JPH0719941B2 - Ceramic composite copper clad laminate and its manufacturing method - Google Patents

Ceramic composite copper clad laminate and its manufacturing method

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JPH0719941B2 JP14023490A JP14023490A JPH0719941B2 JP H0719941 B2 JPH0719941 B2 JP H0719941B2 JP 14023490 A JP14023490 A JP 14023490A JP 14023490 A JP14023490 A JP 14023490A JP H0719941 B2 JPH0719941 B2 JP H0719941B2
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【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、プリント配線板に用いる銅張積層板及びその
製造方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a copper clad laminate used for a printed wiring board and a method for manufacturing the same.

(従来の技術) 従来、プリント配線板には、紙基材フェノール樹脂積層
板、ガラス布基材エポキシ樹脂積層板、ガラス布基材ポ
リイミド樹脂積層板などが主に用いられてきた。しか
し、最近電子機器の高出力化、小型化の進歩に伴い、プ
リント基板材料にも寸法安定性を向上させるために熱膨
張係数の低減、耐熱性、耐トラッキング性等の向上が強
く望まれている。
(Prior Art) Conventionally, a paper-based phenol resin laminated plate, a glass cloth-based epoxy resin laminated plate, a glass cloth-based polyimide resin laminated plate, etc. have been mainly used for a printed wiring board. However, with the recent progress in higher output and smaller size of electronic devices, it is strongly desired to reduce the coefficient of thermal expansion, heat resistance and tracking resistance of printed circuit board materials in order to improve dimensional stability. There is.

このような要求に対して従来のガラス布基材エポキシ樹
脂積層板などのプラスチック基板は、熱膨張係数、耐ト
ラッキング性、耐熱性などの点で劣るために高密度実装
化に対応するためには改良が必要である。これに対して
アルミナをはじめとするセラミック基板は、これらの要
求を満たすが、加工性が悪い、基板の大型化ができない
などの欠点を有する。
To meet such demands, conventional plastic substrates such as glass cloth-based epoxy resin laminates are inferior in terms of thermal expansion coefficient, tracking resistance, heat resistance, etc. Improvement is needed. On the other hand, ceramic substrates such as alumina satisfy these requirements, but have drawbacks such as poor workability and inability to increase the size of the substrate.

このような状況から、本発明者らは、従来のプラスチッ
ク基板とセラミック基板を複合化することを考え、セラ
ミックコート積層板を提案した(特開昭62-152742)。
これは、銅箔と繊維強化プラスチック層との間にアルミ
ナなどのセラミック層を設けたものである。従来のプラ
スチック基板に比べて熱膨張係数が低いために寸法安定
性が良い、熱間での銅箔引きはがし強さ、表面強度など
の耐熱性にすぐれる、あるいは耐トラッキング性、耐ア
ーク性にすぐれるなどの特長があり、セラミック基板で
は不可能であるが、ドリル加工も可能である。
Under these circumstances, the present inventors have proposed a ceramic-coated laminated plate in consideration of compounding a conventional plastic substrate and a ceramic substrate (Japanese Patent Laid-Open No. 62-152742).
This is a ceramic layer such as alumina provided between the copper foil and the fiber reinforced plastic layer. Dimensional stability is good because it has a lower coefficient of thermal expansion than conventional plastic substrates, it has excellent heat resistance such as peeling strength and surface strength of copper foil during hot work, or tracking resistance and arc resistance. It has features such as superiority, and although it is not possible with a ceramic substrate, drilling is also possible.

