JPH0719899A - エンコーダの異常検出装置 - Google Patents

エンコーダの異常検出装置

Info

Publication number
JPH0719899A
JPH0719899A JP5164390A JP16439093A JPH0719899A JP H0719899 A JPH0719899 A JP H0719899A JP 5164390 A JP5164390 A JP 5164390A JP 16439093 A JP16439093 A JP 16439093A JP H0719899 A JPH0719899 A JP H0719899A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
sine wave
signal
output
wave signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP5164390A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Suzuki
康夫 鈴木
Norio Tsuburaya
寛夫 圓谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP5164390A priority Critical patent/JPH0719899A/ja
Publication of JPH0719899A publication Critical patent/JPH0719899A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エンコーダ信号の異常を安価な回路構成で確
実に検出する。 【構成】 2相正弦波信号の正常な振幅範囲V1乃至V2
内に、上限V3と下限V4の2つの基準レベルを設定した
第2のウインドコンパレータ34,35によって、上記
基準レベルV3からV4までの範囲に各正弦波信号の振幅
レベルが存在するか否かを検出する。各ウインドコンパ
レータ34,35によって、各正弦波信号の振幅レベル
が、基準レベルV3からV4までの範囲に存在することが
検出されたとき、論理積ゲート36により、両者が同時
に存在するか否かをさらに検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば測長または測角
などの位置検出を行うエンコーダの異常検出装置に関
し、特に位相が90°異なる2相の正弦波信号を発生す
るエンコーダの異常検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、測長、測角などの位置検出を行う
エンコーダが、例えばロボットや工作機械に多用されて
いるが、このエンコーダは、所定間隔でスリット等が設
けられたスケールに向けて光源から光を照射し、スケー
ルからの反射光あるいは透過光を光検出器により検出し
て正弦波信号を得る。通常、光検出器は90°位相の異
なる2相の正弦波信号を得るために2個設けられてお
り、2相の正弦波信号に基づいてエンコーダ信号(位置
検出信号)が生成される。この2相正弦波信号の位相
差、振幅、オフセットなどが正常値に対してずれると、
エンコーダ符号によって求められる測長値や測角値は、
誤差を発生することになる。
【0003】例えば、NC(Numerical Control:数値
制御)機械など、エンコーダ信号をフィードバックして
駆動制御を行う機器においては、エンコーダ信号の劣化
が発生すると、正常な駆動制御が行えなくなり、最悪の
場合、駆動部の暴走や衝突と云った事故を引き起こすこ
とも考えられる。上記のような事態に対し、警報を発す
ることを目的として種々の異常検出回路が提案されてい
る。
【0004】従来のこの種のエンコーダの異常検出装置
としては、例えば特開昭63−253218号公報等に
記載されたものがあり、これは、2相正弦波信号の自乗
和、すなわち(sin2θ+cos2θ)が常に一定になる特性
を利用し、その変動が許容範囲を超えた場合にエンコー
ダの異常を検出するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のエンコーダの異常検出装置にあっては、2相
正弦波信号の自乗和(sin2θ+cos2θ)を算出するため
のアナログまたはデジタルの演算器、これらの機器を正
確に動作させるための高精度の安定化電源などを必要と
するので、異常検出装置が複雑かつ高価になってしまう
という問題点があった。
【0006】そこで、請求項1記載の発明はこのような
従来の問題点に鑑みてなされたもので、2相正弦波信号
の振幅レベルを相互比較することにより、2相正弦波信
号の異常を安価かつ確実に検出できるエンコーダの異常
検出装置を提供することを目的としている。
【0007】また、請求項2記載の発明は、正常な振幅
範囲の上限と下限を規定することにより、2相正弦波信
号の過大振幅を安価かつ確実に検出できるエンコーダの
異常検出装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載のエンコ
ーダの異常検出装置は、メインスケールとインデックス
