JPH0721541Y2 - Setter for firing - Google Patents

Setter for firing

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JPH0721541Y2
JPH0721541Y2 JP10238790U JP10238790U JPH0721541Y2 JP H0721541 Y2 JPH0721541 Y2 JP H0721541Y2 JP 10238790 U JP10238790 U JP 10238790U JP 10238790 U JP10238790 U JP 10238790U JP H0721541 Y2 JPH0721541 Y2 JP H0721541Y2
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setter
loop
firing
fired
plane
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恒一 小林
文和 戸田
智彦 松永
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Kobe Steel Ltd
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Kobe Steel Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は焼成炉内において被焼成品と支持体との反応を
回避するために両者の間に装入される焼成用セッターに
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial application] The present invention relates to a firing setter that is inserted between a product to be fired and a support in a firing furnace in order to avoid a reaction between them.

[従来の技術] 電子部品に使用されるフェライト等の磁性材料は、粉末
冶金法により製造されている。以下に、フェライトの場
合について、その製造方法を説明する。
[Prior Art] Magnetic materials such as ferrite used for electronic parts are manufactured by powder metallurgy. The manufacturing method of ferrite will be described below.

先ず、例えばFe2O3(酸化鉄)、BaCO3及びSrCO3等を所
定の割合で混合した後、この混合原料を仮焼成する。
First, for example, Fe 2 O 3 (iron oxide), BaCO 3 and SrCO 3 are mixed at a predetermined ratio, and then this mixed raw material is pre-baked.

次に、この仮焼成した混合原料を粉砕して粉末状にした
後、この粉末状原料(以下、仮焼粉という)を所定の形
状に成形する。この場合に、乾式加圧成形を行なうため
に、粘結剤及び潤滑剤として、ポリビニルアルコール
(PVA)、カルボキシメチルセルロース(CMC)及びポリ
エチレングリコール等の有機化合物を前記仮焼粉に添加
して団粒を調整する。
Next, after the calcinated mixed raw material is pulverized into a powder, the powdered raw material (hereinafter referred to as calcinated powder) is molded into a predetermined shape. In this case, in order to perform dry pressure molding, polyvinyl alcohol (PVA), carboxymethyl cellulose (CMC), polyethylene glycol, and other organic compounds are added to the calcined powder as binders and lubricants to form aggregates. Adjust.

次いで、この成形体を焼結炉内で焼結して焼結品を得
る。その後、この焼結品に研磨を施す。特に、フェライ
トの焼成収縮率は10乃至20%になるので、製品の寸法公
差が厳しいものについては、砥粒又はダイヤモンド砥石
による仕上げを行なう。これにより、フェライト製品が
完成する。
Next, this molded body is sintered in a sintering furnace to obtain a sintered product. Then, the sintered product is polished. In particular, since the firing shrinkage of ferrite is 10 to 20%, if the product has strict dimensional tolerance, finish with abrasive grains or a diamond grindstone. This completes the ferrite product.

焼成炉においては、下記に示す反応が進行する。The following reactions proceed in the firing furnace.

BaCO3+6Fe2O3 →BaO・6Fe2O3+CO2↑ …(1) SrCO3+6Fe2O3 →SrO・6Fe2O3+CO2↑ …(2) なお、第2式に示す反応は、約700℃以上の温度で行な
われる。
BaCO 3 + 6Fe 2 O 3 → BaO ・ 6Fe 2 O 3 + CO 2 ↑… (1) SrCO 3 + 6Fe 2 O 3 → SrO ・ 6Fe 2 O 3 + CO 2 ↑… (2) The reaction shown in the second equation is It is performed at a temperature of about 700 ° C or higher.

現在、フェライト等の磁性材料は、その要求される性能
に応じて、高純度の微粉末が使用されている。例えば、
主成分である酸化鉄の粒度は0.5乃至1.0μmと極めて細
かくなっている。また、フェライト製品の磁性特性は主
成分元素の状態、微量の添加物及び焼結工程中の雰囲気
により著しく変化する。例えば、透磁率の経年変化特性
も、焼結工程中の雰囲気を制御することにより、所望の
特性にすることができる。
Currently, for magnetic materials such as ferrite, high-purity fine powder is used according to the required performance. For example,
The particle size of iron oxide, which is the main component, is extremely fine, 0.5 to 1.0 μm. Also, the magnetic properties of ferrite products change significantly depending on the state of main component elements, trace amounts of additives, and the atmosphere during the sintering process. For example, the secular change characteristic of magnetic permeability can also be made to have a desired characteristic by controlling the atmosphere during the sintering process.

