JPH07261102A - ディジタルマイクロミラーデバイス発生画像の直視表示システム用フェースプレート - Google Patents

ディジタルマイクロミラーデバイス発生画像の直視表示システム用フェースプレート

Info

Publication number
JPH07261102A
JPH07261102A JP6298694A JP29869494A JPH07261102A JP H07261102 A JPH07261102 A JP H07261102A JP 6298694 A JP6298694 A JP 6298694A JP 29869494 A JP29869494 A JP 29869494A JP H07261102 A JPH07261102 A JP H07261102A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
face plate
mirror
optical fiber
mirror element
optical fibers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6298694A
Other languages
English (en)
Inventor
Jeffrey B Sampsell
ビー．サンプセル ジェフリー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Texas Instruments Inc
Original Assignee
Texas Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Texas Instruments Inc filed Critical Texas Instruments Inc
Publication of JPH07261102A publication Critical patent/JPH07261102A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/90—Methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ディジタルマイクロミラーデバイス発生画像
の安価かつコンパクトな直視表示システム実現用フェー
スプレートを提供し、容積を取る光学システムの必要を
回避する。 【構成】 直視表示システム１０において、ディジタル
マイクロミラーデバイス１０ｂは、マイクロミラー素子
のミラー２５をオン又はオフ位置へ傾斜させて画像を発
生する。フェースプレート１０ａは、互いに平行でかつ
一括して狭い間隔を取った或る数の光ファイバ１２を有
する。光ファイバ１２の端面は、フェースプレート１０
ａの上側表面及び下側表面である。各光ファイバ１２の
両端は、ミラー２５のオン位置によって決定される角に
おいて薄切りされている。このことが、光が光ファイバ
１２を下へ走行し、かつオン位置にあるミラー２５のみ
によって視察者へ反射されることを可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、画像表示システム、特
に直視画像を提供する変形ミラーデバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】空間光変調器（以下、ＳＬＭと称する）
ベース実時間表示システムは、陰極線管（以下、ＣＲＴ
と称する）を使用する表示システムに代わってますます
使用されている。ＳＬＭシステムは、ＣＲＴシステム程
の大きな容積及び電力消費を伴うことなく高解像度表示
を提供する。
【０００３】ディジタルマイクロミラーデバイス（以
下、ＤＭＤと称する）は、ＳＬＭの１型式であって、表
示応用に使用されると云える。ＤＭＤは、各々がミラー
及びメモリセルを有しているマイクロ機械画素のアレイ
を有する。各画素は、電子データによって個別にアドレ
ス可能である。そのアドレス指定信号の状態に従って、
各ミラー素子が光を画像面へ反射するか又はしないかの
どちらかであるように、すなわち、オン又はオフである
ように、各素子が傾斜させられる。ミラーがオン状態に
ある各映像フレーム中の時間比率は、グレーの度合い、
即ち、０％オン時間に対する黒から１００％オン時間に
対する白までを決定する。
【０００４】現存するＤＭＤ表示システムは、投写シス
テムである。オンミラーからの光は、投写レンスを通過
し、かつ大きなスクリーン上に画像を生成する。オフミ
ラーからの光は、投写レンズによって反射され、かつ捕
獲される。色は、２つの仕方において、すなわち、カラ
ーホイールによって又は３ＤＭＤ配列によって加え合わ
される
【０００５】ＤＭＤは、半導体製造技術を使用して製造
されると云える。ＤＭＤを製造するために、標準ＣＭＯ
Ｓ処理ステップが、メモリセルを有するスタティックＲ
ＡＭに対して、及びアドレス電極に対して、完遂され
る。次いで、傾斜ミラーの「ルーフ（ｒｏｏｆ）」が、
このメモリ及びアドレス回路を覆って製造される。この
上部構造の高さは、ミラーをねじり軸の回りに±１０度
程傾斜させるに充分である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ＤＭＤによって発生さ
れる画像を見せるための表示光学は、投写視察（ｖｉｅ
ｗｉｎｇ）に対しては容易に実現される。例えば、ＤＭ
Ｄは、暗視界投写光学と結合されることがある。ここ
で、明光源が、チップへその表面と或る角をなして向け
られる。オン位置へ傾斜させられたミラーは、入射光を
投写レンズを通して、スクリーン上へ反射する。オフ位
置へ傾斜させられたミラーは、入射光が投写レンズから
外れるように反射する。
【０００７】
【問題を解決するため手段】本発明の第１態様は、直視
表示システム用フェースプレートであり、これはオン又
はオフ位置へ傾斜させられるミラー素子を有するＤＭＤ
から反射された画像を提供する。フェースプレートは、
平行かつ狭い間隔を取って一括取り付けられた或る数の
光ファイバを有する。これらの光ファイバの上端面及び
下端面は、それぞれ、フェースプレートの上側表面及び
下側表面にある。これらの端面は、ミラー素子の傾斜角
によって決定される角において、光ファイバの軸に対し
て角をなしている。フェースプレートは、ＤＭＤの表面
から上方へ間隔を取り、及び周囲光が光ファイバを下へ
走行しかつオンミラー素子によって反射されることを可
能にする。
【０００８】本発明の技術的利点は、それが、ＤＭＤ発
生画像が容積を取る光学システムを伴わずに直視される
ことを可能にすることである。この直視システムは、安
価でかつコンパクトである。こらは、頭又は手首取付
け、又はその他の小形表示装置に適している。
【０００９】
【実施例】図１は直視表示システム１０の断面図であっ
て、このシステムはＤＭＤ１０ｂを使用し、後者は画像
データ処理ユニット１０ｃによって提供されるデータか
ら画像を発生する。フェースプレート１０ａは、周囲光
をＤＭＤの表面へ向けて送り、かつ画像を視察者へ向け
て送る。
【００１０】ＤＭＤ１０ｂはミラー素子１１のアレイで
あって、このアレイは画像データ処理ユニット１０ｃか
ら受け取るデータの状態に従って傾斜する。各ミラー素
子は、３つの状態を有する。そのミラーは、破線によっ
て指示されたように、２つの方向のどちらかに傾斜する
か、又は平坦位置を取り、この平坦位置に、ＤＭＤは使
用されないとき駐在させられる。
【００１１】フェースプレート１０ａは、ＤＭＤ１０ｂ
に取り付けられ、かつＤＭＤ１０ｂの頂面から間隔を取
る。ＤＭＤ１０ｂの頂面とフェースプレート１０ａの下
側表面との間の間隔は、ＤＭＤ１０ｂのミラー素子の傾
斜動作を可能にするのに充分になっている。
【００１２】フェースプレート１０ａは光ファイバ１２
の集合であり、これらの光ファイバは互いに平行であり
かつこれらの端面が、それぞれ、フェースプレート１０
ａの上側表面と下側表面にあるように位置決めされてい
る。これらの端面は、光ファイバ１２の軸に対して角を
なしており、各角は同じである。図３と関連して下に説
明されるように、この角は、各ミラー素子１１のオン傾
斜位置によって決定される。
【００１３】光ファイバ１２は互いに取り付けられ、こ
の取付けはいくつかの手段のどれか１つによって完成さ
れると云える。例えば、光ファイバ１２は、接着剤によ
って、又は透孔を有しこの透孔を通して光ファイバが挿
入されるテンプレートによって、取り付けられることが
ある。光ファイバの束を製作する通常手段は、或る型の
接着剤として働くガラスフリット材料によってこれらの
光ファイバを互いに接着することである。
【００１４】この説明の例においては、光ファイバ１２
は、これらが互いに直ぐ隣合うように取り付けられる。
他の実施例においては、光ファイバ１２は僅かに間隔を
取ることもあり得るが、しかし、一般に、光ファイバ１
