JPH0718685B2 - タッチプローブ - Google Patents
タッチプローブInfo
- Publication number
- JPH0718685B2 JPH0718685B2 JP7943092A JP7943092A JPH0718685B2 JP H0718685 B2 JPH0718685 B2 JP H0718685B2 JP 7943092 A JP7943092 A JP 7943092A JP 7943092 A JP7943092 A JP 7943092A JP H0718685 B2 JPH0718685 B2 JP H0718685B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- ball
- contact
- bearing
- sliding shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、寸法検出あるいは位置
制御を二次元、あるいは三次元の方向で検知するタッチ
プローブに関する。
制御を二次元、あるいは三次元の方向で検知するタッチ
プローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、三次元測定システムにおけるタッ
チプローブとしては図４に示す構成のものが良く知られ
ている。すなわち、図４は従来例の原理を示す斜視図で
あって、２１は測定子で先端にコンタクト２２を有する
とともに、可動盤２３の中心に固定され、可動盤２３に
は測定子２１と直角な水平面上の３方向に向けて配置さ
れた棒状の可動接点軸２４がそれぞれ可動盤２３に絶縁
された状態で固定されており、ばね２６の押力により、
本体側の一対のＶ状接点２７の中間位置でそれぞれ受け
られている。
チプローブとしては図４に示す構成のものが良く知られ
ている。すなわち、図４は従来例の原理を示す斜視図で
あって、２１は測定子で先端にコンタクト２２を有する
とともに、可動盤２３の中心に固定され、可動盤２３に
は測定子２１と直角な水平面上の３方向に向けて配置さ
れた棒状の可動接点軸２４がそれぞれ可動盤２３に絶縁
された状態で固定されており、ばね２６の押力により、
本体側の一対のＶ状接点２７の中間位置でそれぞれ受け
られている。
【０００３】これらのＶ状接点２７は可動接点軸２４を
挟んで直列に配線されているので、測定子２１の動きに
よって可動接点軸２４とＶ状接点２７との抵抗値に変化
を与え、その瞬間をトリガー信号として出力するように
してある。
挟んで直列に配線されているので、測定子２１の動きに
よって可動接点軸２４とＶ状接点２７との抵抗値に変化
を与え、その瞬間をトリガー信号として出力するように
してある。
【０００４】前記構成のタッチプローブは、その構造が
測定子２１を３個所のＶ状接点２７で受けている。この
三点支持の構造は測定子の全方向の揺動に対して測定圧
に微妙な差が出るために、測定値に方向性が現れて、真
円のものを測定しても正しい円形状として測定されな
い、いわゆるロービング特性と言われる現象が発生して
測定値に対して、後で面倒な補正を必要とするという問
題点がある。（精密工学会誌５２／４／１９８６にも記
載されている）。
測定子２１を３個所のＶ状接点２７で受けている。この
三点支持の構造は測定子の全方向の揺動に対して測定圧
に微妙な差が出るために、測定値に方向性が現れて、真
円のものを測定しても正しい円形状として測定されな
い、いわゆるロービング特性と言われる現象が発生して
測定値に対して、後で面倒な補正を必要とするという問
題点がある。（精密工学会誌５２／４／１９８６にも記
載されている）。
【０００５】更に従来例では可動接点２４とＶ状接点２
７で代表されるように、接点は常時閉状態であるため
に、工作機械等に取り付けて加工位置等の制御を行なう
ような場合は、振動や衝撃によってチャタリングが発生
するために制御に支障を生じるとともに接点寿命も短く
なるおそれがある。また揺動支点と接点とを兼ねている
ために接点の摩耗が早く、接点には確実性のある電気抵
抗の低い接点材料を使用できずに電気抵抗の高い耐摩耗
性材料を使わざるを得ないという問題点がある。
７で代表されるように、接点は常時閉状態であるため
に、工作機械等に取り付けて加工位置等の制御を行なう
