JPH07270208A - 振動式測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はセンサチューブの伸縮を吸収すると
ともに、センサチューブが外部振動による変位すること
を防止して計測精度を高めるよう構成した振動式測定装
置を提供することを目的とする。 【構成】 質量流量計１は、密閉されたケーシング２内
に流入管５、流入側マニホールド６、センサチューブ
７，８、流出側マニホールド９、流出管１０が収納され
ている。流入側マニホールド６は、流入管５に対して軸
方向に摺動自在に嵌合し、流出側マニホールド９は流出
管１０に対して軸方向に摺動自在に嵌合している。流入
側マニホールド６に固着されたガイド部材１９は、蓋部
材１４に固定されて軸方向に延在する円柱状のロッド部
材２０の先端にビス２１により固着されている。流出側
マニホールド９に固着されたガイド部材２２の貫通孔２
２ａには、蓋部材１５の内壁よりケーシング２内に突出
する円柱状のロッド部材２３が摺動自在に挿通されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特にセンサチューブの伸縮を吸収して計測精度を高める
よう構成した振動式測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体が供給された管路を振動させて流体
の物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリ
オリ式質量流量計又は振動式密度計がある。

【０００３】このコリオリ式質量流量計では、被測流体
が通過するセンサチューブを加振器により半径方向に振
動させ、流量に比例したコリオリ力によるセンサチュー
ブの変位をピックアップにより検出するよう構成されて
いる。又、振動式密度計も上記コリオリ式質量流量計と
同様な構成になっており、センサチューブが被測流体の
密度に応じた周波数で振動する。

【０００４】上記センサチューブ、加振器、ピックアッ
プは、周囲の影響を受けないように密閉されたケーシン
グ内に収納されており、さらにセンサチューブの表面に
結露が発生すると固有振動数が変動して計測精度が低下
するため、ケーシングの内部には結露防止のため乾燥し
た保護気体が充填されている。

【０００５】従来のケーシングは、例えば円筒状のケー
シング本体と、ケーシング本体の両端開口に嵌合する円
盤状の蓋部材と、を有する。ケーシング本体は、鉄製の
パイプよりなり、内部に上記センサチューブ、加振器、
ピックアップが挿入される収納室が形成される。

【０００６】又、蓋部材は、中央部にセンサチューブに
連通する管路が貫通するための貫通孔が穿設され、外周
が上記ケーシング本体の開口に嵌合する寸法に加工され
ている。そして、ケーシング本体の開口に蓋部材を嵌合
させた状態で、開口端部と蓋部材の外周とをすみ肉溶接
していた。

【０００７】このように、溶接されたケーシングは、セ
ンサチューブを支持する支持部材としても機能するた
め、センサチューブが直接ケーシングに固定されている
と、例えば周囲の温度より高温の被測流体がセンサチュ
ーブを流れてセンサチューブが長手方向に膨張した場
合、センサチューブが歪んでしまい正確な計測ができな
くなる。そのため、センサチューブの両端とケーシング
の蓋部材との間には、センサチューブの長手方向の伸縮
を吸収するための伸縮部材として蛇腹状のベローズが設
けられている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記のよう
に、センサチューブの長手方向の伸縮を吸収するベロー
ズが設けられていると、センサチューブを上記円筒状の
ケーシング本体内に挿入する際、センサチューブの重み
によりベローズが撓んでセンサチューブがケーシング本
体内でふらつくことがある。

【０００９】そのため、従来の構成では、加振器，ピッ
クアップが取り付けられたセンサチューブをケーシング
内に挿入する組立工程でセンサチューブがケーシング内
壁に当接することがある。その場合、センサチューブの
振動特性が変化してしまい計測精度が低下するといった
課題がある。

【００１０】又、上記ベローズの代わりにセンサチュー
ブの両端に接続されたマニホールドが流入管，流出管に
対して摺動自在に嵌合する構成が考えられている。この
場合、外部振動がセンサチューブに伝播すると、計測中
にセンサチューブが軸線を中心に回転したり、あるいは
センサチューブが軸方向に摺動してしまい、計測精度が
低下するおそれがある。

