JPH07244309A - レーザー発振器 - Google Patents

レーザー発振器

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JPH07244309A
JPH07244309A JP6058361A JP5836194A JPH07244309A JP H07244309 A JPH07244309 A JP H07244309A JP 6058361 A JP6058361 A JP 6058361A JP 5836194 A JP5836194 A JP 5836194A JP H07244309 A JPH07244309 A JP H07244309A
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ケイ.ヤマモト ジョイス
Kiyoshi Yamagishi
喜代志 山岸
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 3価のネオジムイオンを用いた固体レーザー
から得られるレーザー光を非線形結晶によって可視の第
2高調波を発生する際に、位相整合温度が室温付近で行
なえ、また非線形結晶の光損傷特性にも優れたレーザー
発振器を提供する。 【構成】 3価のネオジムイオンを用いた固体レーザー
から得られる波長1.0〜1.1μmのレーザー光を非
線形結晶によって位相整合し第2高調波を発生するレー
ザー発振器において、該非線形結晶がスカンジウムイオ
ンを0.4〜2.0重量%含むニオブ酸リチウム結晶で
あることを特徴とするレーザー発振器。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザー発振器に関し、
特に3価のネオジム(Nd)イオンを発光イオンに用い
た固体レーザーからのレーザー光を非線形結晶によって
第2高調波を発生するレーザー発振器に関する。
【0002】
【従来の技術】固体レーザーは、小型で大出力が得ら
れ、かつ保守が容易であるため工業的に多量に用いられ
ている。可視領域でこのレーザー光を利用する場合、固
体媒質の光に対する非線形を利用した変換がよく用いら
れる。このうち光の振動数を2倍にする変換は第2高調
波発生と呼ばれる。例えば3価のネオジム(Nd)イオ
ンを用いた固体レーザーから得られる波長1.06μm
の近赤外光を、非線形結晶を用いると可視の0.53μ
mの緑色光に変換できる。この変換は、近年光磁気記録
の読み取り光源用途に応用が期待されている。
【0003】ここで用いられる非線形結晶は、変換性能
が媒質により異なり非線形光学定数(d)が大きく、室
温付近で高調波発生が可能なものが利用される。上述の
1.06μmの近赤外光変換では、例えばチタンリン酸
カリウム(KTiOPO4:KTP)がよく用いられて
いる。
【0004】ニオブ酸リチウム(LiNbO3)結晶は
前記チタンリン酸カリウムより大きな非線形光学定数
(d)を持ち、また工業的にも安価で良質な結晶が製造
されているため有望な非線形材料である。ところが1.
06μmの第2高調波発生の位相整合温度が室温以下で
ある上、可視領域のレーザー光により容易に屈折率、特
に異常光屈折率の変化が誘起されてしまい高調波発生が
困難となる、いわゆる光損傷現象が発生し、工業的に用
いることができない。
【0005】このためニオブ酸リチウム に2価の不純
物イオンをドーピングし光損傷特性の向上が図られてい
る。例えばマグネシウムイオンを用いることが提案され
ている(文献:D.A.Bryan et al.,A
ppl.Phys. Lett. 44(1984)8
47)。このマグネシウムイオンは、かなり多量にドー
ピングが可能であり、また光損傷特性も大幅に向上する
とされている。しかし1.06μmの近赤外光の第2高
調波発生には、位相整合温度が光損傷に効果的なマグネ
シウムイオン濃度範囲、例えば5モル%で100℃を超
えるため(W.M.Young et al.,J.A
ppl.Phys.69(1991)7372)、コン
パクトな緑色光の発生には、結晶の温度制御装置が大型
化し、また周囲の電子機器を加熱することになり好まし
くない。
【0006】また角度調整による整合も可能であるが、
入力光と出力光のビーム軌跡が異なってしまう、いわゆ
るウォークオフ(walk−off)現象が発生し
(J.L.Nighngale et al.,Pro
c.SPIE.681(1986)20)、0.53μ
mの緑色光の変換効率が低下するため、このようなマグ
ネシウムイオンをドープしたニオブ酸リチウムでは好ま
しくない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、3価
のネオジムイオンを用いた固体レーザーから得られるレ
ーザー光を非線形結晶によって可視の第2高調波を発生
する際に、位相整合温度が室温付近で行なえ、また非線
形結晶の光損傷特性にも優れたニオブ酸リチウムを用い
たレーザー発振器を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段および作用】本発明の上記
目的は、非線形結晶であるニオブ酸リチウム結晶に、一
定量のスカンジウムイオンをドーピングすることにより
達成される。
【0009】すなわち、本発明は、3価のネオジムイオ
ンを用いた固体レーザーから得られる波長1.0〜1.
