JPH07249855A - Printed wiring board and its manufacture - Google Patents

Printed wiring board and its manufacture

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JPH07249855A
JPH07249855A JP6656094A JP6656094A JPH07249855A JP H07249855 A JPH07249855 A JP H07249855A JP 6656094 A JP6656094 A JP 6656094A JP 6656094 A JP6656094 A JP 6656094A JP H07249855 A JPH07249855 A JP H07249855A
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JP
Japan
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layer
metal
wiring board
printed wiring
underlayer
Prior art date
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Application number
JP6656094A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takema Adachi
武馬 足立
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

PURPOSE:To keep a printed wiring board high in performance and quality for a long time by a method wherein an upper metal layer close to an upper layer is set to have a larger ionization tendency than a lower metal layer close to a lower layer. CONSTITUTION:An upper layer 322 of metal (Ni or the like) out of two adjacent metal layers 321 and 322 and close to an upper layer 33' is set to have a larger ionization tendency than a lower layer 321 of metal (Pd or the like) close to a lower layer 31. Therefore, even if corrosion advances in the upper layer 322 of metal (Ni), the lower layer 321 of metal (Pd) hardly corrodes. By this setup, even if the upper layer 33 of expensive precious metal is set thin, it can be kept high in corrosion resistance, so that a printed wiring board of this constitution can be kept high in performance and quality for a long term.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線基板及び
プリント配線基板の製造方法に関し、更に詳しく言え
ば、安価、且つ、能率的に製造できると共に、長期間に
渡り高い性能、品質を維持できるプリント配線基板及び
その製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board and a method for manufacturing the printed wiring board. More specifically, it can be manufactured inexpensively and efficiently, and can maintain high performance and quality for a long period of time. The present invention relates to a printed wiring board and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、プリント配線基板(以下、「配
線基板」という。)の製造工程では、耐腐食性、電気的
特性及び装飾性の向上等を企図して、プリント配線基板
用基材(以下、「配線基板用基材」という。)に対し
て、最終的に導電(導通)回路等となるパターンを適
宜、形成した後にめっき加工が施されることが多い。例
えば、図1に示す様に、所定の配線基板用基材(但し、
同図は最終製品の1ピース分の基材を示している。)1
に、所定の導電パターン(部)2を形成した後に、該導
電パターン2を所定のめっき部(層)3により被覆する
ことが行われている
2. Description of the Related Art Generally, in a manufacturing process of a printed wiring board (hereinafter referred to as "wiring board"), a substrate for printed wiring board ( Hereinafter, a "wiring board base material") is often subjected to plating after appropriately forming a pattern that finally becomes a conductive (conducting) circuit or the like. For example, as shown in FIG. 1, a predetermined wiring board substrate (however,
The figure shows the base material for one piece of the final product. ) 1
After forming a predetermined conductive pattern (portion) 2, the conductive pattern 2 is covered with a predetermined plated portion (layer) 3.

【0003】ところで、このめっき部(層)3の厚み
は、配線基板の用途に応じて、適宜、選択されることが
多い。例えば、テレホンカード等の使い捨てのICカ
ード等に用いられる配線基板では、0.1μm程度の比
較的、薄手のめっき部を形成すれば足りるが、銀行の
キャッシュカード等の様に、繰り返し使用されるICカ
ード等に用いられる配線基板では、最終製品の性能、品
質を長く維持するために1μm以上のやや厚手のめっき
部を形成することが多い。一方、これらのめっき部が、
同最終製品(上記ICカード等)の表面に露出したり、
他の機器(例えば、読み取り機の読み取りリーダ)との
接触面となるために、特に優れた耐磨耗性、耐腐食性及
び電気伝導性が要求されたり、特に良好なはんだ処理性
等を要求される部分である場合には、同めっき部をA
u、Pt、Rh等の貴金属より形成することが望まれて
いる。
By the way, the thickness of the plated portion (layer) 3 is often appropriately selected according to the application of the wiring board. For example, for a wiring board used for a disposable IC card such as a telephone card, it is sufficient to form a relatively thin plated portion of about 0.1 μm, but it is repeatedly used like a bank cash card. In a wiring board used for an IC card or the like, a plated portion having a thickness of 1 μm or more is often formed in order to maintain the performance and quality of the final product for a long time. On the other hand, these plated parts
Exposed on the surface of the final product (IC card etc.),
Since it is the contact surface with other equipment (for example, the reader of a reader), it is required to have particularly excellent wear resistance, corrosion resistance, and electrical conductivity, and particularly good solder processability. If it is a part to be
It is desired to form it from a noble metal such as u, Pt, or Rh.

【0004】しかしながら、この要請に従って、上記
に示す様な厚手のめっき部全体をAu等の高価な貴金属
により形成すれば、配線基板の製造コストの高騰につな
がることになる。また、近年においては、製造効率の向
上等の要請より、図2に示す様な長尺状の配線基板用基
材(上記1ピース分の配線基材1となる部分を長手方向
に向かい多数連続配置したものである。)Lに、上記導
電パターン2を連続形成した後に、図3に示す様にし
て、めっき液82中を連続的に通過させながら連続的に
めっき部を形成する、所謂、「リール to リール方
式」のめっき加工が行われることが多いが、この方式で
は、Au等の貴金属よりなる厚手のめっき部を一度に形
成することが困難である。
However, if the entire thick plated portion as described above is formed of an expensive precious metal such as Au in accordance with this request, the manufacturing cost of the wiring board will increase. In addition, in recent years, due to a demand for improvement in manufacturing efficiency and the like, a long-sized wiring board substrate as shown in FIG. After the conductive pattern 2 is continuously formed on L, a plating portion is continuously formed while continuously passing through the plating solution 82 as shown in FIG. "Reel-to-reel method" plating is often performed, but with this method, it is difficult to form a thick plated part made of a noble metal such as Au at once.

【0005】この為、上記の様な厚手で、且つ、特に優
れた特性が要求されるめっき部を、図9に示す様に、上
記導電パターン2dの表面に直接接触し、Ni等の比較
的安価な金属により形成した比較的厚手(上記キャッシ
ュカード用の場合に0.9〜2.7μm程度の厚み)の
下地層31dと、該下地層を被覆するAu等の貴金属に
より形成した比較的薄手(同カード用の場合に0.05
〜0.15μm程度の厚み)の上地層(表層)33d
と、に分けて形成することが行われている。そして、こ
の様な多層構造のめっき部3dとすることにより、使用
する貴金属の量が減り、製造コストの低廉化が図られる
と共に、貴金属により構成される部分が薄手になるた
め、上記「リール to リール方式」でも容易にめっ
き加工を行うことができる。
Therefore, as shown in FIG. 9, the above-mentioned thick plated portion, which is required to have particularly excellent characteristics, is brought into direct contact with the surface of the conductive pattern 2d, and is relatively coated with Ni or the like. Relatively thin (thickness of about 0.9 to 2.7 μm in the case of the cash card) of the underlayer 31d formed of an inexpensive metal, and relatively thin formed of a noble metal such as Au for covering the underlayer. (0.05 for the same card
~ 0.15 μm thick upper layer (surface layer) 33d
And is formed separately. By using the plated portion 3d having such a multi-layer structure, the amount of precious metal used can be reduced, the manufacturing cost can be reduced, and the portion composed of the precious metal can be thin. The "reel system" can also be used for easy plating.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、この比較的薄
手の上地層33dが、Au等の比較的ポラースな貴金属
〔膜状等にした場合に、(ピンホール)気孔のでき易い
金属の意で用いる。〕により構成されている場合には、
同層33dにピンホールhが存在することが多い。そし
て、この様なピンホールhに水滴、湿気、使用者の汗等
(腐食環境において酸化剤と作用するもの)が進入し、
上記下地層31dに到達すれば、図9に示す様に、腐食
電池〔局部電池)の効果により同層31dの腐食が進み
(上地層33dがカソード部分となり、下地層31dが
アノード部分となり、下地層31dの腐食(溶解)が進
み〕、やがて導電パターン(部)2dにまで腐食が進む
ことになる〔この様な腐食以外にも、ピンホール内に酸
素、硫化水素等が進入し、腐食(乾食)が起こることも
ある。〕。従って、この様なめっき部3dを備える配線
基板を長期間に渡り、高い性能、品質を維持したまま使
用することが困難な場合が多い。
However, when this relatively thin upper layer 33d is made of a relatively porous precious metal such as Au (a film or the like, it is a metal that easily causes (pinhole) pores). To use. ],
Pinholes h often exist in the same layer 33d. Then, water drops, moisture, user's sweat, etc. (those that act with the oxidant in a corrosive environment) enter such pinholes h,
When reaching the underlayer 31d, as shown in FIG. 9, the corrosion of the same layer 31d progresses due to the effect of the corrosion battery (local battery) (the upper layer 33d becomes the cathode portion, the underlayer 31d becomes the anode portion, and the lower layer 31d becomes the lower portion). Corrosion (dissolution) of the stratum 31d will progress], and eventually the conductive pattern (part) 2d will also corrode (in addition to this type of corrosion, oxygen, hydrogen sulfide, etc. will enter the pinholes and cause corrosion ( Therefore, it is often difficult to use a wiring board having such a plated portion 3d for a long period of time while maintaining high performance and quality.

