JPH07258364A - Phenolic curative and semiconductor-sealing resin composition containing the same - Google Patents
Phenolic curative and semiconductor-sealing resin composition containing the sameInfo
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- JPH07258364A JPH07258364A JP7537494A JP7537494A JPH07258364A JP H07258364 A JPH07258364 A JP H07258364A JP 7537494 A JP7537494 A JP 7537494A JP 7537494 A JP7537494 A JP 7537494A JP H07258364 A JPH07258364 A JP H07258364A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半田耐熱性、耐湿性、
耐熱性(高Tg)、成形性に優れた半導体封止用樹脂組
成物に関する。The present invention relates to solder heat resistance, moisture resistance,
The present invention relates to a resin composition for semiconductor encapsulation having excellent heat resistance (high Tg) and moldability.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体装置などの電子回路部品の封止方
法として従来より金属やセラミックスによるハーメチッ
クシールと、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、エポキ
シ樹脂などによる樹脂封止が提案されている。その中
で、経済性、生産性、物性のバランスからエポキシ樹脂
による樹脂封止が中心になっている。特に、クレゾール
ノボラックを骨格としたエポキシ樹脂にフェノールノボ
ラックを硬化剤として用いたエポキシ樹脂成形材料が大
量に用いられている。2. Description of the Related Art As a sealing method for electronic circuit parts such as semiconductor devices, hermetic sealing using metal or ceramics and resin sealing using phenol resin, silicone resin, epoxy resin, etc. have been proposed. Among them, the resin encapsulation with an epoxy resin is the main focus from the viewpoint of balance of economy, productivity and physical properties. In particular, a large amount of epoxy resin molding materials using phenol novolac as a curing agent in an epoxy resin having cresol novolac as a skeleton are used.
【0003】しかし近年、電子部品の小型化や半導体素
子の大型化、集積度の増大等にともない、従来のエポキ
シ樹脂成形材料では、耐湿性、耐熱性、信頼性などの点
で充分な対応が困難になってきている。However, in recent years, along with the downsizing of electronic parts, the upsizing of semiconductor elements, the increase in the degree of integration, etc., conventional epoxy resin molding materials have been sufficiently compatible with respect to moisture resistance, heat resistance and reliability. It's getting harder.
【0004】特に最近はプリント基板へのパッケージ実
装においても高密度化、自動化が進められており、リー
ドピンを基板の穴に挿入する従来の実装方法に代わり、
基板表面に部品を半田付けする“表面実装方式”が主流
になりつつある。それにともなってパッケージも従来の
デュアル・インライン・パッケージ(DIP)から、高
密度実装、表面実装に適した薄型のTSOP(スイン・
スモール・アウトライン・パッケージ)やQFP(クワ
ッド・フラット・パッケージ)などに移行しつつある。
このような実装方式の変化と半導体パッケージの薄型化
にともない、素子の信頼性の確保が重要な課題となって
きている。Particularly in recent years, packaging and mounting on a printed circuit board have been promoted with higher density and automation. Instead of the conventional mounting method of inserting lead pins into the holes of the board,
The "surface mounting method" in which components are soldered to the surface of the board is becoming mainstream. Along with this, the package is a thin TSOP (spin-in type) suitable for high-density mounting and surface mounting from the conventional dual in-line package (DIP).
Small outline packages) and QFP (quad flat packages) are being migrated.
With such changes in mounting method and thinning of semiconductor packages, securing reliability of elements has become an important issue.
【0005】つまり、従来のピン挿入実装方式では半田
付け工程はリード部が部分的に加熱されるだけであった
が、表面実装方式ではパッケージ全体が210〜280
℃に加熱されるため、パッケージの薄型化ともあいまっ
て、従来の封止樹脂では半田付け工程時に樹脂部分にク
ラックが入ったり、素子と樹脂が引き剥されたりして、
信頼性が著しく低下するという問題が起きてきた。That is, in the conventional pin insertion mounting method, the soldering process only partially heats the lead portion, but in the surface mounting method, the entire package is 210 to 280.
Since it is heated to ℃, along with the thinning of the package, the conventional sealing resin may crack the resin part during the soldering process or peel off the element and resin,
The problem has arisen that the reliability is significantly reduced.
【0006】半田付け工程におけるクラックの発生は、
パッケージ内部に吸湿された水分が半田付け時の加熱に
より、一気に水蒸気化、膨張することに起因しており、
この対策として、エポキシ樹脂主剤、硬化剤、硬化促進
剤、充填剤など多方面から検討が加えられている。The occurrence of cracks in the soldering process is
This is because the moisture absorbed inside the package suddenly becomes steam and expands due to the heating during soldering.
As countermeasures against this, studies have been added from various aspects such as epoxy resin main agent, curing agent, curing accelerator, and filler.
【0007】そのうち、充填材を増量することにより低
吸湿化と低応力化を図る方法も半田耐熱性を向上させる
1つの手段であるが、そのためには成形時の流動性との
バランスから樹脂の低粘度化が必要となる。しかしなが
ら、樹脂の低粘度化はガラス転移温度の低下を招くばか
りでなく、軟化点が低下することによるコールドフロー
の問題も指摘されていた。Among them, a method of reducing the moisture absorption and the stress by increasing the amount of the filler is also one of the means for improving the solder heat resistance, but for that purpose, in view of the balance with the fluidity at the time of molding, It is necessary to reduce the viscosity. However, lowering the viscosity of the resin not only leads to a lower glass transition temperature, but has also been pointed out as a problem of cold flow due to a lower softening point.
【0008】一方、硬化剤の果たす役割はきわめて重要
である。硬化剤についての改良には大きくわけて二つの
方向があり、その一つは多官能性の硬化剤を用いてガラ
ス転移点を上昇させる方法、他の一つはフェノール性水
酸基当量の高い硬化剤をもちいて、低吸湿性、低応力性
を賦与する方法である。On the other hand, the role of the curing agent is extremely important. There are two main directions for improving curing agents. One is a method of increasing the glass transition point by using a polyfunctional curing agent, and the other is a curing agent having a high phenolic hydroxyl group equivalent. Is a method of imparting low hygroscopicity and low stress.
