JPH07218456A - Fluorescent x-ray analyzer - Google Patents

Fluorescent x-ray analyzer

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JPH07218456A
JPH07218456A JP2899494A JP2899494A JPH07218456A JP H07218456 A JPH07218456 A JP H07218456A JP 2899494 A JP2899494 A JP 2899494A JP 2899494 A JP2899494 A JP 2899494A JP H07218456 A JPH07218456 A JP H07218456A
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JP
Japan
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crystal
groove
arm
locking
frame
Prior art date
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Application number
JP2899494A
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Japanese (ja)
Inventor
Tateyuki Ootsuka
楯征 大塚
Shoji Kuwabara
章二 桑原
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a fluorescent X-ray analyzer equipped with a crystal exchanging device which can make intermittent revolving motions smoothly, is less in motor output, does not give much shocks when the device makes intermittent revolving motions, and can revolve in all directions for selecting crystals. CONSTITUTION:An X-ray fluorescence analyzer is equipped with a crystal exchanging device composed of a crystal fitting block fixed to a rotating shaft 3 supported by a frame 1, locking disc 8 which is fixed to the shaft 3 and provided with a V-groove 8a, positioning disc 9 provided with a position detecting groove 9a, arm 11 which is fitted with a locking bearing 12 put in the groove 8a and pivotally attached to the frame 1, solenoid 15 for driving the arm 11, spring 10, and sensors 14 and 16 for detecting the position detecting groove 9a of the disc 9.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、試料中の元素を定性
分析或いは定量分析する場合に用いられる蛍光X線分析
装置、特に間欠回転時の衝撃を緩和しモ−タ出力も小さ
くて済む結晶交換装置を備えた蛍光X線分析装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluorescent X-ray analyzer used when qualitatively or quantitatively analyzing an element in a sample, and particularly to a crystal that alleviates impact during intermittent rotation and requires a small motor output. The present invention relates to an X-ray fluorescence analyzer equipped with an exchange device.

【0002】[0002]

【従来の技術】試料にX線管からのX線を照射すると、
試料に含まれる原子から新たなX線が発生し、試料外面
に放射される。このX線は蛍光X線と呼ばれ、各元素特
有の波長をもっているためこの蛍光X線の波長を分析調
査すれば試料の定性分析が可能となる。また蛍光X線の
強度は元素濃度に比例するため元素特有の波長ごとにX
線量を測定すれば試料の定量分析を行うことが出来る。
図6はこのような蛍光X線分析装置の構成概要を示す図
である。即ち、回転可能な試料設置テ−ブル40に載せ
た試料Mを上下移動台41で上方に移動させ、該試料M
に一次X線フィルタ42を通してX線管43よりX線を
照射し、該試料Mより外へ放射された二次X線をソ−ラ
スリット44を通して分析用結晶Wに当てて各波長毎に
取り出し、波長分析及び線量測定により定性及び定量分
析を行うようになっている。このような蛍光X線分析装
置の1コンポ−ネントである分析結晶交換装置45は元
素に適合した結晶選定のため多数個の分析結晶Wが取付
けられ任意に選定使用出来るようになっている。
2. Description of the Related Art When a sample is irradiated with X-rays from an X-ray tube,
New X-rays are generated from the atoms contained in the sample and radiated to the outer surface of the sample. This X-ray is called a fluorescent X-ray and has a wavelength peculiar to each element. Therefore, if the wavelength of this fluorescent X-ray is analyzed and investigated, a qualitative analysis of the sample becomes possible. In addition, since the intensity of fluorescent X-rays is proportional to the element concentration, X
Quantitative analysis of the sample can be performed by measuring the dose.
FIG. 6 is a diagram showing an outline of the configuration of such a fluorescent X-ray analyzer. That is, the sample M placed on the rotatable sample setting table 40 is moved upward by the vertical moving table 41, and the sample M is moved upward.
Is irradiated with X-rays from the X-ray tube 43 through the primary X-ray filter 42, and the secondary X-rays emitted from the sample M to the outside are applied to the analysis crystal W through the solar slit 44 and extracted for each wavelength. Qualitative and quantitative analyzes are performed by wavelength analysis and dosimetry. The analytical crystal exchange device 45, which is one component of such a fluorescent X-ray analysis device, is equipped with a large number of analytical crystals W for the purpose of selecting a crystal suitable for the element, and can be arbitrarily selected and used.