スケールとの相対移動によって発生した、相互に位相が
90°だけずれている第1の正弦波信号と第2の正弦波
信号に基づいて、メインスケールとインデックススケー
ルとの相対移動量を検出するエンコーダにおいて、正常
時における前記第1の正弦波信号と前記第2の正弦波信
号の上ピーク側の交点と下ピーク側の交点の間に、所定
の範囲V3乃至V4を設定し、前記所定の範囲V3乃至V4
内における前記第1の正弦波信号と前記第2の正弦波信
号の位相関係を検出する第1の検出手段としてのウイン
ドコンパレータ34,35、論理積ゲート36を備える
ことを特徴とする。
【0009】また、請求項2記載のエンコーダの異常検
出装置は、第1の正弦波信号または第2の正弦波信号の
レベルが、所定の基準値V1,V2を超える過大振幅であ
るか否かを検出する第2の検出手段としてのウインドコ
ンパレータ31,32、論理和ゲート33をさら備える
ことを特徴とする。
【0010】
【作用】請求項1の構成のエンコーダの異常検出装置に
おいては、第1の正弦波信号のレベルが、基準値V3
4により規定される範囲内にあるか否かが、ウインド
コンパレータ34により検出され、第2の正弦波信号の
レベルが基準値V3とV4により規定される範囲内にある
か否かが、ウインドコンパレータ35により検出され
る。そして、論理積ゲート36により、両者が同じタイ
ミングであるか否かが検出される。従って、過小振幅、
オフセットずれ、または位相ズレなどの異常を、簡単か
つ低コストの構成で検出することができる。
【0011】また、請求項2の構成のエンコーダの異常
検出装置においては、第1の正弦波信号のレベルが基準
値V1またはV2を越えたか否かが、ウインドコンパレー
タ31によって検出され、第2の正弦波信号のレベルが
基準値V1またはV2を越えたか否かが、ウインドコンパ
レータ32によって検出される。従って、さらに過大振
幅の異常も検出することが可能になる。
【0012】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【0013】図1は、本発明の一実施例に係るエンコー
ダの異常検出装置に適用される2相正弦波信号発生回路
の構成を示すブロック図である。図1に示す2相正弦波
信号発生回路10において、LED(Light-emitting D
iode:発光ダイオード)11は、所定間隔でスリット等
が設けられたスケール(メインスケール12aとインデ
ックススケール12bを有する)12に向けて光を照射
する光源であり、その光は、コリメータレンズ13によ
って平行光となるように補正される。ホトダイオード1
4,15は、メインスケール12aとインデックススケ
ール12bとを通過した光を検出するための光検出器で
あり、スケール12のスリットを通して入射した光量に
応じた電流(正弦波信号)を発生する。
【0014】ここで、ホトダイオード14,15は、メ
インスケール12aとインデックススケール12bの一
方が他方に対して相対的に移動したとき、90°位相差
の2相正弦波信号を発生する位置に配設されており、ホ
トダイオード14からの出力をsinθとした場合、ホト
ダイオード15からの出力はcosθとなる。なお、本実
施例ではスケール12を用いた透過式の2相正弦波信号
発生回路を例示するが、反射式の回路構成も可能であ
る。
【0015】ホトダイオード16,17は、それぞれホ
トダイオード14,15のノイズ成分を逆相成分によっ
て打ち消すために設けられており、外乱光によるノイズ
成分や熱電流によるDC(直流)成分などを除去する。
【0016】すなわち、いま、ホトダイオード14の出
力を図2(a)に示す正弦波であるとすると、ホトダイ
オード16の出力は、図2(b)に示すように、逆相の
正弦波となる。いずれの出力もほぼ同一レベルのDC成
分を有しているため、演算増幅器18に対して逆極性で
入力され、加算(実質的には減算)されると、図2
(c)に示すように、DC成分が相殺され、交流成分
(正弦波成分)のみが出力される。
【0017】同様に、ホトダイオード15の出力を図2
(d)に示す余弦波であるとすると、ホトダイオード1
7の出力は、図2(e)に示すように、逆相の正弦波と
なる。いずれの出力もほぼ同一レベルのDC成分を有し
ているため、演算増幅器18に対して逆極性で入力さ
れ、加算(実質的には減算)されると、図2(f)に示
すように、DC成分が相殺され、交流成分(余弦波成
分)のみが出力される。
【0018】なお、ホトダイオード14,15のノイズ
成分が無視できる場合や特性が高精度に保証されている
場合は、ホトダイオード16,17を必ずしも設ける必
要はない。演算増幅器18,19は、ホトダイオード1
4,15により得られる電流値を電圧値に変換するもの
で、それぞれ非反転入力にはバイアス20が抵抗R2
介して接続されて、反転入力にはフィードバック抵抗R
1が接続されている。以下、演算増幅器18,19から
それぞれ出力される信号(sinθ)をA相信号、信号(c
osθ)をB相信号と呼ぶことにする。
【0019】図3は、本発明のエンコーダの異常検出装
置の一実施例を示す回路ブロック図であり、図1の2相
正弦波信号発生回路10から出力されるA相とB相の2