【0009】前者の例としては、硬化剤にトリス(ヒド
ロキシフェニル)メタンを用いる方法(特開昭62−1
84012号、特開平1−268713号)、後者の例
としては、硬化剤にフェノールアラルキル樹脂を用いる
方法(特開昭59−1015018号、特開昭59−6
7660号、特開昭64−60623号)や、ジシクロ
ペンタジエン・フェノール重合体を用いる方法(特開平
4−359013号)が知られている。また両者を組み
合わせる方法(特開平1−292029号)も報告され
ている。しかしこれらの方法で改良された封止用樹脂
も、半田付け工程でのクラック防止にある程度の効果を
上げてはいるがまだ充分ではなく、各々に欠点も残って
いる。例えば硬化剤にトリス(ヒドロキシフェニル)メ
タンを用いる方法では、樹脂の架橋密度が高くなるもの
の吸水率が増大する問題や、樹脂自身が脆くなる欠点が
指摘され、特にTSOPなどの薄型パッケージには効果
がほとんど認められない。またフェノールアラルキル樹
脂を硬化剤とする方法では、半田耐熱性は向上するもの
のまだ充分ではなく、更に硬化性や離型性等の成形性が
低下し、ガラス転移温度も低下するという欠点を有して
いる。As an example of the former, a method using tris (hydroxyphenyl) methane as a curing agent (JP-A-62-1)
No. 84012, JP-A-1-268713), and as an example of the latter, a method using a phenol aralkyl resin as a curing agent (JP-A-59-101018, JP-A-59-6).
7660, JP-A-64-60623) and a method using a dicyclopentadiene / phenol polymer (JP-A-4-359013). Also, a method of combining the two (Japanese Patent Laid-Open No. 1-292029) has been reported. However, the encapsulating resins improved by these methods are still not sufficient although they have some effect on the prevention of cracks in the soldering process, and each has its drawbacks. For example, in the method using tris (hydroxyphenyl) methane as a curing agent, it has been pointed out that the water absorption rate increases although the crosslink density of the resin increases, and that the resin itself becomes brittle, and is particularly effective for thin packages such as TSOP. Is hardly recognized. Further, in the method using a phenol aralkyl resin as a curing agent, the solder heat resistance is improved, but it is still insufficient, and further, moldability such as curability and releasability is lowered, and the glass transition temperature is also lowered. ing.
【0010】また硬化剤としてジシクロペンタジエン・
フェノール重合体を用いた場合は、耐湿性に優れ、ガラ
ス転移温度も比較的高い値を示すが、成形時の硬化性や
離型性に劣るという問題点があり、さらに従来のフェノ
ールノボラックに比べて軟化点が高いために、配合、混
練等の作業性にも欠点を有している。Further, as a curing agent, dicyclopentadiene.
When a phenolic polymer is used, it has excellent moisture resistance and a relatively high glass transition temperature, but it has a problem that it is inferior in curability and mold releasability during molding. Since it has a high softening point, it has a drawback in workability such as compounding and kneading.
【0011】先に本発明者は上記の課題を解決するた
め、芳香族アルデヒドとキシリレン化合物をフェノール
類の架橋剤として反応させることによって得られる、特
定の分子構造を有するフェノール系硬化剤を用いる事を
提案した(特願平5−48737号)。この発明によっ
て得られる封止剤は、半田耐熱性や成形性、低粘度化、
ガラス転移温度、コールドフローなどでバランスの取れ
た性能を示し、上述に挙げた種々の問題点に対して大幅
な改良を可能にした。しかしながら、TSOPのドライ
パックレス化など益々厳しさを増す耐半田クラック性の
要求に対してはいまだ不十分である。In order to solve the above problems, the present inventor uses a phenolic curing agent having a specific molecular structure, which is obtained by reacting an aromatic aldehyde with a xylylene compound as a crosslinking agent for phenols. (Japanese Patent Application No. 5-48737). The encapsulant obtained by the present invention has solder heat resistance, moldability, low viscosity,
It showed a well-balanced performance in terms of glass transition temperature, cold flow, etc., and made it possible to greatly improve the various problems mentioned above. However, it is still insufficient to meet increasingly severe requirements for solder crack resistance such as dry pack-less TSOP.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】発明者らはこのような
状況に鑑み、上記の問題点を解決し、高集積度IC薄型
パッケージでの使用に耐える半導体封止用樹脂を得るた
めのフェノール系硬化剤を探索すべく研究した結果、前
記提案を更に改良した特定の分子構造を有するフェノー
ル系硬化剤を用いることで上記の課題を解決することを
見いだし、本発明に到達した。In view of such a situation, the present inventors have solved the above-mentioned problems and obtained a phenol-based resin for obtaining a semiconductor encapsulating resin that can be used in a highly integrated IC thin package. As a result of research to find a curing agent, the inventors have found that the above problems can be solved by using a phenolic curing agent having a specific molecular structure, which is a further improvement of the above proposal, and have reached the present invention.
【0013】従って本発明の目的は低吸湿性で半田耐熱
性に極めて優れ、かつ成形性(流動性・硬化性・離型
性)、耐熱性(高Tg)も兼ね備えた半導体封止用樹脂
の製造のためのフェノール系硬化剤及びこのフェノール
系硬化剤を必須成分とする半導体封止用樹脂組成物を提
供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor encapsulating resin having low hygroscopicity, excellent solder heat resistance, moldability (fluidity / curability / releasability), and heat resistance (high Tg). It is intended to provide a phenolic curing agent for production and a resin composition for semiconductor encapsulation containing the phenolic curing agent as an essential component.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明はフェノール類と
ターシャリーブチルベンズアルデヒド又はフェノキシベ
ンズアルデヒド及び一般式(1)The present invention relates to phenols and tertiary butylbenzaldehyde or phenoxybenzaldehyde and the general formula (1).
【化2】 (式中Rは水素、炭素数1〜4のアルキル基、又は炭素
数2〜4のアシル基を表す)で表されるキシリレン化合
物とを反応させて得られる半導体封止用樹脂用フェノー
ル系硬化剤である。[Chemical 2] (Wherein R represents hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an acyl group having 2 to 4 carbon atoms) and a phenolic curing agent for a resin for semiconductor encapsulation obtained by reacting with a xylylene compound It is an agent.
【0015】また本発明は(a)エポキシ樹脂、(b)
上記発明によるフェノール系硬化剤及び、(c)無機質
充填剤を必須成分として含有してなる半導体封止用樹脂
組成物を包含する。The present invention also includes (a) an epoxy resin, (b)
It includes a resin composition for semiconductor encapsulation comprising the phenolic curing agent according to the above invention and (c) an inorganic filler as essential components.