ような場合は、振動や衝撃によってチャタリングが発生
するために制御に支障を生じるとともに接点寿命も短く
なるおそれがある。また揺動支点と接点とを兼ねている
ために接点の摩耗が早く、接点には確実性のある電気抵
抗の低い接点材料を使用できずに電気抵抗の高い耐摩耗
性材料を使わざるを得ないという問題点がある。
【０００６】また更に上記常時閉接点方式で回路系が電
池を電源とする場合は、常時回路系に電流が流れている
ので、電池の消耗が多く、電池の交換時期が早いという
問題点がある。
池を電源とする場合は、常時回路系に電流が流れている
ので、電池の消耗が多く、電池の交換時期が早いという
問題点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記ロービン
グ現象を解消して方向性のない測定を可能とした高精度
のタッチプローブを提供することを目的としている。
グ現象を解消して方向性のない測定を可能とした高精度
のタッチプローブを提供することを目的としている。
【０００８】更に、本発明は前記常時閉接点方式のため
に、振動、衝撃で接点のチャタリングが発生して制御に
支障を生じたり、接点寿命が短くなるという問題点を解
消するとともに、揺動支点と接点とを兼ねているために
接点の摩耗が早くて確実性の高い電気抵抗の低い接点材
料が使用できないという欠点をなくし、なお更に電池電
源の場合でも回路系による電池の消耗を極力少なくした
タッチプローブを提供することを目的としている。
に、振動、衝撃で接点のチャタリングが発生して制御に
支障を生じたり、接点寿命が短くなるという問題点を解
消するとともに、揺動支点と接点とを兼ねているために
接点の摩耗が早くて確実性の高い電気抵抗の低い接点材
料が使用できないという欠点をなくし、なお更に電池電
源の場合でも回路系による電池の消耗を極力少なくした
タッチプローブを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明におけるタッチプローブにおいては、測定子
のハウジング部より突出した端部には被測定物の接触手
段を、他端部には該測定子の軸心を円錐の中心線とする
円錐穴を、その中間部には前記ハウジングに設けられた
第一の軸受に揺動自在に軸受される手段を備えるととも
に、前記ハウジングに設けられた第二の軸受には摺動自
在で一端部にボールが固定された摺動軸が軸受され、該
摺動軸はスイッチ手段を常時開位置にならしめるととも
に前記ボールが前記測定子の円錐穴に常時圧接せしめら
れるように付勢され、かつ前記測定子の中立位置におけ
る中心線と前記ボールの中心と前記摺動軸の中心線とは
一直線上にあり、前記測定子の揺動により前記円錐穴の
斜面上を前記ボ−ルが滑動することにより前記摺動軸が
変位して、前記スイッチ手段を開位置より閉位置に作動
せしめるように構成した。
に、本発明におけるタッチプローブにおいては、測定子
のハウジング部より突出した端部には被測定物の接触手
段を、他端部には該測定子の軸心を円錐の中心線とする
円錐穴を、その中間部には前記ハウジングに設けられた
第一の軸受に揺動自在に軸受される手段を備えるととも
に、前記ハウジングに設けられた第二の軸受には摺動自
在で一端部にボールが固定された摺動軸が軸受され、該
摺動軸はスイッチ手段を常時開位置にならしめるととも
に前記ボールが前記測定子の円錐穴に常時圧接せしめら
れるように付勢され、かつ前記測定子の中立位置におけ
る中心線と前記ボールの中心と前記摺動軸の中心線とは
一直線上にあり、前記測定子の揺動により前記円錐穴の
斜面上を前記ボ−ルが滑動することにより前記摺動軸が
変位して、前記スイッチ手段を開位置より閉位置に作動
せしめるように構成した。
【００１０】また、前記手段において、測定子の円錐穴
の代りにボールを、摺動軸の円錐穴の代りにボールを設
けるように構成した。
の代りにボールを、摺動軸の円錐穴の代りにボールを設
けるように構成した。
【００１１】また、前記の揺動自在な軸受手段には前記
測定子が軸方向に摺動可能な手段を設けるように構成を
した。
測定子が軸方向に摺動可能な手段を設けるように構成を
した。
【００１２】
【作用】上記のように構成されたタッチプローブは被測
定物に接触した測定子のＸ，Ｙ方向またはそれらの合成
した変位は測定子の円錐穴の斜面を摺動軸に固定された
ボールが滑動することにより、摺動軸は摺動して可動接