焼成工程においては、仮焼粉を成形する際に使用した結
合剤(バインダー)を完全に燃焼させる必要があり、こ
のため焼結炉内の酸素濃度を管理している。通常、この
バインダー抜け(燃焼)の不均一により、焼成品に変形
が発生する。
In the firing step, it is necessary to completely burn the binder (binder) used when forming the calcined powder, and therefore the oxygen concentration in the sintering furnace is controlled. Usually, deformation of the fired product occurs due to the non-uniformity of binder loss (combustion).

バインダーとして使用される有機化合物は、約400℃の
温度で分解し始め、CO2、CO及びH2O等を放出し、その
結果、素地に遊離炭素が残存する。そして、酸素が素地
の気孔内に浸透できる状態になると、この遊離炭素が燃
焼し始める。この場合に、炭素を燃焼させるためには、
素地内に十分な酸素を供給する必要がある。また、炭素
の燃焼は素地の焼結が開始する前に終了している必要が
ある。即ち、被焼成品を取り巻く雰囲気中には、十分な
酸素が存在していることが必要である。特に、フェライ
トのように、その焼成温度での収縮率が大きいものにつ
いては、雰囲気中の酸素濃度が不均一であると、焼結品
に変形が発生する。従来は、変形が発生した場合は、前
述の如く、後工程において研磨等の研削加工を施してい
る。
The organic compound used as a binder starts to decompose at a temperature of about 400 ° C. and releases CO 2 , CO, H 2 O and the like, and as a result, free carbon remains on the substrate. Then, when the oxygen can penetrate into the pores of the substrate, the free carbon starts to burn. In this case, to burn carbon,
It is necessary to supply sufficient oxygen into the substrate. Also, the combustion of carbon must be finished before the sintering of the green body begins. That is, it is necessary that sufficient oxygen be present in the atmosphere surrounding the product to be fired. In particular, with respect to ferrite, which has a large shrinkage rate at the firing temperature, if the oxygen concentration in the atmosphere is not uniform, the sintered product is deformed. Conventionally, when deformation occurs, as described above, a grinding process such as polishing is performed in a post process.

現在、フェライトの焼結工程に使用される焼成炉として
は、単独炉、連続炉及び半連続炉等が使用されている。
これらの焼結炉中に所定の形状に成形した被焼成品を装
入して、焼成している。この場合に、フェライトの被焼
成品は、支持体上に載置され、炉内に装入されて、1000
乃至1300℃の高温雰囲気に曝される。このとき、被焼成
品を支持している支持体もこの高温雰囲気に曝される。
従って、高温において強度が低くなりフェライトの被焼
成品を支持することができなくなるような材質からなる
支持体は使用することができない。通常、支持体として
は、Al2O3及びSiO2からなるセラミック板が使用されて
いる。
At present, a single furnace, a continuous furnace, a semi-continuous furnace, and the like are used as a firing furnace used in the ferrite sintering process.
An article to be fired formed into a predetermined shape is loaded into these sintering furnaces and fired. In this case, the product to be fired of ferrite is placed on a support, charged into a furnace, and
Exposed to a high temperature atmosphere of 1300 ℃. At this time, the support supporting the article to be fired is also exposed to this high temperature atmosphere.
Therefore, it is not possible to use a support made of a material that has a low strength at high temperature and cannot support a fired product of ferrite. Usually, a ceramic plate made of Al 2 O 3 and SiO 2 is used as the support.

ところで、焼結工程において被焼成品が棚板等の支持体
の成分と反応して焼成不良が発生することがある。この
ため、支持体と被焼成品との間にセッターを介装するこ
とがある。この場合に、従来は、反応性が低いことか
ら、ZrO2からなるセラミック板をセッターとして使用し
ている。
By the way, in the sintering step, the product to be fired may react with the components of the support such as a shelf plate, resulting in defective firing. Therefore, a setter may be interposed between the support and the product to be fired. In this case, a ceramic plate made of ZrO 2 is conventionally used as a setter because it has low reactivity.

[考案が解決しようとする課題] しかしながら、ZrO2からなるセッターには材料コストが
高いという問題点がある。従って、低コストのセッター
が要望されている。
[Problems to be solved by the invention] However, the setter made of ZrO 2 has a problem that the material cost is high. Therefore, a low cost setter is desired.

本考案はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
材料コストが低い焼成用セッターを提供することを目的
とする。
The present invention has been made in view of such problems,
An object of the present invention is to provide a firing setter having a low material cost.