【0007】一方、上記ポーラスな貴金属からなる上地
層33dの厚みを大きくすることにより、上記ピンホー
ルhの発生を抑制したり、同ホールhの孔径を小さくす
ることも可能であるが、上述した様に、貴金属の使用量
の増加により製造コストの高騰を招くと共に、上記「リ
ール to リール方式」の適用が困難になるという問
題を有することになる。
On the other hand, by increasing the thickness of the upper layer 33d made of the above-mentioned porous precious metal, it is possible to suppress the generation of the pinhole h or to reduce the hole diameter of the hole h. As described above, an increase in the amount of precious metal used causes a rise in the manufacturing cost, and it is difficult to apply the "reel-to-reel system".

【0008】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、安価、且つ、能率的に製造できると共に、長期間に
渡り高い性能、品質を維持できる配線基板及びその製造
方法を提供することを目的とする。
The present invention solves the above problems and provides a wiring board which can be manufactured inexpensively and efficiently, and which can maintain high performance and quality for a long period of time, and a manufacturing method thereof. To aim.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本第1発明の配線基板
は、フィルム状の配線基板用基材と、該配線基板用基材
の少なくとも表裏一方の面に形成される導電パターン部
と、該導電パターン部を被覆するめっき部と、を備える
配線基板において、上記めっき部を、上記導電パターン
の表面に直接接触する位置に配置される下地層と、該め
っき部の表面及び表面側部分を構成し、貴金属よりなる
上地層と、該下地層及び該上地層により挟まれた部分に
配置され、二層以上の金属層により形成される中間層
と、を備えた多層構造とし、上記中間層を形成する各金
属層のうちの少なくとも1組の隣合う2層の金属層のう
ちで、上記上地層に近い側の上側金属層を構成する金属
のイオン化傾向を、上記下地層に近い側の下側金属層を
構成する金属のイオン化傾向よりも大きくしたことを特
徴とする。
A wiring board according to the first aspect of the present invention comprises a film-shaped wiring board base material, a conductive pattern portion formed on at least one of the front and back surfaces of the wiring board base material, and In a wiring board including a plated portion that covers the conductive pattern portion, the plated portion is provided with an underlayer disposed at a position in direct contact with the surface of the conductive pattern, and a surface and a surface side portion of the plated portion. A multilayer structure comprising an upper layer made of a noble metal and an intermediate layer formed of two or more metal layers, which is arranged in a portion sandwiched by the underlayer and the upper layer, and the intermediate layer is Of at least one set of two adjacent metal layers among the metal layers to be formed, the ionization tendency of the metal forming the upper metal layer on the side closer to the upper layer is set to be lower than that on the side closer to the base layer. Ions of the metal forming the side metal layer Characterized in that it was larger than the trend.

【0010】上記「下地層」及び「上地層」を構成する
各金属の種類は、本発明の範囲内で種々選択することが
できる。例えば、下地層を構成する金属としては、比較
的安価なNi、Cu、Fe等を用い、且つ、この層を厚
手のものとすることにより、配線基板の製造コストの一
層の低廉化を図ることができ好ましい。また、上地層を
構成する貴金属としては、Au、Pd、Pt、Rh、A
g又はRu等の他に、Os、Ir等を例示することがで
きる。尚、上記上地層及び下地層をそれぞれ二層以上の
金属の層により構成することもできる。
Various kinds of metals forming the above "underlayer" and "upper layer" can be selected within the scope of the present invention. For example, as the metal forming the underlayer, relatively inexpensive Ni, Cu, Fe, or the like is used, and by making this layer thick, it is possible to further reduce the manufacturing cost of the wiring board. Is preferred and is preferable. Further, as the noble metal constituting the upper layer, Au, Pd, Pt, Rh, A
Other than g, Ru, etc., Os, Ir, etc. can be illustrated. The upper layer and the underlayer may each be composed of two or more metal layers.

【0011】また、上記「中間層」を形成する各金属層
を構成する金属の種類も、本発明の範囲内で種々選択す
ることができる。但し、上記の関係にある「上側金属
層」及び「下側金属層」を配置することが必要である。
例えば、上側金属層をNi(Cu、Fe等であってもよ
い。)とし、下側金属層としてPd(Au、Pt、R
h、Ag、Ru、Os、Ir等の他の貴金属であっても
よい。)とした組合せ〔上側金属層/下側金属層;Ni
/Pd、Ni/Au、Ni/Pt、Ni/Rh、Ni/
Ag、Ni/Ru、Ni/Os、Ni/Ir(尚、これ
らの各組合せ例において、Niの代わりに、Cu、Fe
等を用いても同様である。)〕を例示することができ
る。更に、上記下地層、上地層及び中間層を形成する各
金属層を構成する各金属として、所定の合金〔PdとA
uの合金(以下、「Pd・Au」の様に表示する。)、
Pd・Ag、Au・Ag等〕を用いることもできる。
Further, the kind of metal forming each metal layer forming the above "intermediate layer" can be variously selected within the scope of the present invention. However, it is necessary to arrange the “upper metal layer” and the “lower metal layer” having the above relationship.
For example, the upper metal layer is made of Ni (may be Cu, Fe, etc.), and the lower metal layer is made of Pd (Au, Pt, R).
Other noble metals such as h, Ag, Ru, Os, and Ir may be used. ) [Upper metal layer / lower metal layer; Ni
/ Pd, Ni / Au, Ni / Pt, Ni / Rh, Ni /
Ag, Ni / Ru, Ni / Os, Ni / Ir (in each combination example of these, instead of Ni, Cu, Fe
The same is true even if the above is used. )] Can be illustrated. Further, as a metal constituting each of the metal layers forming the above-mentioned base layer, upper layer and intermediate layer, a predetermined alloy [Pd and A
u alloy (hereinafter referred to as “Pd · Au”),
Pd.Ag, Au.Ag, etc.] can also be used.

【0012】また、上記中間層を形成する金属層の層数
は、上記の様な関係(イオン化傾向の大小の関係)を有
する少なくとも1組の「上側金属層及び下側金属層」を
構成できる限り特に問わない。更に、中間層を3層以上
の金属層により構成した場合には、上記の様な関係の
「上側金属層及び下側金属層」以外の「他の金属層(イ
オン化傾向の大きさを特に問わない金属層)」を付随的
に配置してもよい。但し、上側金属層の上面側に、こ
の「他の金属層」を配置する場合には、これを構成する
金属のイオン化傾向を上側金属層を構成する金属のイオ
ン化傾向よりも大きなものとすることが好ましい。ま
た、下側金属層の下面側に、この「他の金属層」を配
置する場合には、これを構成する金属のイオン化傾向を
下側金属層を構成する金属のイオン化傾向よりも小さな
ものとすることが本発明の目的をより有効に達成するう
えで好ましい。即ち、この金属層の数を三層以上とする
場合には、上地層により近い位置に配置される金属層を
構成する金属ほど、イオン化傾向が大きくなることが好
ましい。
The number of metal layers forming the intermediate layer can constitute at least one set of "upper metal layer and lower metal layer" having the above relationship (relationship of ionization tendency). As long as it does not matter. Further, when the intermediate layer is composed of three or more metal layers, other metal layers (the size of the ionization tendency is particularly important) other than the “upper metal layer and the lower metal layer” in the above relationship. A metal layer) ”may be additionally disposed. However, when arranging this "other metal layer" on the upper surface side of the upper metal layer, the ionization tendency of the metal forming the upper metal layer should be greater than the ionization tendency of the metal forming the upper metal layer. Is preferred. Further, when the "other metal layer" is arranged on the lower surface side of the lower metal layer, the ionization tendency of the metal forming the lower metal layer should be smaller than that of the metal forming the lower metal layer. It is preferable to achieve the object of the present invention more effectively. That is, when the number of metal layers is three or more, it is preferable that the metal forming the metal layer located closer to the upper layer has a greater ionization tendency.