【００１１】そこで、本発明は上記課題を解決した振動
式測定装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記請求項１の発明は、
流入側，流出側の開口が蓋部材により密閉されたケーシ
ングと、前記流入側の蓋部材に固定された流入管と、前
記流出側の蓋部材に固定された流出管と、前記ケーシン
グ内に収納されるとともに前記流入管及び流出管に取り
付けられ、被測流体が流れるセンサチューブと、前記ケ
ーシング内に設けられ該センサチューブを振動させる加
振器と、前記ケーシング内に設けられ前記センサチュー
ブの変位を検出するピックアップと、前記流入管又は流
出管の少なくとも一方と前記センサチューブの端部との
間で摺動自在に設けられ、前記流入管又は流出管と前記
センサチューブとを伸縮可能に支持する摺動部材と、該
摺動部材より外方に突出し、かつ突出長さが前記ケーシ
ングの内部空間より小となる突出部材と、よりなること
を特徴とする。

【００１３】又、請求項２の発明は、流入側，流出側の
開口が蓋部材により密閉されたケーシングと、前記流入
側の蓋部材に固定された流入管と、前記流出側の蓋部材
に固定された流出管と、前記ケーシング内に収納される
とともに前記流入管及び流出管に取り付けられ、被測流
体が流れるセンサチューブと、前記ケーシング内に設け
られ該センサチューブを振動させる加振器と、前記ケー
シング内に設けられ前記センサチューブの変位を検出す
るピックアップと、前記流入管及び流出管と前記センサ
チューブの両端部との間で摺動自在に設けられ、前記流
入管及び流出管と前記センサチューブとを伸縮可能に支
持する一対の摺動部材と、一端が前記蓋部材又はケーシ
ングに固定され、他端がセンサチューブに沿って延在す
るロッド部材と、該摺動部材より外方に突出し、かつ突
出長さが前記ケーシングの内部空間より小となるととも
に、前記ロッド部材に摺動可能に係合する突出部材と、
よりなることを特徴とする。

【００１４】又、請求項３の発明は、前記ロッド部材を
テーパ状に形成したことを特徴とする。

【００１５】

【作用】上記請求項１によれば、摺動部材が流入管及び
流出管と前記センサチューブの両端部との間で摺動自在
に設けられているので、センサチューブの収縮を吸収で
きるとともに、摺動部材より外方に突出する突出部材に
よりセンサチューブをケーシング内に挿入する際、突出
部材がケーシング内を摺接してセンサチューブがケーシ
ング内壁に当接しないようにできる。

【００１６】又、請求項２によれば、上記請求項１の作
用とともに、ロッド部材が突出部材に摺動可能に係合し
ているので、センサチューブがケーシング内で回転する
ことを防止できる。

【００１７】又、請求項３によれば、ロッド部材をテー
パ状に形成してなるため、突出部材が収縮してもロッド
部材と突出部材との係合を適正に保ち、センサチューブ
に温度変化による応力が作用しないようにできる。

【００１８】

【実施例】図１乃至図３に本発明になる振動式測定装置
の一実施例としてのコリオリ式質量流量計を示す。

【００１９】尚、振動式測定装置としてはコリオリ式質
量流量計と振動式密度計がある。コリオリ式質量流量計
は振動式密度計と実質同様な構成であるので、本実施例
では質量流量計について詳細に説明する。

【００２０】各図中、質量流量計１は密閉されたケーシ
ング２内に被測流体が通過する管路３を挿通してなる。
管路３は、軸方向に摺動可能な流入管５と、流入側マニ
ホールド（摺動部材）６と、一対のセンサチューブ７，
８と、流出側マニホールド（摺動部材）９と、軸方向に
摺動可能な流出管１０とより形成されている。