２は密集してパックされる。典型的には、図１に示され
るように、光ファイバ１２の長さは、フェースプレート
１０ａの面積に比較して短い。
【００１５】図１において、ミラー１１と光ファイバ１
２は、１対１の対応をなしている。しかしなら、他の実
施例においては、１つ以上の画素、すなわち、ミラー素
子１１が１つの光ファイバ１２を共用し、又は１つのミ
ラー素子１１が１つ以上の光ファイバ１２を有すること
がある。図５〜図７と関連して下に説明されるように、
ミラー素子１１の数に対する光ファイバ１２の数は、表
示システム１０の解像度に関係する。
【００１６】画像データ処理ユニット１０ｃは、ＤＭＤ
１０ｂ上に表示されるべきアナログ又はディジタル映像
信号を受信する。もしデータがアナログであるならば、
処理ユニット１０ｃは、そのデータをディジタル形式に
変換する。同ユニットは、逆ガンマ補正、色変換、漸進
走査、及び他の画像処理タスクのような他の動作を遂行
する。これらのタスクは、論理回路で以て、プロセッサ
実行記憶命令で以て、又はプロセッサの他の形式の組合
わせ又は混合で以て実現されると云える。処理ユニット
１０ｃは、「ビット面フォーマット」でのデータのフレ
ームをバッファするための表示メモリを含み、このメモ
リ内で画素値の各フレームが１回に画素当たり１ビット
ずつＤＭＤ１０ｂへ送出される。ＤＭＤ１０ｂとの使用
に供される例示的画像データ処理ユニット１０ｃに関す
る更に詳細な説明は、米国特許第５，０７９，５４４
号、名称「標準独立ディジタル化映像システム（Ｓｔａ
ｎｄａｒｄ Ｉｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔ Ｄｉｇｉｔｉｚ
ｅｄ Ｖｉｄｅｏ Ｓｙｓｔｅｍ）」、米国特許出願第
号（弁理士事件整理番号ＴＩ−１７
８５５）、名称「ディジタルテレビジョンシステム（Ｄ
ｉｇｉｔａｌ Ｔｅｌｅｖｉｓｉｏｎ Ｓｙｓｔｅ
ｍ）」、米国特許出願第０７／６７８，７６１号、名称
「パルス幅変調表示システム内に使用されるＤＭＤアー
キテクチャ及びタイミング（ＤＭＤ Ａｒｃｈｉｔｅｃ
ｔｕｒｅ ａｎｄ Ｔｉｍｉｎｇ ｆｏｒＵｓｅ ｉｎ
ａ Ｐｕｌｓｅ −Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｒａｔｅｄ
Ｄｉｓｐｌａｙ Ｓｙｓｔｅｍ）」、米国特許出願第
０７／８０９，８１６号、名称「白色光エンハンストカ
ラーフィールド逐次投写（Ｗｈｉｔｅ Ｌｉｇｈｔ Ｅ
ｎｈａｎｃｅｄ Ｃｏｌｏｒ Ｆｉｅｌｄ Ｓｅｑｕｅ
ｎｔｉａｌ Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ）」、及び米国特許
出願第 号（弁理士事件整理番号ＴＩ
−１７６７１）、名称「ＤＭＤ表示システム（ＤＭＤ
Ｄｉｓｐｌａｙ Ｓｙｓｔｅｍ）」に記載されている。
これらの特許及び特許出願は、テキサスインスツルメト
社に讓受され、かつ各々ここに参考に編入されている。
【００１７】図２は、関連光ファイバ１２を有する単一
ミラー素子１１の斜視図である。図１が各ミラー素子１
１の傾斜角を示す側面図であるのに対して、図２は正面
図である。図２において、ミラー素子１１はその平坦位
置において示されるが、しかし同素子は矢印によって指
示されるように上へ又は下へ傾斜することもできる。
【００１８】典型的ミラー素子１１は方形であって、１
辺が１６マイクロメータである。ミラー素子１１は、１
マイクロメータ離れ合うだけの狭い間隔を取ると云え
る。典型的ＤＭＤ１０ｂは、数千のミラー素子１１を有
することもある。したがって、例えば、ＤＭＤ１０ａ
は、１，０００×１，０００ミラー素子１１の方形アレ
イである場合ならば、フェースプレート１０ａの寸法
は、１７，０００×１７，０００マイクロメータ平方の
程度である。
【００１９】ミラー素子１１のアレイは、半導体製造技
術を使用してシリコン基板２１上に製造される。各ミラ
ー素子１１は、スタティックＲＡＭメモリセル２２と電
気的に連絡している。実現される特定アドレス指定方式
に従って、各ミラー素子１１は、それ専用のメモリセル
２２を有することもあれば、又はいくつかのミラー素子
１１が１つのメモリセル２２を共有することもある。メ
モリセル２２を直接覆ってアドレス指定層があり、この
層は２つのランディング電極２３及び２つのアドレス電
極２４を含む。図２には１つのランディング電極のみが
見えている。２つのランディング電極２３はミラー２５
の対向し合う隅の下にある。ミラー２５は電極２３及び
２４の上方にあり、支持柱２７に取り付けられたヒンジ
２６によって支持される。
【００２０】ＤＭＤを製造するために、基板２１上にス
タティックＲＡＭメモリセル２２の層を生成する標準的
処理ステップが使用される。典型的に、ＲＡＭメモリセ
ル２２は、ＣＭＯＳ処理に従って作られる。電極２３及
び２４は、従来の金属リソグラフィで以て製造されると
云える。次の処理局面において、そのウェーハがポリマ
スペーサ層によって被覆される。バイアホールがポリマ
スペーサ層を通して接触箇所までエッチングされ、この
箇所上に支持柱２７が製造される。次に、薄いアルミニ
ウム層（ヒンジ２６用）及び厚いアルミニウムミラー層
（ミラー２５用）が、堆積され、パターン化され、かつ
エッチングされる。プラスマエッチングが、ポリマ層の
残されたものを除去して、ミラー２５を、支持柱２７に
取り付けられたヒンジ２６によって、電極２３及び２４
の上方に懸垂されるように残す。動作に当たって、メモ
リセル２２内のデータに基づく静電力が、ランディング
２３及びアドレス電極２４に印加されるに従って、ミラ
ー２５を傾斜させる。傾斜させられている間、ミラー２
５は平坦であり、ヒンジ２６がねじれて曲がる。
【００２１】例示のＤＭＤの構造、動作、及び製造に関
する更に詳細は、米国特許第４，９５６，６１９号、名
称「空間光変調器（Ｓｐａｔｉａｌ Ｌｉｇｈｔ Ｍｏ
ｄｕｌａｔｏｒ）」に記載されており、この特許はここ
に参考に編入されている。
【００２２】図３は、いかにフェースプレート１０ａの
光ファイバ１２が、ミラー素子１１のオン傾斜角によっ
て決定される角だけ傾斜させられかを図解する。もしミ
ラー素子の傾斜角θであるならば、光ファイバ１２が傾
斜させられる角は、９０−θ度である。この角は、光フ
ァイバ１２の「偏角（ｂｉａｓ ａｎｇｌｅ）」とここ
では称される。偏角は、光が光ファイバ１２を下へ走行
し、かつオンにあるミラー２５によって反射されること
を可能にする。オフ位置へ傾斜させられているミラー
は、光を光ファイバ１２の受入れ角外へ反射することに
なる。オフミラー素子１１によって反射された光は、フ
ェースプレート１０ａの背後で吸収される。視察者は、
オンミラー素子１１を明るいと、及びオフミラー素子１
１を暗いと見る。
【００２３】図４は、いかにフェースプレート１０ａ
が、光ファイバ１２’の束を薄切りされることによって
作られるかを図解する。図４は、極めて簡単化されてい
る−−ここでは光ファイバ１２とミラー素子１１は１対
１の対応をなしており、フェースプレート１０ａはミラ
ー素子１１と同じくらい多い光ファイバ１２’から作ら
れているであろうし、及び各光ファイバ１２の直径は各
ミラー素子１１の辺寸法とほぼ同じであろう。しかしな
がら、下に説明されるように、光ファイバ１２の直径
は、所望解像度の問題である。
【００２４】多くの光ファイバ１２’は束になって引き
出され、かつその束の部分が薄く切り取られる。１０度
オン傾斜位置を有するミラー素子１１に対しては、束は
８０度（９０度−１０度）軸外れに薄切りされる。他の
角度のオン傾斜位置を有するミラー素子１１に対して
は、光ファイバ１２’は、相当する角において薄切りさ
れるであろう。
【００２５】図５〜図７は、いかに光ファイバ１２の端
面面積とミラー素子１１の表面面積との間の関係が表示
システム１０の解像度に影響するかを図解する。図５〜
図７は、ミラー素子１１の表面上へと見下ろす光ファイ
バ１２を表現する上面図である。各光ファイバ１２は、
その直径Ｄによって決定される「受入れ面積」を有す
る。
【００２６】図５において、図１〜図４におけるよう
に、光ファイバ１２の受入れ面積は、光ファイバ１２の
直径Ｄがミラー素子１１の辺寸法Ｌとほぼ同じであると
云う意味において、ミラー素子１１の表面面積と「整
合」する。フェースプレート１０ａのこの実施例に対し
ては、図解されているように、もし各光ファイバ１２が
その対応するミラー素子１１を覆って心出しされている
ならば、最良の解像度が達成される。適正整列を保証す
るために、ＤＭＤ１０ｂを覆ってフェースプレート１０
ｂを取り付けるときには、種々の技術を使用することが
できる。
【００２７】図６において、各ミラー素子１１は、４つ
の光ファイバ１２を有する。この実施例は、フェースプ
レート１０ａのＤＭＤ１０ｂへの整列を保証する必要を
