給ノズ
ル４１，４３が、各々の先端の液供給口を網目状金属板
の上方に位置するように本体ケースに貫通固定されてい
る。この各液供給ノズル４１，４３には液貯留タンク
（図示せず）の消毒液が液供給ポンプ４の駆動によりチ
ューブ４２，４４を通じて供給され、各々の液供給口か
ら網目状金属板９上あるいは放射金属ブロック８１の側
面に滴下される。一方、超音波振動子はこれの各電極板
８５，８６を通じ圧電素子８３，８４に発振器５から所
定周波数の電圧が給電されることによって機械的振動が
生じ、これが両金属ブロック８１，８２に伝わり、それ
によって発生する定在波により共振が起こる。なお、図
示していないが、本体ケース３の前面下部にはこれの開
口部から内部に手が入れられたのを非接触で検出するス
イッチング用光電センサが配設されている。

【０００４】このような構成の超音波霧化装置に、本体
ケース３の前面開口部から本体ケース内部に手を入れる
と、これを光電センサが検出し、このスイッチングによ
り液供給ポンプ４および発振器５が共に駆動する。超音
波振動子８は発振器から供給される所定周波数の電気エ
ネルギーを機械振動エネルギーに変換し、この振動によ
り網目状金属板９も励振されて振動し、液供給ノズルか
ら供給される消毒液が霧化されて手に噴出される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記超音波霧化装置
は、網目状金属板等の霧化促進部を有する超音波振動子
を用いることにより、このような工夫がなされない従来
の超音波霧化装置に較べて飛躍的に霧化効率が向上して
いる。図１２は上記従来の構成で用いた網目状金属板９
（霧化促進部）の霧化部分の分布を記載したものであ
り、この網目状金属板には固定ネジ貫通孔９１，９２，
９３，９４が用いられている。図中細点で塗りつぶされ
た領域が霧化領域であり、網目状金属板の固定部分から
離れた外周近傍でのみ霧化している。このような超音波
振動子を用いた超音波霧化装置において、霧化条件が良
いときは霧化効率が良好であるが、供給される液がチク
ソ性が高い場合、あるいは供給量が多い場合、あるいは
周囲温度が低い場合等霧化条件が悪い場合に霧化効率が
低下し、液が超音波放射面に滞留したり、霧化されずに
滴下してしまうことがあった。また、このような液の滞
留にも関連するが、温度の高低等の使用環境によっては
超音波放射面において液が霧化される領域が偏る場合が
あり、所望の位置、範囲への霧化が困難な場合があっ
た。

【０００６】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、液の霧化効率が供給される液の種類（チク
ソ性の高い低い等）、液の供給量、あるいは周囲温度に
影響されることなく、使用条件によっては液が超音波放
射面に滞留したり、霧化されずに滴下してしまうことの
ない、効率よくかつ安定した霧化の行える超音波振動子
および該超音波振動子を用いた超音波霧化装置を提供す
ることを目的とするものである。また、使用環境によっ
て霧化領域が偏ることのない超音波振動子および該超音
波振動子を用いた超音波霧化装置を提供することを目的
とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１の発明は、超音波放射面あるいは超音波
放射面の近傍に霧化媒体を供給し、超音波振動により当
該霧化媒体を霧化する超音波振動子であって、前記超音
波放射面の少なくとも一部に霧化媒体の霧化を促進する
霧化促進孔を設けるとともに、超音波放射面の下方の少
なくとも一部に霧化促進部を設けたことを特徴としてい
る。

【０００８】請求項２の発明は、超音波放射面の霧化促
進部を固定する部分の周囲に霧化促進孔を設けたことを
特徴とする請求項１記載の超音波振動子である。

【０００９】請求項３の発明は、霧化促進部に霧化促進
孔を設けたことを特徴とする請求項１，２記載の超音波
振動子である。

【００１０】請求項４の発明は、請求項１項乃至３項記
載の超音波振動子と、この超音波振動子の超音波放射面
あるいは超音波放射面の近傍に霧化媒体を供給する手段
と、この超音波振動子を駆動する手段とを有し、超音波
振動により当該霧化媒体を霧化する超音波霧化装置であ
る。

