JPH07185798A - Liquid transfer device and liquid transfer method - Google Patents

Liquid transfer device and liquid transfer method

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JPH07185798A
JPH07185798A JP34736393A JP34736393A JPH07185798A JP H07185798 A JPH07185798 A JP H07185798A JP 34736393 A JP34736393 A JP 34736393A JP 34736393 A JP34736393 A JP 34736393A JP H07185798 A JPH07185798 A JP H07185798A
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JP
Japan
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liquid
transfer
transfer member
flux
gas
Prior art date
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Application number
JP34736393A
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Japanese (ja)
Inventor
Minoru Ishikawa
実 石川
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Abstract

PURPOSE:To completely peel a member for transfer of a liquid, such as device, from a liquid, such as flux and to improve the yield. CONSTITUTION:This liquid transfer member has a member-for-transfer setting means 10 for setting the member 12 for transfer, a liquid housing means 14 for housing the liquid 20, an operating means 70 for parting the member 12 for transfer from the liquid 20 of the liquid housing means 14 by bringing the member 12 for transfer fixed to the member-for-transfer setting means 10 into contact with the liquid 20 of the liquid housing means 14 and a gas imparting means 90 for introducing gas to the liquid housing means 14 and imparting the gas to the member 12 for transfer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば電子装置のプ
リント基板やフレキシブル基板等の基板のような対象物
に対して、フラックスのような液を転写する液転写装置
と液転写方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid transfer device and a liquid transfer method for transferring a liquid such as flux onto an object such as a printed circuit board or a flexible circuit board of an electronic device. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、基板のハンダに対してフラックス
を転写もしくは塗布する場合には、フラックスを液転写
用の部材のバンプ(突起状の部分)側に、フラックスを
塗布せずに基板側に塗布していた。しかし、このフラッ
クスを基板側に塗布する方法では、フラックスが基板側
に過度に供給される傾向が高いので、バンプにフラック
スを転写する方法が採用されるようになった。
2. Description of the Related Art Conventionally, when transferring or applying a flux to a solder of a substrate, the flux is applied to the bump (protruding portion) side of a liquid transfer member and to the substrate side without applying the flux. It was applying. However, in the method of applying the flux to the substrate side, the flux is apt to be excessively supplied to the substrate side, so that the method of transferring the flux to the bump has been adopted.

【0003】このバンプにフラックスを転写する方法
は、次のようにして行われる。図9に示す従来のフラッ
クス転写装置では、ノズル1と皿6を有している。この
ノズル1には、バンプ4を持つ液転写用の部材であるデ
バイス3を引圧2で吸着する。また、皿6には、フラッ
クス5が塗布されている。そして、このノズル1を皿6
側に下ろして、バンプ4が皿6に接続したら、ノズル1
を上げる動作でバンプ4にフラックス5を転写してい
た。この後、ノズル1に吸着して固定されているデバイ
ス3のバンプ4を、基板のハンダに対して接触してフラ
ックスをハンダに転写する。
The method of transferring the flux to the bumps is performed as follows. The conventional flux transfer device shown in FIG. 9 has a nozzle 1 and a dish 6. A device 3 which is a member for liquid transfer having bumps 4 is attracted to the nozzle 1 by a suction pressure 2. Further, the flux 6 is applied to the dish 6. Then, the nozzle 1 is replaced with the dish 6
Side down and when the bump 4 is connected to the plate 6, the nozzle 1
The flux 5 was transferred to the bump 4 by the raising operation. After that, the bumps 4 of the device 3 that are adsorbed and fixed to the nozzle 1 are brought into contact with the solder on the substrate to transfer the flux to the solder.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
フラックスの転写方法では、フラックス5の粘性が大き
い時に、引圧2がフラックス5の粘性に負けて、デバイ
ス3が皿6上に置き去りにされることがあった。したが
って、フラックス5からのデバイス3の剥離が不完全で
あり、歩留りが悪い。
However, in this conventional flux transfer method, when the viscosity of the flux 5 is large, the attraction pressure 2 is defeated by the viscosity of the flux 5 and the device 3 is left behind on the plate 6. There was something. Therefore, the peeling of the device 3 from the flux 5 is incomplete, and the yield is poor.