点を固定接点に接触せしめる。
定物に接触した測定子のＸ，Ｙ方向またはそれらの合成
した変位は測定子の円錐穴の斜面を摺動軸に固定された
ボールが滑動することにより、摺動軸は摺動して可動接
点を固定接点に接触せしめる。
【００１３】また、測定子のＺ方向の変位は測定子が摺
動可能な軸受手段により摺動し、円錐穴、ボールを介し
て摺動軸を摺動させて可動接点を固定接点に接触せしめ
る。
動可能な軸受手段により摺動し、円錐穴、ボールを介し
て摺動軸を摺動させて可動接点を固定接点に接触せしめ
る。
【００１４】
【実施例】実施例について図面を参照して説明すると、
図１は本発明の正面断面図を示し、１は測定子で、その
左端部には被測定物に接触するコンタクト２が固定さ
れ、測定子１と一体化した右端部３は測定子１の軸心を
円錐の中心とする真円度が良く表面硬度が高い円錐穴４
を形成している。５は測定子受で測定子１が摺動する軸
穴５ａを有しており、揺動自在な軸受の一例として測定
子受５の外形を測定子１の軸心を球の中心とする球状軸
５ｂとし、その球状軸５ｂはハウジング６にねじ止めさ
れた一対の第一の軸受７ａ，７ｂに挟み込むように、か
つ、揺動自在に軸受されている構造を示す。
図１は本発明の正面断面図を示し、１は測定子で、その
左端部には被測定物に接触するコンタクト２が固定さ
れ、測定子１と一体化した右端部３は測定子１の軸心を
円錐の中心とする真円度が良く表面硬度が高い円錐穴４
を形成している。５は測定子受で測定子１が摺動する軸
穴５ａを有しており、揺動自在な軸受の一例として測定
子受５の外形を測定子１の軸心を球の中心とする球状軸
５ｂとし、その球状軸５ｂはハウジング６にねじ止めさ
れた一対の第一の軸受７ａ，７ｂに挟み込むように、か
つ、揺動自在に軸受されている構造を示す。
【００１５】８はハウジング６に設けられた第二の軸受
で、遊びのない軸受、たとえばストロークベアリング等
により摺動軸９が摺動自在に軸受されており、その左端
部には一体的に取付けられたボールホルダー１５を介し
てボール１０が固定され、更にその右端部はハウジング
６に取り付けられたスイッチ１１のアクチュエータ１１
ａを作動せしめる可動盤１２が固定されている。１１ｂ
はアクチュエータ１１ａに取り付けられた可動接点で、
弱い圧縮コイルばね１１ｄにより固定接点１１ｃに接触
すべく付勢されている。１３は強い圧縮コイルばねで常
時可動盤１２と摺動軸９を紙面で左方向に押している。
１４は可動盤１２の回り止めである。
で、遊びのない軸受、たとえばストロークベアリング等
により摺動軸９が摺動自在に軸受されており、その左端
部には一体的に取付けられたボールホルダー１５を介し
てボール１０が固定され、更にその右端部はハウジング
６に取り付けられたスイッチ１１のアクチュエータ１１
ａを作動せしめる可動盤１２が固定されている。１１ｂ
はアクチュエータ１１ａに取り付けられた可動接点で、
弱い圧縮コイルばね１１ｄにより固定接点１１ｃに接触
すべく付勢されている。１３は強い圧縮コイルばねで常
時可動盤１２と摺動軸９を紙面で左方向に押している。
１４は可動盤１２の回り止めである。
【００１６】前記圧縮コイルばね１３により押された可
動盤１２はスイッチ１１の可動接点１１ｂを常時開くと
ともに、摺動軸９を左方向に押して、ボール１０を介し
て測定子１を測定子受５の右端面で制限されるまで押し
ている。
動盤１２はスイッチ１１の可動接点１１ｂを常時開くと
ともに、摺動軸９を左方向に押して、ボール１０を介し
て測定子１を測定子受５の右端面で制限されるまで押し
ている。
【００１７】図１はコンタクト２に被測定物が接触して
いない場合、すなわち中立の場合を示しており、測定子
１の中心線とボール１０の中心と摺動軸９の中心線が一
直線上にあり、ボール１０は円錐穴４の斜面の全面に接
触している。なお、１６はゴムブーツであってハウジン
グ内を防塵しており、１７はハウジング６のカバーであ
る。
いない場合、すなわち中立の場合を示しており、測定子
１の中心線とボール１０の中心と摺動軸９の中心線が一
直線上にあり、ボール１０は円錐穴４の斜面の全面に接
触している。なお、１６はゴムブーツであってハウジン
グ内を防塵しており、１７はハウジング６のカバーであ
る。
【００１８】次に簡単に動作を説明すると、図１の中立
状態から、被測定物（図には記さず）に接触したコンタ