[課題を解決するための手段] 本考案に係る焼成用セッターは、セラミックの線状体を
平面上にループ状に成形しつつこのループ中心を相互に
ずらせてループ列を形成し、このループ列を前記平面に
沿う方向に配置して構成されたループ層を有し、前記平
面に直交する方向に前記ループ層を1乃至3層配置した
ことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] A firing setter according to the present invention forms a linear row of ceramics in a loop shape on a plane and shifts the loop centers from each other to form a loop row. Is arranged in a direction along the plane, and one to three layers of the loop layer are arranged in a direction orthogonal to the plane.

[作用] 本考案においては、セッターがループ状のセラミック線
状体を組み合わせて構成されている。従って、本考案の
セッターは従来の板状のセッターに比して材料コストが
低い。
[Operation] In the present invention, the setter is configured by combining the loop-shaped ceramic linear bodies. Therefore, the material cost of the setter of the present invention is lower than that of the conventional plate-shaped setter.

セッターは棚板等の支持体の上に載置され、被焼成物と
支持体との間に介装されるものであるため、強度は要求
されない。即ち、セッターはハンドリング時に必要な強
度さえ有していれはよい。従って、ループ層の層数を4
層以上にすると、無駄であるばかりでなく材料コストの
上昇を招来する。このため、ループ層の層数は1乃至3
層とする。
Since the setter is placed on a support such as a shelf board and is interposed between the material to be fired and the support, strength is not required. That is, the setter need only have the strength required for handling. Therefore, the number of loop layers is 4
If the number of layers is more than one, not only is it wasteful, but also the material cost is increased. Therefore, the number of loop layers is 1 to 3.
Layer.

また、本考案に係るセッターはセラミックにより形成さ
れているため、耐高温性が優れている。なお、セラミッ
クとしては、例えば比較的安価であるコージェライトを
使用することができる。この場合に、コージェライトの
組成は、Al2O3含有量が30乃至40重量%、SiO2含有量が4
5乃至57重量%、MgO含有量が10乃至17重量%であること
が好ましい。Al2O3、SiO2及びMgOの含有量がこれらの範
囲を外れると、セラミック線状体の膨張率及び熱伝導率
が劣化して、セッターとしての性能が低下する。
Further, since the setter according to the present invention is made of ceramic, it has excellent high temperature resistance. As the ceramic, for example, cordierite, which is relatively inexpensive, can be used. In this case, the composition of cordierite has an Al 2 O 3 content of 30 to 40% by weight and a SiO 2 content of 4%.
It is preferable that the content is 5 to 57% by weight and the MgO content is 10 to 17% by weight. If the contents of Al 2 O 3 , SiO 2 and MgO deviate from these ranges, the expansion coefficient and thermal conductivity of the ceramic linear body deteriorate, and the performance as a setter deteriorates.

更に、本考案のセッターを構成するループ形状の線状体
は、線径が0.8乃至3.0mmの場合にかさ比重が0.8乃至1.2
mmであることが好ましい。このときの気孔率は61.5乃至
42%である。かさ比重が0.8未満の場合は、セッターの
強度が低く、ハンドリング時に破損等の不都合が発生し
やすい。一方、かさ比重が1.2を超えると、通気性が劣
化して、セッターの性能を著しく損なう酸化の偏りが発
生する。
Further, the loop-shaped linear body that constitutes the setter of the present invention has a bulk specific gravity of 0.8 to 1.2 when the wire diameter is 0.8 to 3.0 mm.
mm is preferred. The porosity at this time is 61.5 to
42%. If the bulk specific gravity is less than 0.8, the strength of the setter is low and problems such as damage during handling are likely to occur. On the other hand, when the bulk specific gravity exceeds 1.2, the air permeability is deteriorated, and unevenness of oxidation occurs, which significantly impairs the performance of the setter.

[実施例] 次に、本考案の実施例について添付の図面を参照して説
明する。
[Embodiment] Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

第1図は本考案の実施例に係るセッターを示す平面図で
ある。
FIG. 1 is a plan view showing a setter according to an embodiment of the present invention.