【0003】図4は従来から使用されている蛍光X線分
析装置の結晶交換装置の平面図であり、5は正面図であ
る。この結晶交換装置は次のようにして間欠的に回転し
て結晶を選定するようになっている。即ち、回転軸21
に取付けられた傘歯車23より中間軸22を回転させ、
更に該中間軸22に取付けた歯車24を介してピン26
を固定しゼネバストップ機構の原動車となる歯車25を
回転駆動させる。そして該歯車25のピン26は従動車
28に一定角度間隔に設けられた溝28aに入り該従動
車28を一定角度回転させる。このときア−ム27に取
付けたロック(ストッパ)用円板29は前記従動車28
の外形面をすべり、前方の溝28aに嵌まり込んでロッ
クする。そして該ゼネバストップ機構の従動車28の回
転軸30に固定された結晶取付けブロック20はこの従
動車28と共に間欠的に回転するようになっている。
尚、31は前記原動車となる歯車25と共に回転するカ
ムであってベアリング33を介してア−ム27を駆動す
るようになっている。32は常時該ア−ム27に付勢力
を作用させるばねである。
FIG. 4 is a plan view of a crystal exchange device of a fluorescent X-ray analyzer which has been used conventionally, and 5 is a front view. This crystal exchanging device is adapted to intermittently rotate to select a crystal as follows. That is, the rotating shaft 21
Rotate the intermediate shaft 22 from the bevel gear 23 attached to
Further, a pin 26 is provided via a gear 24 attached to the intermediate shaft 22.
Is fixed and the gear 25, which serves as the prime mover of the Geneva top mechanism, is rotationally driven. Then, the pin 26 of the gear 25 enters a groove 28a provided at a constant angle interval in the driven wheel 28 to rotate the driven wheel 28 by a constant angle. At this time, the lock (stopper) disk 29 attached to the arm 27 is attached to the driven wheel 28.
The outer surface of the slippery slides and is fitted into the front groove 28a and locked. The crystal mounting block 20 fixed to the rotary shaft 30 of the driven wheel 28 of the Geneva top mechanism is adapted to rotate intermittently together with the driven wheel 28.
Reference numeral 31 is a cam that rotates together with the gear 25 that serves as the driving wheel, and drives the arm 27 via a bearing 33. Reference numeral 32 is a spring that constantly applies a biasing force to the arm 27.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記するようにな従来
の結晶交換装置は、ロック用円板29が常時ばね32
によってゼネバストップ機構の従動車28に押しつけら
れられることによる摩擦力のため入力用のモ−タの容量
が大きくなる、ロック用円板29が従動車28の溝2
8aに入るときの衝撃力が比較的大きく結晶の固定が弛
んだり外れたりすることがあるため計測不能という事態
が生じやすい、間欠回転運動の精度を保証するため従
動車28の溝28aとロック用円板29の当接部を手仕
上げ調整する必要があり、調整工数が多くかかる、ゼ
ネバストップ機構のロック機構をスム−ズに動作させる
ため一方向にしか回転させられないため結晶選定のため
最大ほぼ1回転衝撃を加えながら回転させる必要があ
り、設定時間が長くなり、従って全体の計測時間が長く
なる、等の問題がある。この発明はかかる課題に鑑みて
なされたものであり、その目的とするところは結晶を取
付けたブロックの間欠回転運動をスム−ズに行いモ−タ
出力や間欠回転時の衝撃も少なく、更にいずれの方向に
も回転可能にして結晶を選定することが出来る結晶交換
装置を提供することにある。
As described above, in the conventional crystal exchanging device, the locking disk 29 is always the spring 32.
Due to the frictional force caused by being pressed against the follower wheel 28 of the Geneva top mechanism, the capacity of the input motor increases, and the locking disk 29 has the groove 2 of the follower wheel 28.