減少させる。例えば、もし４つの光ファイバ１２が、ミ
ラー素子１１の表面に対して、一方向又は他の方向へ偏
移させられたとしたならば、ミラー素子１１は２つの光
ファイバ１２からの全ての光を受光又は反射し続けるで
あろう。ミラー素子１１当たり光ファイバの数が多いほ
ど、ミラー素子１１に対する光ファイバ１２の整列は厳
しくなくなる。
【００２８】図７においては、各光ファイバ１２の受入
れ面積がミラー素子１１の表面面積より大きい。この型
式の実施例においては、表示システム１０は、相当する
だけ低下した解像度で以て動作する。例えば、もし光フ
ァイバ１２が４つのミラー素子１１の集合の上方に置か
れたとしたならば、それら４つのミラー素子１１のオン
及びオフ位置は視察者へ返し反射される画像の部分を決
定するであろう。しかしながら、この実施例の利点は、
４つのミラー素子１１の集合のうちの各ミラー素子１１
のオン及びオフ時間が、それらの光ファイバ１２の下に
グレースケール値を提供するように制御され得ると云う
ことである。
【００２９】図８は、いかに光源８１をフェースプレー
ト１０ａとＤＭＤ１０ｂとの間の空間の１辺へ置けるか
を図解する。これは、光ファイバ１２によってＤＭＤ１
０ｂの表面へ搬送される周囲光がないときに、表示シス
テム１０が画像を発生することを可能とする。制御ユニ
ット８２は、使用者に光源８１をオン又はオフスイッち
させて、要求されるどんな電力でも供給できるようにさ
せる。示されているように、光源８１は、「オン」傾斜
位置の方向に相当するＤＭＤ１０ｂの１辺へ位置決めさ
れる。もし光源８１が光をフェースプレート１０ａの下
側表面に向けて送るならば、光ファイバ１２の端面はこ
の光をＤＭＤ１０ｂの反射面へ向けて分散させる。光源
８１は、１つ以上の発光ダイオード（ＬＥＤ）又は他の
適当な光源であってよい。
【００３０】光源８１は、黒白画像に対しては、単一白
色光源であってよい。グレースケール画像に対しては、
処理ユニット１０ｃは、パルス幅変調技術を実現するこ
とができ、それで以てミラー素子１１がオン又はオフさ
れる各フレーム期間中時間長を制御するようにする。
【００３１】又は、図８に示されているように、色彩画
像に対しては、光源８１は、赤、緑、及び青、３つの光
源の集合であることがある。各ミラー素子１１は、各色
についてのデータを逐次受信する。ミラー素子によって
受信されつつあるデータに同期して、異なる色の光源
が、逐次に、ターンオン及びオフされる。
【００３２】図９は、色彩画像を提供するための、本発
明の代替実施例を図解する。この実施例において、フェ
ースプレート１０ａは、光ファイバ１２の上端面を覆う
透明色フィルタ９１を有する。色フィルタ９１は、赤、
緑、及び青材料のストリップを交互に有する。入射光
は、色フィルタ９１を通る際にこれらのストリップによ
ってフィルタ処理され、それによって色彩画像を生成す
る。代替的に、色フィルタ９１は、光ファイバ１２の下
端面を覆うこともできる。また、異なる色材料のストリ
ップの代わりに、フィルタ９１は赤、緑、及び青の方形
又は他の多角形面積の三つ組で作られることもできる。
理想的には、これらのストリップ又は形状の寸法は、各
ミラー素子１１毎に１色を提供する程に充分に小さい
が、しかし他の相対寸法も可能である。
【００３３】本発明は特定の実施例を参照して説明され
たが、この説明は限定的意味に解釈されることを意図し
ているのではない。開示の実施例の種々の変形ばかりで
なく、代替実施例も当業者に明白である。したがって、
添付の特許請求の範囲は、本発明の真の範囲内にある全
ての変形を包含すると考える。
【００３４】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。
【００３５】（１） オン傾斜角へ傾斜するミラー素子
を有するＤＭＤによって発生される画像を表示する直視
表示システム用フェースプレートであって、実質的に平
行にかつ狭い間隔を取って一括取り付けられた或る数の
光ファイバを含み、前記光ファイバは、前記フェースプ
レートにプレーナ形状を提供するように、実質的に等し
い長さのものであり、前記光ファイバの端面は前記フェ
ースプレートの上側表面と下側表面とを含み、前記光フ
ァイバは、前記ミラー素子の前記傾斜角によって決定さ
れる前記フェースプレートの面に対して偏角を有する、
フェースプレート。
【００３６】（２） 第１項記載のフェースプレートに
おいて、前記偏角が近似的に９０度から前記オン傾斜角
の値を減算した値の角である、フェースプレート。
【００３７】（３） 第１項記載のフェースプレートに
おいて、前記光ファイバが受入れ面積を有し該面積の直
径が前記ミラー素子の辺寸法と近似的に同じである、フ
ェースプレート。
【００３８】（４） 第１項記載のフェースプレートに
おいて、前記光ファイバが前記ミラー素子の辺寸法より
小さい直径を有する、フェースプレート。
【００３９】（５） 第１項記載のフェースプレートに
おいて、前記光ファイバが前記ミラー素子の辺寸法より
大きい直径を有する、フェースプレート。
【００４０】（６） 第１項記載のフェースプレートで
あって、前記光ファイバの前記端面に実質的に平行な透
明色フィルタを更に含み、前記色フィルタは異なる色を
した材料の区画を有する、フェースプレート。
【００４１】（７） 第６項記載のフェースプレートに
おいて、前記区画はストリップである、フェースプレー
ト。
【００４２】（８） 第６項記載のフェースプレートに
おいて、前記区画は多角形である、フェースプレート。
【００４３】（９） オン傾斜角へ傾斜するミラー素子
を有するＤＭＤによって発生される画像を直視表示する
方法であって、前記傾斜角によって決定される偏角にお
いて或る数の光ファイバの両端を形成するステップ、前
記端によって区画されるプレーナ下側表面とプレーナ上
側表面とを有するフェースプレート内へ前記光ファイバ
をグループ化するステップ、前記ＤＭＤの反射面に平行
にかつ近くに前記下側表面を配置するステップ、前記上
側表面において前記ＤＭＤによって発生された画像を見
るステップを含む、方法。
【００４４】（１０） 第９項記載の方法であって、前
記フェースプレートの直ぐ上に又は直ぐ下に異なる色を
した材料の区画の透明色フィルタを配置するステップを
更に含む方法。
【００４５】（１１） 第９項記載の方法であって、前
記ミラー素子に前記光学フィルタを整列させるステップ
を更に含む方法。
【００４６】（１２） 第９項記載の方法において、前
記グループ化するステップはミラー素子の数と近似的に
同じである数の光ファイバをグループ化することによっ
て完遂される、方法。
【００４７】（１３） 第９項記載の方法において、前
記グループ化するステップはミラー素子の数を超える数
の光ファイバをグループ化することによって完遂され
る、方法。
【００４８】（１４） 第９項記載の方法において、前
記グループ化するステップはミラー素子の数より少ない
数の光ファイバをグループ化することによって完遂され
る、方法。
【００４９】（１５） 第９項記載の方法であって、前
記偏角の方向に沿って前記フェースプレートの縁におい
て前記フェースプレートと前記ＤＭＤとの間に光源を置
くステップを更に含む方法。
【００５０】（１６） 第１５項記載の方法において、
前記光源は異なる色をした光源の集合であり、前記方法
であって、前記ＤＭＤへ送出されつつあるデータに従っ
て前記光源を逐次に活性化するステップを更に含む方
法。
【００５１】（１７） オン又はオフ傾斜角へミラーの
アレイを傾斜させることによって画像を発生するＤＭ
Ｄ、前記画像を表現する画像データを発生しかつ前記Ｄ
ＭＤへ前記データを送出する画像データ処理ユニット、
或る数の光ファイバが互いに平行でありかつ狭い間隔を
取るように一括に取り付けられた前記或る数の光ファイ
バを有するフェースプレートにおいて、前記フェースプ
レートにプレーナ形状を提供するように前記光ファイバ
が等しい長さのものであり、前記光ファイバの端面は前
記フェースプレートの上側表面と下側表面とを含み、前
記光ファイバは前記ミラー素子の前記傾斜角にって決定
される前記フェースプレートの面に対する偏角を有す
る、前記フェースプレート、を含む直視表示システム。
【００５２】（１８） 第１７項記載の直視表示システ
ムにおいて、前記フェースプレートは近似的に９０度か
ら前記オン傾斜角の値を減算した値の偏角を有する、直
視表示システム。
【００５３】（１９） 第１７項記載の直視表示システ
ムであって、前記偏角の方向に相当する前記ＤＭＤの１
辺において前記フェースプレートと前記ＤＭＤとの間に
光源を更に含む直視表示システム。
【００５４】（２０） 第１７項記載の直視表示システ
ムであって、前記フェースプレートの前記上側表面又は
下側表面において透明色フィルタを更に含み、前記色フ
ィルタは異なる色をした材料の区画を有する、直視表示
システム。
【００５５】（２１） ＤＭＤ１０ｂによって発生され