1μmのレーザー光を非線形結晶によって位相整合し第
2高調波を発生するレーザー発振器において、該非線形
結晶がスカンジウムを0.4〜2.0重量%含むニオブ
酸リチウム結晶であることを特徴とするレーザー発振器
にある。
【0010】以下、本発明を図面に基づいて具体的に説
明する。図1(a)〜(b)は本発明のレーザー発振器
の一例を示す概略図である。同図において、1は3価の
ネオジムイオンを用いた固体レーザー、2はミラー、3
は非線形結晶、4はミラー、5は半導体レーザー、6は
ネオジムを用いた発振材料(結晶)をそれぞれ示す。
【0011】図1(a)において、3価のネオジムイオ
ンを用いた固体レーザー1から1.0〜1.1μm、例
えば1.06μmのレーザー光(近赤外光)が得られ
る。この3価のネオジムイオンを用いた固体レーザーと
しては、Nd:Y3Al512(YAG)、Nd:YVO
4(YVO)等が使用される。
【0012】このレーザー光は、ミラー2を経て、非線
形結晶3に導かれる。このミラー2は0.53μmのレ
ーザー光を全反射するものである。本発明では、非線形
結晶として、スカンジウムイオンがドープされたニオブ
酸リチウム結晶を用いる。スカンジウムイオンの含有濃
度は、0.4〜2.0重量%である。さらに動作温度と
しては周辺のシリコン製の電子機器に悪影響を及ぼさな
いためには好ましくは55℃以下、さらに好ましくは4
0℃以下が望ましく、このために適当な濃度範囲は固体
レーザーの基本波の波長によって変化するが、基本波が
1.064μmの場合は0.7〜1.0重量%である。
また基本波が1.09μmの場合は1.0〜1.5重量
%である。スカンジウムの濃度が2.0重量%を超える
と良質な結晶が製造できず好ましくない。
【0013】このようにスカンジウムイオンをドープし
たニオブ酸リチウムを得るには、炭酸リチウム、五酸化
二ニオブといったニオブ酸リチウム結晶の原料と酸化ス
カンジウムの所定量を混合し、圧粉体に成形し、チョク
ラルスキー法等の引き上げ法、フローティングゾーン
法、ブリッジマン法あるいは液相エピタキシー法等を用
いてスカンジウムイオンをドープしたニオブ酸リチウム
結晶を得る。これらの方法の中でチョクラルスキー法が
最も好適に利用できる。
【0014】また、スカンジウムイオンをドープしてい
ないニオブ酸リチウム単結晶の表面に、酸化スカンジウ
ムをイオンプランテーションもしくはスパッタリング法
等により添加し、熱処理等の拡散プロセスによりスカン
ジウムイオンをドープしてもよい。この方法は、スカン
ジウムが著しく高価な元素であること、光素子を製造す
る際に局所的にドープすることを考慮すると好ましい方
法である。
【0015】このように、レーザー光は、非線形結晶3
で位相整合され、例えば0.53μmの第2高調波を発
生する。
【0016】この第2高調波である0.53μmの緑色
光を含む光は、ミラー4にて分光される。すなわち、
1.06μmのレーザー光はミラー4で反射され、0.