Since the impact force when entering 8a is relatively large and the fixing of the crystal may loosen or come off, a situation in which measurement is impossible is likely to occur. For ensuring the accuracy of the intermittent rotation motion, the groove 28a of the driven wheel 28 and the lock It is necessary to adjust the abutting part of the disk 29 by hand, which requires a lot of adjustment man-hours. Since the lock mechanism of the Geneva top mechanism is operated smoothly, it can only be rotated in one direction, so it is the maximum for crystal selection. It is necessary to rotate while applying an impact of almost one rotation, which causes a problem that the set time becomes long and therefore the total measurement time becomes long. The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to smoothly perform intermittent rotation motion of a block on which a crystal is attached and to reduce motor output and impact during intermittent rotation. It is an object of the present invention to provide a crystal exchange device capable of rotating in the direction of and selecting a crystal.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】即ち、この発明は上記す
る課題を解決するために、試料に一次X線を照射し該試
料より外へ放射された二次X線を一定角度づつ回転して
交換可能に設置された分析用結晶に当て定性或いは定量
分析を行う蛍光X線分析装置において、駆動機構により
回転可能としてフレ−ムに軸架した回転軸に固定され複
数個の結晶を取付ける結晶取付けブロックと、前記回転
軸に固定され円周方向等角度間隔にV溝を設けたロック
用円板及び円周方向等角度間隔に位置検出溝を設けた位
置決め円板と、前記ロック用円板の溝に嵌まるロック用
ベアリング又はリングを先端部に取付けフレ−ムに一定
角度範囲回動自在に枢着されたア−ムと、該ア−ムを駆
動するソレノイドと、該ア−ムをロック用円板方向に付
勢させて前記フレ−ムに取付けたばねと、前記位置決め
円板に設けた位置検出溝を検出するセンサと、より成る
結晶交換装置を備えたことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention irradiates a sample with primary X-rays and rotates secondary X-rays emitted from the sample by a constant angle. In a fluorescent X-ray analyzer for performing a qualitative or quantitative analysis on interchangeable analytical crystals, a crystal mounting for fixing a plurality of crystals fixed to a rotary shaft mounted on a frame so as to be rotatable by a driving mechanism. A block, a locking disk fixed to the rotating shaft and provided with V grooves at equal angular intervals in the circumferential direction, a positioning disk provided with position detection grooves at equal angular intervals in the circumferential direction, and the locking disk. A lock bearing or ring that fits in a groove is attached to the tip end of the arm, which is pivotally attached to the frame so as to be rotatable in a fixed angle range, a solenoid for driving the arm, and the arm. The above-mentioned fla A spring attached to the arm, a sensor for detecting the position detection groove provided in the positioning disc, characterized in that with more made crystal changer.