(発明が解決しようとする課題) しかし、このような特長を有するセラミックコート積層
板の大きな欠点は、このドリル加工性が従来のプラスチ
ック基板に比べて劣る点であった。すなわち、φ1.0mm
程度ならば超硬ドリルで、ドリルの摩耗は大きいものの
加工可能であるが、φ0.3mm程度の小径になるとドリル
が折損しやすい。例えばセラミック層をアルミナとして
厚さ100μmにすると約200穴程度でドリルが折損する。
したがって小径穴を有するプリント配線板に適用するに
は問題があり、寸法安定性、耐トラッキング性、耐熱性
などの特徴を有するものの、用途が限定されてしまう。
(Problems to be Solved by the Invention) However, a major drawback of the ceramic-coated laminate having such features is that the drill workability is inferior to that of a conventional plastic substrate. That is, φ1.0 mm
If it is about a degree, it can be processed with a carbide drill even though the wear of the drill is great, but if the diameter is about 0.3 mm, the drill is easily broken. For example, if the ceramic layer is made of alumina and has a thickness of 100 μm, the drill will break in about 200 holes.
Therefore, there is a problem in applying it to a printed wiring board having a small diameter hole, and although it has characteristics such as dimensional stability, tracking resistance, and heat resistance, its use is limited.

本発明はこの欠点を改良し、ドリル加工性が改良される
しかも寸法安定性、耐トラッキング性、耐熱性などの特
長を有するセラミック複合銅張積層板を提供するもので
ある。
The present invention provides a ceramic composite copper-clad laminate having the advantages of dimensional stability, tracking resistance, heat resistance, etc., in which this drawback is improved and drill workability is improved.

(課題を解決するための手段) すなわち、本発明は銅箔と織布プリプレグ層との間にコ
ージェライトを主体とする溶射層を設けて熱圧成形し、
銅箔と繊維強化プラスチック層との間コージェライトを
主体とする溶射層を有する構造のセラミック複合銅張積
層板を特徴とする。また、その製造法は、銅箔の片面に
コージェライトを主体とするセラミックを溶射してコー
ジェライトを主体とする溶射層を形成し、該コージェラ
イトを主体とする溶射層と接するように織布プリプレグ
を積層、載置して熱圧成形するものである。
(Means for Solving the Problems) That is, the present invention provides a thermal spraying layer mainly composed of cordierite between a copper foil and a woven prepreg layer, and thermocompression molding,
A ceramic composite copper-clad laminate having a structure having a thermal spray layer mainly composed of cordierite between a copper foil and a fiber-reinforced plastic layer is characterized. Further, the manufacturing method is such that a ceramic mainly composed of cordierite is sprayed on one surface of a copper foil to form a thermal sprayed layer mainly composed of cordierite, and the woven cloth is in contact with the thermal sprayed layer mainly composed of cordierite. The prepreg is laminated, placed and thermocompressed.

銅箔と繊維強化プラスチック層との間に設けるセラミッ
クをコージェライトとしたのが、コージェライトがアル
ミナに比べて軟質でしかも熱膨張係数が低いためであ
る。コージェライトは、その組成は、2MgO・2Al2O3・5SiO
2でその熱膨張係数は0.5〜2.0×10-6/℃である。すな
わち、熱膨張係数の低いコージェライト層を設けること
によって熱膨張係数の高い繊維強化プラスチック層の熱
膨張を抑えることができ、結果的に積層板の熱膨張係数
が低くなり、寸法安定性が向上するのである。また、セ
ラミック層としてアルミナを用いた場合は、アルミナが
硬質で加工性が悪いために、ドリル加工時にドリルの摩
耗が著しく、したがってドリルが折損しやすい。特にド
リルが小径になるとこの現象が顕著である。ところが、
セラミック層としてアルミナに代えてコージェライトを
用いると、コージェライトはアルミナに比べて軟質のた
め、ドリル加工時のドリル摩耗は少なくなり、ドリルは
折損しにくくなる。ちなみにアルミナのビッカーズ硬さ
は約2,5000であるのに対して、コージェライトでは約70
0〜800である。
The ceramic provided between the copper foil and the fiber reinforced plastic layer is cordierite because cordierite is softer than alumina and has a low coefficient of thermal expansion. The composition of cordierite is 2MgO ・ 2Al 2 O 3・ 5SiO.
2 , the coefficient of thermal expansion is 0.5 to 2.0 × 10 -6 / ° C. That is, by providing a cordierite layer having a low coefficient of thermal expansion, it is possible to suppress the thermal expansion of the fiber-reinforced plastic layer having a high coefficient of thermal expansion, and as a result, the coefficient of thermal expansion of the laminated sheet becomes low and dimensional stability is improved. To do. Further, when alumina is used for the ceramic layer, the alumina is hard and the workability is poor, so that the drill is significantly worn during drilling, and therefore the drill is easily broken. This phenomenon is especially noticeable when the drill has a small diameter. However,
When cordierite is used in place of alumina as the ceramic layer, cordierite is softer than alumina, and therefore wear on the drill during drilling is reduced and the drill is less likely to break. By the way, the Vickers hardness of alumina is about 2500, while that of cordierite is about 70.
0 to 800.