【００１１】

【作用】本発明によれば、請求項１乃至４の各構成によ
り、超音波放射面において霧化媒体の滞留を防止し、駆
動インピーダンスを低くし、かつ霧化効率を向上させる
ことができる。また、霧化促進部の機械的強度が低下す
ることもない。

【００１２】請求項２の発明によれば、超音波放射面に
おいて霧化効率の優れない霧化促進部を固定する部分の
周囲に霧化促進孔を設けたので、固定部分の悪影響が切
り離され、この固定部分等に霧化媒体が滞留しにくくな
り、全体としての霧化効率が向上する。

【００１３】請求項３の発明によれば、前記超音波放射
面の少なくとも一部に霧化媒体の霧化を促進する霧化促
進孔を設けるとともに、超音波放射面の下方に取り付け
られる霧化促進部に霧化促進孔（振動分離部）を設けた
構成であるので、超音波放射面に設けられた霧化促進孔
による霧化効率の向上に加えて、霧化促進部に設けられ
た霧化促進孔（振動分離部）による霧化媒体の滞留を防
止する効果を得ることができる。

【００１４】請求項４の発明によれば、請求項１項乃至
３項記載の超音波振動子と、この超音波振動子の超音波
放射面あるいは超音波放射面の近傍に霧化媒体を供給す
る手段と、この超音波振動子を駆動する手段とを有し、
超音波振動により当該霧化媒体を霧化する超音波霧化装
置であるので、駆動インピーダンスが低く、かつ霧化媒
体を効率よく霧化できる。

【００１５】図１２は従来例の超音波振動子の構成によ
り霧化媒体を霧化した場合の霧化促進部における霧化領
域を示す図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す超音
波放射面に形成した霧化促進孔により、霧化促進部に現
れた霧化領域を示す図（第１の実施例）であり、図４
（ｂ）は図４（ａ）に示す超音波放射面に形成した霧化
促進孔により、霧化促進部に現れた霧化領域を示す図
（第２の実施例）である。いずれも霧化促進部はステン
レススチールからなる網目状金属板からなり、振動分離
部は直径１mmの貫通孔で構成されているとともに、消毒
液を含んだアルコールを霧化媒体として用い、周囲温度
０℃、供給量３ｃｃ／７秒、駆動電力１５Ｗ、周波数３
３ＫＨｚで駆動するという条件で実験している。なお、
細点で塗りつぶした領域が霧化促進部に現れた霧化領域
である。振動分離部を持たない従来例では霧化領域が超
音波放射面の端部のみに偏っており、霧化促進部の固定
部分近傍に貫通孔からなる振動分離部を設けた本発明の
構成では、霧化領域が超音波放射面の端部から中心部方
向に広がっており、供給される霧化媒体の霧化効率が向
上している。さらに、図４（ｂ）で示す霧化促進部の構
成では、さらに霧化領域が広がっており、効率の良い霧
化が可能となっている。なお、霧化領域が狭いとこれに
比例して霧化媒体は霧化領域以外の部分に滞留して、さ
らに霧化媒体の供給を続けると霧化媒体が滴下するよう
になり、霧化装置としての役割を果たさなくなる。