クト２が紙面で前後、上下方向、すなわちＸ，Ｙ方向ま
たはこれらの合成した方向に変位をすれば、測定子１を
球状軸５ｂの中心５ｃを中心として揺動させて右端部３
の円錐穴４を変位させるので、摺動軸９に固定されたボ
ール１０は円錐穴４の斜面を滑り、摺動軸９は可動盤１
２とともに紙面で右方向に摺動してアクチュエータ１１
ａが右方向に変位して可動接点１１ｂが固定接点１１ｃ
に接触して、制御回路（図には記さず）にＯＮ信号を送
出する。図３は図１においてコンタクト２が紙面で下方
向に変位した状態を示す。更に測定子１が変位した場合
でももボール１０が円錐穴４の斜面から脱落しないよう
に図には記さないストッパー等で制限されている。被測
定物よりコンタクト２が離間すればボール１０のばねの
付勢による左方摺動力によりボール１０が円錐穴４の斜
面に沿って滑り、元の中立状態に戻る。
状態から、被測定物（図には記さず）に接触したコンタ
クト２が紙面で前後、上下方向、すなわちＸ，Ｙ方向ま
たはこれらの合成した方向に変位をすれば、測定子１を
球状軸５ｂの中心５ｃを中心として揺動させて右端部３
の円錐穴４を変位させるので、摺動軸９に固定されたボ
ール１０は円錐穴４の斜面を滑り、摺動軸９は可動盤１
２とともに紙面で右方向に摺動してアクチュエータ１１
ａが右方向に変位して可動接点１１ｂが固定接点１１ｃ
に接触して、制御回路（図には記さず）にＯＮ信号を送
出する。図３は図１においてコンタクト２が紙面で下方
向に変位した状態を示す。更に測定子１が変位した場合
でももボール１０が円錐穴４の斜面から脱落しないよう
に図には記さないストッパー等で制限されている。被測
定物よりコンタクト２が離間すればボール１０のばねの
付勢による左方摺動力によりボール１０が円錐穴４の斜
面に沿って滑り、元の中立状態に戻る。
【００１９】図１の中立状態から、コンタクト２が被測
定物に接触して紙面で右方向、すなわちＺ方向の変位を
すれば、測定子１が測定軸５の軸穴５ａにより右方向に
摺動し、円錐穴４およびボール１０を介して摺動軸９を
紙面で右方向に摺動させて可動接点１１ｂが固定接点１
１ｃに接触することにより制御回路（図には記さず）に
ＯＮ信号を送出する。被測定物よりコンタクト２が離間
すれば、もとの中立状態に戻る。前記Ｘ，ＹとＺの変位
は合成された状態で対応できるので、三次元に寸法検出
あるいは位置制御ができる。
定物に接触して紙面で右方向、すなわちＺ方向の変位を
すれば、測定子１が測定軸５の軸穴５ａにより右方向に
摺動し、円錐穴４およびボール１０を介して摺動軸９を
紙面で右方向に摺動させて可動接点１１ｂが固定接点１
１ｃに接触することにより制御回路（図には記さず）に
ＯＮ信号を送出する。被測定物よりコンタクト２が離間
すれば、もとの中立状態に戻る。前記Ｘ，ＹとＺの変位
は合成された状態で対応できるので、三次元に寸法検出
あるいは位置制御ができる。
【００２０】なお、図１においては、測定子１側に円錐
状穴４を設けて摺動軸９側にボール１０を設けたが、図
２のように測定子側１にボールを設けて摺動軸側に円錐
状穴を設けても同様の作用効果を有する。
状穴４を設けて摺動軸９側にボール１０を設けたが、図
２のように測定子側１にボールを設けて摺動軸側に円錐
状穴を設けても同様の作用効果を有する。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２２】測定子のＸ，Ｙ方向の揺動の変位を円錐斜
面とボールによって摺動軸をＺ方向の変位に変換するこ
とにより、一個の可動接点を一個の固定接点に接触させ
るので、その変換構成はＸ，Ｙを含む平面の全方向に対
して同一であために、前記のロービング現象が発生しな
いので、極めて高精度が得られる。
面とボールによって摺動軸をＺ方向の変位に変換するこ
とにより、一個の可動接点を一個の固定接点に接触させ
るので、その変換構成はＸ，Ｙを含む平面の全方向に対
して同一であために、前記のロービング現象が発生しな
いので、極めて高精度が得られる。
【００２３】Ｚ方向の測定子の変位は、円錐斜面とボー
ルはその求心作用により滑り等を生ずることなく安定し
て摺動軸に伝達されるので精度がよく、Ｘ，Ｙ，Ｚ各方
向に総合して高精度が得られる。
ルはその求心作用により滑り等を生ずることなく安定し
て摺動軸に伝達されるので精度がよく、Ｘ，Ｙ，Ｚ各方
向に総合して高精度が得られる。