る画像を直視するためのフェースプレート１０ａであっ
て、前記ＤＭＤ１０ｂは、マイクロミラー素子１１をオ
ン又はオフ位置へ傾斜させることによって画像を発生す
る。前記フェースプレート１０ａは、互いに平行でかつ
一括して狭い間隔を取った或る数の光ファイバ１２を有
する。前記光ファイバ１２の端面は、前記フェースプレ
ート１０ａの上側表面及び下側表面である。各光ファイ
バ１２の両端は、前記ミラー素子のオン位置によって決
定される角において薄切りされる。このことが、光が光
ファイバ１２を下へ走行し、かつオンにあるミラー素子
１１のみによって視察者へ返し反射されることを可能に
する。
【図面の簡単な説明】
【図１】画像データから画像を発生するＤＭＤを使用す
る、直視表示システムの断面図。
【図２】直視ＤＭＤの単一ミラー素子及び関連光ファイ
バの斜視図。
【図３】入射光を受光しかつ反射するオン位置にあるミ
ラー素子を備える、図１の表示システムの断面図。
【図４】いかにこの表示システム用のフェースプレート
が光ファイバの束から作られるかを図解する説明図。
【図５】ミラー素子の表面の寸法とフェースプレートの
光ファイバの直径との相対関係を図解する上面図。
【図６】ミラー素子の表面の寸法とフェースプレートの
光ファイバの直径との相対関係を図解する上面図。
【図７】ミラー素子の表面の寸法とフェースプレートの
光ファイバの直径と相対関係を図解する上面図。
【図８】内部光源を備えるえる直視表示システムを図解
する配置図。
【図９】透明色フィルタを有するフェースプレートを図
解する配置図。
【符号の説明】
１０ 直視表示システム １０ａ フェースプレート １０ｂ ＤＭＤ １０ｃ 画像データ処理ユニット １１ ミラー素子 １２、１２’ 光ファイバ ２１ シリコン基板 ２２ メモリセル ２３ ランディング電極 ２４ アドレス電極 ２５ ミラー ２６ ヒンジ ２７ 支持支柱 ８１ 光源 ８２ 制御ユニット ９１ 色フィルタ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 オン傾斜角へ傾斜するミラー素子を有す
    るディジタルマイクロミラーデバイスによって発生され
    る画像を表示する直視表示システム用フェースプレート
    であって、 実質的に平行にかつ狭い間隔を取って一括取り付けられ
    た或る数の光ファイバを含み、 前記光ファイバは、前記フェースプレートにプレーナ形
    状を提供するように、実質的に等しい長さのものであ
    り、 前記光ファイバの端面は前記フェースプレートの上側表
    面と下側表面とを含み、 前記光ファイバは、前記ミラー素子の前記傾斜角によっ
    て決定される前記フェースプレートの面に対して偏角を
    有する、フェースプレート。
  2. 【請求項２】 オン傾斜角へ傾斜するミラー素子を有す
    るディジタルマイクロミラーデバイスによって発生され
    る画像を直視表示する方法であって、 前記傾斜角によって決定される偏角において或る数の光
    ファイバの両端を形成するステップ、 前記端によって区画されるプレーナ下側表面とプレーナ
    上側表面とを有するフェースプレート内へ前記光ファイ
    バをグループ化するステップ、 前記ディジタルマイクロミラーデバイスの反射面に平行
    にかつ近くに前記下側表面を配置するステップ、 前記上側表面において前記ディジタルマイクロミラーデ
    バイスによって発生された画像を見るステップを含む、
    方法。
JP6298694A 1993-12-01 1994-12-01 ディジタルマイクロミラーデバイス発生画像の直視表示システム用フェースプレート Pending JPH07261102A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US159963 1993-12-01
US08/159,963 US5517347A (en) 1993-12-01 1993-12-01 Direct view deformable mirror device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07261102A true JPH07261102A (ja) 1995-10-13

Family

ID=22574865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6298694A Pending JPH07261102A (ja) 1993-12-01 1994-12-01 ディジタルマイクロミラーデバイス発生画像の直視表示システム用フェースプレート

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5517347A (ja)
EP (1) EP0656554B1 (ja)
JP (1) JPH07261102A (ja)
KR (1) KR950015186A (ja)
CN (1) CN1064134C (ja)
CA (1) CA2137058A1 (ja)
DE (1) DE69428965T2 (ja)
TW (1) TW274121B (ja)

Families Citing this family (186)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6219015B1 (en) 1992-04-28 2001-04-17 The Board Of Directors Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for using an array of grating light valves to produce multicolor optical images
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US8014059B2 (en) 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
DE19504568A1 (de) * 1995-02-11 1996-08-14 Zeiss Carl Fa Kippspiegelanordnung
US6882473B2 (en) 1995-03-02 2005-04-19 Carl Zeiss Jena Gmbh Method for generating a stereoscopic image of an object and an arrangement for stereoscopic viewing
DE59606225D1 (de) * 1995-03-02 2001-01-25 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren zur Erzeugung des stereoskopischen Bildes eines Objektes sowie Anordnung zur stereoskopischen Betrachtung
US6348994B1 (en) 1995-03-02 2002-02-19 Carl Zeiss Jena Gmbh Method for generating a stereoscopic image of an object and an arrangement for stereoscopic viewing
US5841579A (en) 1995-06-07 1998-11-24 Silicon Light Machines Flat diffraction grating light valve
US6046840A (en) * 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US5640479A (en) * 1995-10-18 1997-06-17 Palomar Technologies Corporation Fiberoptic face plate stop for digital micromirror device projection system
US7907319B2 (en) 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
US7471444B2 (en) 1996-12-19 2008-12-30 Idc, Llc Interferometric modulation of radiation
US5982553A (en) 1997-03-20 1999-11-09 Silicon Light Machines Display device incorporating one-dimensional grating light-valve array