【0006】[0006]

【作用】蛍光X線分析装置を上記手段とした時の作用に
ついて添付図(図1乃至図3)とその符号を用いて説明
する。尚、回転軸3の駆動機構となるDCモ−タ2、位
置検出溝9aを感知するセンサ14及び16、ア−ム1
1を駆動するソレノイド15、等は演算処理装置(CP
U)に接続し、それぞれ蛍光X線測定装置で定性分析或
いは定量分析する際動作させる。 一端をフレ−ム1に回動可能に枢着したア−ム11
は、通常ばね10で付勢されて該ア−ム先端部に取付け
たロック用ベアリング12がロック用円板8のV溝8a
に嵌まり込みロック状態となっている。 結晶Wを選定する際には、ソレノイド15をONとす
るとばね10の付勢力に抗してア−ム11が上がり、前
記ロック用ベアリング12はロック用円板8の溝8aか
ら外れ、回転軸3と該ロック用円板8及び位置決め円板
9等は回転可能となる。 センサ14及び16は位置決め円板9との組合せで常
時、現在位置の記憶と間欠移動量とを計測し、必要な結
晶を選定するまでDCモ−タ2を回転駆動させることが
出来る。 必要な結晶を選定すると、DCモ−タ2を停止させる
と共にソレノイド15をOFF動作させる。するとばね
10の付勢力によりア−ム11が引っ張られ先端部のロ
ック用ベアリング12がその位置のロック用円板8のV
溝8aに入り、回転軸3と該ロック用円板8及び位置決
め用円板9は回転不能となる。
The operation of the X-ray fluorescence analyzer as the above means will be described with reference to the accompanying drawings (FIGS. 1 to 3) and the reference numerals. A DC motor 2 that serves as a drive mechanism for the rotating shaft 3, sensors 14 and 16 that sense the position detection groove 9a, and an arm 1
The solenoid 15 for driving 1 is a processing unit (CP
U), and they are operated when performing qualitative analysis or quantitative analysis with a fluorescent X-ray measuring device. An arm 11 having one end rotatably pivotally attached to the frame 1.
Is normally urged by a spring 10 and attached to a locking bearing 12 at the tip of the arm so that a V groove 8a of a locking disk 8 is formed.
It is in the locked state. When selecting the crystal W, when the solenoid 15 is turned on, the arm 11 rises against the urging force of the spring 10, the lock bearing 12 is disengaged from the groove 8a of the lock disk 8, and the rotary shaft is rotated. 3, the lock disk 8, the positioning disk 9 and the like are rotatable. The sensors 14 and 16 can be used in combination with the positioning disc 9 to constantly measure the memory of the current position and the intermittent movement amount, and rotate the DC motor 2 until the required crystal is selected. When the required crystal is selected, the DC motor 2 is stopped and the solenoid 15 is turned off. Then, the arm 11 is pulled by the urging force of the spring 10, and the locking bearing 12 at the tip portion is V of the locking disk 8 at that position.
Entering the groove 8a, the rotating shaft 3, the locking disk 8 and the positioning disk 9 cannot rotate.

【0007】[0007]

【実施例】以下、この発明の具体的実施例について図面
を参照して説明する。図1はこの発明の蛍光X線分析装
置で用いる結晶交換装置の一部断面を含む平面図、図2
は正面図、図3は一部断面を含む側面図である。1はフ
レ−ムであって、回転軸3が軸架されて取付けられ、更
に該回転軸3には結晶取付けブロック5が回転可能にダ
ブルナット7により固定されている。該結晶取付けブロ
ック5はこの実施例では10角形で結晶Wを10個取付
けることが出来るようにしてあるが、取付け個数は増減
可能である。該フレ−ム1にはDCモ−タ2が取付けら
れプ−リ4と前記回転軸3の端部に巻き掛けたベルト6
で前記結晶取付けブロック5を取付けた回転軸3を回転
させることが出来るようになっている。尚、回転軸3の
回転駆動機構としてはベルト駆動ではなくギヤ駆動或い
はタイミングベルト駆動であっても良い。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view including a partial cross section of a crystal exchange device used in the X-ray fluorescence analyzer of the present invention.
Is a front view, and FIG. 3 is a side view including a partial cross section. Reference numeral 1 denotes a frame, on which a rotary shaft 3 is mounted by being mounted on a shaft, and a crystal mounting block 5 is rotatably fixed to the rotary shaft 3 by a double nut 7. In this embodiment, the crystal mounting block 5 is a decagon and is capable of mounting 10 crystals W, but the number of mounted crystals can be increased or decreased. A DC motor 2 is attached to the frame 1 and a belt 6 wound around the end of the pulley 4 and the rotating shaft 3 is provided.
The rotating shaft 3 having the crystal mounting block 5 mounted thereon can be rotated. The rotation drive mechanism of the rotary shaft 3 may be gear drive or timing belt drive instead of belt drive.