本実施例のセッター12は、以下のようにして製造され
る。先ず、混練されたセラミック材料を押出機のノズル
から線状に押出し、この線状体10をノズルを旋回させつ
つ平面上に載置すると共に、ノズルを第1図の矢印で示
す方向に直線的に移動させる。これにより、このループ
中心が前記矢印方向に相互にずれた複数個のループが連
鎖した形状のループ列11が得られる。このようにして、
一平面上に沿って複数個のループ列11をその列方向を相
互に平行にして配置した後、その上に別の複数個のルー
プ列11を同様にして積層配置する。この場合に、上層の
ループ列は、下層のループ列に対して、その各ループ中
心が列方向に直交する方向にループの半径分だけずれた
位置になるように下層のループ列上に載置していく。ま
た、積層数は3層以下である。このようにして、ループ
列11がその配置平面に沿う方向及びそれに直交する方向
(積層方向)に配置された所定の骨格形状が成形され
る。その後、このセラミック構造体を所定の形状に裁断
し、乾燥した後焼成することによって、所定の形状のセ
ッター12が得られる。
The setter 12 of this embodiment is manufactured as follows. First, the kneaded ceramic material is extruded linearly from the nozzle of the extruder, the linear member 10 is placed on a flat surface while rotating the nozzle, and the nozzle is linearly moved in the direction indicated by the arrow in FIG. Move to. As a result, a loop row 11 having a shape in which a plurality of loops whose chain centers are displaced from each other in the direction of the arrow is chained is obtained. In this way
After arranging a plurality of loop rows 11 along one plane with their row directions parallel to each other, another plurality of loop rows 11 are similarly laminated and arranged. In this case, the loop row of the upper layer is placed on the loop row of the lower layer so that the center of each loop is shifted by the radius of the loop in the direction orthogonal to the row direction with respect to the loop row of the lower layer. I will do it. Further, the number of laminated layers is 3 or less. In this way, a predetermined skeleton shape is formed in which the loop rows 11 are arranged in the direction along the arrangement plane and the direction (stacking direction) orthogonal thereto. After that, the ceramic structure is cut into a predetermined shape, dried, and then fired to obtain the setter 12 having a predetermined shape.

本実施例においては、線状体10はコージェライトにより
形成されている。このコージェライトの組成を下記第1
表に示す。また、このコージェライトの特性を下記第2
表に示す。但し、第1表に示す数値の単位は重量%であ
る。
In this embodiment, the linear body 10 is made of cordierite. The composition of this cordierite is as follows:
Shown in the table. In addition, the characteristics of this cordierite are
Shown in the table. However, the unit of the numerical values shown in Table 1 is% by weight.

本実施例においては、このようにループ状のセラミック
線状体を平面上に配列すると共に、厚さ方向にも配列し
た高気孔率の構造を有するため、ZrO2板からなる従来の
セッターに比して、材質が同一の場合は材料コストが約
1/2となり、他の材質で構成した場合は約1/100と極めて
低くなる。また、雰囲気中の酸素が被焼成品の下方から
も供給されるため、焼成不良を抑制することができる。
なお、本実施例に係るセッターを使用し、炉内温度を95
0℃にして被焼成品を焼成した。その結果、セッターの
破損等の不都合は発生せず、また焼成後の焼成品の状態
は良好であった。
In this embodiment, the loop-shaped ceramic linear bodies are arranged on the plane in this manner, and since the structure has a high porosity arranged in the thickness direction, the structure is higher than that of a conventional setter made of a ZrO 2 plate. And if the materials are the same, the material cost is about
It becomes 1/2, which is extremely low, about 1/100 when composed of other materials. Further, since oxygen in the atmosphere is also supplied from below the article to be fired, firing failure can be suppressed.
In addition, using the setter according to the present embodiment, the temperature in the furnace is 95
The article to be fired was fired at 0 ° C. As a result, no inconvenience such as breakage of the setter occurred, and the state of the fired product after firing was good.

[考案の効果] 以上説明したように本考案によれば、所定の線径のセラ
ミック線状体を3層以下の層数で配置してセッターを構
成するから、従来に比して材料コストを著しく低減する
ことができる。また、通気性が優れているため焼成不良
を抑制することができるという効果もある。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the setter is configured by arranging the ceramic linear bodies having a predetermined wire diameter in the number of layers of 3 or less, so that the material cost can be reduced as compared with the conventional one. It can be significantly reduced. Further, since it has excellent air permeability, it also has an effect of suppressing firing failure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案の実施例に係るセッターを示す平面図で
ある。 10;線状体、11;ループ列、12,;セッター
FIG. 1 is a plan view showing a setter according to an embodiment of the present invention. 10; linear body, 11; loop row, 12 ,; setter

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】セラミックの線状体を平面上でループ状に
成形しつつこのループ中心を相互にずらせてループ列を
形成し、このループ列を前記平面に沿う方向に配置して
構成されたループ層を有し、前記平面に直交する方向に
前記ループ層を1乃至3層配置したことを特徴とする焼
成用セッター。
1. A structure in which a ceramic linear body is formed into a loop shape on a plane and the loop centers are offset from each other to form a loop row, and the loop row is arranged in a direction along the plane. A firing setter having a loop layer, wherein one to three layers of the loop layer are arranged in a direction orthogonal to the plane.
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