US5867251A (en) * 1997-05-02 1999-02-02 The General Hospital Corp. Scanning ophthalmoscope with spatial light modulators
US5790297A (en) * 1997-06-26 1998-08-04 Xerox Corporation Optical row displacement for a fault tolerant projective display
US5815303A (en) * 1997-06-26 1998-09-29 Xerox Corporation Fault tolerant projective display having redundant light modulators
US5774254A (en) * 1997-06-26 1998-06-30 Xerox Corporation Fault tolerant light modulator display system
US6088102A (en) 1997-10-31 2000-07-11 Silicon Light Machines Display apparatus including grating light-valve array and interferometric optical system
US5930027A (en) * 1998-02-12 1999-07-27 Mcdonnell Douglas Corporation Digitally controlled fiber optic light modulation system
US6037564A (en) * 1998-03-31 2000-03-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for scanning a beam and an apparatus therefor
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
KR100703140B1 (ko) 1998-04-08 2007-04-05 이리다임 디스플레이 코포레이션 간섭 변조기 및 그 제조 방법
US6271808B1 (en) 1998-06-05 2001-08-07 Silicon Light Machines Stereo head mounted display using a single display device
US6130770A (en) 1998-06-23 2000-10-10 Silicon Light Machines Electron gun activated grating light valve
US6101036A (en) 1998-06-23 2000-08-08 Silicon Light Machines Embossed diffraction grating alone and in combination with changeable image display
US6215579B1 (en) 1998-06-24 2001-04-10 Silicon Light Machines Method and apparatus for modulating an incident light beam for forming a two-dimensional image
US6303986B1 (en) 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
WO2001018494A1 (en) * 1999-09-03 2001-03-15 Cortron Corporation Digital imaging system utilizing modulated broadband light
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6480218B2 (en) * 1999-12-03 2002-11-12 Konica Corporation Printer for recording an image on a recording material
US6700598B1 (en) 2000-04-25 2004-03-02 Cortron Corporation Digital imaging system employing non-coherent light source
US7099065B2 (en) * 2000-08-03 2006-08-29 Reflectivity, Inc. Micromirrors with OFF-angle electrodes and stops
US6962771B1 (en) * 2000-10-13 2005-11-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Dual damascene process
US6664779B2 (en) * 2000-11-16 2003-12-16 Texas Instruments Incorporated Package with environmental control material carrier
US6707591B2 (en) 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
US6747781B2 (en) 2001-06-25 2004-06-08 Silicon Light Machines, Inc. Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle
US6782205B2 (en) 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US6829092B2 (en) 2001-08-15 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Blazed grating light valve
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
US6985655B2 (en) * 2002-01-30 2006-01-10 Affymetrix, Inc. Compositions and methods involving direct write optical lithography
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US6767751B2 (en) 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
US6714337B1 (en) 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
US7781850B2 (en) 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
TWI289708B (en) 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
US7417782B2 (en) * 2005-02-23 2008-08-26 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for spatial light modulation
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
AU2004241602B2 (en) * 2003-05-20 2008-05-08 Syndiant, Inc. Digital backplane
TW570896B (en) 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
US7161728B2 (en) 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7142346B2 (en) * 2003-12-09 2006-11-28 Idc, Llc System and method for addressing a MEMS display
US7342705B2 (en) 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7855824B2 (en) * 2004-03-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for color optimization in a display