【0008】前記回転軸3には円周方向等角度間隔にV
溝8aを設けたロック用円板8が固定され、更に該ロッ
ク用円板8の先には円周方向等角度間隔に位置検出溝9
aを設けた位置決め円板9が固定されている。これらの
ロック用円板8と位置決め円板9とは位相関係を調整し
てから回転軸3に固定する。
The rotary shaft 3 has Vs at equal angular intervals in the circumferential direction.
A locking disc 8 provided with a groove 8a is fixed, and position detecting grooves 9 are provided at the tip of the locking disc 8 at equal angular intervals in the circumferential direction.
The positioning disk 9 provided with a is fixed. The phase relationship between the locking disk 8 and the positioning disk 9 is adjusted and then fixed to the rotary shaft 3.

【0009】また、前記フレ−ム1には一定角度回動自
在にア−ム11が枢着されているが、該ア−ム11は同
じくブラケット13を介して該フレ−ム1に取付けられ
たソレノイド15をON、OFFさせることにより一定
角度範囲回動させるようにしてある。該ア−ム11とフ
レ−ム1との間にはばね10が取付けられ、該ア−ム1
1には常に前記ロック用円板8方向に付勢力が作用させ
てある。該ア−ム11の先端部にはロック用ベアリング
12が取付けられているが、該ロック用ベアリング12
は前記ア−ム11を一定範囲回動させるソレノイド15
のON、OFF動作により前記回転軸に固定されたロッ
ク用円板8のV溝8aに嵌脱するようになっている。
尚、該ロック用ベアリング12はリングに換えても良
い。
An arm 11 is pivotally mounted on the frame 1 so as to be rotatable by a predetermined angle. The arm 11 is also attached to the frame 1 via a bracket 13. The solenoid 15 is turned on and off to rotate the solenoid 15 within a certain angle range. A spring 10 is mounted between the arm 11 and the frame 1, and the arm 1
A biasing force is always applied to 1 in the direction of the lock disk 8. A lock bearing 12 is attached to the tip of the arm 11, and the lock bearing 12
Is a solenoid 15 for rotating the arm 11 within a certain range.
It is adapted to be fitted into and removed from the V groove 8a of the lock disk 8 fixed to the rotary shaft by the ON and OFF operations of.
The lock bearing 12 may be replaced with a ring.

【0010】次に、前記フレ−ム1には二つのセンサ
(実施例では光センサ)14、16が取付けられ、これ
らのセンサ14、16は位置決め円板9で光を遮蔽する
ように取付けてある。そして該位置決め円板9に設けた
位置検出溝9aがこれらのセンサ14、16の位置に来
るとこれを感知するようになっている。この場合、一方
のセンサ14は原点用センサとし、他方のセンサ16は
結晶取付けブロック5に取付けた結晶選定用センサとす
る。前記センサ14及び16は結晶取付けブロック5に
取り付けた適当な分析用結晶を選定するためのものであ
ってその選定を位置決め円板9に設けた位置検出溝9a
を検出することによって行うものであるから、これらの
センサ14及び16の代わりに磁気センサ或いは超音波
センサ又は電気的変化を利用するもの或いは機械的接触
手段を用いるもの等他のセンサであっても良い。
Next, two sensors (optical sensors in the embodiment) 14 and 16 are attached to the frame 1, and these sensors 14 and 16 are attached so that the positioning disc 9 blocks light. is there. When the position detecting groove 9a provided on the positioning disk 9 reaches the positions of these sensors 14 and 16, they are detected. In this case, one sensor 14 is the origin sensor, and the other sensor 16 is the crystal selection sensor mounted on the crystal mounting block 5. The sensors 14 and 16 are for selecting an appropriate crystal for analysis mounted on the crystal mounting block 5, and the selection is made by the position detection groove 9a provided on the positioning disk 9.
Therefore, other sensors such as a magnetic sensor, an ultrasonic sensor, a sensor utilizing an electrical change, or a mechanical contact means may be used instead of these sensors 14 and 16. good.