相の正弦波信号の異常を検出する回路構成を示す。図3
において、端子AとBには、互いに90°の位相差を持
ったA相信号とB相信号とが、図1の2相正弦波信号発
生回路10からそれぞれ入力される。A相とB相の各正
弦波信号について、各々の過大振幅を検出するために、
第1のウインドコンパレータ31,32が設けられてい
る。
【0020】第1のウインドコンパレータ31,32に
は、A相とB相の2つの正弦波信号の正常な振幅範囲の
上限の基準値V1と下限の基準値V2が設定されており、
この上限V1または下限V2を超える各正弦波信号の過大
振幅が検出される。即ち、A相信号のレベルが上限V1
より大きいとき、抵抗53を介して所定の電圧源に接続
されているコンパレータ51の出力がLレベルとなり、
下限V2より小さいとき、コンパレータ52の出力がL
レベルとなる。A相信号のレベルが下限V2と上限V1
間の大きさであるとき、コンパレータ51と52の出力
はともにHレベルとなる。
【0021】なお、A相信号のレベルを検出する第1の
ウインドコンパレータ31と、B相信号のレベルを検出
する第1のコンパレータ32は、回路構成が同一なの
で、第1のウインドコンパレータ31にのみ、その詳細
な回路図を例示する。
【0022】論理和ゲート(ORゲート)33は、上記
第1のウインドコンパレータ31と32の出力信号であ
るa信号とb信号の論理和を出力するもので、本実施例
では負論理により論理和演算を行うものとする。この論
理和ゲート33により、第1のウインドコンパレータ3
1または32の少なくとも一方で過大振幅が検出された
場合に、高レベルの異常検出信号を出力することができ
る。
【0023】第2のウインドコンパレータ34と35
は、A相とB相の各正弦波信号について各々の振幅レベ
ルを検出するレベル検出回路であり、前記2相正弦波信
号の正常な振幅範囲V1乃至V2内において、上限の基準
値V3と下限の基準値V4を設定し、上記基準値に対する
各正弦波信号の振幅レベルを検出する。即ち、ウインド
コンパレータ34においては、A相信号のレベルが上限
3より大きいとき、抵抗63を介して、所定の電圧源
に接続されているコンパレータ61の出力がLレベルと
なり、下限V4より小さいとき、コンパレータ62の出
力がLレベルとなる。下限V3と上限V4の間のレベルの
とき、コンパレータ61と62の出力はHレベルとな
る。
【0024】なお、第2のウインドコンパレータ34と
35は回路構成が同一なので、第2のウインドコンパレ
ータ34にのみ、その回路図を例示する。
【0025】第2のウインドコンパレータ34,35に
よる正常時の振幅レベルの検出動作例が図4に示されて
いる。この場合、2相正弦波信号(A相信号とB相信
号)は、V3からV1までの振幅レベルの範囲、V4
らV3までの振幅レベルの範囲、V2からV4までの振
幅レベルの範囲、のいずれかの範囲のレベルとして検
出される。
【0026】A相信号とB相信号のレベルの大小関係
は、両者の交点を境として逆転する。例えば、時刻t1
乃至t2の期間では、B相信号がA相信号より大きなレ
ベルとなっており、時刻t2乃至t3の期間では、A相信
号がB相信号より大きなレベルになる。換言すれば、A
相信号とB相信号の上側の交点に対応するレベルを
5、下側の交点に対応するレベルをV6とするとき、時
刻t1からt2までの期間では、A相信号のレベルがV5
からV6までの範囲にあるとき、B相信号のレベルは、
5より大きくなっており、また、B相信号のレベルが
5からV6までの範囲にあるとき、A相信号のレベル
は、V6より小さくなっている。
【0027】同様に、時刻t2からt3までの期間では、
A相信号のレベルがV5からV6までの範囲にあるとき、
B相信号のレベルは、V6より小さくなっており、ま
た、B相信号のレベルがV5からV6までの範囲にあると
き、A相信号のレベルは、V5より大きくなっている。
【0028】すなわち、このような2相正弦波信号の交
点に対応するレベルV5,V6は、2相正弦波信号が同時
に存在してはならない電圧範囲(排他的電圧範囲)とし
て規定することができる。
【0029】論理積ゲート(ANDゲート)36は、第
2のウインドコンパレータ34または35により、各正
弦波信号の振幅レベルがこの排他的電圧範囲にあること
が検出されたとき、さらに両者が同時にその範囲に存在
しているのか否(すなわち、そのタイミング)を検出す
る検出回路である。
【0030】ただし、上述したように、交点レベル
5,V6に合わせて基準レベルV3,V4を設定すると
(V5=V3,V6=V4に設定すると)、機器の精度や温
度変化等により交点レベルV5,V6が少しでも変動した
場合、2相正弦波信号が排他的電圧範囲に同時に存在す
ることが検出されてしまう(異常が検出されてしまう)
虞れがある。このような過敏な動作を防ぐために、本実
施例では図4に示すように、交点レベルの範囲V5乃至
6より若干狭い範囲に基準レベルV3,V4を設定して
いる。
【0031】第2のウインドコンパレータ34,35の
出力は、それぞれインバータ37,38を介して論理積
ゲート36に入力し、負論理による異常検出が行われ
る。勿論、インバータ37,38を省略し、論理積ゲー