【００２１】一対のセンサチューブ７，８は流体の流れ
方向（Ｘ方向）に直線状に延在するステンレス製の直管
よりなり、上記流入側マニホールド６と流出側マニホー
ルド９との間で平行に設けられている。又、流入側マニ
ホールド６は、流入管５に対して軸方向に摺動自在に嵌
合し、流出側マニホールド９は流出管１０に対して軸方
向に摺動自在に嵌合している。

【００２２】これは、センサチューブ７，８に高温又は
低温の被測流体が流れて伸縮した場合、その伸縮量がマ
ニホールド６，９の摺動により吸収されるようになって
いる。但し、本実施例では、後述するように流入側マニ
ホールド６がケーシング２の蓋部材１４に固定されて摺
動不可であるため、センサチューブ７，８が伸縮した場
合、流出側マニホールド９のみが流出管１０に対して軸
方向に摺動する。

【００２３】又、センサチューブ７，８の両端近傍に
は、センサチューブ７，８が貫通して固定される支持板
１１，１２が横架されている。従って、センサチューブ
７，８両端の支持板１１，１２により平行となるように
支持されている。

【００２４】ケーシング２は、円筒状のケーシング本体
１３と、ケーシング本体１３の両端開口１３ａ，１３ｂ
に嵌合してこれを閉蓋する円盤状の蓋部材１４，１５と
よりなる。ケーシング２は、ケーシング本体１３の内部
が上記流入側マニホールド６、センサチューブ７，８、
流出側マニホールド９を収納するための収納室１６とな
っている。

【００２５】従って、ケーシング２内の収納室１６は、
内部が蓋部材１４，１５により閉蓋された密閉構造にな
っており、この収納室１６内に挿入された上記センサチ
ューブ７，８表面に結露が発生することが防止される。
さらに、密閉された収納室１６には、乾燥した保護気体
（例えば、アルゴンガス等）が所定圧力に充填されてお
り、センサチューブ７，８の表面に結露が生じて計測精
度が低下することが防止される。

【００２６】そのため、結露によりセンサチューブ７，
８の振動特性（主に固有振動数）が変動することが防止
されるため、質量流量計１は湿度の高い雰囲気でも支障
なく流量計測を行うことができる。

【００２７】上記流入管５は、流入側端部に上流側配管
（図示せず）に連結されるフランジ５ａと、上流側配管
に連通する流入口５ｂとを有する。この流入管５の端部
５ｃはケーシング２の蓋部材１４を貫通して流入側マニ
ホールド６の接続口６ａに摺動自在に嵌合する。

【００２８】接続口６ａの内壁には、流入管５の外周と
の間をシールするＯリング１７が埋設されている。又、
流入側マニホールド６は、接続口６ａより分岐した一対
の分岐口６ｂ，６ｃを有し、この分岐口６ｂ，６ｃに
は、センサチューブ７，８の流入側端部が接続されてい
る。

【００２９】下流側の流出管１０は、流出側端部に下流
側配管（図示せず）に連結されるフランジ１０ａと、下
流側配管に連通する流出口１０ｂとを有する。この流出
管１０の端部１０ｃは、ケーシング２の蓋部材１５を貫
通して流入側マニホールド６の接続口６ａに摺動自在に
嵌合する。

【００３０】流出側マニホールド９は、上記流出管１０
の端部１０ｃが摺動自在に嵌合する接続口９ａと、接続
口９ａより分岐した分岐口９ｂ，９ｃとを有する。この
分岐口９ｂ，９ｃには、センサチューブ７，８の下流側
端部が接続されている。そして、流出側マニホールド９
の接続口９ａの内壁には、流出管１０の外周との間をシ
ールするＯリング１８が埋設されている。

【００３１】このように、流入管５及び流出管１０がマ
ニホールド６，９に対して軸方向に摺動自在に嵌合され
ているため、例えば点検又は修理を行った後に質量流量
計１を上，下流配管に設置したり、あるいは設置済みの
質量流量計１を新品に交換するする場合、設置作業が容
易に行うことができる。