【0013】更に、3層以上の金属層を備える場合に
は、上側金属層が上地層に接する位置に配置されても、
上地層との間に上記「他の金属層」が配置されていても
よい。また、下側金属層についても、下地層に接する位
置に配置しても、下地層との間に、上記「他の金属層」
が存在していてもよい。更に、4層以上の金属層を備え
る場合には、上記の様な関係の「上側金属層及び下側金
属層」の組合せが2組以上存在してもよい。
Further, in the case where three or more metal layers are provided, even if the upper metal layer is arranged at a position in contact with the upper ground layer,
The “other metal layer” may be arranged between the upper ground layer and the upper ground layer. Also, regarding the lower metal layer, even if the lower metal layer is arranged at a position in contact with the underlayer, the above-mentioned “other metal layer” is formed between the lower metal layer and the underlayer.
May exist. Further, when four or more metal layers are provided, there may be two or more combinations of the “upper metal layer and lower metal layer” having the above relationship.

【0014】本第2発明は、上記第1発明において上記
上地層を構成する金属をAu、Pd、Pt、Rh、Ag
又はRuとし、上記上側金属層をNi、上記下側金属層
をAu、Pd、Pt、Rh、Ag又はRu、上記下地層
をNiとしたものである。本発明は、上地層及び下側金
属層を耐食性に優れた貴金属にすると共に、上側金属層
及び下地層を比較的安価なNiとしたものである。
In the second aspect of the present invention, the metal forming the upper layer in the first aspect of the invention is Au, Pd, Pt, Rh, Ag.
Or Ru, the upper metal layer is Ni, the lower metal layer is Au, Pd, Pt, Rh, Ag or Ru, and the underlayer is Ni. In the present invention, the upper metal layer and the lower metal layer are made of noble metal having excellent corrosion resistance, and the upper metal layer and the base layer are made of relatively inexpensive Ni.

【0015】また、上記上地層及び下側金属層の各層を
構成する各金属の組合せ(本第2発明では、36通り考
えられる。)のうちで、好ましい組合として、上地層/
下側金属層;Au/Au、Au/Pd、Au/Pt、A
u/Rh、Au/Agの6通りが挙げられる(但し、他
の30通りの場合も、十分な防食性能を示す。)。更
に、これらのうちで、特に良好な防食性能を示すのは、
Au/Pd、Au/Rhの2通りである。これら2通り
の場合に、特に良好な性能を示すのは、下側金属層が上
地層よりもポーラスでない(以下、「非ポーラス」とい
う。)金属により構成(換言すれば、下側金属層を上地
層に比べてピンホールができ難いか、ピンホールができ
ても孔径が小さく、孔数も少なくなる金属により構成)
されているためである。
Further, among the combinations of the respective metals forming the respective layers of the upper layer and the lower metal layer (36 possible combinations in the second invention), a preferable combination is the upper layer /
Lower metal layer: Au / Au, Au / Pd, Au / Pt, A
There are 6 types of u / Rh and Au / Ag (however, the other 30 types also show sufficient anticorrosion performance). Furthermore, among these, those showing particularly good anticorrosion performance are
There are two types, Au / Pd and Au / Rh. In these two cases, particularly good performance is shown in that the lower metal layer is made of a metal that is less porous than the upper layer (hereinafter referred to as "non-porous") (in other words, the lower metal layer is It is more difficult to form pinholes than the upper layer, or even if pinholes are formed, the diameter is small and the number of holes is small.
It is because it is done.

【0016】また、本第3発明の配線基板は、上記本第
1発明と同様の配線基板において、上記めっき部を、同
第1発明と同様の下地層及び上地層と、これらにより挟
まれた部分に配置され、一層以上の金属層より形成され
る中間層と、を備えた多層構造とし、上地層を構成する
金属をAu、Pd、Pt、Rh、Ag又はRuとし、上
記中間層を形成する各金属層のうちで、上記上地層に最
も近い位置に配置される最上側金属層を構成する金属を
Au、Pd、Pt、Rh、Ag又はRuとしたことを特
徴とする。
The wiring board according to the third aspect of the present invention is the same as the wiring board according to the first aspect of the present invention, in which the plated portion is sandwiched by an underlayer and an overlayer similar to those of the first aspect of the invention. A multilayer structure including an intermediate layer formed of one or more metal layers, which is disposed in a portion, and the metal forming the upper layer is Au, Pd, Pt, Rh, Ag or Ru, and the intermediate layer is formed. Among these metal layers, the metal forming the uppermost metal layer arranged at the position closest to the upper layer is Au, Pd, Pt, Rh, Ag, or Ru.

【0017】本発明には、めっき部の表面側に近い部分
に貴金属の層を少なくとも2層以上配置して耐食性の及
び外観の向上を図るものである。また、本発明において
も、最上側金属層を上地層よりも非ポーラスな金属によ
り構成することが特に好ましい。尚、本発明において
も、上記第2発明と同様に、好ましい6通りの組合せを
例示することができる(但し、上記第2発明に於ける
「下側金属層」を構成する金属が、本発明の「最上側金
属層」を構成する金属となる。)。このうちで、Au/
Au等の組合せは、めっき部の表面側に近い部分を同一
の金属からなる2つの層により形成したものである。
In the present invention, at least two or more precious metal layers are arranged near the surface of the plated portion to improve corrosion resistance and appearance. Also in the present invention, it is particularly preferable that the uppermost metal layer is composed of a metal that is more non-porous than the upper layer. In the present invention as well, similar to the second invention, six preferable combinations can be exemplified (provided that the metal constituting the “lower metal layer” in the second invention is the present invention). It becomes the metal that constitutes the "top metal layer". Of these, Au /
In the combination of Au and the like, a portion close to the surface side of the plated portion is formed by two layers made of the same metal.

【0018】上記第1〜3発明に示す配線基板を構成す
る各「層」の厚みは特に問わないが、本第4発明に示す
様に、上記上地層及び上記中間層を構成する各金属層の
厚みをそれぞれ0.05〜0.15μmとし、上記下地
層の厚みを0.9〜2.7μmとした場合を例示するこ
とができる。この場合には、比較的厚手のめっき部を備
えるICカード(銀行用のキャッシュカード等)用配線
基板に適している。
The thickness of each "layer" constituting the wiring board shown in the first to third inventions is not particularly limited, but as shown in the fourth invention, each metal layer constituting the upper layer and the intermediate layer. The thickness of the underlayer may be 0.05 to 0.15 μm, and the thickness of the underlayer may be 0.9 to 2.7 μm. In this case, it is suitable for a wiring board for an IC card (bank cash card or the like) having a relatively thick plated portion.

【0019】本第5発明の配線基板の製造方法は第1発
明の配線基板を、本第6発明の配線基板の製造方法は第
3発明の配線基板を、それぞれ、所謂、「リール to
リール方式」により製造する方法の一例を述べたもの
である。但し、上記第1及び3発明に示す配線基板の製
造方法はこれらに限られるものではない。尚、上記本第
1〜4発明の「フィルム状の配線基板用基材(長尺状の
ものも含む)」、本第5及び6発明に示す「長尺フィル
ム状の配線基板用基材」の種類、形状等は特に問わな
い。例えば、ガラスエポキシ、PET、ポリイミド等を
例示することができる。
The wiring board manufacturing method of the fifth invention is the wiring board of the first invention, and the wiring board manufacturing method of the sixth invention is the wiring board of the third invention.
This is an example of a method of manufacturing by the "reel method". However, the manufacturing method of the wiring board shown in the first and third inventions is not limited to these. The "film-shaped wiring board substrate (including a long one)" of the first to fourth inventions, and the "long film-shaped wiring board substrate" shown in the fifth and sixth inventions. There is no particular limitation on the type, shape or the like. For example, glass epoxy, PET, polyimide, etc. can be illustrated.