【0016】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
第1の発明であるフェノール系硬化剤は、フェノール類
とターシャリーブチルベンズアルデヒド又はフェノキシ
ベンズアルデヒド、及び一般式(1)で表されるキシリ
レン化合物を、酸触媒の存在下で反応させることで、容
易に製造することが出来る。The present invention will be described in detail below. The phenolic curing agent which is the first invention of the present invention comprises reacting phenols with tertiary butylbenzaldehyde or phenoxybenzaldehyde and a xylylene compound represented by the general formula (1) in the presence of an acid catalyst. , Can be easily manufactured.
【0017】本硬化剤の原料として使用されるフェノー
ル類としては、芳香環に結合したヒドロキシル基を1個
または2個以上有する各種の単環型、多核型、または縮
合多環型芳香族化合物が使用できる。具体例としては、
フェノール;クレゾール、キシレノール、エチルフェノ
ール、ブチルフェノール、ハロゲン化フェノールなどの
置換フェノール類;レゾルシン、ビスフェノールA、ビ
スフェノールS、ビスフェノールFなどの2価フェノー
ル類;α−ナフトールやβ−ナフトール、ナフタレンジ
オールなどの縮合多環型フェノール類が挙げられる。こ
れらのフェノール類の中でも好ましくはフェノール、ク
レゾール、α−またはβ−ナフトールが用いられる。As the phenols used as the raw material of the present curing agent, various monocyclic, polynuclear or condensed polycyclic aromatic compounds having one or two or more hydroxyl groups bonded to an aromatic ring can be used. Can be used. As a specific example,
Phenol; Substituted phenols such as cresol, xylenol, ethylphenol, butylphenol, halogenated phenol; Dihydric phenols such as resorcin, bisphenol A, bisphenol S, bisphenol F; Condensation of α-naphthol, β-naphthol, naphthalenediol, etc. Examples thereof include polycyclic phenols. Of these phenols, phenol, cresol, α- or β-naphthol is preferably used.
【0018】本硬化剤の原料として使用される芳香族ア
ルデヒドは、ターシャリーブチルベンズアルデヒド又は
フェノキシベンズアルデヒド(以下これらを置換ベンズ
アルデヒドと呼ぶことがある)である。置換ベンズアル
デヒドの置換基の位置はオルト、メタ、パラのいずれで
もよいが、特にパラ又はメタ置換体が好ましい。The aromatic aldehyde used as a raw material of the present curing agent is tert-butylbenzaldehyde or phenoxybenzaldehyde (hereinafter, these may be referred to as substituted benzaldehyde). The position of the substituent of the substituted benzaldehyde may be any of ortho, meta and para, but a para or meta substituent is particularly preferable.
【0019】本硬化剤の原料として使用されるキシリレ
ン化合物は上記(1)式で示されるもので、この様なキ
シリレン化合物としては、キシリレングリコール、キシ
リレングリコールジメチルエーテル、キシリレングリコ
ールジエチルエーテル、キシリレングリコールジアセト
キシエステル、キシリレングリコールジプロピオキシエ
ステル等が挙げられるが、特にキシリレングリコール、
キシリレングリコールジメチルエーテル等が好適であ
る。上記(1)式中の−CH2 ORの置換位置は、オル
ト、メタ、パラのいずれでもよいが、一般的に好ましい
のはパラ位である。The xylylene compound used as a raw material of the present curing agent is represented by the above formula (1). Examples of such xylylene compound include xylylene glycol, xylylene glycol dimethyl ether, xylylene glycol diethyl ether, and xylylene. Examples include ren glycol diacetoxy ester, xylylene glycol dipropoxy ester, and the like, but especially xylylene glycol,
Xylylene glycol dimethyl ether and the like are preferable. The substitution position of —CH 2 OR in the formula (1) may be any of ortho, meta and para, but the para position is generally preferable.
【0020】上記硬化剤の原料3成分は、いずれも1種
づつ使用しても、或は2種以上の混合物を使用してもよ
い。Each of the three raw material components of the curing agent may be used singly or as a mixture of two or more kinds.
【0021】本硬化剤の製造に用いられる酸触媒として
は、リン酸、硫酸、塩酸などの無機酸、シュウ酸、ベン
ゼンスルホン酸、トルエンスルホン酸、メタンスルホン
酸、フルオロメタンスルホン酸などの有機酸、あるいは
塩化亜鉛、塩化第二錫、塩化第二鉄、ジエチル硫酸など
フリーデルクラフツ型触媒を、単独または併用して使用
できる。The acid catalyst used in the production of the present curing agent includes inorganic acids such as phosphoric acid, sulfuric acid and hydrochloric acid, and organic acids such as oxalic acid, benzenesulfonic acid, toluenesulfonic acid, methanesulfonic acid and fluoromethanesulfonic acid. Alternatively, Friedel-Crafts type catalysts such as zinc chloride, stannic chloride, ferric chloride and diethyl sulfate can be used alone or in combination.
【0022】各原料の使用割合は、フェノール類に対す
る置換ベンズアルデヒドとキシリレン化合物の合計量
が、モル比で0.1〜0.8が好ましい。このモル比が
0.1未満では、未反応フェノールが多くなり収率が下
がるため好ましくない。また0.8を越えると生成樹脂
の分子量が増大し、軟化温度が上昇し成形時の流動性の
低下を招き易いため好ましくない。より好ましい割合は
0.2〜0.7である。With respect to the use ratio of each raw material, the total amount of the substituted benzaldehyde and the xylylene compound with respect to the phenol is preferably 0.1 to 0.8 in terms of molar ratio. If this molar ratio is less than 0.1, unreacted phenol increases and the yield decreases, which is not preferable. On the other hand, if it exceeds 0.8, the molecular weight of the produced resin increases, the softening temperature rises, and the fluidity at the time of molding tends to be lowered, which is not preferable. A more preferable ratio is 0.2 to 0.7.
【0023】一方、置換ベンズアルデヒドに対するキシ
リレン化合物のモル比は、0.1〜10の範囲が適当で
ある。0.1未満では、エポキシ樹脂を加えて硬化させ
た硬化物は、やや堅く、脆くなる傾向がある。また10
より大きい場合では、耐半田クラック性や成形性が劣
り、またガラス転移点も低下し、本発明の目的を満足す
ることが出来ない。より好ましい割合は0.2〜5であ
る。On the other hand, the molar ratio of the xylylene compound to the substituted benzaldehyde is appropriately in the range of 0.1-10. If it is less than 0.1, the cured product obtained by adding and curing the epoxy resin tends to be slightly stiff and brittle. Again 10
If it is larger than the above range, the solder crack resistance and the moldability are deteriorated, and the glass transition point is lowered, so that the object of the present invention cannot be satisfied. A more preferable ratio is 0.2 to 5.