【0005】そこで、本発明は上記課題を解消するため
になされたものであり、フラックスのような液から、デ
バイスのような液の転写用部材を完全に剥離することが
でき、歩留りを向上することができる液転写装置と液転
写方法を提供することを目的としている。
Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and a transfer member for a liquid such as a device can be completely separated from a liquid such as a flux, thereby improving the yield. An object of the present invention is to provide a liquid transfer device and a liquid transfer method that can perform the above.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、液を転写用部材により対象物に対して転写する
ための液転写装置であって、上記転写用部材を設定する
転写用部材設定手段と、上記液を収容する液収容手段
と、上記転写用部材設定手段に固定された上記転写用部
材を、上記液収容手段の上記液に接触させて上記転写用
部材を上記液収容手段の上記液から離すための操作手段
と、上記液収容手段に気体を導いて上記転写用部材に付
与する気体付与手段と、を備える液転写装置により、達
成される。
According to the present invention, the above object is a liquid transfer device for transferring a liquid to an object by a transfer member, which is a transfer device for setting the transfer member. Member setting means, liquid containing means for containing the liquid, and the transfer member fixed to the transfer member setting means are brought into contact with the liquid of the liquid containing means to transfer the transfer member to the liquid. This is achieved by a liquid transfer device including an operation means for separating the containing means from the liquid, and a gas applying means for guiding gas to the liquid containing means and applying the gas to the transfer member.

【0007】前記気体付与手段は、好ましくは気体供給
源と、この気体供給源からの気体を前記液収容手段に導
いて上記転写用部材に付与する配管と、を備える。前記
配管には、好ましくはサイホン部分を備える。前記転写
用部材は、好ましくは前記転写用部材設定手段に対し
て、着脱可能に設定されている。
The gas applying means preferably includes a gas supply source and a pipe for guiding the gas from the gas supply source to the liquid containing means and applying the gas to the transfer member. The pipe is preferably provided with a siphon portion. The transfer member is preferably set to be removable from the transfer member setting means.

【0008】前記液は、好ましくは前記対象物としての
基板のハンダ部分に付与されるフラックスである。前記
転写用部材は、好ましくは前記液に接触するための突起
状のバンプを備える。前記気体は、好ましくは圧縮空気
である。
The liquid is preferably a flux applied to the solder portion of the substrate as the object. The transfer member preferably includes a bump having a protrusion shape for coming into contact with the liquid. The gas is preferably compressed air.

【0009】上記目的は、本発明にあっては、液を転写
用部材により対象物に対して転写するための液転写方法
であって、液収容手段にある上記液に、上記転写用部材
を接触して、上記液の付いた上記転写用部材を上記液の
面から離す時に、上記液収容手段側から上記液の付いた
上記転写用部材に対して気体を吹きつけることを特徴と
する液転写方法により、達成される。前記気体は、好ま
しくは圧縮空気である。
The above object is, in the present invention, a liquid transfer method for transferring a liquid onto an object by a transfer member, wherein the transfer member is added to the liquid in the liquid containing means. A liquid, characterized in that a gas is blown from the liquid containing means side to the transfer member with the liquid when contacting and separating the transfer member with the liquid from the surface of the liquid. This is achieved by the transfer method. The gas is preferably compressed air.

【0010】[0010]

【作用】上記構成によれば、液収容手段側に、転写用部
材を接触して、液の付いた上記転写用部材を液の面から
離す時に、液収容手段側から液の付いた転写用部材に対
して気体を吹きつける。これにより、転写用部材を液収
容手段側から剥離し易くする。
According to the above construction, when the transfer member is brought into contact with the liquid containing means side and the transfer member with the liquid is separated from the surface of the liquid, the transfer member with the liquid is attached from the liquid containing means side. A gas is blown to the member. This makes it easier to peel the transfer member from the liquid containing means side.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the examples described below are suitable specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are given, but the scope of the present invention particularly limits the present invention in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these modes.