【００１６】また、霧化促進孔の大きさ、深さによっ
て、霧化効率がどのように変化するかを調べた。図８は
霧化促進孔の深さを変化させた場合の超音波振動子の駆
動インピーダンス変化を示す図である。超音波放射面に
霧化媒体が滞留してくると駆動インピーダンスが通常よ
り高くなる。逆に言えば、駆動インピーダンスが通常よ
り高くなると、超音波放射面に霧化媒体が滞留している
ことを示している。使用した超音波振動子には図４
（ａ）で示す霧化促進孔が設けられ、霧化促進孔は直径
１．５mmに設定した。霧化促進部はステンレススチール
からなる網目状金属板からなり、消毒液を含んだアルコ
ールを霧化媒体として用い、周囲温度０℃、供給量３ｃ
ｃ／７秒、駆動電力１５Ｗ、周波数３３ＫＨｚで駆動す
るという条件で実験している。なお、霧化促進孔の深さ
は１mm間隔で変化させ、１０mmの深さまでのサンプルを
作製し、計測した。このグラフから明らかなとおり、霧
化促進孔が無い場合（深さ０mm）に比べて、霧化促進孔
を設けると駆動インピーダンスが格段に向上する。霧化
促進孔の深さには駆動インピーダンスはあまり影響して
いないが、深くなると若干駆動インピーダンスが高くな
る傾向が現れている。これは、超音波振動の伝達効率が
阻害されているからではないかと考えられる。

【００１７】次に、霧化促進孔の直径を変化させた場合
についても調べた。図９は霧化促進孔の直径を変化させ
た場合の超音波振動子の駆動インピーダンス変化を示す
図である。霧化促進孔の深さは２mmとし、直径を０．５
mm間隔で６mmまで変化させた。他の条件は上記実験と同
じである。このグラフから明らかなとおり、霧化促進孔
の直径には駆動インピーダンスはあまり影響していない
が、大きくなりすぎると若干駆動インピーダンスが高く
なる傾向が現れている。これも上記実験と同じく、超音
波振動の伝達効率が阻害されているからではないかと考
えられる。

【００１８】

【実施例】本発明の第１の実施例について、図面を参照
して説明する。図１は超音波霧化装置に用いる超音波振
動子の構成を示す斜視図であり、図２は図１で示す超音
波振動子を用いた超音波霧化装置の一部破断正面図であ
り、図３（ａ）は超音波振動子の超音波放射面を示す平
面図であり、図３（ｂ）は駆動時の霧化促進部における
霧化領域を示す図（網目の図示は省略している）であ
る。なお、一部従来例と同じ構造部分については同番号
を付与して説明している。ボルト締めランジュバン型超
音波振動子１（以下超音波振動子１とする）は、下から
放射金属ブロック１１、円環状部分を有する電極板１
５、円環状の圧電素子１３、円環状部分を有する電極板
１６、円環状の圧電素子１４、リア金属ブロック１２で
構成されており、放射金属ブロック１１とリア金属ブロ
ック１２の中央部分にはボルト孔が貫通して形成されて
いる。ボルト孔は工作処理上容易であるという観点か
ら、放射金属ブロックも貫通してボルト孔１１ｂが形成
されている。なお、もちろんボルト孔は貫通させず、ボ
ルト１７の寸法に適合した深さのボルト孔とすることも
可能である。これら各孔にボルト１７を螺入し、ワッシ
ャ，ナットにより各構成要素が締め付け固定される。超
音波振動子１の放射金属ブロックの下端面である超音波
放射面１１ａには、霧化促進部である網目状金属板２を
固定する４つの固定ネジ孔１１ｃが設けられており、こ
の固定ネジ孔１１ｃの左右、あるいは上下の周囲には霧
化促進孔１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１
０ｆ，１０ｇ，１０ｈが設けられている。網目状金属板
２は固定ネジを貫通させる貫通孔２１ａ，２２ａ，２３
ａ，２４ａが設けられ、固定ネジ２１，２２，２３，２
４で超音波放射面に取り付けられる。また、当該超音波
振動子１を吊り下げ支持する際の支持部分には弾性リン
グ１２ａがリア金属ブロックの外周に取り付けられてい
る。