【００２４】また、常時開方式接点を採用したので、本
発明によるタッチプローブを振動や衝撃のある工作機械
等に取り付けて加工位置等の制御を行なう場合にも、チ
ャタリングの発生を防止するので、誤った測定や誤制御
がなく、接点寿命が長い。更に揺動支点と接点を兼ねる
ような構造でないので、接点の摩耗が少ないので確実性
の高い電気抵抗の少ない接点材料が使用できる。
発明によるタッチプローブを振動や衝撃のある工作機械
等に取り付けて加工位置等の制御を行なう場合にも、チ
ャタリングの発生を防止するので、誤った測定や誤制御
がなく、接点寿命が長い。更に揺動支点と接点を兼ねる
ような構造でないので、接点の摩耗が少ないので確実性
の高い電気抵抗の少ない接点材料が使用できる。
【００２５】また、常時開接点方式を採用したので、電
池を電源とした場合でも回路系に常時電流が流れないの
で、電池寿命が長く、保守が容易である。
池を電源とした場合でも回路系に常時電流が流れないの
で、電池寿命が長く、保守が容易である。
【図１】本発明のタッチプローブの実施例の正面断面図
である。
である。
【図２】本発明のタッチプローブの別実施例の正面断面
図である。
図である。
【図３】図１における一作動を示す図である。
【図４】従来例の斜視図をである。
１、２１ 測定子 ２、２２ コンタクト ４ 円錐穴 ６ ハウジング ７ａ，７ｂ 第一の軸受 ８ 第二の軸受 ９ 摺動軸 １０ ボール １１ スイッチ １１ｂ 可動接点 １１ｃ 固定接点 ２４ 可動接点軸 ２７ Ｖ状接点
Claims (3)
- 【請求項１】 測定子のハウジング部より突出した端部
には被測定物の接触手段を、他端部には該測定子の軸心
を円錐の中心線とする円錐穴を、その中間部には前記ハ
ウジングに設けられた第一の軸受に揺動自在に軸受され
る手段を備えるとともに、前記ハウジングに設けられた
第二の軸受には摺動自在で一端部にボールが固定された
摺動軸が軸受され、該摺動軸はスイッチ手段を常時開位
置にならしめるとともに前記ボールが前記測定子の円錐
穴に常時圧接せしめられように付勢され、かつ前記測定
子の中立位置における中心線と前記ボールの中心と前記
摺動軸の中心線とは一直線上にあり、前記測定子の揺動
により前記円錐穴の斜面上を前記ボールが滑動すること
により前記摺動軸が変位して、前記スイッチ手段を開位
置より閉位置に作動せしめるタッチプローブ。 - 【請求項２】 測定子のハウジング部より突出した端部
には被測定物の接触手段を、他端部にはボールを固定
し、その中間部には前記ハウジングに設けられた第一の
軸受に揺動自在に軸受される手段を備えるとともに、前
記ハウジングに設けられた第二の軸受には摺動自在に摺
動軸が軸受され、該摺動軸一端部には摺動軸の軸心を円
錐の中心線とする円錐穴を設けるとともに、該摺動軸は
スイッチ手段を常時開位置にならしめるとともに前記円
錐穴が前記測定子のボールに常時圧接せしめるように付
勢され、かつ前記測定子の中立位置における中心線と前
記ボールの中心と前記摺動軸の中心線とは一直線上にあ
り、前記測定子の揺動により前記ボールが前記円錐穴斜
面上を滑動することにより前記摺動軸が変位して、前記
スイッチ手段を開位置より閉位置に作動せしめるタッチ
プロープ。 - 【請求項３】 前記揺動自在な軸受手段には前記測定子
が軸方向に摺動可能な手段を設けたことを特徴とする請
求項１又は請求項２記載のタッチプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7943092A JPH0718685B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | タッチプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7943092A JPH0718685B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | タッチプローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223511A JPH05223511A (ja) | 1993-08-31 |