また、その製造法としてコージェライトを銅箔に溶射し
てコージェライト溶射層を形成し、これを織布プリプレ
グとともに熱圧成形して一体化する方法を採用したの
は、次のような利点からである。
In addition, as a manufacturing method thereof, a method of spraying cordierite on a copper foil to form a cordierite sprayed layer and thermocompressing and integrating this with a woven fabric prepreg is adopted because of the following advantages. Is.

溶射とは、プラズマ溶射法、ガス溶射法などの一般のセ
ラミック溶射に用いられる溶射法が適用できるが、セラ
ミックの粉末を熱で溶融させ、高速で被溶射体に衝突さ
せて、固着させるものである。したがって得られる溶射
層は、溶射材料であるセラミック粉末のへん平な粒子が
たい積した構造で5〜20体積パーセントの気孔を有す
る。一般式に、この気孔の存在は、電気絶縁用途には大
きな欠点になる。すなわち、気孔が吸湿しやすく、吸湿
時の絶縁特性が低下するのである。ところが、本発明の
製造法においては、この気孔の存在が、逆に大きな利点
になる。というのは、銅箔にコージェライトを溶射して
コージェライト溶射層を成形し、これに織布プリプレグ
を載置して熱圧成形すると、織布プリプレグの樹脂が熱
圧成形時に軟化、溶融し、コージェライト溶射層の気孔
に含浸する。その結果、コージェライト溶射層の気孔は
封孔され、吸湿時の絶縁特性の低下の問題は解決され
る。
The thermal spraying can be applied by a general thermal spraying method such as a plasma spraying method or a gas spraying method, but it is a method of melting ceramic powder by heat and colliding it with a sprayed object at a high speed to fix it. is there. Thus, the resulting sprayed layer has a structure in which flat particles of ceramic powder, which is a spraying material, are deposited and has 5 to 20 volume percent of pores. In general terms, the presence of these pores is a major drawback for electrical insulation applications. That is, the pores are apt to absorb moisture, and the insulating property when absorbing moisture is deteriorated. However, in the manufacturing method of the present invention, the existence of the pores is a great advantage. This is because when cordierite is sprayed onto a copper foil to form a cordierite sprayed layer, and a woven fabric prepreg is placed on it and hot-pressed, the resin of the woven fabric prepreg softens and melts during hot-press forming. , Impregnate the pores of the cordierite sprayed layer. As a result, the pores of the cordierite sprayed layer are sealed, and the problem of deterioration of the insulation characteristics when absorbing moisture is solved.

さらに、セラミックと樹脂の接着性は互いに一種材料で
あり、しかも熱膨張係数が異なるために良好ではない
が、熱圧成形時に樹脂がコージェライト溶射層の気孔に
含浸するために強固な接着力が得られる。また、銅箔と
コージェライト溶射層との接着力も溶射したままでは、
プリント配線板として用いるには満足なものではない
が、樹脂がコージェライト溶射層を通して銅箔面にまで
達することによって強固な接着力が得られる。
Furthermore, the adhesiveness between the ceramic and the resin is a kind of material, and the thermal expansion coefficient is different, which is not good. can get. Also, with the adhesive force between the copper foil and the cordierite sprayed layer still sprayed,
Although not satisfactory for use as a printed wiring board, a strong adhesive force is obtained when the resin reaches the copper foil surface through the cordierite sprayed layer.