【0012】図1と図2は、本発明の液転写装置の好ま
しい実施例を示している正面図と斜視図である。図1と
図2において、液転写装置としてのフラックス転写装置
は、ノズル10と、デバイス12と、皿14と、吸引手
段40と、上下操作手段70と、圧縮空気付与手段90
と、を有している。
1 and 2 are a front view and a perspective view showing a preferred embodiment of the liquid transfer device of the present invention. 1 and 2, a flux transfer device as a liquid transfer device includes a nozzle 10, a device 12, a plate 14, a suction means 40, a vertical operation means 70, and a compressed air application means 90.
And have.

【0013】まず、デバイス12は、液としてのフラッ
クス20をつけて、対象物としてのたとえば基板のハン
ダ部分に対して、転写もしくは塗布するための転写用部
材である。このデバイス12は、好ましくは矩形であ
り、その寸法はたとえば2mm×2mm角から20mm
×20mm角の大きさまで可能である。この実施例で
は、デバイス12の寸法は、好ましくは16mm×16
mm角である。
First, the device 12 is a transfer member for applying a flux 20 as a liquid and transferring or applying it to a solder portion of a substrate as an object. This device 12 is preferably rectangular and its dimensions are, for example, 2 mm × 2 mm square to 20 mm.
A size of × 20 mm square is possible. In this example, the dimensions of device 12 are preferably 16 mm x 16
mm square.

【0014】デバイス12は、複数の突起状のバンプ1
8を備えている。このはんだバンプ18は、たとえば高
さ約50μmであり、大きさ(直径)が100μmであ
る。複数の突起状のバンプ18は、デバイス12の外周
部に、たとえば約150μmのピッチで、たとえば40
0個並んでいる。
The device 12 includes a plurality of bump-shaped bumps 1.
Eight. The solder bump 18 has a height of about 50 μm and a size (diameter) of 100 μm, for example. A plurality of bumps 18 in the form of protrusions are provided on the outer peripheral portion of the device 12, for example, at a pitch of about 150 μm, for example, 40.
0 are lined up.

【0015】図1と図2に示すノズル10は、このデバ
イス12を着脱可能に吸着するための転写用部材設定手
段である。このノズル10は、好ましくは角柱であり、
たとえば15mm×15mm角の寸法となっている。ノ
ズル10の中央部には、デバイス12を吸引用の通路1
6が形成されている。この通路16は、穴16aを備え
ていて、その直径はたとえば1mmである。吸引手段4
0は、吸引用の通路16を含み、この吸引用の通路16
を通じて上述したデバイス12を着脱自在に吸着するこ
とができる。上下操作手段70は、ノズル10を矢印X
方向(上下方向)に移動操作するものである。
The nozzle 10 shown in FIGS. 1 and 2 is a transfer member setting means for removably adsorbing the device 12. The nozzle 10 is preferably a prism.
For example, the dimensions are 15 mm × 15 mm square. At the center of the nozzle 10, a passage 1 for suctioning the device 12 is provided.
6 is formed. The passage 16 is provided with a hole 16a, the diameter of which is, for example, 1 mm. Suction means 4
0 includes a passage 16 for suction, and the passage 16 for suction
Through the above, the device 12 described above can be removably adsorbed. The vertical operation means 70 moves the nozzle 10 to the arrow X
The moving operation is performed in the direction (vertical direction).

【0016】図1と図2に示す皿14は、フラックス2
0を収容するための円盤状の液収容手段である。この皿
14に収容されたフラックス20は、たとえば厚みが約
50μmであり、皿14の上に塗布または収容されてい
る。
The plate 14 shown in FIG. 1 and FIG.
It is a disk-shaped liquid storage means for storing 0. The flux 20 contained in the dish 14 has a thickness of, for example, about 50 μm, and is applied or contained on the dish 14.