| JPH0718685B2 true JPH0718685B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=13689665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7943092A Expired - Fee Related JPH0718685B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | タッチプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718685B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE9117226U1 (de) * | 1991-01-08 | 1997-09-04 | Haimer Franz | Mehrkoordinaten-Tastmeßgerät |
| JP2009125853A (ja) | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Murata Mach Ltd | センサ |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP7943092A patent/JPH0718685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05223511A (ja) | 1993-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4443946A (en) | Probe for measuring workpieces | |
| US7109469B2 (en) | Composite operation type input device for carrying out pressing and rotation operations with common operation unit | |
| US4530160A (en) | Sensing pin mounting arrangement for multicoordinate sensing head | |
| US4941266A (en) | Feeler device for forming a measurement value when sensing a workpiece | |
| GB2120388A (en) | Touch signal probe | |
| US4503616A (en) | Parallel motion displacement transducers | |
| US4561190A (en) | Two-directional touch sensor | |
| US5224274A (en) | Contact gage | |
| JPH0718685B2 (ja) | タッチプローブ | |
| US7392596B2 (en) | Probe head | |
| CN117707283A (zh) | 防误操作的双信号输出医用摇杆及操作方法 | |
| EP0510059B1 (en) | Probes | |
| US7464484B2 (en) | Probe head | |
| JPH05312504A (ja) | タッチプローブ | |
| JP3084564B2 (ja) | タッチプローブ | |
| JPH05223512A (ja) | タッチプローブ | |
| JPH0239205Y2 (ja) | ||
| JPH0755443Y2 (ja) | タッチプローブ | |
| JP2000329508A (ja) | タッチプローブ | |
| JP2958477B2 (ja) | タッチセンサ | |
| EP4073933B1 (en) | Switch mechanism | |
| JP2006096147A (ja) | ミラー及び角度検出装置 | |
| JP2681830B2 (ja) | アクチュエータセンサ | |
| JPH0634645Y2 (ja) | 二次元タツチセンサ | |
| JP3374214B2 (ja) | タッチセンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |