JPH0723788B2 - クリーンルーム構築システム - Google Patents
クリーンルーム構築システムInfo
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- JPH0723788B2 JPH0723788B2 JP2041979A JP4197990A JPH0723788B2 JP H0723788 B2 JPH0723788 B2 JP H0723788B2 JP 2041979 A JP2041979 A JP 2041979A JP 4197990 A JP4197990 A JP 4197990A JP H0723788 B2 JPH0723788 B2 JP H0723788B2
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- JP
- Japan
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- clean room
- dry coil
- coil unit
- direct expansion
- ceiling
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は，既存の建物の内部に，必要とする空気清浄度
及び室温を有するクリーンルームを，短期間に且つ簡易
な施工によって作り出せるようにした多目的クリーンル
ームの構築システムに関する。
及び室温を有するクリーンルームを，短期間に且つ簡易
な施工によって作り出せるようにした多目的クリーンル
ームの構築システムに関する。
従来より，クリーンルーム専用でない既存の建物内に簡
易な施工によって本格的なクリーンルームを実現する技
術が種々試みられており，その一例を以下に説明する。
易な施工によって本格的なクリーンルームを実現する技
術が種々試みられており，その一例を以下に説明する。
先ず，建物内の天井付近に所定の形状寸法の小枠を多数
有する天井フレームを天井裏スペースを残して張り渡
し，その小枠にファンフィルタユニット（FFU）或いは
盲板を嵌め込むことによって新天井面を完成させる。次
に、建物の下方に多孔材（例えばグレーチング材）を，
床下スペースを残して張り渡すことによって新床面を形
成する。更に，新天井面及び新床面に挟まれた空間（以
下「中層空間」という）を縦方向の仕切によって複数の
領域に区分し，各領域に対応する新天井面には当該領域
で必要とされる清浄度に応じた数のFFUを設置すること
によって、清浄度の異なる複数のクリーンルームを実現
する。
有する天井フレームを天井裏スペースを残して張り渡
し，その小枠にファンフィルタユニット（FFU）或いは
盲板を嵌め込むことによって新天井面を完成させる。次
に、建物の下方に多孔材（例えばグレーチング材）を，
床下スペースを残して張り渡すことによって新床面を形
成する。更に，新天井面及び新床面に挟まれた空間（以
下「中層空間」という）を縦方向の仕切によって複数の
領域に区分し，各領域に対応する新天井面には当該領域
で必要とされる清浄度に応じた数のFFUを設置すること
によって、清浄度の異なる複数のクリーンルームを実現
する。
この結果，天井裏スペースをプレナムチャンバーとし
て，また床下スペースをレターンプレナムとして，更に
中層空間のうちで特に高い清浄度の必要とされない領域
（例えば「通路」等）をレターンエリアとして利用でき
るので，大規模な工事をしなくても既存の建物を簡易に
クリーンルームとして利用することができる。
て，また床下スペースをレターンプレナムとして，更に
中層空間のうちで特に高い清浄度の必要とされない領域
（例えば「通路」等）をレターンエリアとして利用でき
るので，大規模な工事をしなくても既存の建物を簡易に
クリーンルームとして利用することができる。
以上のように，前記従来例によれば既存の建物を簡易迅
速にクリーンルームに改造することができる。
速にクリーンルームに改造することができる。
しかし，従来はクリーンルーム内の室温調節を空気循環
経路の適宜な個所に設置した空調機を用いて行っていた
ため，以下のような問題点があった。
経路の適宜な個所に設置した空調機を用いて行っていた
ため，以下のような問題点があった。
プレナムチャンバーやレターンプレナム等をも含めた
クリーンルーム全体を一律に冷却することになるため，
特に重点的に冷房する必要がある領域とそれほど冷却す
る必要のない領域とがある場合に，それぞれの冷房負荷
に応じたきめの細かい室温の設定・維持が不可能とな
る。
クリーンルーム全体を一律に冷却することになるため，
特に重点的に冷房する必要がある領域とそれほど冷却す
る必要のない領域とがある場合に，それぞれの冷房負荷
に応じたきめの細かい室温の設定・維持が不可能とな
る。
建物のほぼ全体を冷却する能力を有する熱源施設（冷