【0011】この発明の蛍光X線分析装置の結晶交換装
置は以上のような構成からなり、回転軸3駆動用のDC
モ−タ2、原点位置を確認するセンサ14、使用する結
晶位置を感知したセンサ16でア−ム11を駆動するソ
レノイド15、等は演算処理装置(CPU)に接続し、
それぞれ蛍光X線測定装置で定性分析或いは定量分析す
る際動作させるが、次にその動作について説明する。 (1)一端をフレ−ム1に回動可能に枢着したア−ム1
1は、通常ばね10で付勢されて該ア−ム先端部に取付
けたロック用ベアリング12がロック用円板8のV溝8
aに嵌まり込みロック状態となっている。 (2)結晶Wを選定する際には、ソレノイド15をON
とするとばね10の付勢力に抗してア−ム11が上が
り、前記ロック用ベアリング12はロック用円板8の溝
8aから外れ、回転軸3と該ロック用円板8及び位置決
め円板9等は回転可能となる。 (3)センサ14及び16は位置決め円板9との組合せ
で常時、現在位置の記憶と間欠移動量とを計測し、必要
な結晶を選定するまでモ−タ2を回転駆動させることが
出来る。 (4)必要な結晶を選定すると、モ−タ2を停止させる
と共にソレノイド15をOFF動作させる。するとばね
10の付勢力によりア−ム11が引っ張られ先端部のロ
ック用ベアリング12がその位置のロック用円板8のV
溝8aに入り、回転軸3と該ロック用円板8及び位置決
め用円板9は回転不能となる。
The crystal exchange device of the X-ray fluorescence analyzer of the present invention has the above-mentioned structure, and is a DC for driving the rotating shaft 3.
The motor 2, the sensor 14 for confirming the origin position, the solenoid 15 for driving the arm 11 with the sensor 16 for detecting the crystal position to be used, etc. are connected to the arithmetic processing unit (CPU),
The fluorescent X-ray measuring device is operated when performing qualitative analysis or quantitative analysis. The operation will be described below. (1) The arm 1 whose one end is rotatably pivotally attached to the frame 1.
1, a lock bearing 12 is normally biased by a spring 10 and attached to the tip of the arm.
It is fitted in a and is in a locked state. (2) Turn on the solenoid 15 when selecting the crystal W
Then, the arm 11 rises against the urging force of the spring 10, the locking bearing 12 is disengaged from the groove 8a of the locking disk 8, and the rotary shaft 3, the locking disk 8 and the positioning disk 9 are moved. Etc. can be rotated. (3) The sensors 14 and 16 can be combined with the positioning disk 9 to constantly measure the memory of the current position and the intermittent movement amount, and the motor 2 can be rotationally driven until the required crystal is selected. (4) When the required crystal is selected, the motor 2 is stopped and the solenoid 15 is turned off. Then, the arm 11 is pulled by the urging force of the spring 10, and the locking bearing 12 at the tip portion is V of the locking disk 8 at that position.
Entering the groove 8a, the rotating shaft 3, the locking disk 8 and the positioning disk 9 cannot rotate.

【0012】[0012]

【発明の効果】この発明の蛍光X線分析装置は以上詳述
したような構成としたので、結晶取付けブロックを回転
駆動するトルクは非常に小さくすることが出来且つ駆動
モ−タも小型軽量とすることが出来る。また、ロック用
のア−ムの動作も必要最小限となりばねの付勢力も小さ
することが出来る。従って結晶取付けブロックをロック
させるる際のロック用ベアリングがロック用円板のV溝
に入る時の衝撃も小さくすることが出来、結晶取付けブ
ロックの間欠回転駆動もスム−ズとなる。更に、ソレノ
イドをONとする際の衝撃も減少させることが出来る。
また、センサにより原点位置や選定する結晶の位置を検
出することが出来るのでいずれの方向にも回転可能にし
て結晶を選定することが出来る結晶交換装置を提供する
ことが出来る。
Since the X-ray fluorescence analyzer of the present invention is constructed as described above in detail, the torque for rotationally driving the crystal mounting block can be made extremely small and the driving motor can be made compact and lightweight. You can do it. Further, the movement of the locking arm is minimized, and the biasing force of the spring can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the impact when the locking bearing enters the V groove of the locking disk when locking the crystal mounting block, and the intermittent rotation drive of the crystal mounting block becomes smooth. Furthermore, the impact when the solenoid is turned on can be reduced.
Moreover, since the origin position and the position of the crystal to be selected can be detected by the sensor, it is possible to provide a crystal exchanging device capable of rotating in any direction and selecting the crystal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の蛍光X線分析装置で用いる結晶交換
装置の一部断面を含む平面図である。
FIG. 1 is a plan view including a partial cross section of a crystal exchange device used in an X-ray fluorescence analyzer of the present invention.