【0017】図1と図3に示すように、気体付与手段と
しての圧縮空気付与手段90は、圧縮空気供給源26
と、配管22を備えている。この圧縮空気吹き込み用の
通路ともいう配管22は、圧縮空気供給源26と皿14
に設けられた空気吹き込み用の穴14aを接続してい
る。この圧縮空気吹き込み用穴14aの直径は、たとえ
ば1mmである。配管22の途中には、好ましくは図3
に示すように、サイホン部分24を有していて、このサ
イホン部分24は圧縮空気供給源26に接続されてい
る。
As shown in FIGS. 1 and 3, the compressed air supply means 90 as the gas supply means is a compressed air supply source 26.
And a pipe 22. The pipe 22, which is also called a passage for blowing compressed air, includes a compressed air supply source 26 and a dish 14.
The hole 14a for air blowing provided in the above is connected. The diameter of the compressed air blowing hole 14a is, for example, 1 mm. In the middle of the pipe 22, it is preferable to use FIG.
As shown in FIG. 3, it has a siphon portion 24, which is connected to a compressed air supply source 26.

【0018】このようにサイホン部分24が無い場合に
は、圧縮空気吐出用の配管22中に、皿14内のフラッ
クス20が流入することとなり、不都合が生じる。この
ため、図3に示すように、一旦配管22を、フラックス
皿14中のフラックス20の液面30よりも上部に通す
ことにより、配管22中にフラックス20が逆流するの
を防止することが好ましい。
If the siphon portion 24 is not provided in this manner, the flux 20 in the dish 14 will flow into the pipe 22 for discharging compressed air, which causes a problem. Therefore, as shown in FIG. 3, it is preferable to prevent the flux 20 from flowing backward into the pipe 22 by passing the pipe 22 once above the liquid surface 30 of the flux 20 in the flux tray 14. .

【0019】また、図4に示すように、皿14の高さh
2を、フラックス20の液面30の高さh1よりも高く
保つことにより、圧縮空気を穴14aから吐出する時の
フラックス20の戻りによるフラックス20の液面30
の高さ変化に対応することができる。つまり、フラック
ス20が皿14から溢れることがない。
Further, as shown in FIG. 4, the height h of the plate 14 is
By keeping 2 higher than the height h1 of the liquid surface 30 of the flux 20, the liquid surface 30 of the flux 20 due to the return of the flux 20 when the compressed air is discharged from the hole 14a.
It is possible to cope with the height change. That is, the flux 20 does not overflow from the plate 14.

【0020】次に、図5のフロー図を参照して、フラッ
クス20をデバイス12のバンプ18に転写する動作例
を説明する。まず図1と図2に示すチップともいうデバ
イス12を、ノズル10の下面に当てて、吸引手段40
を動作して吸引通路16を通じて、デバイス12を引圧
もしくは陰圧で、ノズル10の面に対して吸引して固定
する。
Next, an operation example of transferring the flux 20 to the bumps 18 of the device 12 will be described with reference to the flow chart of FIG. First, the device 12, which is also called a chip shown in FIGS. 1 and 2, is applied to the lower surface of the nozzle 10 to draw the suction means 40.
Is operated to suck and fix the device 12 to the surface of the nozzle 10 by suction or negative pressure through the suction passage 16.

【0021】次に、上下操作手段70を作動することに
より、ノズル10に吸着したデバイス12とともに、ノ
ズル10を矢印X方向に皿14側に下降する(ステップ
ST1)。
Next, by operating the up-down operation means 70, the nozzle 10 is lowered to the tray 14 side in the arrow X direction together with the device 12 adsorbed on the nozzle 10 (step ST1).

【0022】デバイス12のバンプ18が皿14もしく
は皿14内のフラックス20に触れたかどうかを、図示
しない接触検知機により検出して判断する(ステップS
T2)。デバイス12のバンプ18が皿14もしくは皿
14内のフラックス20に触れたら、図2の上下操作手
段70の作動を停止してノズル10の下降を停止する
(ステップST3)。
Whether or not the bumps 18 of the device 12 have come into contact with the dish 14 or the flux 20 in the dish 14 is determined by detecting it with a contact detector (not shown) (step S).
T2). When the bumps 18 of the device 12 come into contact with the dish 14 or the flux 20 in the dish 14, the operation of the vertical operation means 70 of FIG. 2 is stopped and the lowering of the nozzle 10 is stopped (step ST3).