凍機，冷却塔，ポンプ等）を設置するためにはかなり広
いスペースが必要であり，このスペースを当該建物内あ
るいは近隣する場所に予め確保しておく必要がある。
凍機，冷却塔，ポンプ等）を設置するためにはかなり広
いスペースが必要であり，このスペースを当該建物内あ
るいは近隣する場所に予め確保しておく必要がある。
冷却機において発生するドレンを排水するためのドレ
ン配管をする必要がある。
ン配管をする必要がある。
一旦設置した冷却機を他の場所に移設するのに手間が
掛かるうえ，新たに設置スペースを確保しなければなら
ないので，クリーンルーム内のレイアウト変更に柔軟に
対処し得ない。
掛かるうえ，新たに設置スペースを確保しなければなら
ないので，クリーンルーム内のレイアウト変更に柔軟に
対処し得ない。
熱源施設の機器が故障した場合には，クリーンルーム
全体の冷却が一遍に停止してしまう。
全体の冷却が一遍に停止してしまう。
この発明は，従来例の有する以上の問題点を解消するこ
とが可能なクリーンルーム構築システムの提供を目的と
する。
とが可能なクリーンルーム構築システムの提供を目的と
する。
上記目的を達成するために，本発明に係るクリーンルー
ム構築システムはその請求項１において，天井フレーム
によって格子状にモジュール化された天井面に必要数の
ファンフィルタユニット（FFU）を設置し、天井裏空間
をプレナムチャンバーに，床下空間をレターンプレナム
に構成すると共に該レターンプレナムからプレナムチャ
ンバーに空気が流通するレターンエリアを備え，該FFU
の設置数または稼動数の選定により所望の空気循環経路
を形成するようにしたクリーンルームにおいて，該空気
の循環経路に必要数の空気冷却用熱交換器（直膨型ドラ
イコイルユニット）を配置すると共に，この直膨型ドラ
イコイルユニットに冷媒を循環供給するための圧縮機お
よび凝縮器を含む室外機をクリーンルーム外に配置し，
この直膨型ドライコイルユニットによってクリーンルー
ム内で発生する顕熱負荷の実質上全てを処理すると共に
各ドライコイルユニットの表面温度をここを通過しよう
とする空気の露点温度より高く維持するよう構成した。
ム構築システムはその請求項１において，天井フレーム
によって格子状にモジュール化された天井面に必要数の
ファンフィルタユニット（FFU）を設置し、天井裏空間
をプレナムチャンバーに，床下空間をレターンプレナム
に構成すると共に該レターンプレナムからプレナムチャ
ンバーに空気が流通するレターンエリアを備え，該FFU
の設置数または稼動数の選定により所望の空気循環経路
を形成するようにしたクリーンルームにおいて，該空気
の循環経路に必要数の空気冷却用熱交換器（直膨型ドラ
イコイルユニット）を配置すると共に，この直膨型ドラ
イコイルユニットに冷媒を循環供給するための圧縮機お
よび凝縮器を含む室外機をクリーンルーム外に配置し，
この直膨型ドライコイルユニットによってクリーンルー
ム内で発生する顕熱負荷の実質上全てを処理すると共に
各ドライコイルユニットの表面温度をここを通過しよう
とする空気の露点温度より高く維持するよう構成した。
また，その請求項２においては，前記直膨型ドライコイ
ルユニットを天井フレームによって格子状にモジュール
化された天井面に設置するよう構成した。
ルユニットを天井フレームによって格子状にモジュール
化された天井面に設置するよう構成した。
また，その請求項３においては，前記直膨型ドライコイ
ルユニットをクリーンルーム内における製造機器等の内
部熱負荷発生帯域の該天井面と，レターンエリアの該天
井面に配置し，前者のドライコイルを通過した空気が該
内部熱負荷発生帯域の天井面に設置されたFFUに導か
れ，後者のドライコイルユニットを通過した空気がプレ
ナムチャンバー内に送り込まれるよう構成した。
ルユニットをクリーンルーム内における製造機器等の内
部熱負荷発生帯域の該天井面と，レターンエリアの該天
井面に配置し，前者のドライコイルを通過した空気が該
内部熱負荷発生帯域の天井面に設置されたFFUに導か
れ，後者のドライコイルユニットを通過した空気がプレ
ナムチャンバー内に送り込まれるよう構成した。
また、その請求項４においては，前記直膨型ドライコイ
ルユニットをレターンプレナムに配置するよう構成し
た。
ルユニットをレターンプレナムに配置するよう構成し
た。
また，その請求項５においては，前記直膨型ドライコイ
ルユニットを内部熱負荷発生帯域の床下レターンプレナ
ムへの吸込面に配置するよう構成した。
ルユニットを内部熱負荷発生帯域の床下レターンプレナ
ムへの吸込面に配置するよう構成した。
さらに，その請求項６においては，複数個の直膨型ドラ
イコイルユニットを共通の冷媒配管で室外機に接続する
よう構成した。
イコイルユニットを共通の冷媒配管で室外機に接続する
よう構成した。
以下，添付図面を参照して本発明の実施例について説明
する。
する。
第１図は，本発明に係るクリーンルーム構築システムの
全体を示す簡略図である。