ト36として正論理のものを用いることにより、正論理
による検出を行うことも可能である。
【0032】論理和ゲート(ORゲート)39は、第1
のウインドコンパレータ31,32による異常検出信号
すなわち論理和ゲート33出力と、第2のウインドコン
パレータ34,35による異常検出信号すなわち論理積
ゲート36出力とを合成出力する合成回路である。この
論理和ゲート39により、2相正弦波信号の過大振幅異
常と排他電圧範囲の異常のいずれかを検出した場合に、
異常検出信号が出力される。この異常検出信号は、CP
U(Central Processing Unit)40によって認識さ
れ、例えばLCD(Liquid Cristal Display:液晶表示
部)やLEDなどの表示部41を通して報知される。
【0033】次に、上記構成を有するエンコーダの異常
検出装置の動作について説明する。
【0034】図4は、正常なエンコーダ信号が入力され
たときの異常検出回路各部の動作例を示すタイミングチ
ャートである。図において、A相とB相のエンコーダ信
号は、振幅とオフセットが等しく、位相差が90°異な
る信号として図3の異常検出回路に入力される。ここ
で、各相とも正常な場合は、第1のウインドコンパレー
タ31と32の上限V1と下限V2の範囲内で信号が変化
するため、第1のウインドコンパレータ31,32の検
出信号a,b(図4(a),(b))は変化しない。
【0035】また、第2のウインドコンパレータ34,
35は、各相の信号が振幅レベルに該当する度に検出
信号を出力するが、2つのウインドコンパレータ34,
35が同時に検出信号を出力することはない。すなわ
ち、インバータ37,38の出力信号c,d(図4
(c),(d))から明らかなように、出力信号c、d
のLレベルが時間的に重なる期間はなく、負論理による
同時の検出出力である論理積ゲート36の出力e(図4
(e))は変化しない。このため、論理和ゲート39の
出力信号f(図4(f))は変化せず、異常検出は行わ
れない。
【0036】図5は、過大振幅のエンコーダ信号が入力
されたときの異常検出回路各部の動作例を示すタイミン
グチャートである。第1のウインドコンパレータ31,
32により、正常な振幅範囲V1乃至V2を超える過大振
幅部分が検出されると、信号a,bがLレベルとなる
(図5(a),(b))。この検出信号a,bは論理和
ゲート33を介して論理和ゲート39に出力される。一
方、第2のウインドコンパレータ34,35は、各相の
信号が振幅レベルに該当する度に、Lレベルの検出信
号を出力する(図5(c),(d))が、図4における
場合と同様に、2つのウインドコンパレータ34,35
が同時にLレベルの検出信号を出力することはなく、論
理積ゲート36の出力e(図5(e))は変化しない。
この結果、論理和ゲート33による信号a,bに相当す
る出力信号f(図5(f))が論理和ゲート39から出
力され、異常検出が行われる。
【0037】図6は、過小振幅のエンコーダ信号が入力
されたときの異常検出回路各部の動作例を示すタイミン
グチャートである。まず、過小振幅の場合は、第1のウ
インドコンパレータ31と32の上限V1と下限V2の範
囲内で信号が変化するため、第1のウインドコンパレー
タ31と32は検出信号を出力せず、信号a,b(図6
(a),(b))は変化しない。一方、第2のウインド
コンパレータ34,35においては、基準レベルV3
至V4までの排他電圧範囲に該当する振幅レベルが出
力c,d(図6(c),(d))として検出される。こ
のとき、正または負のピークが基準レベルV3乃至V4
でに達しない過小振幅レベルがあると、出力c,dの重
なり部分が負論理による論理積e(図6(e))として
出力される。この結果、論理和f(図6(f))の出力
により、異常検出が行われる。なお、基準レベルV3
4の値を適宜設定することにより、過小振幅の検出レ
ベルを任意に可変することができる。
【0038】図7は、オフセットずれを起こしたエンコ
ーダ信号が入力されたときの異常検出回路各部の動作例
を示すタイミングチャートである。例えばA相信号が+
方向にオフセットずれを起こしたと仮定すると、第1の
ウインドコンパレータ31によって正常な振幅範囲V1
を超える振幅異常が信号a(図7(a))として検出さ
れる。一方、第2のウインドコンパレータ34,35に
おいては、基準レベルV3乃至V4までの排他電圧範囲に
該当する振幅レベルが出力c,d(図7(c),
(d))として検出される。このとき、オフセットずれ
によりインバータ出力c,dの重なりが発生し、論理積
ゲート36から異常信号e(図7(e))が出力され
る。この結果、論理和ゲート39からは、異常信号a,
eの合成出力である論理和fが(図7(f))出力さ
れ、異常検出が行われる。
【0039】図8は、位相差ずれを起こしたエンコーダ
信号が入力されたときの異常検出回路各部の動作例を示
すタイミングチャートである。まず、位相差ずれの場合
は、第1のウインドコンパレータ31と32の上限V1
と下限V2の範囲内で信号が変化するため、第1のウイ
ンドコンパレータ31と32は検出信号を出力せず、信
号a,b(図8(a),(b))は変化しない。一方、
第2のウインドコンパレータ34と35においては、基