【００３２】即ち、ケーシング２の両端から突出する流
入管５及び流出管１０をケーシング２内に挿入させてお
き、質量流量計１が上流配管と下流配管との間に介在さ
れてから流入管５及び流出管１０を上下流側に摺動させ
て流入管５及び流出管１０のフランジ５ａ，１０ａを
上，下流配管のフランジ（図示せず）に連結させる。

【００３３】従って、上，下流配管の位置を変更せずに
質量流量計１を取り付けることができる。

【００３４】１９は流入側のガイド部材（突出部材）
で、円盤状に形成され、外周が上記ケーシング２の内周
より小径とされ、内周が流入側マニホールド６の段部６
ｄ外周に嵌合固着されている。尚、ガイド部材１９は、
円盤状に限らず、流入側マニホールド６より外方に突出
する部材であれば、他の形状（例えば、板又はロッド
等）でも良い。その場合、突出長さがケーシング２の内
周より小となるようにする。

【００３５】図２に示すように、ガイド部材１９は、蓋
部材１４に固定されて軸方向に延在する円柱状のロッド
部材２０の先端にビス２１により固着されている。その
ため、流入側マニホールド６は、ガイド部材１９及びロ
ッド部材２０を介して蓋部材１４に固定されている。

【００３６】従って、流量計測時に外部振動が伝播して
も流入側マニホールド６が軸方向に摺動することが防止
されるとともに、流入側マニホールド６及びセンサチュ
ーブ７，８が流入管５を軸として回転することが防止さ
れる。

【００３７】２２は流出側のガイド部材で、円盤状に形
成され、外周が上記ケーシング２の内周より小径とさ
れ、内周が流出側マニホールド９の段部９ｄ外周に固着
されている。尚、ガイド部材２２は、円盤状に限らず、
流出側マニホールド９より外方に突出する部材であれ
ば、他の形状（例えば、板又はロッド等）でも良い。そ
の場合、突出長さがケーシング２の内周より小となるよ
うにする。

【００３８】センサチューブ７，８をケーシング２内に
挿入する際は、ガイド部材２２の外周がケーシング本体
１３の開口１３ｂに摺接するため、センサチューブ７，
８がケーシング本体１３の開口１３ｂの内壁に当接する
ことが防止される。

【００３９】図３に示すように、ガイド部材２２は、軸
方向に穿設された複数の貫通孔２２ａを有する。この複
数の貫通孔２２ａには、蓋部材１５の内壁よりケーシン
グ２内に突出する円柱状のロッド部材２３が摺動自在に
挿通されている。

【００４０】このロッド部材２３は、センサチューブ
７，８の長手方向（Ｘ方向）に延在しているため、例え
ば高温の被測流体によりセンサチューブ７，８が長手方
向に膨張した場合、流出側マニホールド９はロッド部材
２３及び流出管１０に沿ってＸ方向に摺動してセンサチ
ューブ７，８の伸縮を吸収する。

【００４１】上記ロッド部材２３がガイド部材２２の貫
通孔２２ａに摺動自在に挿通されているため、流量計測
時に外部振動が伝播しても流出側マニホールド９が及び
センサチューブ７，８が流出管１０を軸として回転する
ことが防止される。

【００４２】そのため、外部振動による影響でセンサチ
ューブ７，８がマニホールド６，９とともに軸方向に動
いたり、あるいは回転することが防止され、これにより
計測精度の低下が防止される。

【００４３】２４は加振器で、コイルとマグネットとを
対向させた実質電磁ソレノイドと同様な構成であり、一
対のセンサチューブ７，８の略中間部間に設けられてい
る。

【００４４】２５は流入側のピックアップで、上記加振
器２４より上流側に位置するように配設されている。

【００４５】２６は流出側のピックアップで、上記加振
器２４より下流側に位置するように配設されている。上
記各ピックアップ２５，２６は夫々電磁ソレノイドと同
様な構成であり、加振器２４により加振されたセンサチ
ューブ７，８の変位を検出する。

【００４６】上記加振器２４及びピックアップ２５，２
６は、蓋部材１４，１５により閉蓋されたケーシング本
体１３の収納室１６内に収納されているため、外部の影
響を受けずに流量計測を行うことができる。