全体を示す簡略図である。
図示の通り，既設建物２の天井４付近に天井裏スペース
６を残して天井フレーム８が張り渡されており，新天井
10が形成されている。尚，図示は省略したが，該天井フ
レーム８はアルミニウム等で形成された所定形状のバー
を複数本縦横に一定の間隔をおいて直交させることによ
って形成されており，その結果所定の形状寸法を有する
モジュール化された小枠が多数形成されている。一方，
床12の付近には，床下スペース14を残して多孔材（例え
ばグレーチング材）16が張り渡されており，その結果，
新床面18が形成されている。このようにして，建物２の
内部は，天井裏スペース6,床下スペース14及び新天井及
び新床面によって挟まれた空間（以下「中層空間」とい
う）の３つの領域に区分される。そして、前記中層空間
は主として高度の清浄度が要求されるクリーンルーム20
として利用されるが，その他にも縦方向の仕切21によっ
て複数の領域に区分され，それらは機械の保守点検等を
行うサービス域22や通路24等として利用される。
６を残して天井フレーム８が張り渡されており，新天井
10が形成されている。尚，図示は省略したが，該天井フ
レーム８はアルミニウム等で形成された所定形状のバー
を複数本縦横に一定の間隔をおいて直交させることによ
って形成されており，その結果所定の形状寸法を有する
モジュール化された小枠が多数形成されている。一方，
床12の付近には，床下スペース14を残して多孔材（例え
ばグレーチング材）16が張り渡されており，その結果，
新床面18が形成されている。このようにして，建物２の
内部は，天井裏スペース6,床下スペース14及び新天井及
び新床面によって挟まれた空間（以下「中層空間」とい
う）の３つの領域に区分される。そして、前記中層空間
は主として高度の清浄度が要求されるクリーンルーム20
として利用されるが，その他にも縦方向の仕切21によっ
て複数の領域に区分され，それらは機械の保守点検等を
行うサービス域22や通路24等として利用される。
床下スペース14には，外調機26及び排風機28が設置され
ている。而して、該外調機26によって新鮮外気を建物２
内に供給すると共に、排風機28によって建物２内の空気
を外部に排出し，以て建物２内の換気を行っている。ま
た，該外調機には加湿器及び除湿器が内蔵されており，
これらによってクリーンルーム内の湿度調整を行ってい
る。
ている。而して、該外調機26によって新鮮外気を建物２
内に供給すると共に、排風機28によって建物２内の空気
を外部に排出し，以て建物２内の換気を行っている。ま
た，該外調機には加湿器及び除湿器が内蔵されており，
これらによってクリーンルーム内の湿度調整を行ってい
る。
前記フレーム８に形成された小枠には，該小枠をちょう
ど塞ぐ形状寸法を有したファンフィルタユニット（FF
U）30が装着されている。FFU30は直方体形状をしたケー
シング内にファン32及び高性能フィルタ（HEPAまたはUL
PAフイルタ）34を内蔵しており，上部開口36から天井裏
スペース６の空気をケーシング内に取り入れ，下部開口
から排出する過程で塵芥等をその高性能フィルタ34によ
って除去し空気を清浄化する。尚、FFU30自体は公知の
ため，これ以上の説明は省略する。
ど塞ぐ形状寸法を有したファンフィルタユニット（FF
U）30が装着されている。FFU30は直方体形状をしたケー
シング内にファン32及び高性能フィルタ（HEPAまたはUL
PAフイルタ）34を内蔵しており，上部開口36から天井裏
スペース６の空気をケーシング内に取り入れ，下部開口
から排出する過程で塵芥等をその高性能フィルタ34によ
って除去し空気を清浄化する。尚、FFU30自体は公知の
ため，これ以上の説明は省略する。
フレーム８には，さらに上記小枠をちょうど塞ぐ形状寸
法を有した空気冷却用熱交換器たる直膨型ドライコイル
ユニット40が装着されている。この直膨型ドライコイル
ユニット40は，第２図に示すように，その内部には蒸発
器として機能する冷却コイル42が取り付けられたフイン
チューブ型熱交換器である。冷却コイル42には，冷媒供
給管44および膨張弁46を介して冷媒が供給され，この冷
媒は冷却コイル42内で蒸発される。その際にユニットの
下方から（すなわち室内側から）ユニット内に流入した
空気がこのユニットに接触することによって冷却され，
天井裏スペース６内に放出される。
法を有した空気冷却用熱交換器たる直膨型ドライコイル
ユニット40が装着されている。この直膨型ドライコイル
ユニット40は，第２図に示すように，その内部には蒸発
器として機能する冷却コイル42が取り付けられたフイン
チューブ型熱交換器である。冷却コイル42には，冷媒供
給管44および膨張弁46を介して冷媒が供給され，この冷
媒は冷却コイル42内で蒸発される。その際にユニットの
下方から（すなわち室内側から）ユニット内に流入した
空気がこのユニットに接触することによって冷却され，