【0023】そして、配管22と穴14aを通じて、圧
縮空気を皿14内に導入し(ステップST4)、図2の
上下操作手段70を作動してノズル10を矢印X方向に
上昇する。この際に圧縮空気は、たとえば10の4乗P
aの圧力で導入する。このような動作により、たとえ粘
性の高いフラックス20を用いていたとしても、このフ
ラックス20に密着したデバイス12を、圧縮空気供給
源26からの空気圧で完全に引き剥がすことができる。
Then, compressed air is introduced into the dish 14 through the pipe 22 and the hole 14a (step ST4), and the vertical operating means 70 of FIG. 2 is operated to raise the nozzle 10 in the arrow X direction. At this time, the compressed air is, for example, 10 4 P
It is introduced at a pressure of a. By such an operation, even if the flux 20 having a high viscosity is used, the device 12 in close contact with the flux 20 can be completely peeled off by the air pressure from the compressed air supply source 26.

【0024】そして、このようにして引き剥がしたデバ
イス12を、たとえばプリント基板のような基板(図示
せず)のハンダ部分に接触することにより、デバイス1
2のバンプからこのハンダ部分に対して、適量のフラッ
クスを転写もしくは塗布することができる。
Then, the device 12 thus peeled off is brought into contact with a solder portion of a substrate (not shown) such as a printed circuit board, whereby the device 1
An appropriate amount of flux can be transferred or applied from the bump 2 to the solder portion.

【0025】他の実施例 次に、本発明の液転写装置の他の実施例を、図6ないし
図8により説明する。まず、図6と図7を参照する。図
6と図7の実施例において、図1と図2の気体付与手段
としての圧縮空気付与手段90とは、異なる圧縮空気付
与手段190を備える。圧縮空気付与手段190は、配
管122と圧縮空気供給源126を備えている。この配
管122は、皿114の外部に設けられたサイホン部分
119に接続されている。
Another Embodiment Next, another embodiment of the liquid transfer device of the present invention will be described with reference to FIGS. First, refer to FIG. 6 and FIG. In the embodiment of FIGS. 6 and 7, the compressed air imparting means 90 different from the compressed air imparting means 90 as the gas imparting means of FIGS. 1 and 2 is provided. The compressed air applying unit 190 includes a pipe 122 and a compressed air supply source 126. The pipe 122 is connected to a siphon portion 119 provided outside the dish 114.

【0026】この容積を狭くしたサイホン部分119
は、配管122を介して圧縮空気供給源126に接続さ
れている。このように容積を狭くしたサイホン部分11
9を設けてフラックス20の逆流する容積を小さくして
いる。これにより、エアーともいう圧縮空気を、皿11
4の穴114aを介して吐出する場合には、配管122
中に逆流したフラックス20がフラックス皿114内に
戻る量を極小にすることができ、液面30の高さの変化
の抑制に資する。
Siphon portion 119 having a reduced volume
Is connected to a compressed air supply source 126 via a pipe 122. Siphon part 11 with such a small volume
9 is provided to reduce the backflow volume of the flux 20. As a result, the compressed air, also called air, is transferred to the dish 11
When discharging through the hole 114a of No. 4, the pipe 122
It is possible to minimize the amount of the flux 20 that has flowed back into the flux tray 114 and minimize the change in the height of the liquid surface 30.

【0027】次に、図8を参照する。図8の実施例にお
いて、皿214の周囲の高さをフラックス20の液面3
0の高さと同一にするとともに、穴214aを介して圧
縮空気吐出時のフラックス20の戻りに対応するよう
に、溢れたフラックス20を周囲の収容部250に回収
して、ポンプ80の作動によりフラックス20を皿21
4内に戻すようにしている。これにより、フラックス2
0の液面30の高さを一定にすることができる。なお、
穴214aは、圧縮空気付与手段の圧縮空気供給源に対
して配管を介して接続されている。
Next, referring to FIG. In the embodiment of FIG. 8, the height around the plate 214 is set to the liquid level 3 of the flux 20.
The height is equal to 0, and the overflowed flux 20 is collected in the surrounding accommodating portion 250 so as to correspond to the return of the flux 20 when the compressed air is discharged through the hole 214a, and the flux is generated by the operation of the pump 80. 20 for dish 21
I am trying to put it back within 4. This allows flux 2
The height of the liquid surface 30 of 0 can be made constant. In addition,
The hole 214a is connected to the compressed air supply source of the compressed air applying means via a pipe.