【0020】[0020]

【作用】本第1発明の配線基板は、フィルム状の配線基
板用基材と、その基材に形成された導電パターン部と、
この導電パターン部を被覆するめっき部と、を備えてい
る。そして、このめっき部を、上記導電パターンの表面
に直接接触する位置に配置される下地層と、該めっき部
の表面及び表面側部分を構成し、貴金属よりなる上地層
と、これらにより挟まれた部分に配置され、二層以上の
金属層により形成される中間層と、を備えた多層構造と
する。この結果、厚手のめっき部(層)が要求される場
合であっても、めっき部全体を金等の高価な貴金属によ
り構成する必要がなくなり、製造コストの低廉化を図る
ことができると共に、貴金属の部分が薄手になるため、
所謂、「リール toリール方式」によるめっき加工が
容易になり、配線基板の生産効率の向上が図られる。
The wiring board according to the first aspect of the present invention comprises a film-shaped wiring board base material, a conductive pattern portion formed on the base material,
And a plated portion that covers the conductive pattern portion. Then, the plated portion was sandwiched by an underlayer arranged at a position in direct contact with the surface of the conductive pattern, an upper layer made of a noble metal, which constitutes the surface and the surface side portion of the plated portion, and these. And an intermediate layer formed of two or more metal layers, the multi-layer structure being provided. As a result, even when a thick plated portion (layer) is required, it is not necessary to form the entire plated portion with an expensive precious metal such as gold, and the manufacturing cost can be reduced and the precious metal can be reduced. Because the part of is thin,
The so-called "reel-to-reel method" facilitates the plating process and improves the production efficiency of the wiring board.

【0021】そして、上記中間層を形成する各金属層の
うちの少なくとも1組の隣合う2層の金属層において、
上側金属層を下側金属層よりもイオン化傾向の大きな金
属(即ち、腐食し易い金属)により構成している。この
結果、上記上地層のピンホール(主に、同層が比較的ポ
ーラスな貴金属により構成され、且つ、比較的薄手のた
めに生ずるピンホールである。)より水、湿気等が進入
し、上側金属層を腐食させた場合でも、この腐食が上記
下側金属層まで達するのを、ほぼ防止することができ
る。
In at least one set of two adjacent metal layers among the metal layers forming the intermediate layer,
The upper metal layer is composed of a metal having a greater ionization tendency than the lower metal layer (that is, a metal that is easily corroded). As a result, water, moisture, etc. enter from the pinhole of the upper layer (mainly, the layer is a pinhole formed of a relatively porous precious metal and is relatively thin), and the upper side Even when the metal layer is corroded, it is possible to substantially prevent the corrosion from reaching the lower metal layer.

【0022】即ち、この様な腐食環境の下で、イオン化
傾向の大きい(卑なる)上側金属層がアノード部分とな
り、イオン化傾向の小さい(貴なる)下側金属層がカソ
ード部分となる。この為、上側金属層では、溶解(腐
食)が進行しても、下側金属層では溶解(腐食)が進行
し難い。従って、本発明の配線基板では、めっき部に使
用上支障を来す様な腐食(例えば、下地層にまで及ぶ様
な腐食)が生じることを効果的に防止できる。
That is, in such a corrosive environment, the upper metal layer having a large ionization tendency (base) becomes the anode portion, and the lower metal layer having a small ionization tendency (noble) becomes the cathode portion. Therefore, even if dissolution (corrosion) progresses in the upper metal layer, it is difficult for dissolution (corrosion) progresses in the lower metal layer. Therefore, in the wiring board of the present invention, it is possible to effectively prevent the plated portion from being corroded so as to cause a trouble in use (for example, corrosion that extends to the underlying layer).

【0023】本第2発明の配線基板では、上記第1発明
において、上記第1発明において上記上地層及び下側金
属層を構成する金属をAu、Pd、Pt、Rh、Ag又
はRuとする。従って、本配線基板では、めっき部に耐
食性の優れる貴金属が二層以上配置されるため(特に、
中間層に貴金属が配置されるため)、上記「上側金属層
及び下側金属層のイオン化傾向の相違に起因した防食機
能」をより確実に発揮できる。また、本発明では、下地
層及び上側金属層をNiにより構成する。この様に、比
較的安価なNiよりなる層が二層以上存在するため、こ
の層の厚みを適宜、調節することにより、上記上地層等
の厚みの調整が容易になる。この結果、同上地層等を構
成する高価な貴金属の使用量の増減が容易になる。
In the wiring board of the second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the metal forming the upper layer and the lower metal layer in the first aspect of the invention is Au, Pd, Pt, Rh, Ag or Ru. Therefore, in this wiring board, two or more layers of noble metal with excellent corrosion resistance are arranged in the plated part (especially,
Since the noble metal is arranged in the intermediate layer), the above "corrosion preventive function due to the difference in ionization tendency between the upper metal layer and the lower metal layer" can be more reliably exhibited. Further, in the present invention, the underlayer and the upper metal layer are made of Ni. As described above, since there are two or more layers made of relatively inexpensive Ni, it is easy to adjust the thickness of the upper layer and the like by appropriately adjusting the thickness of the layers. As a result, it becomes easy to increase or decrease the amount of expensive precious metal constituting the above-mentioned formation.

【0024】尚、下側金属層を上地層よりも非ポーラス
な金属により構成した場合には(例えば、上地層をAu
により構成し、且つ、下側金属層をPdにより構成す
る。)、下側金属層において、上地層に比べてピンホー
ルができ難いか、できてもその孔径が小さくなったり、
孔数が少なくなる。そして、この様な場合には、上記上
地層のピンホールより進入した水等を、下側金属層(同
金属層の面上)の部分でほぼくい止めることができる。
この結果、上記「防食機能」をより一層、確実に発揮で
きる。
When the lower metal layer is made of a metal that is more porous than the upper layer (for example, the upper layer is Au,
And the lower metal layer is composed of Pd. ), It is more difficult to form pinholes in the lower metal layer than in the upper layer, or even if they are, the hole diameter becomes smaller,
Fewer holes. Then, in such a case, water and the like that have entered through the pinholes of the upper ground layer can be substantially stopped at the lower metal layer (on the surface of the same metal layer).
As a result, the above "corrosion preventive function" can be exerted more reliably.

【0025】本第3発明の配線基板は、上記本第1発明
と同様の配線基板において、上記めっき部を本第1発明
と同様の下地層及び上地層と、これらにより挟まれた部
分に配置され、一層以上の金属層より形成される中間層
と、を備えた多層構造とする。そして、上記上地層及び
上記中間層を形成する各金属層のうちで同上地層に最も
近い位置に配置される最上側金属層を構成する金属をA
u、Pd、Pt、Rh、Ag又はRuとする。従って、
本発明では、めっき部の表面側に耐食性の優れる貴金属
の層を少なくとも2層以上配置されることになるため、
めっき部に使用上支障を来す様な腐食が生ずることを防
止することができる。
The wiring board of the third invention is the same as the wiring board of the first invention, and the plated portion is arranged in the same underlying layer and upper layer as in the first invention, and in a portion sandwiched therebetween. And an intermediate layer formed of one or more metal layers. Among the metal layers forming the upper ground layer and the intermediate layer, the metal forming the uppermost metal layer located closest to the upper ground layer is A
u, Pd, Pt, Rh, Ag or Ru. Therefore,
In the present invention, at least two or more precious metal layers having excellent corrosion resistance are arranged on the surface side of the plated portion.
It is possible to prevent corrosion that would hinder the use of the plated part.

【0026】また、本発明においても、最上側金属層を
上地層よりも非ポーラスな金属により構成することがで
きる。そして、この様な場合にも、上記上地層のピンホ
ールより進入した水等を、最上側金属層の部分(同金属
層の面上)で、ほぼくい止めることができる。この為、
上記めっき部の防食性能をより効果的に発揮することが
できる。また、本発明では、上地層の真下に、貴金属が
配置されるため、上地層のピンホールが目立ち難くな
る。これは、配線基板を上から(上地層の上方から)の
ぞきこんだ場合に、上地層のピンホールより、最上側金
属層の表面が観察され、同ピンホールが見え難い状態に
なるからである。従って、本発明の配線基板は、外観、
装飾性の優れたものとなる。
Also in the present invention, the uppermost metal layer can be composed of a metal that is more non-porous than the upper layer. Even in such a case, water and the like that have entered through the pinholes of the upper ground layer can be almost stopped at the uppermost metal layer portion (on the surface of the same metal layer). Therefore,
The anticorrosion performance of the plated portion can be exhibited more effectively. Further, in the present invention, since the noble metal is arranged immediately below the upper layer, the pinholes in the upper layer are less noticeable. This is because when the wiring board is looked into from above (from above the upper layer), the surface of the uppermost metal layer is observed from the pinhole of the upper layer, and the pinhole becomes difficult to see. Therefore, the wiring board of the present invention,
It becomes excellent in decorativeness.

【0027】[0027]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 (1)実施例1 本実施例の配線基板Kは、図1(同図は、最終製品の1
ピース分を示している。)に示す様に、ICカード用の
基板であり、ガラスエポキシ製の基材部(配線基板用基
材、外形;12mm×12mm×0.12(厚さ)と、
銅により構成され(銅の表面に所定のバリヤ層を設けて
もよい。)、該基材部1のコンタトク面11に形成され
た導電パターン2(21、22、23等)と、該導電パ
ターン2を被覆するめっき部3と、を備えている。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. (1) Example 1 The wiring board K of this example is shown in FIG.
It shows a piece. ) Is a substrate for an IC card, and is a glass epoxy base material (wiring board base material, outer shape; 12 mm × 12 mm × 0.12 (thickness),
A conductive pattern 2 (21, 22, 23, etc.) formed of copper (a predetermined barrier layer may be provided on the surface of copper) and formed on the contact surface 11 of the base material portion 1, and the conductive pattern. The plating part 3 which covers 2 is provided.

【0028】この基材部1の中央寄りには、同図に示す
様な電子部品(同図で二点鎖線で図示)91を同基材部
1のボンディング面12側より装着するための大型貫通
孔13が設けられていると共に、同大型貫通孔13の周
囲には、所定のボンディングワイヤー(同図で一点鎖線
で図示)92を通過させる8つの小型貫通孔141、1
42等が設けられている。また、この配線基板Kは、図
1に示す様なICカードの基体部(同図で一点鎖線で示
している。)Fに、上記コンタクト面11を上に向けた
状態で装着させるものである。
A large part for mounting an electronic component 91 (shown by a chain double-dashed line in the figure) as shown in FIG. 1 from the bonding surface 12 side of the base material portion 1 near the center of the base material portion 1. The through hole 13 is provided, and eight small through holes 141, 1 for passing a predetermined bonding wire (shown by a chain line in the figure) 92 around the large through hole 13 are provided.
42 and the like are provided. The wiring board K is mounted on a base portion (indicated by a chain line in the figure) F of an IC card as shown in FIG. 1 with the contact surface 11 facing upward. .

【0029】そして、本実施例では、図2に示す様な長
尺状の配線基板用基材(幅;120mm、厚み;0.1
2mm)Lに、図3に示す様なめっき装置8を用い、め
っき加工を行って、上記配線基板Kを作製した。この長
尺状の配線基板用基材(以下、「長尺基材」という。)
Lは、ガラスエポキシ製のものであり、図2に示す様
に、長手方向に向かって、上記基材部(同図で破線に囲
まれた部分が最終製品の1ピース分となる基材部に相当
する。)1が連続配置され、これらが6つの基材部の列
(以下、「基材部列」という。)P1 〜P 6を形成して
いる。また、隣合う基材部列P1 及びP2 、P3 及びP
4 、P5 及びP6 が、3つの基材部列の群(以下、「基
材部列群」という。)を構成している。
In this embodiment, a long wiring board substrate (width: 120 mm, thickness: 0.1) as shown in FIG.
2 mm) L was plated using the plating device 8 as shown in FIG. 3 to produce the wiring board K. This long-sized wiring board substrate (hereinafter referred to as "long substrate")
L is made of glass epoxy and, as shown in FIG. 2, in the longitudinal direction, the above-mentioned base material portion (the base material portion where the portion surrounded by the broken line in the figure is one piece of the final product). 1) are continuously arranged, and these form six rows of base material portions (hereinafter referred to as “base material portion rows”) P 1 to P 6 . In addition, adjacent base material portion rows P 1 and P 2 , P 3 and P
4 , P 5 and P 6 form a group of three base material section rows (hereinafter referred to as “base material section row group”).

【0030】そして、この長尺基材Lの各基材部1に相
当する部分毎には、図1に示す様な(図2には図示しな
い。)各貫通孔13、141、142等及び導電パター
ン2が既に形成されている。また、これらの導電パター
ン2の周囲には、所定の給電部(装置)の陰極側及び同
各導電パターン2を電気的に導通するためのめっきリー
ド(銅製である。但し、図示しない。)が設けられてい
る。
In each portion of the long base material L corresponding to each base material portion 1, each through hole 13, 141, 142, etc. as shown in FIG. 1 (not shown in FIG. 2) and The conductive pattern 2 has already been formed. In addition, around these conductive patterns 2, a plating lead (made of copper, not shown) for electrically conducting the cathode side of the predetermined power feeding portion (device) and the conductive patterns 2 is provided. It is provided.

【0031】また、上記長尺基材Lの長手方向に沿った
側面側には、めっき工程等における同基材Lの搬送の容
易化等のための外側スプロケット孔S1 、S2 が設けら
れている。更に、上記基材部列群の両脇には、上記長尺
基材Lの長手方向に沿って、内側スプロケット孔S31
32、S41、S42、S51、S52が連続配置されている。
尚、これらの内側スプロケット孔S31、S32等は、上記
長尺基材Lを上記基材部列群毎に分割(スリット加工)
した後に行う後工程(例えば、電子部品の実装工程等)
を施す際に、分割された基材部列群の搬送を容易にする
ためのものである。尚、上記長尺基材Lに配置される基
体部列、基体部列群の数、長尺基材Lの幅、厚み、材
質、めっきリードの配置等は、以上に述べたものに限ら
れるものではない。
Outside side sprocket holes S 1 and S 2 are provided on the side surface along the longitudinal direction of the long base material L for facilitating the transportation of the base material L in the plating process and the like. ing. Further, on both sides of the base member row group, along the longitudinal direction of the long base material L, inside sprocket holes S 31 ,
S 32 , S 41 , S 42 , S 51 , and S 52 are continuously arranged.
The inner sprocket holes S 31 , S 32, etc. are formed by dividing the long base material L into the base material row groups (slit processing).
Post-process to be performed after (for example, electronic component mounting process)
This is for facilitating the transportation of the divided group of base material portion groups when applying. The number of the base portion rows, the base portion row groups arranged on the long base material L, the width, the thickness, the material of the long base material L, the arrangement of the plating leads, etc. are limited to those described above. Not a thing.

【0032】一方、上記めっき装置8は、図3に示す様
に、めっき槽81と、該めっき槽81内に収納されため
っき液82と、同めっき液82の上方の互いに対向する
位置に配置された搬入用ロール(給電作用も行う。)8
31及び搬出用ロール832と、同液82中の互いに対
向する位置に配置された第1補助ロール841及び第2
補助ロール842と、同めっき液82中に配置されたP
t板851〜853と、を備えている。そして、本実施
例では、この様なめっき装置を4種(第1〜4めっき装
置)用い以下の様にして、めっき加工を行った。
On the other hand, as shown in FIG. 3, the plating device 8 is provided with a plating tank 81, a plating solution 82 accommodated in the plating tank 81, and a position above the plating solution 82 and facing each other. Rolled in for carrying in (also performs power supply operation) 8
31 and the roll 832 for carrying out, and the 1st auxiliary | assistant roll 841 and the 2nd which were arrange | positioned at the position which mutually opposes in the same liquid 82.
Auxiliary roll 842 and P placed in the plating solution 82
t plates 851 to 853. Then, in the present example, four types of such plating devices (first to fourth plating devices) were used and plating was performed as follows.

【0033】先ず、第1めっき装置において、所定の供
給用ロールに巻かれた上記長尺基材Lを、コンタクト面
11が上記Pt板851の側を向く様にしながら、上記
搬入用ロール831を介して、めっき液82中に進入さ
せる。このめっき液82は、光沢めっき浴であり、ま
た、通過する基材Lには、2.2A/dm2 の電流が加
わる様になっている。
First, in the first plating apparatus, while the contact surface 11 faces the Pt plate 851 side of the long base material L wound on a predetermined supply roll, the loading roll 831 is moved. Through the plating solution 82. The plating solution 82 is a bright plating bath, and a current of 2.2 A / dm 2 is applied to the substrate L passing therethrough.

【0034】次いで、長尺基材Lを第1補助ロール84
1、第2補助ロール842の順で掛け渡しながら、上記
めっき液82中を搬送し(移送速度;1.2m/mi
n)、上記導体パターン2に、Niめっき(厚み;0.
1〜0.3程度)を施した後に、上記搬出用ロール83
2を介して、めっき液82中より搬出する。更に、この
めっき操作を、上記Niめっきの厚みが約1.8μmに
なるまで繰り返して(上記第1めっき装置をそのまま用
いるか、第1めっき装置と同様な他のめっき装置を用い
て)、図4に示す様な下地層31の形成を行った。尚、
この様に、下地層31の形成を複数回に分けて行うの
は、同層31が、比較的、厚手であるためである。従っ
て、下地層31を比較的、薄手(厚み;0.1〜0.3
程度)にする場合には、1度のめっき操作により同層3
1を形成することもできる。
Then, the long base material L is attached to the first auxiliary roll 84.
While passing over the first and second auxiliary rolls 842 in this order, the plating solution 82 is conveyed (transfer speed: 1.2 m / mi).
n), Ni plating (thickness: 0.
(About 1 to 0.3), and then the carry-out roll 83
It is carried out from the plating solution 82 through the No. 2. Further, this plating operation is repeated until the thickness of the Ni plating becomes about 1.8 μm (using the first plating apparatus as it is or using another plating apparatus similar to the first plating apparatus), The underlayer 31 shown in FIG. 4 was formed. still,
The formation of the underlayer 31 is divided into a plurality of times as described above because the underlayer 31 is relatively thick. Therefore, the underlayer 31 is relatively thin (thickness: 0.1 to 0.3).
The same layer 3 by one plating operation.
1 can also be formed.

【0035】次いで、この下地層31の形成された長尺
基材Lを、第2めっき装置において、上記Niめっきの
場合と同様にしてPdめっきを行う。但し、この場合に
は、目的とする下側金属層が薄手であるため、長尺基材
Lに対して、1度のめっき操作が施されただけである
(この点に関しては、後述する上側金属層、上地層の形
成においても同様である。) また、このPdめっきに際して用いためっき液82は、
K−ピュアーパラジウム〔商品名、小島化学(株)社
製〕である。尚、通過する基材Lに加わる電流は1A/
dm2 であるが、同基材Lの移送速度は上記Niめっき
の場合と同様である。そして、このめっき操作により形
成される層は、上記下地層31を被覆する下側金属層
(厚さ;約0.1μm)321である。
Then, the long base material L on which the underlayer 31 is formed is subjected to Pd plating in the second plating apparatus in the same manner as the above Ni plating. However, in this case, since the target lower metal layer is thin, the long base material L is only subjected to the plating operation once (in this respect, the upper side described later). The same applies to the formation of the metal layer and the upper layer.) Further, the plating solution 82 used in this Pd plating is
K-Pure Palladium [trade name, manufactured by Kojima Chemical Co., Ltd.]. The current applied to the passing substrate L is 1 A /
Although it is dm 2 , the transfer speed of the base material L is the same as that in the case of Ni plating. The layer formed by this plating operation is the lower metal layer (thickness: about 0.1 μm) 321 that covers the underlayer 31.

【0036】次いで、この長尺基材Lに、第3めっき装
置を用いてNiめっきを行う。尚、このときのめっき液
82、通過する基材Lに加わる電流、同基材の移送速度
等は、上記第1めっき装置の場合と同様である。そし
て、この操作により形成される層は、上記下側金属層3
21を被覆する上側金属層(厚さ;約0.1μm)32
1である。更に、この長尺基材Lに、第4めっき装置を
用いてAuめっきを行って、配線基板Kを連続的に作製
する。尚、このときのめっき液82は、テンペレックス
401〔商品名、EEJA(株)社製〕である。また、
過する基材Lに加わる電流は0.2A/dm2 である
が、同基材の移送速度等は上記第1めっき装置の場合と
同様である。そして、この操作により形成される層は、
めっき部3の表面及び表面側部分を構成する上地層(厚
さ;約0.1μm)33である。
Next, the long base material L is plated with Ni using a third plating apparatus. At this time, the plating solution 82, the electric current applied to the passing base material L, the transfer speed of the base material, and the like are the same as in the case of the first plating apparatus. The layer formed by this operation is the lower metal layer 3 described above.
Upper metal layer 21 (thickness; about 0.1 μm) 32
It is 1. Further, the long base material L is subjected to Au plating by using the fourth plating apparatus, and the wiring board K is continuously manufactured. The plating liquid 82 at this time is Temperex 401 [trade name, manufactured by EEJA Corporation]. Also,
The current applied to the excess base material L is 0.2 A / dm 2 , but the transfer speed of the base material is the same as in the case of the first plating apparatus. And the layer formed by this operation is
It is an upper layer (thickness; about 0.1 μm) 33 that constitutes the surface and the surface side portion of the plated portion 3.

【0037】以上の様にして作製される配線基板Kで
は、上側金属(Ni)層322の方が下側金属(Pd)
層321よりもイオン化傾向の大きな(卑な)金属によ
り構成されているため、腐食環境の下において、上側金
属(Ni)層322がアノード部として、下側金属(P
d)層321がカソード部として作用する。従って、上
地層33に、図4に示す様なピンホールhが存在し、そ
こから上側金属層322へと水等が進入し、図5に示す
様に同金属(Ni)層322の腐食(溶解)が進行して
も、下側金属(Pd)層321では腐食(溶解)が進行
し難い。この結果、めっき部に使用上支障を来す様な腐
食が生ずることを的確に防止することができる。
In the wiring board K manufactured as described above, the upper metal (Ni) layer 322 is lower metal (Pd).
Since the upper metal (Ni) layer 322 serves as an anode portion in a corrosive environment, the lower metal (P) is used because it is made of a (base) metal having a greater ionization tendency than the layer 321.
d) Layer 321 acts as the cathode portion. Therefore, there is a pinhole h as shown in FIG. 4 in the upper ground layer 33, water or the like enters the upper metal layer 322 from there, and as shown in FIG. 5, corrosion of the same metal (Ni) layer 322 ( Even if (dissolution) proceeds, corrosion (dissolution) does not easily proceed in the lower metal (Pd) layer 321. As a result, it is possible to accurately prevent the corrosion of the plated portion, which may cause a trouble in use.

【0038】また、この様に、高価な貴金属からなる上
地層33(下側金属層321も)を薄手のものとして
も、しっかりとした防食性能を維持できるため、配線基
材Kの製造コストの低廉化、所謂、「リール to リ
ール方式」による製造効率の向上を図りつつ、長期間に
渡り、高い性能、品質を保つことができる。更に、本実
施例では、上地層33を形成するAuよりも、ピンホー
ルのでき難いPdにより下側金属層321を形成したた
め、上地層33のピンホールhより進入した水等が、下
側金属層321の上面側にまで達しても、同層を越えて
下地層へは進入し難くなっている。従って、上記「上側
金属層322及び下側金属層321のイオン化傾向の相
違に起因した防食機能」をより一層確実に発揮できる。
Further, even if the upper layer 33 (also the lower metal layer 321) made of an expensive precious metal is thin as described above, a firm anticorrosion property can be maintained, so that the manufacturing cost of the wiring substrate K can be reduced. It is possible to maintain high performance and quality for a long period of time while improving manufacturing efficiency by low cost, so-called "reel to reel system". Further, in this embodiment, since the lower metal layer 321 is formed of Pd that is less likely to form pinholes than Au that forms the upper layer 33, water or the like entering through the pinhole h of the upper layer 33 is Even when reaching the upper surface side of the layer 321, it is difficult to enter the underlayer beyond the same layer. Therefore, the above-mentioned "corrosion preventive function due to the difference in ionization tendency between the upper metal layer 322 and the lower metal layer 321" can be exhibited more reliably.

【0039】また、本実施例では、上地層33をAuよ
りなるポーラスな層として構成し、上記下側金属層32
1をPdよりなる非ポーラスな層として構成しため特
に、良好な防食機能を示している。尚、上地層33及び
下側金属層321を構成する各金属の組合せを、上地層
/下側金属層;Au/Rhに代えても、本実施例と同様
な特に良好な防食機能を得られるし、Au/Au、Au
/Pt若しくはAu/Agとしても良好な防食機能を得
られる。また、本第2発明に示すこの他の30通りの組
合せのうちの1つを選択しても十分な防食性能を得るこ
とができる。また、上記下地層31及び上側金属層32
2の双方、若しくはいずれか一方をCu、Fe等により
構成しても同様な結果を得ることができる。更に、上地
層、下側金属層等を構成する金属を「Pd・Au」、
「Pd・Ag」、「Au・Ag」等の合金とすることも
できる。
Further, in this embodiment, the upper layer 33 is formed as a porous layer made of Au, and the lower metal layer 32 is formed.
In particular, since 1 is configured as a non-porous layer made of Pd, it exhibits a particularly good anticorrosion function. Even if the combination of the metals forming the upper layer 33 and the lower metal layer 321 is replaced with the upper layer / lower metal layer; Au / Rh, a particularly good anticorrosion function similar to that of the present embodiment can be obtained. , Au / Au, Au
Even with / Pt or Au / Ag, a good anticorrosion function can be obtained. Further, even if one of the other 30 combinations shown in the second aspect of the present invention is selected, sufficient anticorrosion performance can be obtained. In addition, the base layer 31 and the upper metal layer 32
Similar results can be obtained even if both or one of the two is made of Cu, Fe, or the like. Furthermore, the metal constituting the upper ground layer, the lower metal layer, etc. is "Pd-Au",
It is also possible to use an alloy such as "Pd / Ag" or "Au / Ag".