天井裏スペース６内に放出される。
直膨型ドライコイルユニット40は冷媒配管（冷媒供給管
44および冷媒排出管52）を介して室外機たる室外ユニッ
ト54と連結され，冷媒回路を形成している。室外ユニッ
ト54内には，圧縮機56,凝縮器58,ファン60,アキュムレ
ータ62及び受液器64が設置されている。該圧縮器60によ
って圧縮され高温高圧化したガス冷媒は，凝縮器58内を
通過する際にファン60による送風によって冷却され液状
となる。該液冷媒は受液器64及び冷媒供給管44を介して
直膨型ドライコイルユニット40内に運ばれ，膨張弁46を
通過し減圧された後に冷却コイル42内に供給される。冷
却コイル42内に導かれた冷媒は、回りの空気から熱を奪
って蒸発しガス化する。このガス冷媒は，冷媒排出管50
を経て蒸発圧力調整弁52およびアキュムレータ62を介し
て圧縮機60内に戻される。
44および冷媒排出管52）を介して室外機たる室外ユニッ
ト54と連結され，冷媒回路を形成している。室外ユニッ
ト54内には，圧縮機56,凝縮器58,ファン60,アキュムレ
ータ62及び受液器64が設置されている。該圧縮器60によ
って圧縮され高温高圧化したガス冷媒は，凝縮器58内を
通過する際にファン60による送風によって冷却され液状
となる。該液冷媒は受液器64及び冷媒供給管44を介して
直膨型ドライコイルユニット40内に運ばれ，膨張弁46を
通過し減圧された後に冷却コイル42内に供給される。冷
却コイル42内に導かれた冷媒は、回りの空気から熱を奪
って蒸発しガス化する。このガス冷媒は，冷媒排出管50
を経て蒸発圧力調整弁52およびアキュムレータ62を介し
て圧縮機60内に戻される。
第３図は直膨型ドライコイルユニット40の表面温度が露
点温度以下にならないように制御するシステムを示した
もので,FFU30の吹出側に設置された温度センサ53の検出
信号を温度調節計55に送り，この温度調節計55の設定幅
内に温度センサ53の検出値が収まるように，温度調節計
が圧縮機56にON−OFF,またはON−アンロード,OFF−アン
ロードの制御指令を発する。これによって，クリーンル
ーム内は設定温度幅内に維持される。他方，圧縮機56の
吸込側に設置された蒸発圧力調整弁52はドライコイル
（蒸発器）20での冷媒の蒸発圧力が所定の圧力以下に下
がらないように調節する。この蒸発圧力調整弁52は第４
図に示すように，圧力調節バネ57によって付勢された弁
体59を有する直動型のもので，この弁52によって圧縮機
吸込側の抵抗を変化させる。これにより圧縮機への吸込
圧力は低下するものの蒸発器での蒸発圧力は一定となる
ような働きをする。冷媒としてＲ−22を使用した場合，
この蒸発圧力調整弁52によって蒸発器の蒸発圧力を例え
ば約6kg/cm2Ｇより下がらないように制御することで蒸
発温度を10℃に保つことができる。なお，膨脹弁46には
感温膨脹弁を使用する。このようにして冷却コイル42の
表面温度を空気の露点温度より高く維持する。
点温度以下にならないように制御するシステムを示した
もので,FFU30の吹出側に設置された温度センサ53の検出
信号を温度調節計55に送り，この温度調節計55の設定幅
内に温度センサ53の検出値が収まるように，温度調節計
が圧縮機56にON−OFF,またはON−アンロード,OFF−アン
ロードの制御指令を発する。これによって，クリーンル
ーム内は設定温度幅内に維持される。他方，圧縮機56の
吸込側に設置された蒸発圧力調整弁52はドライコイル
（蒸発器）20での冷媒の蒸発圧力が所定の圧力以下に下
がらないように調節する。この蒸発圧力調整弁52は第４
図に示すように，圧力調節バネ57によって付勢された弁
体59を有する直動型のもので，この弁52によって圧縮機
吸込側の抵抗を変化させる。これにより圧縮機への吸込
圧力は低下するものの蒸発器での蒸発圧力は一定となる
ような働きをする。冷媒としてＲ−22を使用した場合，
この蒸発圧力調整弁52によって蒸発器の蒸発圧力を例え
ば約6kg/cm2Ｇより下がらないように制御することで蒸
発温度を10℃に保つことができる。なお，膨脹弁46には
感温膨脹弁を使用する。このようにして冷却コイル42の
表面温度を空気の露点温度より高く維持する。
室外ユニット54はクリーンルームの外に設置されるが，
これは建物の屋外でも，或いは天井裏を別途区画したス
ペース等適当な空きスペースに設置してもよい。また第
２図のように１台の室外ユニット54に１台の直膨型ドラ
イコイルユニット40を対応させてもよいが，第５図に示
すように１台の室外ユニット54に複数台の直膨型ドライ
コイルユニット40を対応させるいわゆるマルチタイプを
採用することにより，一層効率化を図ることができる。
この場合１台の室外ユニット54内に複数の圧縮機56およ
び凝縮器58を内蔵させ，それぞれに複数台の直膨型ドラ
イコイルユニット40を対応させることによって別系統の