US7720148B2 (en) * 2004-03-26 2010-05-18 The Hong Kong University Of Science And Technology Efficient multi-frame motion estimation for video compression
US7060895B2 (en) * 2004-05-04 2006-06-13 Idc, Llc Modifying the electro-mechanical behavior of devices
US7164520B2 (en) 2004-05-12 2007-01-16 Idc, Llc Packaging for an interferometric modulator
US7499208B2 (en) 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7560299B2 (en) 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7515147B2 (en) 2004-08-27 2009-04-07 Idc, Llc Staggered column drive circuit systems and methods
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7551159B2 (en) 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
US7602375B2 (en) * 2004-09-27 2009-10-13 Idc, Llc Method and system for writing data to MEMS display elements
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7808703B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for implementation of interferometric modulator displays
US7710629B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US7345805B2 (en) 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
CN100439967C (zh) * 2004-09-27 2008-12-03 Idc公司 用于多状态干涉光调制的方法和设备
US7701631B2 (en) 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7532195B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US7928928B2 (en) * 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US20060076634A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US7911428B2 (en) 2004-09-27 2011-03-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7898521B2 (en) 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7807488B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display element having filter material diffused in a substrate of the display element
US7446927B2 (en) 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US7679627B2 (en) 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US7508571B2 (en) * 2004-09-27 2009-03-24 Idc, Llc Optical films for controlling angular characteristics of displays
US7710632B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US7675669B2 (en) 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US7369296B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7724993B2 (en) 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7136213B2 (en) * 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7692839B2 (en) 2004-09-27 2010-04-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7626581B2 (en) 2004-09-27 2009-12-01 Idc, Llc Device and method for display memory using manipulation of mechanical response
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US7916103B2 (en) * 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
US7545550B2 (en) 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US8362987B2 (en) 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7310179B2 (en) 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US8310442B2 (en) * 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US20080158635A1 (en) * 2005-02-23 2008-07-03 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9229222B2 (en) * 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US7999994B2 (en) 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US7755582B2 (en) 2005-02-23 2010-07-13 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US8519945B2 (en) 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7675665B2 (en) 2005-02-23 2010-03-09 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for actuating displays
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US7295363B2 (en) 2005-04-08 2007-11-13 Texas Instruments Incorporated Optical coating on light transmissive substrates of micromirror devices
US7948457B2 (en) 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
KR20080027236A (ko) 2005-05-05 2008-03-26 콸콤 인코포레이티드 다이나믹 드라이버 ｉｃ 및 디스플레이 패널 구성
US7355779B2 (en) 2005-09-02 2008-04-08 Idc, Llc Method and system for driving MEMS display elements