【0024】酸触媒の使用量には特に制限はないが、触
媒や原料の種類により上記3種類の原料に対して、0.
003〜5重量%の範囲内で適正量添加する事が好まし
い。The amount of the acid catalyst used is not particularly limited, but depending on the type of the catalyst and the raw materials, it is 0.
It is preferable to add an appropriate amount within the range of 003 to 5% by weight.
【0025】フェノール類と置換ベンズアルデヒド類、
及びキシリレン化合物との反応は、通常100〜180
℃、好ましくは110〜160℃の温度範囲で行う。反
応時間は一般に1〜10時間である。Phenols and substituted benzaldehydes,
The reaction with the xylylene compound is usually 100 to 180.
C., preferably in the temperature range of 110 to 160.degree. The reaction time is generally 1 to 10 hours.
【0026】酸触媒存在下、フェノール類と置換ベンズ
アルデヒド、及びキシリレン化合物とを反応させると
き、置換ベンズアルデヒドとキシリレン化合物とを同時
に加えて反応を進めても良く、またいずれか一方を先に
加えて反応を行い、次いで他方を加えて反応を更に継続
させることも出来る。When reacting a phenol with a substituted benzaldehyde and a xylylene compound in the presence of an acid catalyst, the substituted benzaldehyde and the xylylene compound may be added simultaneously to proceed the reaction, or one of them may be added first to the reaction. Alternatively, the other can be added to continue the reaction.
【0027】この反応は、縮合によって生成する水の他
に、使用するキシリレン化合物の種類によっては、アル
コールまたはカルボン酸を生成しながら進行する。縮合
反応終了後、系内に残った未反応のフェノール類を真空
下で留去させるか、または水蒸気蒸留などの適当な方法
によって留去させることにより、本発明のフェノール系
硬化剤が得られる。また必要に応じて酸触媒の除去を行
うことも出来る。This reaction proceeds while producing alcohol or carboxylic acid depending on the type of xylylene compound used, in addition to water produced by condensation. After the completion of the condensation reaction, the unreacted phenols remaining in the system are distilled off under a vacuum or by an appropriate method such as steam distillation to obtain the phenolic curing agent of the present invention. If necessary, the acid catalyst can be removed.
【0028】こうして得られるフェノール系硬化剤は、
置換ベンズアルデヒドとキシリレン化合物の両成分がと
もにフェノール類に対して連結剤として働き、両成分が
フェノール類を介してランダムに連結された共重合体で
ある。その代表的な構造の例を式(2)に示す。但し
[ ]内の構造単位は共重合体中にランダムに分布して
いる。The phenolic curing agent thus obtained is
Both components of the substituted benzaldehyde and the xylylene compound act as a linking agent for phenols, and both components are randomly linked via the phenols. An example of the typical structure is shown in Formula (2). However, the structural units in [] are randomly distributed in the copolymer.
【0029】[0029]
【化3】 [Chemical 3]
【0030】上記式中、R1 はターシャリーブチル基又
はフェノキシ基である。m、nは通常1〜10の整数で
ある。In the above formula, R 1 is a tertiary butyl group or a phenoxy group. m and n are usually integers of 1 to 10.
【0031】上記式中のm、nの値は、フェノール類、
置換ベンズアルデヒド、キシリレン化合物の原料3成分
の配合比を変えることにより、目的とする物性になるよ
うに任意に調整できる。The values of m and n in the above formula are phenols,
By changing the compounding ratio of the three raw material components of the substituted benzaldehyde and the xylylene compound, the desired physical properties can be arbitrarily adjusted.
【0032】本発明ではこの硬化剤を単独で、または本
発明の効果を損なわない範囲で目的に応じ公知の硬化剤
であるフェノールノボラック樹脂やフェノールアラルキ
ル樹脂、トリス(ヒドロキシフェニル)メタンなどと併
用して用いることが出来る。In the present invention, this curing agent is used alone or in combination with known curing agents such as phenol novolac resin, phenol aralkyl resin, and tris (hydroxyphenyl) methane according to the purpose within the range of not impairing the effects of the present invention. Can be used.
【0033】本発明の第2の発明は、上記の方法で得ら
れたフェノール系硬化剤を硬化剤((b)成分)とし、
(a)エポキシ樹脂、(b)フェノール系硬化剤及び
(c)無機質充填剤を必須成分として含有してなる半導
体封止用樹脂組成物である。A second invention of the present invention is that the phenolic curing agent obtained by the above method is a curing agent (component (b)),
A resin composition for semiconductor encapsulation, comprising (a) an epoxy resin, (b) a phenol-based curing agent, and (c) an inorganic filler as essential components.
【0034】本発明に用いる(a)エポキシ樹脂は特に
限定はなく、1分子中にグリシジル基を2個以上含有す
る公知のものが用いられる。The epoxy resin (a) used in the present invention is not particularly limited, and a known epoxy resin containing two or more glycidyl groups in one molecule is used.
【0035】具体例としては、特に耐湿性、低応力性、
耐熱性に優れたものとして、式(3)Specific examples include moisture resistance, low stress,
Formula (3) has excellent heat resistance.
【化4】 (ただし、R1 〜R4 は炭素数1〜4のアルキル基であ
り、R1 〜R4 は同一でも異なったものでもよい)や、
式(4)[Chemical 4] (However, R 1 to R 4 are alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms, and R 1 to R 4 may be the same or different),
Formula (4)
【0036】[0036]
【化5】 [Chemical 5]
【0037】(ただし、R1 〜R8 のうち2個の基は
2,3−エポキシプロポキシ基であり、他の基はそれぞ
れ独立に、水素原子、C1 〜C4 の低級アルキル基また
はハロゲン原子である)で表されるエポキシ樹脂は特に
好ましい例である。また、クレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂などの
各種ノボラック型エポキシ樹脂も好ましい具体例であ
る。そのほか、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビス
フェノールF型エポキシ樹脂、フルオレノン型エポキシ
樹脂や各種多官能型エポキシ樹脂なども用いることが出
来る。(However, two of R 1 to R 8 are 2,3-epoxypropoxy groups, and the other groups are independently a hydrogen atom, a C 1 to C 4 lower alkyl group or a halogen. An epoxy resin represented by (which is an atom) is a particularly preferable example. Further, various novolac type epoxy resins such as cresol novolac type epoxy resin and phenol novolac type epoxy resin are also preferable specific examples. In addition, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a fluorenone type epoxy resin, and various polyfunctional epoxy resins can be used.