本発明に用いる織布プリプレグの織布としては、一般の
積層板に用いられているガラス繊維織布がその特性、価
格の点から好適であるが、その他にアラミド繊維、クォ
ーツ繊維などの織布を用いることができる。また、樹脂
も一般の積層板に用いられているエポキシ樹脂、または
ポリイミド樹脂が好適であるが、その他にフェノール樹
脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ふっ素樹
脂などを用いることができる。
As the woven fabric of the woven prepreg used in the present invention, a glass fiber woven fabric used for a general laminated plate is preferable from the viewpoints of its characteristics and price, but other woven fabrics such as aramid fiber and quartz fiber are also used. Can be used. Further, the resin is preferably an epoxy resin or a polyimide resin used in a general laminated board, but in addition, a phenol resin, a melamine resin, an unsaturated polyester resin, a fluorine resin or the like can be used.

なお、本発明に用いるコージェライトを主体とするセラ
ミックは、コージェライトを主成分とするものであれ
ば、他のアルミナ、ジルコニウム、チタニア、カルシ
ア、スピネル、ムライト、ジルコンなどのセラミックを
混合したものでも良いが、そのコージェライトの含有率
は60体積パーセント以上が好適である。コージェライト
の量が60体積パーセント未満では、ドリル加工性の向上
効果が少なく、またたとえドリル加工性が向上しても、
寸法安定性が低下してしまうためである。ドリル加工性
と寸法安定性を両立するためにはコージェライトが60体
積パーセント以上であることが必要なのである。
The cordierite-based ceramic used in the present invention may be a mixture of other ceramics such as alumina, zirconium, titania, calcia, spinel, mullite, and zircon as long as cordierite is the main component. Although good, the cordierite content is preferably 60% by volume or more. If the amount of cordierite is less than 60% by volume, the improvement effect of drill workability is small, and even if the drill workability is improved,
This is because the dimensional stability is reduced. In order to achieve both drilling workability and dimensional stability, it is necessary that the cordierite content be 60% by volume or more.

(作用) 本発明のセラミック複合銅張積層板は、銅箔と繊維強化
プラスチック層との間にコージェライトを主体とする溶
射層を有するものである。熱膨張係数が低い(0.5〜2.0
×10-6/℃)コージェライト層が存在するために積層板
の熱膨張係数はコージェライト層のない従来の銅張積層
板に比べて格段に低くなり、基板の寸法安定性を大きく
向上することができる。また、アルミナ溶射層に比べる
とコージェライト溶射層は、軟かいためにドリル加工時
のドリル摩耗もアルミナを用いた場合よりも少なく、そ
のためにドリルも折損しにくくなる。特に小径ドリルで
は顕著な効果がある。
(Operation) The ceramic composite copper-clad laminate of the present invention has a thermal spray layer mainly composed of cordierite between the copper foil and the fiber reinforced plastic layer. Low coefficient of thermal expansion (0.5-2.0
× 10 -6 / ℃) thermal expansion coefficient of the laminate in order to cordierite layer is present becomes much lower than the conventional copper-clad laminate without cordierite layer to greatly improve the dimensional stability of the substrate be able to. Further, since the cordierite sprayed layer is softer than the alumina sprayed layer, the wear of the drill during drilling is less than that when alumina is used, and therefore the drill is less likely to break. Especially with a small diameter drill, it has a remarkable effect.

さらに、銅箔のすぐ下にセラミックであるコージェライ
ト溶射層が存在するために積層板の耐トラッキング性、
耐アーク性、加熱時の銅箔引きはがし強さなどもすぐれ
たものである。
Furthermore, since the cordierite sprayed layer that is a ceramic is present immediately below the copper foil, the tracking resistance of the laminated plate,
It has excellent arc resistance and peeling strength of copper foil when heated.

(実施例) 本発明の実施例を第1図、第2図に基づき以下説明す
る。
(Embodiment) An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.