準レベルV3乃至V4までの排他電圧範囲に該当する振幅
レベルが出力c,d(図8(c),(d))として検
出される。このとき、位相差ずれによる出力c,dの重
なり部分が負論理による論理積e(図8(e))として
出力される。この結果、論理和f(図8(f))の出力
により、異常検出が行われる。
【0040】このように、本実施例においては、第1の
ウインドコンパレータ31,32と、第2のウインドコ
ンパレータ34,35の両方を備え、両者の検出信号を
合成することにより、従来のような自乗和(sin2θ+co
s2θ)演算回路等を必要としないので、図5乃至図8に
示した過大振幅、過小振幅、オフセットずれ、および位
相差ずれ、というエンコーダの信号異常を簡易な回路構
成で検出でき、信号異常に伴う種々の弊害を予防できる
という効果を奏する。
【0041】また、図5乃至図8を参照することにより
明らかなように、図5に示す過大振幅以外の異常は、信
号eとして現れるので、図6乃至図8に示すように、第
2のウインドコンパレータ34,35だけでも異常の一
部を検出することができる。このため、過大振幅による
異常を検出しなくてもよいのであれば、第1のウインド
コンパレータ31,32、および論理和ゲート33,3
9を除いた回路構成で異常検出回路を作成することがで
きる。この場合、より安価に異常検出を実現できる。
【0042】
【発明の効果】以上のように、請求項1記載のエンコー
ダの異常検出装置によれば、2相正弦波信号が、排他電
圧範囲にあるか否かを検出するようにしたので、過小振
幅、オフセットずれ、および位相差ずれなどの異常を簡
略な回路構成で検出でき、また異常検出回路を低コスト
で作成することができる。
【0043】また、請求項2記載のエンコーダの異常検
出装置によれば、2相正弦波信号の上記上限または下限
を超える過大振幅を検出するようにしたので、過小振
幅、オフセットずれ、および位相差ずれの他、過大振幅
というエンコーダの信号異常を簡易な回路構成で検出で
き、信号異常に伴う種々の弊害を予防できるという効果
を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るエンコーダの異常検出
装置に適用される2相正弦波信号発生回路の構成を示す
ブロック図である。
【図2】図1の実施例の動作を説明するタイミングチャ
ートである。
【図3】本発明の一実施例に係るエンコーダの異常検出
装置の一実施例の構成を示す回路ブロック図である。
【図4】正常なエンコーダ信号が入力されたときの図3
の実施例の動作例を示すタイミングチャートである。
【図5】過大振幅のエンコーダ信号が入力されたときの
図3の実施例の動作例を示すタイミングチャートであ
る。
【図6】過小振幅のエンコーダ信号が入力されたときの
図3の実施例の動作例を示すタイミングチャートであ
る。
【図7】オフセットずれを起こしたエンコーダ信号が入
力されたときの図3の実施例の動作例を示すタイミング
チャートである。
【図8】位相差ずれを起こしたエンコーダ信号が入力さ
れたときの図3の実施例の動作例を示すタイミングチャ
ートである。
【符号の説明】
10 2相正弦波信号発生回路 12 スケール 12a メインスケール 12b インデックススケール 14,15 ホトダイオード 31,32 第1のウインドコンパレータ(第2の検出
手段) 33 論理和ゲート(第2の検出手段) 34,35 第2のウインドコンパレータ(第1の検出
手段) 36 論理積ゲート(第1の検出手段) 39 論理和ゲート

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メインスケールとインデックススケール
    との相対移動によって発生した、相互に位相が90°だ
    けずれている第1の正弦波信号と第2の正弦波信号に基
    づいて、前記メインスケールとインデックススケールと
    の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、 正常時における前記第1の正弦波信号と前記第2の正弦
    波信号の上ピーク側の交点と下ピーク側の交点の間に、
    所定の範囲を設定し、前記所定の範囲内における前記第
    1の正弦波信号と前記第2の正弦波信号の位相関係を検
    出する第1の検出手段を備えることを特徴とするエンコ
    ーダの異常検出装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のエンコーダの異常検出
    装置において、 前記第1の正弦波信号または第2の正弦波信号のレベル
    が、所定の基準値を超える過大振幅であるか否かを検出
    する第2の検出手段をさらに備えることを特徴とするエ
    ンコーダの異常検出装置。