【００４７】流量計測時、上記構成になる質量流量計１
において、一対のセンサチューブ７，８は加振器２４に
より近接、離間する方向（Ｙ方向）に加振される。上流
側配管（図示せず）から供給された被測流体は流入管５
よりマニホールド６に至り、さらにマニホールド６の流
路を通過して振動するセンサチューブ７，８内に流入す
る。そして、センサチューブ７，８を通過した流体はマ
ニホールド９の流路を通過して流出管１０より下流側配
管（図示せず）に流出する。

【００４８】このように、振動するセンサチューブ７，
８に流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオ
リ力が発生する。そのため、直管状のセンサチューブ
７，８の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これにより
流入側のピックアップ２５の出力信号と流出側のピック
アップ２６の出力信号とでは位相差があらわれる。

【００４９】このように流入側と流出側との位相差が流
量に比例するため、流量計測制御回路２７は、ピックア
ップ２５からの出力信号とピックアップ２６からの出力
信号の位相差に基づいて流量を演算する。

【００５０】ここで、上記構成になる質量流量計１の組
立工程について説明する。

【００５１】先ず、図４に示す組立体２８を組み立て
る。即ち、上記センサチューブ７，８の両端がマニホー
ルド６，９に結合され、且つセンサチューブ７，８に加
振器２４、ピックアップ２５，２６を取り付ける。そし
て、流入管５の端部５ｃをマニホールド６の接続口６ａ
に挿入させ、蓋部材１４より軸方向に延在するロッド部
材２０をガイド部材１９にビス２１により固定する。

【００５２】次に、図５に示すように、上記組立体２８
をケーシング本体１３の開口１３ａより挿入する。その
際、先端のガイド部材２２が開口１３ａに嵌合された状
態でセンサチューブ７，８をケーシング本体１３内に挿
入する。

【００５３】従って、センサチューブ７，８をケーシン
グ本体１３内に挿入する際、ガイド部材１９の外周がケ
ーシング本体１３の開口１３ａに摺接するため、センサ
チューブ７，８がケーシング本体１３の中心に挿入され
るようにガイドされ、センサチューブ７，８が開口１３
ａの内壁に当接することが防止される。

【００５４】そのため、上記ガイド部材２２がセンサチ
ューブ７，８の両端に結合されたマニホールド９より半
径方向に突出するように設けられているので、組立作業
時にセンサチューブ７，８や加振器２４、ピックアップ
２５，２６がケーシング本体１３の内壁に当接すること
が防止され、これにより計測精度の低下が防止される。

【００５５】さらに、図６に示すように、上記組立体２
８がケーシング本体１３内に挿入完了するとともに、蓋
部材１４がケーシング本体１３の開口１３ａに嵌合す
る。これで、センサチューブ７，８はケーシング本体１
３内の所定挿入位置に挿入される。

【００５６】次に、図７に示すように、ロッド部材２３
が固着された蓋部材１５をケーシング本体１３の開口１
３ｂより挿入する。その際、ロッド部材２３は、ガイド
部材２２の貫通孔２２ａに挿通され、マニホールド９が
ケーシング本体１３内の中心に位置するようにガイド部
材２２を保持する。これにより、マニホールド９の接続
口９ａは蓋部材１５の中央孔１５ａに一致する。

【００５７】続いて、流出管１０の端部１０ｃが蓋部材
１５の中央孔１５ａに挿通されるとともに、マニホール
ド９の接続口９ａに挿入される。そして、中央孔１５ａ
と流出管１０との間が溶接されて一体化される。これ
で、図１に示す質量流量計１が完成する。

【００５８】図８に本発明の変形例を示す。

【００５９】同図中、蓋部材１５に設けられたロッド部
材２３は、先端部２３ａが付け根部２３ｂより外径が小
さくなるようなテーパ状に形成されている。即ち、ロッ
ド部材２３は先端側ほど細くなるように形成されてお
り、先端部２３ａの外径ｄ₁ がガイド部材２２の貫通孔
２２ａの内径ｄ₂ より小径となっている（ｄ₁ ＜
ｄ₂ ）。