冷媒回路を形成することもできる。
これは建物の屋外でも，或いは天井裏を別途区画したス
ペース等適当な空きスペースに設置してもよい。また第
２図のように１台の室外ユニット54に１台の直膨型ドラ
イコイルユニット40を対応させてもよいが，第５図に示
すように１台の室外ユニット54に複数台の直膨型ドライ
コイルユニット40を対応させるいわゆるマルチタイプを
採用することにより，一層効率化を図ることができる。
この場合１台の室外ユニット54内に複数の圧縮機56およ
び凝縮器58を内蔵させ，それぞれに複数台の直膨型ドラ
イコイルユニット40を対応させることによって別系統の
冷媒回路を形成することもできる。
以上述べたFFU30及び直膨型ドライコイルユニット40の
設置台数は，要求される空気清浄度及び冷房負荷によっ
て決定される。例えば，特に高い清浄度の要求されるク
リーンルーム20上のフレーム８には数多くのFFU30を設
置する。逆に，空気清浄化の必要性の低い通路24上のフ
レーム８にはFFU30を設置せず，代わりに直膨型ドライ
コイルユニット40を設置する。また，中程度の清浄度が
要求され，且つ高い冷房負荷が生じるるサービス域22上
のフレーム８には，必要台数のFFU30を設置し，さらに
空いている小枠には直膨型ドライコイルユニット40を設
置する。
設置台数は，要求される空気清浄度及び冷房負荷によっ
て決定される。例えば，特に高い清浄度の要求されるク
リーンルーム20上のフレーム８には数多くのFFU30を設
置する。逆に，空気清浄化の必要性の低い通路24上のフ
レーム８にはFFU30を設置せず，代わりに直膨型ドライ
コイルユニット40を設置する。また，中程度の清浄度が
要求され，且つ高い冷房負荷が生じるるサービス域22上
のフレーム８には，必要台数のFFU30を設置し，さらに
空いている小枠には直膨型ドライコイルユニット40を設
置する。
尚，図示は省略したが，フレーム８の小枠のうちFFU30
も直膨型ドライコイルユニット40も設置する必要がない
部分には、小枠と略等しい寸法形状を有する盲パネルを
嵌装することによって該小枠を閉塞し，清浄化されてい
ない空気がクリーンルーム20内等に侵入することを防
ぐ。
も直膨型ドライコイルユニット40も設置する必要がない
部分には、小枠と略等しい寸法形状を有する盲パネルを
嵌装することによって該小枠を閉塞し，清浄化されてい
ない空気がクリーンルーム20内等に侵入することを防
ぐ。
第１図において,FFU30に内蔵されたファン32を稼動させ
ることによって、天井裏スペース６内の空気がFFU30内
に吸引され，そのフィルタ34を通過することによって清
浄化された空気がクリーンルーム20及びサービス域22に
吹き出され，中間帯域を下降しながら室内を浮遊してい
る塵芥等を捕捉し，多孔材16で形成された新床面18を通
過して床下スペース14に流れ込む。床下スペース14の空
気は通路24に床下側から上昇し，通路上のフレーム８に
設置された直膨型ドライコイルユニット40を通過する際
に冷却される。この冷却された空気は，再びFFU30内で
清浄化された後にクリーンルーム20等に供給される。
ることによって、天井裏スペース６内の空気がFFU30内
に吸引され，そのフィルタ34を通過することによって清
浄化された空気がクリーンルーム20及びサービス域22に
吹き出され，中間帯域を下降しながら室内を浮遊してい
る塵芥等を捕捉し，多孔材16で形成された新床面18を通
過して床下スペース14に流れ込む。床下スペース14の空
気は通路24に床下側から上昇し，通路上のフレーム８に
設置された直膨型ドライコイルユニット40を通過する際
に冷却される。この冷却された空気は，再びFFU30内で
清浄化された後にクリーンルーム20等に供給される。
以上のように，天井裏スペース６はプレナムチャンバー
として，また床下スペースはレターンプレナムとして，
更に通路はレターンエリアとしての役割を果たす。すな
わち,FFU30および直膨型ドライコイルユニット40の設置
数や設置箇所を選定することによって，所望の空気循環
経路を形成することができる。
として，また床下スペースはレターンプレナムとして，
更に通路はレターンエリアとしての役割を果たす。すな
わち,FFU30および直膨型ドライコイルユニット40の設置
数や設置箇所を選定することによって，所望の空気循環
経路を形成することができる。
尚，図中のサービス域22のように，同一の領域上のフレ
ーム８にFFU30と直膨型ドライコイルユニット40の双方
を設置し，これらをダクト66等を介して連通させる場合
には，その領域のみを重点的に冷却することが可能とな
る。すなわち,FFU30から放出された空気の一部は床下ス
ペース14に到達する前に直膨型ドライコイルユニット40
内に吸い込まれ，そこで冷却された空気は天井裏スペー
ス６全体に拡散することなく直接にFFU30に戻され，再