【0038】(b)フェノール系硬化剤の(a)エポキ
シ樹脂に対する配合比は、耐熱特性、耐湿特性、機械的
特性の点から、水酸基/エポキシ基の当量比が0.5〜
1.5、特に0.8〜1.2の範囲にあることが好まし
い。From the viewpoint of heat resistance, moisture resistance and mechanical properties, the compounding ratio of (b) phenolic curing agent to (a) epoxy resin is such that the equivalent ratio of hydroxyl group / epoxy group is 0.5-.
It is preferably in the range of 1.5, particularly 0.8 to 1.2.
【0039】併用エポキシ樹脂および/または併用フェ
ノール樹脂硬化剤を用いる場合も、フェノール樹脂硬化
剤全体の水酸基当量の合計/エポキシ樹脂全体のエポキ
シ基当量の合計の比が0.5〜1.5、特に0.8〜
1.2の範囲になるようにすればよい。Even when the combined epoxy resin and / or combined phenol resin curing agent is used, the ratio of the total hydroxyl equivalent of the entire phenol resin curing agent / the total epoxy equivalent of the entire epoxy resin is 0.5 to 1.5, Especially 0.8 ~
The range may be 1.2.
【0040】本発明に用いる(C)無機質充填剤として
は、非結晶シリカ、結晶性シリカ、アルミナ、ガラス、
ケイ酸カルシウム、石膏、炭酸カルシウム、マグネサイ
ト、クレー、カオリン、タルク、マイカ、マグネシア、
硫酸バリウムなどであるが、これらの中で、結晶性シリ
カ、非結晶シリカが、高純度と低熱膨張係数の点で最も
好ましい。As the inorganic filler (C) used in the present invention, amorphous silica, crystalline silica, alumina, glass,
Calcium silicate, gypsum, calcium carbonate, magnesite, clay, kaolin, talc, mica, magnesia,
Among them, barium sulfate and the like, among them, crystalline silica and amorphous silica are most preferable in terms of high purity and low thermal expansion coefficient.
【0041】これらの無機質充填剤の添加量は、本発明
の半導体封止用樹脂組成物全体に占める割合が60〜9
5重量%が好ましい。無機質充填剤が、60重量%未満
では、半田耐熱性が不十分であり、95重量%を越える
と成形時の流動性が不十分となる。成形性(溶融粘度、
流動性)を損なわない限り、低応力性、低吸湿性など耐
半田耐熱性の面からは充填剤量が多い方が好ましい。こ
のためには、最密充填を行わせるために粒度分布が広い
球形の充填剤を用いることが好ましい。The addition amount of these inorganic fillers is 60 to 9 in the whole resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention.
5% by weight is preferred. When the content of the inorganic filler is less than 60% by weight, the solder heat resistance is insufficient, and when it exceeds 95% by weight, the fluidity during molding becomes insufficient. Moldability (melt viscosity,
From the viewpoint of solder heat resistance such as low stress and low hygroscopicity, it is preferable that the amount of the filler is large as long as the fluidity is not impaired. For this purpose, it is preferable to use a spherical filler having a wide particle size distribution in order to achieve the closest packing.
【0042】本発明の半導体封止用樹脂組成物は、上記
のエポキシ樹脂、フェノール系硬化剤、無機質充填剤の
ほかに、必要に応じて、各種の添加剤を含有していても
よい。添加剤としては、硬化促進剤、難燃剤、難燃助
剤、離型剤、着色剤、低応力化剤、イオントラッピング
剤、防食剤などが挙げられ、いずれも従来公知のものが
使用できる。The resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention may contain various additives, if necessary, in addition to the above-mentioned epoxy resin, phenolic curing agent, and inorganic filler. Examples of the additive include a curing accelerator, a flame retardant, a flame retardant aid, a release agent, a coloring agent, a stress reducing agent, an ion trapping agent, and an anticorrosive agent, and any conventionally known one can be used.
【0043】硬化促進剤は、エポキシ樹脂とフェノール
系硬化剤の硬化反応を促進するものであれば特に限定さ
れない。たとえば、2−メチルイミダゾール、2,4−
ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダ
ゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4
−メチルイミダゾールなどのイミダゾール類、トリエチ
ルアミン、トリエチレンジアミン、ベンジルメチルアミ
ン、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメチル)フェ
ノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデ
セン−7などの3級アミン、トリフェニルホスフィン、
トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブ
チルホスフィン、トリ(p−メチルフェニル)ホスフィ
ン、トリ(ノニルフェニル)ホスフィンなどの有機ホス
フィン化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェ
ニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニル
ボレート、2−エチル−4−メチルイミダゾールテトラ
フェニルボレートなどのテトラフェニルボロン塩などが
挙げられる。中でも耐湿性の点から、有機ホスフィン化
合物が好ましく、トリフェニルホスフィンが特に好まし
い。The curing accelerator is not particularly limited as long as it accelerates the curing reaction between the epoxy resin and the phenolic curing agent. For example, 2-methylimidazole, 2,4-
Dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4
-Tert-amines such as methylimidazole, triethylamine, triethylenediamine, benzylmethylamine, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, etc. Amine, triphenylphosphine,
Organic phosphine compounds such as trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine, tri (p-methylphenyl) phosphine, tri (nonylphenyl) phosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, triphenylphosphine tetraphenylborate, 2-ethyl-4- Examples thereof include tetraphenylboron salts such as methylimidazole tetraphenylborate. Among them, organic phosphine compounds are preferable, and triphenylphosphine is particularly preferable, from the viewpoint of moisture resistance.
【0044】これらの硬化促進剤は、目的に応じて1
種、または2種以上を併用しても良く、その添加量は、
(a)エポキシ樹脂100重量部に対して、0.1〜5
重量部の範囲が硬化特性や物性の点で好ましい。These curing accelerators may be used in an amount of 1 depending on the purpose.
, Or two or more kinds may be used in combination, and the addition amount thereof is
(A) 0.1 to 5 relative to 100 parts by weight of epoxy resin
The range of parts by weight is preferable in terms of curing characteristics and physical properties.