【図2】この発明の蛍光X線分析装置で用いる結晶交換
装置の一部断面を含む正面図である。
FIG. 2 is a front view including a partial cross section of a crystal exchange device used in the X-ray fluorescence analyzer of the present invention.

【図3】この発明の蛍光X線分析装置で用いる結晶交換
装置の一部断面を含む側面図である。
FIG. 3 is a side view including a partial cross section of a crystal exchange device used in the X-ray fluorescence analyzer of the present invention.

【図4】従来から使用されている蛍光X線分析装置の結
晶交換装置の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a crystal exchange device of a conventional fluorescent X-ray analysis device.

【図5】従来から使用されている蛍光X線分析装置の結
晶交換装置の正面図である。
FIG. 5 is a front view of a crystal exchange device of a fluorescent X-ray analysis device which has been conventionally used.

【図6】蛍光X線分析装置の概要を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an outline of an X-ray fluorescence analyzer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フレ−ム 2 DCモ−タ 3 回転軸 5 結晶取付けブロ
ック 8 ロック用円板 8a V溝 9 位置決め円板 9a 位置検出溝 10 ばね 11 ア−ム 12 ロック用ベアリング 15 ソレノイド 14、16 センサ
1 Frame 2 DC Motor 3 Rotating Shaft 5 Crystal Mounting Block 8 Disk for Locking 8a V Groove 9 Positioning Disk 9a Position Detection Groove 10 Spring 11 Arm 12 Lock Bearing 15 Solenoid 14, 16 Sensor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試料に一次X線を照射し該試料より外へ
放射された二次X線を一定角度づつ回転して交換可能に
設置された分析用結晶に当て定性或いは定量分析を行う
蛍光X線分析装置において、駆動機構により回転可能と
してフレ−ムに軸架した回転軸に固定され複数個の結晶
を取付ける結晶取付けブロックと、前記回転軸に固定さ
れ円周方向等角度間隔にV溝を設けたロック用円板及び
円周方向等角度間隔に位置検出溝を設けた位置決め円板
と、前記ロック用円板の溝に嵌まるロック用ベアリング
又はリングを先端部に取付けフレ−ムに一定角度範囲回
動自在に枢着されたア−ムと、該ア−ムを駆動するソレ
ノイドと、該ア−ムをロック用円板方向に付勢させて前
記フレ−ムに取付けたばねと、前記位置決め円板に設け
た位置検出溝を検出するセンサと、より成る結晶交換装
置を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
1. Fluorescence for qualitative or quantitative analysis by irradiating a sample with primary X-rays, rotating secondary X-rays radiated from the sample by a fixed angle, and applying the crystals to an exchangeable analytical crystal for exchange. In an X-ray analyzer, a crystal mounting block fixed to a rotary shaft rotatably mounted on a frame so as to be rotatable by a driving mechanism, and a V-groove fixed to the rotary shaft at equal angular intervals in the circumferential direction. The locking disk provided with the positioning disk and the positioning disk provided with position detection grooves at equal angular intervals in the circumferential direction, and the locking bearing or ring that fits in the groove of the locking disk are attached to the tip end of the frame. An arm pivotally attached in a fixed angle range, a solenoid for driving the arm, and a spring attached to the frame by urging the arm toward the locking disc. Detects the position detection groove provided on the positioning disc A fluorescent X-ray analysis device comprising a sensor and a crystal exchange device.
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CN109490348A (en) * 2019-01-21 2019-03-19 长沙开元仪器有限公司 XRF detector and standard specimen calibrating installation for XRF detector

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