JP5164390A 1993-07-02 1993-07-02 エンコーダの異常検出装置 Withdrawn JPH0719899A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5164390A JPH0719899A (ja) 1993-07-02 1993-07-02 エンコーダの異常検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5164390A JPH0719899A (ja) 1993-07-02 1993-07-02 エンコーダの異常検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0719899A true JPH0719899A (ja) 1995-01-20

Family

ID=15792219

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5164390A Withdrawn JPH0719899A (ja) 1993-07-02 1993-07-02 エンコーダの異常検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0719899A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015210227A (ja) * 2014-04-30 2015-11-24 多摩川精機株式会社 磁気式エンコーダ取り付け診断方法
JP2017003430A (ja) * 2015-06-10 2017-01-05 ファナック株式会社 異物の侵入を検出可能な回転角度検出器
JP2019517004A (ja) * 2016-05-25 2019-06-20 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company 適応性のある基準マーク検出プロセス

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015210227A (ja) * 2014-04-30 2015-11-24 多摩川精機株式会社 磁気式エンコーダ取り付け診断方法
JP2017003430A (ja) * 2015-06-10 2017-01-05 ファナック株式会社 異物の侵入を検出可能な回転角度検出器
US10527467B2 (en) 2015-06-10 2020-01-07 Fanuc Corporation Rotation angle detector which can detect entry of foreign substances
JP2019517004A (ja) * 2016-05-25 2019-06-20 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company 適応性のある基準マーク検出プロセス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7132647B2 (en) Optical encoder
US8969789B2 (en) Rotary encoder and method of detecting abnormality of rotary encoder
EP2343510A2 (en) Rotary encoder
US8546743B2 (en) Encoder in which the relative displacement between the encoder scale and encoder head is detected
US5051579A (en) Optical scale encoder with light intensity alarm
JP4703059B2 (ja) 光電式エンコーダ
KR20040024482A (ko) 광 검출기 타이밍을 이용하여 공진 주사 미러의 편향 진폭및 오프셋을 제어하는 방법
JPH0719899A (ja) エンコーダの異常検出装置
US20050285026A1 (en) Linear encoder
WO2018163424A1 (ja) アブソリュートエンコーダ
US7031031B1 (en) Position measuring system
JP6413102B2 (ja) 光学式エンコーダ
JPH0450963B2 (ja)
JP3004858B2 (ja) 絶対測定用エンコーダ
WO1999005471A1 (fr) Instrument de mesure des longueurs
JPH05240664A (ja) エンコーダ
US20140138525A1 (en) Optical encoder
JP3326658B2 (ja) アブソリュートエンコーダ
JPH10300518A (ja) 信号異常検知回路及びこれを用いた変位情報検出装置
KR970071034A (ko) X-y스테이지의 수직방향 변위 측정장치
JP2986023B2 (ja) 変位センサ
JP3779903B2 (ja) 信号バックアップ回路
JP3273201B2 (ja) 光学式インクリメンタルエンコーダ装置
JPH11271026A (ja) 光学スケールを用いた寸法測定装置
JPH07286862A (ja) 変位検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20000905