53μmの緑色光はミラー4を部分透過する。
【0017】次に、図2(b)においては、半導体レー
ザー5により0.8μmのレーザー光が発振され、この
レーザー光はミラー2を経てネオジムを用いた発振材料
(結晶)6に導かれる。このミラー2は0.53μmと
1.06μmの光を全反射するものである。このネオジ
ムを用いた発振材料(結晶)6において、0.8μmの
レーザー光の一部は1.06μmのレーザー光となる。
ネオジムを用いた発振材料(結晶)としては、Nd:Y
3Al512(YAG)、Nd:YVO4(YVO)、N
d:YLiF4、Nd:ガラス等が使用される。
【0018】次いで、このネオジムを用いた発振材料
(結晶)6を透過したレーザー光は、非線形結晶3で位
相整合され、例えば0.53μmの第2高調波を発生す
る。ここに用いられる非線形結晶は、上述したようにス
カンジウムイオンがドープされたニオブ酸リチウム結晶
である。
【0019】この第2高調波である0.53μmの緑色
光を含む光は、ミラー4にて分光される。すなわち、
0.8μmおよび1.06μmのレーザー光はミラー4
で反射され、0.53μmの緑色光はミラー4を部分透
過する。
【0020】このように、従来、1.06μmのレーザ
ー光の位相整合温度がアンドープニオブ酸リチウム結晶
では室温以下、また光損傷特性に優れるといわれるマグ
ネシウムイオンドープ結晶では5モル%添加のもので1
20℃であると報告されているのに比べ、スカンジウム
イオンを上記の範囲でドープしたニオブ酸リチウム結晶
は、ペルチエ素子等により容易に制御が可能な室温付近
で位相整合が可能である。さらにこの温度が大きなスカ
ンジウムイオン濃度依存性を持ち、濃度を制御した結晶
を製造することにより位相整合の所望温度に合致した素
子の製造が可能である。さらに、この結晶は光損傷特性
に優れる。
【0021】スカンジウムをドープしたニオブ酸リチウ
ム結晶については既に本発明者等により光損傷特性に最
も優れることが報告されている(文献:J.K.Yam
amoto et al.,J.Appl.Phys.
Lett,41(1992)2156)。しかし、スカ
ンジウムイオンをドープしたニオブ酸リチウム結晶の非
線形性能、および1.06μmの位相整合温度特性につ
いては全く知られていなかった。本発明は光損傷特性に
ついて優れた性能を有するスカンジウムイオンをドープ
したしたニオブ酸リチウム結晶につき、詳細な検討を加
えた結果、本発明に至ったものである。
【0022】
【実施例】以下、実施例等に基づき本発明の詳細を説明
する。
【0023】実施例1 スカンジウムイオンを含むニオブ酸リチウム結晶を育成
した。原料は炭酸リチウム(LiCO3)、五酸化ニオ
ブ(Nb25)、および酸化スカンジウム(Sc23
を用いた。それぞれの灼熱原料分を計算の上で育成し
た。結晶育成は、高調波加熱型チョクラルスキー法によ
り行った。育成方向はいずれもC軸で、結晶はいずれも
クラックやサブグレインのない大きさ20φ×60Lm
mのもので、結晶は透明感が強かった。炭酸リチウムと
五酸化ニオブの比率は0.97(モル比)とした。育成
された結晶にはスカンジウム0.5重量%含まれてい
た。
【0024】これらの各結晶から大きさ5×5×10m
m(それぞれz、y、x軸方向)の結晶を切り出し、Z
軸を含む5×5面2面を光学研磨を施し、図1の実験用
装置を用い、位相整合温度を測定した。図2において、
図1と同一の符号は同様のものを示し、7はレンズ、8
は温度制御部、9はレンズ、10は保温槽、11はカッ
トフィルター、12はフォトマル、13はダンピング装
置をそれぞれ示す。
【0025】図2において、3価のネオジムイオンを用
いた固体レーザー1から1.0〜1.1μm、例えば
1.06μmのレーザー光(近赤外光)が得られる。次
に、このレーザー光は、非線形結晶3で、位相整合さ
れ、例えば0.53μmの第2高調波を発生する。この
非線形結晶3には、温度制御部8が設けられ、位相整合
温度を一定にしている。
【0026】1.06μmのレーザー光および第2高調
波である0.53μmの緑色光は、レンズ9を経て、ミ
ラー4にて分光される。すなわち、1.06μmのレー
ザー光はミラー4で反射され、ダンピング装置13に導
入される。一方、0.53μmの緑色光はミラー4を透
過し、カットフイルター11で一部透過した1.06μ
mのレーザー光を捕捉する。このようにして得られた
0.53μmの緑色光はフォトマル13に導入される。
【0027】この測定は、ニオブ酸リチウム の光軸
(z軸)に直交させて光源レーザーをx方向に入射す
る、いわゆるノンクリティカル位相整合のもので原理的
に前述したウォークオフ現象は発生しない。同図で、
1.06μmnのレーザー光を放つYAGレーザーはQ
スイッチがかけられており、パルス幅10ナノ秒で10
Hzの繰り返し発振をを行った。非線形結晶(スカンジ
ウムイオンをドープしたニオブ酸リチウム結晶)は熱良
導体である銅製の板で囲まれ、さらにこの銅板は−10
℃から約50℃付近まではペルチエ素子で加熱、冷却さ
れ、それ以上は小型の抵抗加熱器上で加熱された。また
非線形結晶系の周りは室温による変動を除去するためさ
らに保温槽でで覆われている。出力の緑色光はフォトマ
ルで検出した。
【0028】図3は実施例の緑色光の出力と結晶に接触
した測定素子から得られた位相整合温度の関係を示すも
のである。実施例では室温(21℃)での位相整合が可
能であることを示している。図4は位相整合温度と結晶
中のスカンジウムイオン濃度の関係を示すものである。
【0029】比較例1〜2 アンドープニオブ酸リチウム結晶(比較例2)および5
モル%マグネシウムイオンドープニオブ酸リチウム結晶
(比較例3)を実施例1と同様の方法で育成した。その
際、原料の混合比は実施例1と同様にした。但し、マグ
ネシウムイオンは4.5モル%添加した。得られた結晶
から実施例1と同じ形状のサンプルを加工し、光学研磨
を施し、位相整合温度を測定した。
【0030】その結果、アンドープニオブ酸リチウム結
晶 および5モル%マグネシウムイオンドープニオブ酸
リチウム結晶でそれぞれ5℃付近、120℃付近の結果
が得られた。それぞれ温度が上述した文献の値と異なり
厳密に決定できなかったのは、アンドープニオブ酸リチ
ウム結晶では室内の水分が結晶に付着し出力が変動する
ことおよび文献の値と結晶のリチウム/ニオブ比が異な
っていることによると思われ、また5モル%マグネシウ
ムイオンドープニオブ酸リチウム結晶は結晶からの放熱
が激しく真の温度(レーザービームパス近傍)が決定で
きないためと考えられる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザー
発振器によって、室温付近で位相整合が可能である。さ
らに本発明に用いられる非線形結晶は位相整合温度の設
定がぺルチエ素子などの電子制御素子を使って制御する
ことができる。これはホットプレートなどの熱線加熱素
子に比べ小型化が可能であり、さらに温度の精密電子制
御が可能な利点がある。また温度整合時に室内からの水
分付着の現象を回避できる。この現象は民需機器への応
用時に小型化、低コスト化の面で寄与できる。また、非
線形結晶の光損傷の問題が少ない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のレーザー発振器の一例を示す概略
図。
【図2】 実施例で用いた実験装置を示す概略図。
【図3】 実施例1における緑色光の出力と位相整合温
度の関係を示すグラフ。
【図4】 位相整合温度と結晶中のスカンジウムイオン
濃度の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
1:3価のネオジムイオンを用いた固体レーザー、2:
ミラー、3:非線形結晶、4:ミラー、5:半導体レー
ザー、6:ネオジムを用いた発振材料(結晶)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 3価のネオジムイオンを用いた固体レー
    ザーから得られる波長1.0〜1.1μmのレーザー光
    を非線形結晶によって位相整合し第2高調波を発生する
    レーザー発振器において、該非線形結晶がスカンジウム
    イオンを0.4〜2.0重量%含むニオブ酸リチウム結
    晶であることを特徴とするレーザー発振器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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