【００１９】図２に示すように、このような超音波振動
子１を超音波霧化装置の本体ケース３に設置する。本体
ケース３は、前面（手前側）下部には一部開口した開口
部３ａを有しており、ケース内の上部には内方に突設さ
れた複数本の支持体３１，３２が設けられている。超音
波振動子はその超音波放射面が下方に位置するようこの
支持体の各先端で前記弾性リング１２ａが圧接され、超
音波放射面が水平方向に位置するよう支持されている。
また、放射金属ブロック１１あるいは網目状金属板２に
消毒液を供給するための液供給ノズル４１，４３が、各
々の先端の液供給口を網目状金属板の上方に位置するよ
うに本体ケースに貫通固定されている。この各液供給ノ
ズル４１，４３には液貯留タンク（図示せず）の消毒液
が液供給ポンプ４の駆動によりチューブ４２，４４を通
じて供給され、各々の液供給口から放射金属ブロック１
１あるいは網目状金属板２上にそれぞれ滴下される。一
方、超音波振動子１にはこれの各電極板１５，１６を通
じ、圧電素子１３，１４に発振器５からリード線５１，
５２を介して所定周波数の電圧が給電される。これによ
り逆圧電効果に基づく機械的振動が励起され、これが機
械的接触を通じ両金属ブロック１１，１２に伝わり、そ
れによって発生する定在波により共振が起こる。なお、
図示していないが、本体ケース３の前面下部にはこれの
開口部３ａから内部に手が入れられたのを非接触で検出
するスイッチング用光電センサが配設されている。

【００２０】従来例においても説明したように、このよ
うな構成の超音波霧化装置に、本体ケース３の前面開口
部から本体ケース内部に手を入れると、これを光電セン
サが検出し、このスイッチングにより液供給ポンプ４お
よび発振器５が共に駆動する。超音波振動子１は発振器
から供給される所定周波数の電気エネルギーを機械振動
エネルギーに変換し、この振動により網目状金属板２も
励振されて振動する。液供給ノズルから消毒液が超音波
放射面１１ａあるいは網目状金属板２に供給され、これ
が霧化されて手に噴出される。この超音波放射面に設け
られた霧化促進孔１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１
０ｅ，１０ｆ，１０ｇ，１０ｈの存在により、霧化媒体
が超音波放射面あるいは網目状金属板（霧化促進部）に
滞留することなく、効率よく霧化される。なお、消毒液
等の霧化媒体の供給は、放射金属ブロックの側面に対し
て行ってもよい。この場合、霧化媒体が側面から超音波
放射面に流れて供給される。

【００２１】本発明の第２の実施例について、図４
（ａ），図４（ｂ）とともに説明する。図４（ａ）は超
音波放射面に設けられた霧化促進孔の他の構成を示す平
面図，図４（ｂ）はこの構成により駆動した場合の網目
状金属板（霧化促進部）における霧化領域を示す図（網
目の図示は省略している）であり、この霧化促進部は第
１の実施例に示した超音波放射面に取り付けられる。な
お、第１の実施例と同じ構造部分については同番号を付
与して説明している。この超音波振動子は超音波放射面
１１ａにボルト孔が形成されない構成であり、中央部分
に固定ネジ孔１１ｄが設けられている。また、超音波放
射面１１ａには第１の実施例に記載された霧化促進孔に
加えて、各固定ネジ孔１１ｃの超音波放射面の中央部寄
りに霧化促進孔１０ｉ，１０ｊ，１０ｋ，１０ｌが設け
られている。霧化促進部である網目状金属板２は、固定
ネジ２１，２２，２３，２４，２５により超音波放射面
に固定される。このような霧化促進孔は前述の作用の項
でも記載したとおり、霧化領域を超音波放射面の端部か
ら中心部方向に広げることになり、供給される霧化媒体
の霧化効率向上に寄与する。

【００２２】なお、霧化促進孔の形状、深さ、大きさ、
配置は、超音波振動子の仕様、使用環境によって適宜選
択すればよい。なお、霧化促進孔をあまり大きくし過ぎ
ると、作用の項で示した実験のとおり、霧化効率が低下
する可能性がある。霧化促進孔の形状は正円形のほか楕
円、長円、矩形形状等いろんな形状が採用可能である。