【0040】また、本実施例の変形例として、図6に示
す様なめっき部3aを有する配線基板を例示することが
できる。この配線基板は、中間層32aを3層の金属層
321a〜323aにより構成したものである。この場
合には、下側金属層を321aとし、且つ、上側金属
層を322aとしても、下側金属層を322aとし、
且つ、上側金属層を323aとしてもよい。また、3
21a〜323aに向かい上方に行くに従ってイオン化
傾向の大きな金属により各金属層を構成することもでき
る。更に、中間層を構成する金属層の数を4層以上に
してもよいし、この場合には、上記イオン化傾向の大
小関係を備える下側金属層及び上側金属層の組合せを2
組以上配置してもよい。
As a modification of this embodiment, a wiring board having a plated portion 3a as shown in FIG. 6 can be exemplified. In this wiring board, the intermediate layer 32a is composed of three metal layers 321a to 323a. In this case, even if the lower metal layer is 321a and the upper metal layer is 322a, the lower metal layer is 322a,
In addition, the upper metal layer may be 323a. Also, 3
Each metal layer can be made of a metal having a large ionization tendency as it goes upward toward 21a to 323a. Further, the number of metal layers constituting the intermediate layer may be four or more, and in this case, the combination of the lower metal layer and the upper metal layer having the above-mentioned relation of magnitude of ionization tendency is set to two.
You may arrange more than one group.

【0041】(2)実施例2 本実施例の配線基板は、図7に示す様なめっき部3b有
するものである。この配線基板は、実施例1の配線基板
Kより上側金属層322を取り除いた構成を有してい
る。また、この配線基板は、上記第3めっき装置を用い
なかったこと以外は、実施例1と同様の方法により作製
したものである。本実施例では、上地層33bがAu、
同層33bに接する金属層(最上側金属層)321bが
Pdにより構成されている。この様に、めっき部3bの
表面側に耐腐食性の優れた貴金属の層が2層配置される
ことになるため、めっき部3bに使用上支障を来す様な
腐食が生ずることを防止することができる。
(2) Example 2 The wiring board of this example has a plated portion 3b as shown in FIG. This wiring board has a configuration in which the upper metal layer 322 is removed from the wiring board K of the first embodiment. Further, this wiring board was manufactured by the same method as in Example 1 except that the third plating apparatus was not used. In this embodiment, the upper layer 33b is Au,
The metal layer (uppermost metal layer) 321b in contact with the layer 33b is made of Pd. As described above, since two layers of noble metal having excellent corrosion resistance are arranged on the surface side of the plated portion 3b, it is possible to prevent the corrosion of the plated portion 3b which may cause a trouble in use. be able to.

【0042】また、本実施例においても、最上側金属層
321bが非ポーラスであるため、上記上地層33bの
ピンホールより進入した水等を、この金属層321bで
しっかりとくい止めることができる。従って、この腐食
防止機能を確実に発揮することができる。また、上地層
の真下に、Pdで構成される金属層が配置されるため、
上地層のピンホールが目立ち難くなり、外観、装飾性の
優れたものとなる。
Also in this embodiment, since the uppermost metal layer 321b is non-porous, water or the like that has entered through the pinhole of the upper layer 33b can be firmly stopped by this metal layer 321b. Therefore, this corrosion preventing function can be surely exhibited. Further, since the metal layer composed of Pd is arranged directly below the upper layer,
The pinholes in the upper ground layer are less noticeable, and the appearance and decoration are excellent.

【0043】また、本実施例においても、上記実施例1
と同様に、上地層33b及び金属層(最上側金属層)3
21bの組合せを代えても、良好な結果を得ることがで
きる。更に、金属層(最上側金属層)321b及び下地
層31bの間に、中間層を構成する他の金属層を配置す
ることもできる。
Also in this embodiment, the above-mentioned first embodiment is used.
Similarly to the above, the upper layer 33b and the metal layer (uppermost metal layer) 3
Even if the combination of 21b is changed, good results can be obtained. Further, another metal layer forming the intermediate layer may be arranged between the metal layer (uppermost metal layer) 321b and the base layer 31b.

【0044】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
本実施例では、長尺状配線基板Lを用いたが、これ以外
の配線基板(例えば、外形の小さな板状の基材)におい
ても本発明を適用することができる。また、本各実施例
では、所謂、「リール to リール方式」で配線基板
を製造したが、製造方法はこれに限るものではない。
The present invention is not limited to the specific examples described above, and various modifications may be made within the scope of the present invention according to the purpose and application. That is,
Although the long wiring board L is used in this embodiment, the present invention can be applied to other wiring boards (for example, a plate-shaped base material having a small outer shape). Further, in each of the embodiments, the wiring board is manufactured by the so-called "reel to reel method", but the manufacturing method is not limited to this.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明の配線基板は、比較的厚手めっき
部を備え、且つ、長期間に渡り、高い性能、品質を維持
できると共に、低いコストで、能率的に製造することが
できる。また、本発明の配線基板の製造方法によれば、
所謂、「リール to リール方式」のめっき加工法を
用いて、高性能、高品質な配線基板を能率的、且つ、安
価に製造することができる。
The wiring board of the present invention has a relatively thick plated portion, can maintain high performance and quality for a long period of time, and can be efficiently manufactured at low cost. Further, according to the method for manufacturing a wiring board of the present invention,
A so-called "reel-to-reel system" plating method can be used to efficiently and inexpensively manufacture a high-performance, high-quality wiring board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1及び2、従来例に係わる配線板の縦断
面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional view of a wiring board according to Examples 1 and 2 and a conventional example.

【図2】実施例1及び2、従来例に係わる配線板の製造
に用いられる長尺状基材の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of a long-sized substrate used for manufacturing wiring boards according to Examples 1 and 2 and a conventional example.

【図3】実施例1及び2、従来例において用いられるめ
っき装置の概略を示す縦断面図である。
FIG. 3 is a vertical sectional view showing an outline of a plating apparatus used in Examples 1 and 2 and a conventional example.

【図4】実施例1の配線板のめっき部の構成を示す縦断
面図である。
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of a plated portion of the wiring board of Example 1.

【図5】実施例1の配線板のめっき部の腐食状態(防食
の様子)を説明するための縦断面図である。
FIG. 5 is a vertical cross-sectional view for explaining a corroded state (corrosion prevention state) of a plated portion of the wiring board of Example 1.

【図6】実施例1の変形例に係わる配線板のめっき部の
構成を示す縦断面図である。
FIG. 6 is a vertical cross-sectional view showing a configuration of a plated portion of a wiring board according to a modified example of Example 1.

【図7】実施例2の配線板のめっき部の構成を示す縦断
面図である。
FIG. 7 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of a plated portion of a wiring board of Example 2.

【図8】従来例の配線板のめっき部の構成を示す縦断面
図である。
FIG. 8 is a vertical cross-sectional view showing a configuration of a plated portion of a conventional wiring board.