厚さ18μmの電解銅箔1(TSTO-18μm、古河サーキッ
トフォイル製)の粗化面に米国プラズマダイン社製のプ
ラズマ溶射機、プラズマダインシステム3600-80R型を用
いてコージェライト(PC-MAS/F、日本研磨材製)を溶射
し、厚さ100μmのコージェライト層2を形成した。次
いで第1図に示す積層構成でガラス繊維織布エポキシ樹
脂プリプレグ3とともに熱圧成形し、第2図に示す構造
の板厚0.4mmのセラミック複合銅張積層板を得た。
On the roughened surface of electrolytic copper foil 1 with a thickness of 18 μm (TSTO-18 μm, made by Furukawa Circuit Foil), a plasma sprayer manufactured by US Plasmadyne Corporation, Plasmadyne System 3600-80R type was used for cordierite (PC-MAS / F, manufactured by Nippon Abrasive Co., Ltd.) was sprayed to form a cordierite layer 2 having a thickness of 100 μm. Then, the laminated structure shown in FIG. 1 was subjected to thermocompression molding together with the glass fiber woven epoxy resin prepreg 3 to obtain a ceramic composite copper clad laminated plate having a thickness of 0.4 mm and having a structure shown in FIG.

得られたセラミック複合銅張積層板の面方向の熱膨張係
数は8.4×10-6゜C-1であり、このセラミック複合銅張積
層板を内層板に用いた4層板の4層板プレス後の寸法変
化率は0.003%であった。なお、コージェライト溶射層
の代わりにアルミナ溶射層を有するセラミック複合銅張
積層板の面方向の熱膨張係数は8.3×10-6゜C-14層板プ
レス後の寸法変化率は0.003%とほぼ同等であった。ま
た、セラミック溶射層のない従来の銅張積層板では、面
方向の熱膨張係数は13.7×10-6゜C-1、4層板プレス後の
寸法変化率は0.025%であった。
The coefficient of thermal expansion of the obtained ceramic composite copper-clad laminate was 8.4 × 10 -6 ° C -1 , and the 4-layer plate press of the 4-layer plate using this ceramic composite copper-clad laminate as the inner layer plate The subsequent dimensional change rate was 0.003%. The coefficient of thermal expansion in the plane direction of the ceramic composite copper clad laminate having an alumina sprayed layer instead of the cordierite sprayed layer was 8.3 × 10 -6 ° C -1 A dimensional change rate after pressing of a 4-layer plate was 0.003%. It was almost the same. Further, in the conventional copper clad laminate without a ceramic sprayed layer, the coefficient of thermal expansion in the plane direction was 13.7 × 10 -6 ° C -1 , and the dimensional change rate after pressing the four-layer plate was 0.025%.

次にコージェライト溶射層をもつセラミック複合銅張積
層板で直径0.35mmの超硬ドリルによる穴あけを行ったと
ころ、加工穴数10,000穴でもドリルは折損しなかった。
一方、アルミナ溶射層をもつセラミック複合銅張積層板
では206穴でドリルが折損した。また、積層板のドリル
突きぬけ側の銅箔のかえりは、セラミックとしてアルミ
ナを用いたものでは大きく、銅箔のかえり部分を研磨に
より除去しなければ、スルーホールめっき処理が困難で
あったが、セラミックとしてコージェライトを用いたも
のでは、銅箔のかえりはセラミックのない従来の銅張積
層板とほぼ同等で少なく、問題のないものであった。
Next, when a ceramic composite copper clad laminate with a cordierite sprayed layer was drilled with a 0.35 mm diameter cemented carbide drill, the drill did not break even with 10,000 drilled holes.
On the other hand, in the ceramic composite copper clad laminate with the alumina sprayed layer, the drill was broken at 206 holes. Further, the burr of the copper foil on the drill-through side of the laminated plate is large when alumina is used as the ceramic, and the through-hole plating process was difficult unless the burr portion of the copper foil was removed by polishing. In the case of using cordierite, the burr of the copper foil was almost the same as that of the conventional copper-clad laminate without ceramics, and there was no problem.