【００２３】本発明の第３の実施例について、図５，図
６（ａ），図６（ｂ）とともに説明する。図５は超音波
霧化装置に用いる超音波振動子の構成を示す斜視図であ
り、図６（ａ）は超音波放射面の構成を示す平面図，図
６（ｂ）は駆動時の霧化促進部における霧化領域を示す
図（網目の図示は省略している）である。なお、超音波
振動子については上記実施例と同番号で説明する。超音
波放射面１１ａには固定ネジ孔１１ｃ，１１ｄが形成さ
れ、これら各固定ネジ孔１１ｃの左右、あるいは上下周
囲には霧化促進孔１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１
０ｅ，１０ｆ，１０ｇ，１０ｈが形成されている。霧化
促進部である網目状金属板６には、固定ネジ貫通孔６１
ａ，６２ａ，６３ａ，６４ａ，６５ａが設けられるとと
もに、これら固定ネジ貫通孔の左右、あるいは上下の周
囲には霧化促進用の貫通孔６１ｂ，６１ｃ，６２ｂ，６
２ｃ，６３ｂ，６３ｃ，６４ｂ，６４ｃが設けられてい
る。網目状金属板６は霧化促進用の貫通孔と前記霧化促
進孔の位置が合致するよう、前記固定ネジ６１，６２，
６３，６４，６５より超音波放射面に固定される。これ
により各孔による霧化促進効果が重畳して、より効率的
な霧化が行える。

【００２４】本発明の第４の実施例について、図７とと
もに説明する。図７は第４の実施例を示す超音波振動子
の斜視図である。なお、超音波振動子の超音波放射面の
構成は図４（ａ）で示す第２の実施例で示した構成と同
じであり、網目状金属板の構成は第３の実施例と同じ構
成であるので、同番号を付して説明する。超音波放射面
１１ａには第３の実施例に記載された霧化促進孔に加え
て、各固定ネジ孔１１ｃの超音波放射面の中央部寄りに
霧化促進孔１０ｉ，１０ｊ，１０ｋ，１０ｌが設けられ
ている。霧化促進部である網目状金属板６は、前述のと
おり霧化促進用の貫通孔が設けられており、固定ネジ６
１，６２，６３，６４，６５により超音波放射面に固定
される。霧化促進孔１０ｉ，１０ｊ，１０ｋ，１０ｌに
対応する網目状金属板には霧化促進用の貫通孔が形成さ
れていない。このような場合でももちろん霧化促進孔を
形成した効果で、霧化領域を超音波放射面の端部から中
心部方向に広げることになり、供給される霧化媒体の霧
化効率向上に寄与する。

【００２５】また、以上の説明で既に明らかになってい
るが、請求項１項乃至３項記載の超音波振動子を用い
て、この超音波振動子の超音波放射面あるいは超音波放
射面の近傍に霧化媒体を供給する手段と、この超音波振
動子を駆動する手段とを有し、超音波振動により当該霧
化媒体を霧化する超音波霧化装置を構成することによ
り、駆動インピーダンスが低く、かつ霧化媒体を効率よ
く霧化できる。

【００２６】

【発明の効果】本発明によれば、請求項１乃至４の各構
成により、超音波放射面において霧化媒体の滞留を防止
し、駆動インピーダンスを低くし、かつ霧化効率を向上
させることができるので、霧化効率が供給される液の種
類（チクソ性の高い低い等）、液の供給量、あるいは周
囲温度に影響されることなく、使用条件によっては液が
超音波放射面に滞留したり、霧化されずに滴下してしま
うことのない、効率よくかつ安定した霧化の行える超音
波振動子及び超音波霧化装置を得ることができる。ま
た、使用環境によって霧化領域が偏ることもなくなり、
安定した霧化を実現できる。また、霧化促進部の機械的
強度が低下することがなく、耐久性に優れた超音波振動
子およびこの超音波振動子を用いた超音波霧化装置を得
ることができる。