度清浄化され室内に放出される。この結果，システム全
体の冷房負荷処理とは別個に，ある特定領域内でローカ
ルな冷却サイクルを形成することができ，より効率的に
高い冷房負荷を処理することができる。これは製造機器
が設置されている等の理由によって特に高い冷房負荷が
発生する領域を冷却する場合に有効である。
ーム８にFFU30と直膨型ドライコイルユニット40の双方
を設置し，これらをダクト66等を介して連通させる場合
には，その領域のみを重点的に冷却することが可能とな
る。すなわち,FFU30から放出された空気の一部は床下ス
ペース14に到達する前に直膨型ドライコイルユニット40
内に吸い込まれ，そこで冷却された空気は天井裏スペー
ス６全体に拡散することなく直接にFFU30に戻され，再
度清浄化され室内に放出される。この結果，システム全
体の冷房負荷処理とは別個に，ある特定領域内でローカ
ルな冷却サイクルを形成することができ，より効率的に
高い冷房負荷を処理することができる。これは製造機器
が設置されている等の理由によって特に高い冷房負荷が
発生する領域を冷却する場合に有効である。
或いは，ダクト66等を介して連通させる代わりに，特定
のFFU30と直膨型ドライコイルユニット40とに天井裏側
からボックス68を被せ，天井裏スペース６内に２重のプ
レナムチャンバーを形成することによっても，ダクト接
続の場合と同様の効果を達成することができる。
のFFU30と直膨型ドライコイルユニット40とに天井裏側
からボックス68を被せ，天井裏スペース６内に２重のプ
レナムチャンバーを形成することによっても，ダクト接
続の場合と同様の効果を達成することができる。
次に，第６図〜第９図において，本発明に係るクリーン
ルーム構築システムの応用例を示す。
ルーム構築システムの応用例を示す。
第６図の例は，高度の空気清浄度が要求されるクリーン
ルーム20上のフレーム８にFFU30のみを載置すると共
に，通路24上にはドライコイルユニット40のみを載置し
て建物２全体の冷却を行っている。
ルーム20上のフレーム８にFFU30のみを載置すると共
に，通路24上にはドライコイルユニット40のみを載置し
て建物２全体の冷却を行っている。
一方，高い発熱量を有する機材70等が置かれているサー
ビス域22上のフレーム８には専用のドライコイルユニッ
ト40及びFFU30が載置されており、該ドライコイルユニ
ット40とFFU30とはダクト66を介して連通されている。
また，床面は多孔材16の代わりに通気性を有さない材料
72によって構成されている。従って、FFU30から放出さ
れた清浄空気は，すべて床面で撥ね返されてドライコイ
ルユニット40内に戻されるので，サービス域22のみを重
点的に冷却することができる。
ビス域22上のフレーム８には専用のドライコイルユニッ
ト40及びFFU30が載置されており、該ドライコイルユニ
ット40とFFU30とはダクト66を介して連通されている。
また，床面は多孔材16の代わりに通気性を有さない材料
72によって構成されている。従って、FFU30から放出さ
れた清浄空気は，すべて床面で撥ね返されてドライコイ
ルユニット40内に戻されるので，サービス域22のみを重
点的に冷却することができる。
第７図は、第４図と略同様であるが，ダクト66を介して
FFU30とドライコイルユニット40とを連通する代わり
に，サービス域22上のフレーム８に載置されたFFU30及
びドライコイルユニット40の上からボックス68をすっぽ
りと被せ，天井裏スペース６内に二重のチャンバーを形
成することによって、冷却空気が他の領域に拡散するの
を防いでいる点に特色がある。
FFU30とドライコイルユニット40とを連通する代わり
に，サービス域22上のフレーム８に載置されたFFU30及
びドライコイルユニット40の上からボックス68をすっぽ
りと被せ，天井裏スペース６内に二重のチャンバーを形
成することによって、冷却空気が他の領域に拡散するの
を防いでいる点に特色がある。
第８図は、通路24上のフレーム８にドライコイルユニッ
ト40を載置する代わりに，通路の床下にドライコイルユ
ニット40を設置した点で第６図と相違する。
ト40を載置する代わりに，通路の床下にドライコイルユ
ニット40を設置した点で第６図と相違する。
第９図は，サービス域22での高い冷房負荷に対処するた
めに，専用のドライコイルユニット40を床下に設置した
例である。この場合には，通気性を確保するためにドラ
イコイルユニット40の空気取入口に対応する部分の床材
が多孔材16にて形成されていることは云うまでもない。
本例の場合，ドライコイルユニット40をフレーム８に設
置する必要がないので，その分フレーム８にFFU30を多
く載置することができる。従って，高い冷房負荷を有
し，かつ高い空気清浄度が要求される領域において好適
である。
めに，専用のドライコイルユニット40を床下に設置した
例である。この場合には，通気性を確保するためにドラ