【００６０】従って、貫通孔２２ａとロッド部材２３と
の間には、僅かな隙間Ｓが形成されている。上記のよう
に、ロッド部材２３が貫通孔２２ａに挿通されているた
め、センサチューブ７，８が温度変化により伸縮しても
マニホールド９が軸方向に摺動してこれを吸収すること
ができるとともに、マニホールド９の回転方向の動きを
規制することができる。

【００６１】さらに、流量計測時に周囲の温度より高温
の被測流体がセンサチューブ７，８を流れた場合、被測
流体の温度がマニホールド９を介してガイド部材２２に
伝わり、ガイド部材２２の温度も上昇する。これによ
り、ガイド部材２２は、径方向に膨張し、貫通孔２２ａ
の内径ｄ₂ も大きくなる。

【００６２】そのため、上記ロッド部材２３と貫通孔２
２ａとの間の隙間Ｓが拡大される。しかし、センサチュ
ーブ７，８も長手方向に膨張するため、ガイド部材２２
の貫通孔２２ａは、ロッド部材２３の付け根部２３ｂ側
に変位する。

【００６３】従って、貫通孔２２ａは内径が拡大される
とともに、図８中Ｘｂ方向に移動することになり、ロッ
ド部材２３と貫通孔２２ａとの間の隙間Ｓは、所定の一
定値に保たれる。

【００６４】次に、周囲の温度より低温の被測流体がセ
ンサチューブ７，８を流れた場合、マニホールド９を介
してガイド部材２２の温度が低下する。これにより、ガ
イド部材２２は、径方向に収縮し、貫通孔２２ａの内径
ｄ₂ も小さくなる。

【００６５】そのため、上記ロッド部材２３と貫通孔２
２ａとの間の隙間Ｓが縮小される。しかし、センサチュ
ーブ７，８も長手方向に収縮するため、ガイド部材２２
の貫通孔２２ａは、ロッド部材２３の先端部２３ａ側に
変位する。

【００６６】従って、貫通孔２２ａは内径が縮小される
とともに、図８中Ｘａ方向に移動することになり、ロッ
ド部材２３と貫通孔２２ａとの間の隙間Ｓは、所定の一
定値に保たれる。

【００６７】このように、周囲の温度と異なる温度の流
体がセンサチューブ７，８を流れて急激な温度変化が生
じた場合においても、ガイド部材２２の貫通孔２２ａと
ロッド部材２３との隙間Ｓは、予め設定された適正な寸
法に保たれる。よって、例えば上記隙間Ｓが大きくなっ
てロッド部材２３に対して径方向及び軸回りの回転方向
に変位可能な状態となることが無く、また隙間Ｓが小さ
くなってロッド部材２３が貫通孔２２ａに食い込むこと
も防止される。

【００６８】即ち、ロッド部材２３をテーパ状に形成す
ることにより、マニホールド９が軸方向に摺動して温度
変化に伴うセンサチューブ７，８の膨張・収縮による軸
方向の応力が吸収されるとともに、外部振動等によりケ
ーシング２内に収納されたセンサチューブ７，８が回転
することを防止することができ、センサチューブ７，８
の振動特性が変化して計測精度が低下することを防止で
きる。

【００６９】尚、上記実施例では、被測流体の温度が変
化する場合を一例として挙げたが、例えば質量流量計が
設置された周囲の温度変化によりセンサチューブ７，８
が膨張・収縮する場合にも対応することができるのは勿
論である。

【００７０】又、上記実施例では、一対のセンサチュー
ブ７，８が平行に配設された構成を一例として説明した
が、これに限らず、例えば１本のセンサチューブを有す
る構成にも本発明が適用できるのは言うまでもない。