【図9】従来例の配線板のめっき部の腐食状態を説明す
るための縦断面図である。
FIG. 9 is a vertical cross-sectional view for explaining a corroded state of a plated portion of a conventional wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

K;配線基板、1;基材部(配線基板用基材)、2(2
1、22、23);導電パターン、3;めっき部、3
1;下地層、32;中間層、321;下側金属層、32
2;上側金属層、32;上地層、321a〜323a;
金属層、321b;金属層(最上側金属層)、L;長尺
状配線基材、P1 〜P6 ;基材部列、8;めっき装置。
K: wiring board, 1; base material portion (wiring board base material), 2 (2
1, 22, 23); conductive pattern, 3; plated part, 3
1; Base layer, 32; Intermediate layer, 321; Lower metal layer, 32
2; upper metal layer, 32; upper ground layer, 321a to 323a;
Metal layer, 321b; metal layer (uppermost metal layer), L; elongated wiring base material, P 1 to P 6, base material row, 8; plating device.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フィルム状のプリント配線基板用基材
と、該プリント配線基板用基材の少なくとも表裏一方の
面に形成される導電パターン部と、該導電パターン部を
被覆するめっき部と、を備えるプリント配線基板におい
て、 上記めっき部を、上記導電パターンの表面に直接接触す
る位置に配置される下地層と、該めっき部の表面及び表
面側部分を構成し、貴金属よりなる上地層と、該下地層
及び該上地層により挟まれた部分に配置され、二層以上
の金属層により形成される中間層と、を備えた多層構造
とし、 上記中間層を形成する各金属層のうちの少なくとも1組
の隣合う2層の金属層のうちで、上記上地層に近い側の
上側金属層を構成する金属のイオン化傾向を、上記下地
層に近い側の下側金属層を構成する金属のイオン化傾向
よりも大きくしたことを特徴とするプリント配線基板。
1. A film-shaped printed wiring board base material, a conductive pattern portion formed on at least one of the front and back surfaces of the printed wiring board base material, and a plated portion that covers the conductive pattern portion. In a printed wiring board provided with, the plated portion, an underlayer disposed at a position in direct contact with the surface of the conductive pattern, an upper layer made of a noble metal, which constitutes the surface and the surface side portion of the plated portion, At least one of the metal layers forming the intermediate layer has a multi-layer structure including an intermediate layer formed of two or more metal layers and arranged in a portion sandwiched between the underlayer and the upper layer. Of the two adjacent metal layers of the set, the ionization tendency of the metal forming the upper metal layer on the side closer to the upper ground layer, and the ionization tendency of the metal forming the lower metal layer on the side closer to the base layer Greater than Printed circuit board, characterized in that there was a comb.
【請求項2】 上記上地層を構成する金属がAu、P
d、Pt、Rh、Ag又はRu、上記上側金属層がN
i、上記下側金属層がAu、Pd、Pt、Rh、Ag又
はRu上記下地層がNiである請求項1記載のプリント
配線基板。
2. The metal forming the upper layer is Au or P
d, Pt, Rh, Ag or Ru, the upper metal layer is N
The printed wiring board according to claim 1, wherein i, the lower metal layer is Au, Pd, Pt, Rh, Ag, or Ru, and the underlayer is Ni.
【請求項3】 フィルム状のプリント配線基板用基材
と、該プリント配線基板用基材の少なくとも表裏一方の
面に形成される導電パターン部と、該導電パターン部を
被覆するめっき部と、を備えるプリント配線基板におい
て、 上記めっき部を、上記導電パターンの表面に直接接触す
る位置に配置される下地層と、該めっき部の表面及び表
面側部分を構成し、貴金属よりなる上地層と、該下地層
及び該上地層により挟まれた部分に配置され、一層以上
の金属層により形成される中間層と、を備えた多層構造
とし、 上記上地層を構成する金属がAu、Pd、Pt、Rh、
Ag又はRu、上記中間層を形成する各金属層のうち
で、上記上地層に最も近い位置に配置される最上側金属
層を構成する金属がAu、Pd、Pt、Rh、Ag又は
Ruであることを特徴とするプリント配線基板。
3. A film-shaped printed wiring board base material, a conductive pattern portion formed on at least one of the front and back surfaces of the printed wiring board base material, and a plated portion covering the conductive pattern portion. In a printed wiring board provided with, the plated portion, an underlayer disposed at a position in direct contact with the surface of the conductive pattern, an upper layer made of a noble metal, which constitutes the surface and the surface side portion of the plated portion, A multilayer structure including an underlayer and an intermediate layer formed of one or more metal layers arranged in a portion sandwiched between the underlayer and the upper layer, wherein the metal forming the upper layer is Au, Pd, Pt, or Rh. ,
Among the metal layers forming Ag or Ru and the intermediate layer, the metal forming the uppermost metal layer arranged at the position closest to the upper layer is Au, Pd, Pt, Rh, Ag or Ru. A printed wiring board characterized by the above.
【請求項4】 上記上地層の厚み、及び上記中間層を構
成する各金属層の厚みが、それぞれ0.05〜0.15
μmであり、上記下地層の厚みが0.9〜2.7μmで
ある請求項1乃至3記載のプリント配線基板。
4. The thickness of the upper layer and the thickness of each metal layer forming the intermediate layer are each 0.05 to 0.15.
The printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein the underlayer has a thickness of 0.9 to 2.7 µm.
【請求項5】 長尺フィルム状のプリント配線基板用基
材の少なくとも表裏一方の面の所定の位置に各導電パタ
ーン部を形成した後、リール to リール方式によ
り、該プリント配線基板用基材を所定のめっき槽中にて
連続搬送して、該各導電パターン部毎に電解めっきを行
って所定のめっき部を形成してプリント配線基板を製造
する方法において、 上記めっき部を、上記導電パターンの表面に直接接触す
る下地層、該下地層の上に配置される二層以上の金属層
により形成される中間層、及び該中間層の上に配置さ
れ、該めっき部の表面及び表面側部分を構成し、貴金属
よりなる上地層の順に多層構造として形成し、 上記中間層を形成する各金属層のうちの少なくとも1組
の隣合う2層の金属層のうちの、上記上地層に近い側の
上側金属層を構成する金属のイオン化傾向を、上記下地
層に近い側の下側金属層を構成する金属のイオン化傾向
よりも大きくしたことを特徴とするプリント配線基板の
製造方法。
5. A printed wiring board base material is formed by a reel-to-reel method after forming conductive patterns at predetermined positions on at least one of the front and back surfaces of a long film-shaped printed wiring board base material. In a method of manufacturing a printed wiring board by continuously transporting in a predetermined plating tank and performing electroplating for each conductive pattern portion to form a predetermined plated portion, An underlayer directly contacting the surface, an intermediate layer formed by two or more metal layers disposed on the underlayer, and an intermediate layer formed on the intermediate layer and having the surface and the surface side portion of the plated portion Of the two adjacent metal layers of at least one set among the metal layers forming the intermediate layer, which are formed on the side close to the upper ground layer. The upper metal layer The ionization tendency of the metal to be formed, a manufacturing method of a printed wiring board, characterized in that is larger than the ionization tendency of the metal constituting the lower side metal layer on the side closer to the underlying layer.
【請求項6】 長尺フィルム状のプリント配線基板用基
材の少なくとも表裏一方の面の所定の位置に各導電パタ
ーン部を形成した後、リール to リール方式によ
り、該プリント配線基板用基材を所定のめっき槽中にて
連続搬送して、該各導電パターン部毎に電解めっきを行
って所定のめっき部を形成してプリント配線基板を製造
する方法において、 上記めっき部を、上記導電パターンの表面に直接接触す
る下地層、該下地層の上に配置される一層以上の金属層
により形成される中間層、及び該中間層の上に配置さ
れ、該めっき部の表面及び表面側部分を構成し、貴金属
よりなる上地層の順に多層構造として形成し、 上記上地層を構成する金属がAu、Pd、Pt、Rh、
Ag又はRu、上記中間層を形成する各金属層のうち
で、上記上地層に最も近い位置に配置される最上側金属
層を構成する金属がAu、Pd、Pt、Rh、Ag又は
Ruであることを特徴とするプリント配線基板の製造方
法。
6. A printed wiring board base material is formed by a reel-to-reel method after forming conductive patterns at predetermined positions on at least one of the front and back surfaces of a long film-shaped printed wiring board base material. In a method of manufacturing a printed wiring board by continuously transporting in a predetermined plating tank and performing electroplating for each conductive pattern portion to form a predetermined plated portion, An underlayer that is in direct contact with the surface, an intermediate layer formed by one or more metal layers disposed on the underlayer, and disposed on the intermediate layer to form the surface and the surface-side portion of the plated portion. Then, the upper layer made of a noble metal is formed in this order as a multilayer structure, and the metals forming the upper layer are Au, Pd, Pt, Rh,
Among the metal layers forming Ag or Ru and the intermediate layer, the metal forming the uppermost metal layer arranged at the position closest to the upper layer is Au, Pd, Pt, Rh, Ag or Ru. A method of manufacturing a printed wiring board, comprising:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001234361A (en) * 2000-02-24 2001-08-31 Ibiden Co Ltd Highly corrosion resistant nickel-gold plating

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JP4490542B2 (en) * 2000-02-24 2010-06-30 イビデン株式会社 IC card with terminals

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