US7630114B2 (en) * 2005-10-28 2009-12-08 Idc, Llc Diffusion barrier layer for MEMS devices
US8391630B2 (en) 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7795061B2 (en) 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US8194056B2 (en) 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
US7903047B2 (en) 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US8004743B2 (en) 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US8049713B2 (en) 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7649671B2 (en) 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7702192B2 (en) 2006-06-21 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods for driving MEMS display
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7777715B2 (en) 2006-06-29 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
EP2366943B1 (en) 2006-10-06 2013-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Optical loss structure integrated in an illumination apparatus of a display
US8872085B2 (en) 2006-10-06 2014-10-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having front illuminator with turning features
US7545552B2 (en) 2006-10-19 2009-06-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Sacrificial spacer process and resultant structure for MEMS support structure
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
WO2008088892A2 (en) * 2007-01-19 2008-07-24 Pixtronix, Inc. Sensor-based feedback for display apparatus
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US7692841B2 (en) * 2007-07-31 2010-04-06 Texas Instruments Incorporated System and method for regulating micromirror position
US7898716B2 (en) * 2007-08-01 2011-03-01 Texas Instuments Incorporated System and method for controlling a digital micromirror device (DMD) system to generate an image
US20090040516A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-12 Honeywell International Inc. Spectroscopic system
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
US7948672B2 (en) * 2008-03-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and methods for tiling display panels
US7920317B2 (en) * 2008-08-04 2011-04-05 Pixtronix, Inc. Display with controlled formation of bubbles
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
WO2010111306A1 (en) * 2009-03-25 2010-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Em shielding for display devices
US8736590B2 (en) 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US9071834B2 (en) * 2009-04-25 2015-06-30 James Yett Array of individually angled mirrors reflecting disparate color sources toward one or more viewing positions to construct images and visual effects
US8314983B2 (en) * 2009-11-10 2012-11-20 International Business Machines Corporation Nonvolatile nano-electromechanical system device
CN102834763B (zh) 2010-02-02 2015-07-22 皮克斯特罗尼克斯公司 用于制造填充冷密封流体的显示装置的方法
EP2531997A1 (en) 2010-02-02 2012-12-12 Pixtronix Inc. Circuits for controlling display apparatus
BR112012022900A2 (pt) 2010-03-11 2018-06-05 Pixtronix Inc modos de operação transflexivos e refletivos para um dispositivo de exibição
JP2013524287A (ja) 2010-04-09 2013-06-17 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 電気機械デバイスの機械層及びその形成方法
US8848294B2 (en) 2010-05-20 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and structure capable of changing color saturation
JP5917559B2 (ja) 2010-12-20 2016-05-18 ピクストロニクス，インコーポレイテッド 音響放射が低減されたｍｅｍｓ光変調器アレイのためのシステムおよび方法
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8749538B2 (en) 2011-10-21 2014-06-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method of controlling brightness of a display based on ambient lighting conditions
US8982014B2 (en) 2012-02-06 2015-03-17 Battelle Memorial Institute Image generation systems and image generation methods
US9076368B2 (en) 2012-02-06 2015-07-07 Battelle Memorial Institute Image generation systems and image generation methods