【００７１】

【発明の効果】上述の如く、上記請求項１によれば、摺
動部材が流入管及び流出管と前記センサチューブの両端
部との間で摺動自在に設けられているため、温度変化に
よるセンサチューブの膨張・収縮を吸収できるととも
に、摺動部材より外方に突出する突出部材によりセンサ
チューブをケーシング内に挿入する際、突出部材がケー
シング内を摺接してセンサチューブがケーシング内壁に
当接することを防止でき、これによる計測精度の低下を
防止できる。

【００７２】又、請求項２によれば、上記請求項１の効
果とともに、ロッド部材が突出部材に摺動可能に係合し
ているため、外部振動の伝播等によりセンサチューブが
流入管及び流出管を軸としてケーシング内で回転するこ
とを防止でき、これによる計測精度の低下を防止でき
る。

【００７３】又、請求項３によれば、ロッド部材をテー
パ状に形成してなるため、温度変化によりガイド部材が
膨張・収縮しても規制部材と貫通孔との隙間を適正値に
保つことができ、センサチューブに温度変化による応力
が作用しないようにできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例が適用
された質量流量計の縦断面図である。

【図２】流入側の構造を拡大して示す縦断面図である。

【図３】流出側の構造を拡大して示す縦断面図である。

【図４】組立工程を説明するための工程図である。

【図５】図４に続いて行われる組立工程を説明するため
の工程図である。

【図６】図５に続いて行われる組立工程を説明するため
の工程図である。

【図７】図６に続いて行われる組立工程を説明するため
の工程図である。

【図８】本発明の変形例の要部を説明するための縦断面
図である。

【符号の説明】

１ 質量流量計 ２ ケーシング ５ 流入管 ６ 流入側マニホールド ７，８ センサチューブ ９ 流出側マニホールド １０ 流出管 １１，１２ 支持板 １３ ケーシング本体 １４，１５ 蓋部材 １９，２２ ガイド部材 ２０ ロッド部材 ２３ ロッド部材 ２４ 加振器 ２５，２６ ピックアップ ２７ 流量計測制御回路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流入側，流出側の開口が蓋部材により密
   閉されたケーシングと、 前記流入側の蓋部材に固定された流入管と、 前記流出側の蓋部材に固定された流出管と、 前記ケーシング内に収納されるとともに前記流入管及び
   流出管に取り付けられ、被測流体が流れるセンサチュー
   ブと、 前記ケーシング内に設けられ該センサチューブを振動さ
   せる加振器と、 前記ケーシング内に設けられ前記センサチューブの変位
   を検出するピックアップと、 前記流入管又は流出管の少なくとも一方と前記センサチ
   ューブの端部との間で摺動自在に設けられ、前記流入管
   又は流出管と前記センサチューブとを伸縮可能に支持す
   る摺動部材と、 該摺動部材より外方に突出し、かつ突出長さが前記ケー
   シングの内部空間より小となる突出部材と、 よりなることを特徴とする振動式測定装置。
2. 【請求項２】 流入側，流出側の開口が蓋部材により密
   閉されたケーシングと、 前記流入側の蓋部材に固定された流入管と、 前記流出側の蓋部材に固定された流出管と、 前記ケーシング内に収納されるとともに前記流入管及び
   流出管に取り付けられ、被測流体が流れるセンサチュー
   ブと、 前記ケーシング内に設けられ該センサチューブを振動さ
   せる加振器と、 前記ケーシング内に設けられ前記センサチューブの変位
   を検出するピックアップと、 前記流入管及び流出管と前記センサチューブの両端部と
   の間で摺動自在に設けられ、前記流入管及び流出管と前
   記センサチューブとを伸縮可能に支持する一対の摺動部
   材と、 一端が前記蓋部材又はケーシングに固定され、他端がセ
   ンサチューブに沿って延在するロッド部材と、 該摺動部材より外方に突出し、かつ突出長さが前記ケー
   シングの内部空間より小となるとともに、前記ロッド部
   材に摺動可能に係合する突出部材と、 よりなることを特徴とする振動式測定装置。
3. 【請求項３】 前記ロッド部材をテーパ状に形成したこ
   とを特徴とする請求項２の振動式測定装置。