イコイルユニット40の空気取入口に対応する部分の床材
が多孔材16にて形成されていることは云うまでもない。
本例の場合，ドライコイルユニット40をフレーム８に設
置する必要がないので，その分フレーム８にFFU30を多
く載置することができる。従って，高い冷房負荷を有
し，かつ高い空気清浄度が要求される領域において好適
である。
本発明に係るクリーンルーム構築システムは以上の構成
を有するため，以下の効果を有する。
を有するため，以下の効果を有する。
直膨型ドライコイルユニットを任意の箇所に必要個数
設置することによってクリーンルーム内の室温調節を行
うため，各領域における熱負荷の大きさに対応した，き
めの細かい室温調節が可能となる。
設置することによってクリーンルーム内の室温調節を行
うため，各領域における熱負荷の大きさに対応した，き
めの細かい室温調節が可能となる。
直膨型ドライコイルユニットを通過することによって
冷却された空気を直接に任意のFFUに導くことができる
ので，特に高い熱負荷の生ずる領域を他の領域から切り
離して重点的に冷却することができる。
冷却された空気を直接に任意のFFUに導くことができる
ので，特に高い熱負荷の生ずる領域を他の領域から切り
離して重点的に冷却することができる。
コンパクトな直膨型ドライコイルユニットを必要に応
じた個数だけ分散して設置するので，大型の冷却機を設
置するためのまとまったスペースを確保する必要がな
い。
じた個数だけ分散して設置するので，大型の冷却機を設
置するためのまとまったスペースを確保する必要がな
い。
直膨型ドライコイルユニットにドレンが生じないよう
構成されているため，ドレン配管をする必要がない。
構成されているため，ドレン配管をする必要がない。
直膨型のドライコイルユニットであるため，各ユニッ
トに冷水を供給する必要がない。したがって，冷水を供
給するための熱源施設（冷凍機や冷却塔など）を別個に
設置する必要がなく，既存の建物をより簡易迅速にクリ
ーンルーム化できる。また，水配管の必要もないため，
配管事故による漏れの発生を回避できる。
トに冷水を供給する必要がない。したがって，冷水を供
給するための熱源施設（冷凍機や冷却塔など）を別個に
設置する必要がなく，既存の建物をより簡易迅速にクリ
ーンルーム化できる。また，水配管の必要もないため，
配管事故による漏れの発生を回避できる。
６上記のことから，直膨型ドライコイルユニッ
トの移設が容易であり，クリーンルーム内のレイアウト
変更にも柔軟に対処できる。
トの移設が容易であり，クリーンルーム内のレイアウト
変更にも柔軟に対処できる。
圧縮機等を内蔵した室外ユニットを室外に設置し，冷
媒配管を介して直膨型ドライコイルユニットと連結させ
たので，圧縮機による騒音発生を防ぐことができる。
媒配管を介して直膨型ドライコイルユニットと連結させ
たので，圧縮機による騒音発生を防ぐことができる。
室外ユニット及びこれに対応する単または複数の直膨
型ドライコイルユニットごとに独立した基本単位を構成
しているため、故障時の危険分散を図ることができる。
型ドライコイルユニットごとに独立した基本単位を構成
しているため、故障時の危険分散を図ることができる。
第１図は本発明に係るクリーンルーム構築システムの全
体構成を示す簡略図，第２図は直膨型ドライコイルユニ
ットと室外ユニットとの連結状態を示す冷媒回路図，第
３図は温度制御を説明するためのシステム構成図，第４
図は蒸発圧力調整弁の略断面図，第５図は直膨型ドライ
コイルユニットと室外ユニットとの連結状態の他の例を
示す冷媒回路図，第６図〜第９図はいずれも本発明に係
るクリーンルーム構築システムの応用例を示す説明簡略
図である。 符号の説明 ６……天井裏スペース ８……天井フレーム 10……天井面 14……床下スペース 30……ファンフィルタユニット（FFU） 40……直膨型ドライコイルユニット 46……膨脹弁（感温型膨脹弁） 52……蒸発圧力調整弁 53……温度センサ 54……室外機（室外ユニット） 55……温度調節計 56……圧縮機 58……凝縮器
体構成を示す簡略図，第２図は直膨型ドライコイルユニ
ットと室外ユニットとの連結状態を示す冷媒回路図，第
３図は温度制御を説明するためのシステム構成図，第４
図は蒸発圧力調整弁の略断面図，第５図は直膨型ドライ
コイルユニットと室外ユニットとの連結状態の他の例を
示す冷媒回路図，第６図〜第９図はいずれも本発明に係
るクリーンルーム構築システムの応用例を示す説明簡略
図である。 符号の説明 ６……天井裏スペース ８……天井フレーム 10……天井面 14……床下スペース 30……ファンフィルタユニット（FFU） 40……直膨型ドライコイルユニット 46……膨脹弁（感温型膨脹弁） 52……蒸発圧力調整弁 53……温度センサ 54……室外機（室外ユニット） 55……温度調節計 56……圧縮機 58……凝縮器
Claims (6)