US9183812B2 (en) 2013-01-29 2015-11-10 Pixtronix, Inc. Ambient light aware display apparatus
US9170421B2 (en) 2013-02-05 2015-10-27 Pixtronix, Inc. Display apparatus incorporating multi-level shutters
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
EP2919059A1 (en) * 2014-03-14 2015-09-16 BAE Systems PLC Fibre-optical diffuser for displays
WO2015136258A1 (en) * 2014-03-14 2015-09-17 Bae Systems Plc Fibre-optical diffuser for displays
EP3117249B1 (en) 2014-03-14 2021-05-05 BAE Systems PLC Improvements in and relating to displays
CN106646927B (zh) * 2016-11-02 2020-03-06 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及显示装置
CN108761982B (zh) * 2018-04-28 2021-01-12 毅丰显示科技（深圳）有限公司 投影集光系统

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5141537B2 (ja) * 1972-03-24 1976-11-10
NL7807315A (nl) * 1978-07-06 1980-01-08 Philips Nv Vezeloptiekplaat.
CA1245494A (en) * 1983-03-17 1988-11-29 Ralph R. Rover, Jr. Light directing faceplate
US4569571A (en) * 1983-10-04 1986-02-11 Tru-Lyte Systems, Inc. Amplifier assembly for electromagnetic radiation, preferably in the actinic spectrum
US4601537A (en) * 1984-01-06 1986-07-22 Ohio State University Research Foundation Apparatus and methods for forming images and for optical demultiplexing
US4859012A (en) * 1987-08-14 1989-08-22 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection networks
US4956619A (en) * 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
EP0391529B1 (en) * 1989-02-27 1995-05-03 Texas Instruments Incorporated Apparatus for digitized video system
US5037173A (en) * 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
US5129028A (en) * 1990-11-01 1992-07-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Grid free, modular, large screen display
US5127078A (en) * 1991-02-13 1992-06-30 Terry Weed Integrated display for image presentation and receiving using fiber optics
US5240818A (en) * 1991-07-31 1993-08-31 Texas Instruments Incorporated Method for manufacturing a color filter for deformable mirror device

Also Published As

Publication number Publication date
EP0656554B1 (en) 2001-11-07
CA2137058A1 (en) 1995-06-02
EP0656554A2 (en) 1995-06-07
EP0656554A3 (en) 1997-05-21
CN1139215A (zh) 1997-01-01
KR950015186A (ko) 1995-06-16
TW274121B (ja) 1996-04-11
DE69428965D1 (de) 2001-12-13
US5517347A (en) 1996-05-14
CN1064134C (zh) 2001-04-04
DE69428965T2 (de) 2002-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07261102A (ja) ディジタルマイクロミラーデバイス発生画像の直視表示システム用フェースプレート
Sampsell Digital micromirror device and its application to projection displays
CN1114318C (zh) Ｄｍｄ显示系统
US5729386A (en) Light projection method and a projection type image display apparatus for performing the same
US7180554B2 (en) Projection system for stereoscopic display digital micro-mirror device
JPH11258528A (ja) コントラスト比を改良するため小さくされたマイクロミラーのミラー・ギャップ
US7787172B2 (en) Gamma correction for adjustable light source
WO2002076107A1 (en) Method and apparatus for stereoscopic display using column interleaved data with digital light processing
US7826126B2 (en) Gamma correction for adjustable light source
US20070236773A1 (en) High-resolution scanning display system
JPH0784196A (ja) 光偏向器およびそれを用いた表示装置
US7391556B2 (en) Ultra-thin display system
US20050286112A1 (en) Micromirror having offset addressing electrode
WO2009032342A1 (en) Gamma correction for adjustable light source
US7086741B2 (en) Optical system for a projector and a projection method using the same
KR100640872B1 (ko) 투사표시장치
US20070258129A1 (en) System and Apparatus for Repairing Micromirrors in Spatial Light Modulators
EP0710019A2 (en) Digital micromirror display for television
JP2002214544A (ja) 光変調装置、光変調素子及びその製造方法、並びに投映システム
US20090103807A1 (en) Multi-imager display apparatus
JP2003121769A (ja) 平面型表示装置
US20230055809A1 (en) Digital micromirror device with reduced stiction
JP2003149577A (ja) 光走査装置及び表示装置
JPH1055027A (ja) 投射型表示装置
JP2006502449A (ja) マイクロミラー・システム