【0045】難燃剤の例としてはハロゲン化エポキシ樹
脂、ハロゲン化合物、リン化合物などが挙げられ、難燃
助剤の例には三酸化アンチモンなどがある。離型剤の例
としてはカルナウバワックス、パラフィンワックス、ス
テアリン酸、モンタン酸、カルボキシル基含有ポリオレ
フィンなどがあり、着色剤の例にはカーボンブラックな
どがある。低応力化剤の例としては、シリコーンゴム、
変性ニトリルゴム、変性ブタジエンゴム、変性シリコー
ンオイルなどが挙げられる。勿論、これら各種添加剤は
ここに例示したものに限定されるわけではない。これら
の添加剤の添加量は、従来の半導体封止用樹脂組成物と
同様でよい。Examples of flame retardants include halogenated epoxy resins, halogen compounds and phosphorus compounds, and examples of flame retardant aids include antimony trioxide. Examples of the release agent include carnauba wax, paraffin wax, stearic acid, montanic acid, and carboxyl group-containing polyolefin, and examples of the colorant include carbon black. Examples of the stress reducing agent include silicone rubber,
Examples thereof include modified nitrile rubber, modified butadiene rubber, modified silicone oil and the like. Of course, these various additives are not limited to those exemplified here. The amount of these additives added may be the same as in the conventional semiconductor encapsulating resin composition.
【0046】本発明の半導体封止用樹脂組成物を、成形
材料として調製する場合の一般的な方法としては、所定
の組成比に選んだ原料成分を、例えばミキサーによって
充分混合後、熱ロールやニーダーなどによって混練処理
を加え、さらに冷却固化後適当な大きさに粉砕するなど
の方法で容易に得ることが出来る。As a general method for preparing the resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention as a molding material, the raw material components selected in a predetermined composition ratio are thoroughly mixed with, for example, a mixer, and then heated rolls or It can be easily obtained by a method such as kneading with a kneader or the like, cooling and solidifying, and then pulverizing to an appropriate size.
【0047】こうして得た成形材料は、低圧トランスフ
ァー成形法などの成形法により、半導体封止を行うこと
が出来る。The molding material thus obtained can be used for semiconductor encapsulation by a molding method such as a low-pressure transfer molding method.
【0048】以下、実施例によって本発明を具体的に説
明する。The present invention will be specifically described below with reference to examples.
[実施例1](フェノール系硬化剤の製造) 撹拌装置、温度計、コンデンサー、及び窒素ガス導入管
を備えた四つ口フラスコに、フェノール588重量部、
p−tert−ブチルベンズアルデヒド162重量部、
p−キシリレングリコールジメチルエーテル224重量
部、トリフルオロメタンスルホン酸0.2重量部を加
え、130〜140℃に加熱し、脱水、脱メタノールを
行いながら、縮合物の発生が認められなくなるまで反応
を行った。その後、系内の未反応フェノールと触媒を減
圧蒸留によって除去することにより目的物を得た。得ら
れた縮合反応物は、軟化点が88℃(環球法)で、水酸
基当量は179g/eqであった。Example 1 (Production of Phenolic Curing Agent) A four-necked flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a nitrogen gas inlet tube was charged with 588 parts by weight of phenol.
162 parts by weight of p-tert-butylbenzaldehyde,
224 parts by weight of p-xylylene glycol dimethyl ether and 0.2 parts by weight of trifluoromethane sulfonic acid were added, and the mixture was heated to 130 to 140 ° C., dehydration and demethanol were carried out, and reaction was carried out until generation of condensate was not observed. It was Thereafter, the unreacted phenol and the catalyst in the system were removed by vacuum distillation to obtain the target product. The obtained condensation reaction product had a softening point of 88 ° C. (ring and ball method) and a hydroxyl equivalent of 179 g / eq.
【0049】[実施例2](フェノール系硬化剤の製
造) 撹拌装置、温度計、コンデンサー、及び窒素ガス導入管
を備えた四つ口フラスコに、α−ナフトール686重量
部、p−tert−ブチルベンズアルデヒド124重量
部、p−キシリレングリコールジメチルエーテル190
重量部、p−トルエンスルホン酸(1水和物)2重量部
を加え、130〜140℃に加熱し、脱水、脱メタノー
ルを行いながら、縮合物の発生が認められなくなるまで
反応を行った。その後、反応物を塩化メチレンに溶解し
分液ロートで水洗した後、有機層から溶媒及び未反応ナ
フトールを減圧蒸留によって除去することにより目的物
を得た。得られた縮合反応物は、軟化点(環球法)が9
3℃で、水酸基当量は202g/eqであった。Example 2 (Production of Phenolic Curing Agent) In a four-necked flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a nitrogen gas introduction tube, 686 parts by weight of α-naphthol and p-tert-butyl were added. Benzaldehyde 124 parts by weight, p-xylylene glycol dimethyl ether 190
By weight, 2 parts by weight of p-toluenesulfonic acid (monohydrate) was added, and the mixture was heated to 130 to 140 ° C., and dehydration and demethanol were carried out, and the reaction was carried out until generation of a condensate was not observed. Then, the reaction product was dissolved in methylene chloride, washed with a separating funnel, and then the solvent and unreacted naphthol were removed from the organic layer by vacuum distillation to obtain the target product. The obtained condensation reaction product has a softening point (ring and ball method) of 9
The hydroxyl equivalent was 202 g / eq at 3 degreeC.
【0050】[実施例3](フェノール系硬化剤の製
造) 撹拌装置、温度計、コンデンサー、及び窒素ガス導入管
を備えた四つ口フラスコに、フェノール568重量部、
m−フェノキシベンズアルデヒド191重量部、p−キ
シリレングリコールジメチルエーテル241重量部、ト
リフルオロメタンスルホン酸0.2重量部を加え、13
0〜140℃に加熱し、脱水、脱メタノールを行いなが
ら、縮合物の発生が認められなくなるまで反応を行っ
た。その後、未反応フェノールと触媒を減圧蒸留によっ
て除去することにより目的物を得た。得られた縮合反応
物は、軟化点(環球法)が90℃で、水酸基当量は19
4g/eqであった。Example 3 (Production of Phenolic Curing Agent) A four-necked flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a nitrogen gas inlet tube was charged with 568 parts by weight of phenol.
191 parts by weight of m-phenoxybenzaldehyde, 241 parts by weight of p-xylylene glycol dimethyl ether, and 0.2 parts by weight of trifluoromethanesulfonic acid were added to give 13 parts.