(発明の効果) 以上、本発明の方法により得られるセラミック複合銅張
積層板は、熱膨張が低く、耐トラッキング性、熱間での
銅箔引きはがし強さなどが従来の銅張積層板に比べてす
ぐれており、しかもセラミックにアルミナ溶射層を用い
たセラミック複合銅張積層板の最大の欠点であるドリル
加工性を大幅に改善することができるものである。
(Effects of the Invention) As described above, the ceramic composite copper-clad laminate obtained by the method of the present invention has low thermal expansion, tracking resistance, and hot peeling strength of copper foil compared to conventional copper-clad laminates. It is excellent in comparison, and can greatly improve the drilling workability, which is the biggest drawback of the ceramic composite copper-clad laminate using the alumina sprayed layer on the ceramic.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の実施例の積層構成を示す断面模式図、
第2図は、得られたセラミック複合銅張積層板の構造を
示す断面模式図である。 符号の説明 1……電解銅箔 2……コージェライト溶射層 3……ガラス繊維織布エポキシ樹脂プリプレグ 4……ガラス布基材エポキシ樹脂
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a laminated structure of an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a schematic sectional view showing the structure of the obtained ceramic composite copper-clad laminate. Explanation of symbols 1 ... Electrolytic copper foil 2 ... Cordierite sprayed layer 3 ... Glass fiber woven epoxy resin prepreg 4 ... Glass cloth base epoxy resin

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】銅箔と織布プリプレグ層との間にコージェ
ライトを主体とする溶射層を設け、これを熱圧成形して
なることを特徴とするセラミック複合銅張積層板。
1. A ceramic-composite copper-clad laminate characterized in that a thermal sprayed layer mainly composed of cordierite is provided between a copper foil and a woven prepreg layer, and this is thermocompression-molded.
【請求項2】織布プリプレグの織布がガラス繊維織布で
ある請求項1記載のセラミック複合銅張積層板。
2. The ceramic composite copper-clad laminate according to claim 1, wherein the woven cloth of the woven cloth prepreg is a glass fiber woven cloth.
【請求項3】織布プリプレグの樹脂がエポキシ樹脂であ
る請求項1記載のセラミック複合銅張積層板。
3. The ceramic composite copper-clad laminate according to claim 1, wherein the resin of the woven fabric prepreg is an epoxy resin.
【請求項4】織布プリプレグの樹脂がポリイミド樹脂で
ある請求項1記載のセラミック複合銅張積層板。
4. The ceramic composite copper-clad laminate according to claim 1, wherein the resin of the woven cloth prepreg is a polyimide resin.
【請求項5】銅箔の片面にコージェライトを主体とする
セラミックを溶射して溶射層を形成し、該コージェライ
ト溶射層に接するように織布プリプレグを載置してこれ
らを熱圧成形することを特徴とするセラミック複合銅張
積層板の製造方法。
5. A ceramic mainly composed of cordierite is sprayed on one surface of a copper foil to form a sprayed layer, and a woven fabric prepreg is placed so as to be in contact with the sprayed cordierite layer and thermocompression-molded. A method for manufacturing a ceramic composite copper-clad laminate, which is characterized in that
【請求項6】織布プリプレグの織布がガラス繊維織布で
ある請求項5記載のセラミック複合銅張積層板の製造方
法。
6. The method for producing a ceramic composite copper-clad laminate according to claim 5, wherein the woven prepreg woven fabric is a glass fiber woven fabric.
【請求項7】織布プリプレグの樹脂がエポキシ樹脂であ
る請求項5記載のセラミック複合銅張積層板の製造方
法。
7. The method for producing a ceramic composite copper-clad laminate according to claim 5, wherein the resin of the woven fabric prepreg is an epoxy resin.
【請求項8】織布プリプレグの樹脂がポリイミド樹脂で
ある請求項5記載のセラミック複合銅張積層板の製造方
法。
8. The method for producing a ceramic composite copper-clad laminate according to claim 5, wherein the resin of the woven fabric prepreg is a polyimide resin.
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