- 【請求項１】天井フレームによって格子状にモジュール
化された天井面に必要数のファンフィルタユニット（FF
U）を設置し，天井裏空間をプレナムチャンバーに，床
下空間をレターンプレナムに構成すると共に該レターン
プレナムからプレナムチャンバーに空気が流通するレタ
ーンエリアを備え，該FFUの設置数または稼動数の選定
により所望の空気循環経路を形成するようにしたクリー
ンルームにおいて，該空気の循環経路に必要数の空気冷
却用熱交換器（直膨型ドライコイルユニット）を配置す
ると共に，この直膨型ドライコイルユニットに冷媒を循
環供給するための圧縮機および凝縮器を含む室外機をク
リーンルーム外に配置し、この直膨型ドライコイルユニ
ットによってクリーンルーム内で発生する顕熱負荷の実
質上全てを処理すると共に各ドライコイルユニットの表
面温度をここを通過しようとする空気の露点温度より高
く維持するよう構成したクリーンルーム構築システム。 - 【請求項２】前記直膨型ドライコイルユニットは，天井
フレームによって格子状にモジュール化された天井面に
設置される請求項１に記載のクリーンルーム構築システ
ム。 - 【請求項３】前記直膨型ドライコイルユニットは，クリ
ーンルーム内における製造機器等の内部熱負荷発生帯域
の該天井面と，レターンエリアの該天井面に配置され，
前者のドライコイルを通過した空気が該内部熱負荷発生
帯域の天井面に設置されたFFUに導かれ，後者のドライ
コイルユニットを通過した空気がプレナムチャンバー内
に送り込まれる請求項１に記載のクリーンルーム構築シ
ステム。 - 【請求項４】前記直膨型ドライコイルユニットは，レタ
ーンプレナムに配置される請求項１に記載のクリーンル
ーム構築システム。 - 【請求項５】前記直膨型ドライコイルユニットは、内部
熱負荷発生帯域の床下レターンプレナムへの吸込面に配
置される請求項１に記載のクリーンルーム構築システ
ム。 - 【請求項６】前記直膨型ドライコイルユニットは，その
複数個が共通の冷媒配管で室外機に接続される請求項１
に記載のクリーンルーム構築システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2041979A JPH0723788B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | クリーンルーム構築システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2041979A JPH0723788B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | クリーンルーム構築システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03244944A JPH03244944A (ja) | 1991-10-31 |
| JPH0723788B2 true JPH0723788B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=12623322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2041979A Expired - Lifetime JPH0723788B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | クリーンルーム構築システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0723788B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19827447C1 (de) * | 1998-06-19 | 1999-12-16 | Pcs Process Control Systems Gm | Anordnung zur Klimatisierung von Räumen |
| JP4408164B2 (ja) * | 2000-03-21 | 2010-02-03 | 株式会社竹中工務店 | クリーンルーム |
| JP6370425B2 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-08-08 | 鹿島建設株式会社 | 直膨コイルを使用した空気調和機 |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP2041979A patent/JPH0723788B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03244944A (ja) | 1991-10-31 |
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