【００２７】請求項２の発明によれば、超音波放射面に
おいて霧化効率の優れない霧化促進部を固定する部分の
周囲に霧化促進孔を設けたので、固定部分の悪影響が切
り離され、この固定部分等に霧化媒体が滞留しにくくな
り、全体として霧化効率のよい超音波振動子を得ること
ができる。

【００２８】請求項３の発明によれば、前記超音波放射
面の少なくとも一部に霧化媒体の霧化を促進する霧化促
進孔を設けるとともに、超音波放射面の下方に取り付け
られる霧化促進部に霧化促進孔（振動分離部）を設けた
構成であるので、超音波放射面に設けられた霧化促進孔
による霧化効率の向上に加えて、霧化促進部に設けられ
た霧化促進孔（振動分離部）による霧化媒体の滞留を防
止する効果を得ることができる。

【００２９】請求項４の発明によれば、請求項１項乃至
３項記載の超音波振動子と、この超音波振動子の超音波
放射面あるいは超音波放射面の近傍に霧化媒体を供給す
る手段と、この超音波振動子を駆動する手段とを有し、
超音波振動により当該霧化媒体を霧化する超音波霧化装
置であるので、駆動インピーダンスが低く、かつ霧化媒
体を効率よく霧化できる超音波振動子を用いた超音波霧
化装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す斜視図。

【図２】本発明の第１の実施例を示す一部破断正面図。

【図３】（ａ）本発明の第１の実施例を示す平面図。

【図３】（ｂ）本発明の第１の実施例を示す平面図。

【図４】（ａ）本発明の第２の実施例を示す平面図。

【図４】（ｂ）本発明の第２の実施例を示す平面図。

【図５】本発明の第３の実施例を示す斜視図。

【図６】（ａ）本発明の第３の実施例を示す平面図。

【図６】（ｂ）本発明の第３の実施例を示す平面図。

【図７】本発明の第４の実施例を示す斜視図。

【図８】比較データを示すグラフ。

【図９】比較データを示すグラフ。

【図１０】従来例を示す斜視図。

【図１１】従来例を示す一部破断正面図。

【図１２】従来例を示す平面図。

【符号の説明】

１，８ 超音波振動子 １１，８１ 放射金属ブロック １１ａ，８１ａ 超音波放射面 １１ｂ，８１ｂ ボルト孔 １２，８２ リア金属ブロック １３，１４，８３，８４ 圧電素子 １５，１６，８５，８６ 電極板 １７，８７ ボルト ２，６ 霧化促進部 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆ，１
０ｇ，１０ｈ，１０ｉ，１０ｊ，１０ｋ，１０ｌ 霧化
促進孔 ３１，３２ 支持体 ４ ポンプ ５ 発振器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波放射面あるいは超音波放射面の近
   傍に霧化媒体を供給し、超音波振動により当該霧化媒体
   を霧化する超音波振動子であって、前記超音波放射面の
   少なくとも一部に霧化媒体の霧化を促進する霧化促進孔
   を設けるとともに、超音波放射面の下方の少なくとも一
   部に霧化促進部を設けたことを特徴とする超音波振動
   子。
2. 【請求項２】 超音波放射面の霧化促進部を固定する部
   分の周囲に霧化促進孔を設けたことを特徴とする請求項
   １記載の超音波振動子。
3. 【請求項３】 霧化促進部に霧化促進孔を設けたことを
   特徴とする請求項１，２記載の超音波振動子。
4. 【請求項４】 請求項１項乃至３項記載の超音波振動子
   と、この超音波振動子の超音波放射面あるいは超音波放
   射面の近傍に霧化媒体を供給する手段と、この超音波振
   動子を駆動する手段とを有し、超音波振動により当該霧
   化媒体を霧化する超音波霧化装置。