While heating to 0 to 140 ° C., dehydration and demethanol were carried out, and the reaction was carried out until generation of a condensate was not observed. Then, the unreacted phenol and the catalyst were removed by vacuum distillation to obtain the target product. The condensation reaction product thus obtained has a softening point (ring and ball method) of 90 ° C. and a hydroxyl group equivalent of 19
It was 4 g / eq.
【0051】[比較例1](フェノール系硬化剤の製
造) 撹拌装置、温度計、コンデンサー、及び窒素ガス導入管
を備えた四つ口フラスコに、フェノール634重量部、
ベンズアルデヒド143重量部、p−キシリレングリコ
ールジメチルエーテル224重量部、p−トルエンスル
ホン酸1.0重量部を加え、130〜140℃に加熱
し、脱水、脱メタノールを行いながら、縮合物の発生が
認められなくなるまで反応を行った。その後、系内の未
反応フェノールを減圧蒸留によって除去することにより
目的物を得た。得られた縮合反応物は、軟化点が84℃
(環球法)で、フェノール性水酸基当量は156g/e
qであった。Comparative Example 1 (Production of Phenolic Curing Agent) A four-necked flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a nitrogen gas introducing tube was charged with 634 parts by weight of phenol.
Addition of 143 parts by weight of benzaldehyde, 224 parts by weight of p-xylylene glycol dimethyl ether, and 1.0 part by weight of p-toluenesulfonic acid, heating at 130 to 140 ° C., dehydration and demethanol formation were observed while condensate was generated. The reaction was carried out until it was stopped. Then, the unreacted phenol in the system was removed by vacuum distillation to obtain the target product. The obtained condensation reaction product has a softening point of 84 ° C.
(Ring and ball method) has a phenolic hydroxyl group equivalent of 156 g / e.
It was q.
【0052】実施例1〜3及び比較例1で得られたフェ
ノール系硬化剤(B1〜B4)、及び従来のフェノール
系硬化剤(B5、B6)を、半導体封止用樹脂組成物の
原料として使用するエポキシ樹脂(A1〜A3)ととも
に表1に示した。The phenolic curing agents (B1 to B4) obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 and the conventional phenolic curing agents (B5, B6) were used as raw materials for the resin composition for semiconductor encapsulation. The epoxy resins (A1 to A3) used are shown in Table 1.
【0053】[実施例4〜8、比較例2〜5](半導体
封止用樹脂組成物の製造) 表1に示すエポキシ樹脂、フェノール系硬化剤および表
2、表3に示す他の添加剤成分を、表2、表3に示す配
合割合で配合し、充分に予備混合した後、ミキシングロ
ールで混練して冷却した後、粉砕することにより、目的
とする半導体封止用樹脂組成物からなる成形材料を得
た。[Examples 4 to 8 and Comparative Examples 2 to 5] (Production of resin composition for semiconductor encapsulation) Epoxy resins shown in Table 1, phenolic curing agents and other additives shown in Tables 2 and 3. The components are blended in the blending ratios shown in Tables 2 and 3, sufficiently pre-mixed, kneaded with a mixing roll, cooled, and then pulverized to form the desired semiconductor encapsulating resin composition. A molding material was obtained.
【0054】なお、以上の実施例および比較例では、同
じ条件で結果を比較するため、フェノール系硬化剤とエ
ポキシ樹脂との配合比は、水酸基/エポキシ基の当量比
が1/1、また成形材料中に含まれるフェノール系硬化
剤とエポキシ樹脂の合計量が重量比で17%の一定値と
なるようにした。In the above Examples and Comparative Examples, in order to compare the results under the same conditions, the compounding ratio of the phenolic curing agent and the epoxy resin is such that the equivalent ratio of hydroxyl group / epoxy group is 1/1, and The total amount of the phenolic curing agent and the epoxy resin contained in the material was set to a constant value of 17% by weight.
【0055】また、これらの封止材料の物性の測定は、
以下の方法で行った。 (1)スパイラルフロー(流動性) 成形材料を、175℃のトランスファー金型で70kg
f/cm2 の圧力をかけたときの流動距離を測定した。The physical properties of these sealing materials are measured by
The procedure was as follows. (1) Spiral flow (flowability) 70 kg of molding material with a transfer mold at 175 ° C
The flow distance when a pressure of f / cm 2 was applied was measured.
【0056】(2)成形硬化性 成形材料を175℃×120秒でトランスファー成形
し、脱型後10秒経過した時点での硬さを測定すること
により成形硬化性を評価した。(2) Molding and Curing Property The molding material was transfer-molded at 175 ° C. for 120 seconds and the hardness at 10 seconds after the mold release was measured to evaluate the molding and curability.
【0057】(3)ガラス転移温度 成形材料をトランスファー成形機を用いて、175℃×
120秒の条件で成形した後、150℃で2時間、さら
に180℃で6時間後硬化させた成形品から、適当な大
きさの試験片を切り出し、TMA法によりガラス転移温
度を測定した。(3) Glass transition temperature The molding material was transferred to a transfer molding machine at 175 ° C.
After molding under a condition of 120 seconds, a test piece of an appropriate size was cut out from a molded product which was cured at 150 ° C. for 2 hours and then at 180 ° C. for 6 hours, and the glass transition temperature was measured by the TMA method.
【0058】(4)吸湿率 成形材料を用いて、試験用の半導体素子を、175℃×
120秒の条件で低圧トランスファー成形することによ
りTSOP(パッケージサイズ:16×6.2×1.0
mm)を作成した。成形封止後、150℃で2時間、さ
らに180℃で6時間の後硬化を行った。このパッケー
ジを85℃、相対湿度85%RH雰囲気下で120時間
吸湿させた後の重量変化から、吸湿率を測定した。(4) Moisture Absorption Rate A test semiconductor element was molded at 175 ° C. by using a molding material.
By performing low-pressure transfer molding under the condition of 120 seconds, TSOP (package size: 16 × 6.2 × 1.0
mm) was created. After molding and sealing, post-curing was performed at 150 ° C. for 2 hours and then at 180 ° C. for 6 hours. The moisture absorption rate was measured from the weight change after the package was made to absorb moisture in an atmosphere of 85 ° C. and a relative humidity of 85% RH for 120 hours.
【0059】(5)半田耐熱性 吸湿率を測定した直後の試験用パッケージ20個を、2
60℃の半田浴に20秒間浸漬したときの、クラックの
発生個数によりクラック発生率を求め、これを半田耐熱
性とした。(5) Solder heat resistance 20 test packages immediately after the moisture absorption rate was measured were
The crack generation rate was determined from the number of cracks generated when immersed in a solder bath at 60 ° C. for 20 seconds, and this was taken as the solder heat resistance.
【0060】実施例および比較例で得られた封止材料サ
ンプルについての、物性測定の評価結果を表4に示し
た。Table 4 shows the evaluation results of the physical properties of the sealing material samples obtained in the examples and the comparative examples.
【0061】[0061]
【表1】 [Table 1]
【0062】[0062]
【表2】 [Table 2]
【0063】[0063]
【表3】 [Table 3]
【0064】[0064]
【表4】 [Table 4]
【0065】表4の結果から明らかなように、本発明の
フェノール系硬化剤B1〜B3を用いた実施例4〜7で
は、いずれも半田浴浸漬後のクラック発生率が低く、ま
た成形硬化性や耐熱性(ガラス転移温度)も良好であっ
た。これに対し、未置換のベンズアルデヒドが連結剤で
ある硬化剤B4(フェノール/ベンズアルデヒド/p−
キシリレンジメトキサイドの縮合物)を用いた比較例2
および5では、半田クラックの発生率が実施例に比べて
大きくなっている。また、硬化剤にフェノールアラルキ
ル樹脂を用いた比較例3では、半田クラック性ばかりで
なく、硬化性、耐熱性(ガラス転移温度)の点でも劣っ
た結果であった。さらに硬化剤にフェノールノボラック
を用いた比較例4では、吸湿率が高く、半田浴浸漬後の
クラック発生率が大幅に高い結果となった。As is clear from the results shown in Table 4, in Examples 4 to 7 using the phenolic curing agents B1 to B3 of the present invention, the crack occurrence rate after immersion in the solder bath was low, and the mold curability was also high. The heat resistance (glass transition temperature) was also good. On the other hand, a curing agent B4 (phenol / benzaldehyde / p- which is an unsubstituted benzaldehyde as a linking agent)
Comparative Example 2 using a condensate of xylylene dimethoxide)
In Nos. 5 and 5, the rate of occurrence of solder cracks is higher than that in the examples. Further, Comparative Example 3 using a phenol aralkyl resin as the curing agent was inferior not only in the solder cracking property but also in the curing property and the heat resistance (glass transition temperature). Further, in Comparative Example 4 in which phenol novolac was used as the curing agent, the moisture absorption rate was high, and the crack generation rate after immersion in the solder bath was significantly high.
【0066】[0066]
【発明の効果】このように、本発明の半導体封止用樹脂
組成物は、耐半田クラック性に極めて優れ、かつ成形性
(硬化性・離型性・流動性)、耐熱性(高ガラス転移温
度)、耐湿性なども良好であるので、半導体封止材料と
して、半田耐熱性と信頼性の面で非常に優れた半導体デ
バイスを得ることができる。As described above, the resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention is extremely excellent in solder crack resistance, moldability (curability / releasability / fluidity), heat resistance (high glass transition). Since temperature) and moisture resistance are also good, a semiconductor device having excellent solder heat resistance and reliability as a semiconductor sealing material can be obtained.
Claims (2)
アルデヒド又はフェノキシベンズアルデヒド及び一般式
(1) 【化1】 (式中Rは水素、炭素数1〜4のアルキル基、又は炭素
数2〜4のアシル基を表す)で表されるキシリレン化合
物とを反応させて得られる半導体封止用樹脂用フェノー
ル系硬化剤。1. Phenols and tertiary butylbenzaldehyde or phenoxybenzaldehyde and a compound represented by the general formula (1): (Wherein R represents hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an acyl group having 2 to 4 carbon atoms) and a phenolic curing agent for a resin for semiconductor encapsulation obtained by reacting with a xylylene compound Agent.
載のフェノール系硬化剤及び、(c)無機質充填剤を必
須成分として含有してなる半導体封止用樹脂組成物。2. A semiconductor encapsulating resin composition containing (a) an epoxy resin, (b) the phenolic curing agent according to claim 1 and (c) an inorganic filler as essential components.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013179915A1 (en) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 三菱瓦斯化学株式会社 | Aromatic aldehyde, epoxy resin curing agent comprising aromatic aldehyde, and epoxy resin composition comprising same |
WO2016116697A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | Herakles | Method for producing an ablative resin |
WO2017204206A1 (en) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | Dic株式会社 | Resin composition and resist film |
WO2018150779A1 (en) * | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 京セラ株式会社 | Resin composition, resin sheet, semiconductor device and method for producing semiconductor device |
US10246544B2 (en) | 2015-01-22 | 2019-04-02 | Arianegroup Sas | Method for producing an ablative resin |
-
1994
- 1994-03-22 JP JP7537494A patent/JPH07258364A/en active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013179915A1 (en) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 三菱瓦斯化学株式会社 | Aromatic aldehyde, epoxy resin curing agent comprising aromatic aldehyde, and epoxy resin composition comprising same |
CN104350033A (en) * | 2012-05-29 | 2015-02-11 | 三菱瓦斯化学株式会社 | Aromatic aldehyde, epoxy resin curing agent comprising aromatic aldehyde, and epoxy resin composition comprising same |
CN104350033B (en) * | 2012-05-29 | 2016-06-01 | 三菱瓦斯化学株式会社 | Aromatic series aldehyde and containing the epoxy curing agent of this aromatic series aldehyde and composition epoxy resin |
US9745410B2 (en) | 2012-05-29 | 2017-08-29 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Aromatic aldehyde, and epoxy resin curing agent and epoxy resin composition comprising the aromatic aldehyde |
WO2016116697A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | Herakles | Method for producing an ablative resin |
FR3031977A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-29 | Herakles | PROCESS FOR PRODUCING AN ABLATIVE RESIN |
US10246544B2 (en) | 2015-01-22 | 2019-04-02 | Arianegroup Sas | Method for producing an ablative resin |
US10364313B2 (en) | 2015-01-22 | 2019-07-30 | Arianegroup Sas | Method for producing an ablative resin |
WO2017204206A1 (en) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | Dic株式会社 | Resin composition and resist film |
WO2018150779A1 (en) * | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 京セラ株式会社 | Resin composition, resin sheet, semiconductor device and method for producing semiconductor device |
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