【0028】以上説明したように、本発明の実施例で
は、デバイスを吸着するノズルを持ち、フラックスを薄
く塗布した皿を対向する位置に配置し、その皿にエアー
の吹き出し口を持っている。このように、フラックス皿
の中央に圧縮空気導入用の穴を開けることにより、デバ
イスがフラックス皿に接触した後に引き上げるときに、
デバイスをフラックス皿の剥離を容易にすることができ
る。フラックスからデバイスの剥離を完全に行うことが
でき、歩留りが100パーセントになった。皿に塗布す
るフラックス量を大きくすることができ、フラックスの
転写量を多めにすることが可能なる。バンプが皿に押し
つけられたことを検知する接触検出機の感度を下げて、
押し込み量が若干増えてもよくなり、接触検出機のコス
トダウンが可能になる。
As described above, in the embodiment of the present invention, the device has a nozzle for adsorbing the device, the thin plates of the flux are arranged at opposite positions, and the plates have air outlets. In this way, by opening a hole for compressed air introduction in the center of the flux tray, when pulling up after the device contacts the flux tray,
The device can facilitate peeling of the flux tray. The device could be completely stripped from the flux, yielding 100% yield. The amount of flux applied to the plate can be increased, and the transfer amount of flux can be increased. Lower the sensitivity of the contact detector that detects when the bump is pressed against the plate,
Even if the pushing amount is slightly increased, the cost of the contact detector can be reduced.

【0029】ところで、本発明は、上記実施例に限定さ
れない。たとえば、図1と図2のノズルは、角柱型のも
のに限らず、他の形状を採用することができる。また、
皿は円盤状のものに限らず、他の形状を採用することが
できる。圧縮空気付与手段により、圧縮空気を皿に供給
しているが、これに限らず、たとえば他の種類の気体を
皿に供給したり吐き出すようにしても勿論良い。さら
に、ノズル側を移動するのではなく、皿側をノズルに対
して移動するようにしても良い。本発明の液転写装置と
液転写方法は、フラックス以外の他の種類の液体を転写
もしくは塗布するために適用することも可能である。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the nozzles in FIGS. 1 and 2 are not limited to the prismatic type, and other shapes can be adopted. Also,
The plate is not limited to a disc shape, and other shapes can be adopted. Although the compressed air is supplied to the dish by the compressed air applying means, the present invention is not limited to this, and, for example, other types of gas may be supplied to the dish or discharged. Further, instead of moving the nozzle side, the dish side may be moved with respect to the nozzle. The liquid transfer device and liquid transfer method of the present invention can also be applied to transfer or apply a liquid of a type other than a flux.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ラックスのような液から、デバイスのような液の転写用
部材を完全に剥離することができ、歩留りを向上するこ
とができる。
As described above, according to the present invention, the liquid transfer member such as the device can be completely separated from the liquid such as the flux, and the yield can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の液転写装置の好ましい実施例を示す正
面図。
FIG. 1 is a front view showing a preferred embodiment of a liquid transfer device of the present invention.

【図2】本発明の液転写装置の好ましい実施例を示す斜
視図。
FIG. 2 is a perspective view showing a preferred embodiment of the liquid transfer device of the present invention.

【図3】図2に示すフラックス皿等を示す図。3 is a diagram showing the flux tray and the like shown in FIG.

【図4】図2に示すフラックス皿とフラックスの液面の
高さを示す図。
FIG. 4 is a diagram showing the height of the flux tray shown in FIG. 2 and the liquid surface of the flux.

【図5】実施例の動作例を示す図。FIG. 5 is a diagram showing an operation example of the embodiment.

【図6】本発明の液転写装置の別の好ましい実施例を示
す皿等を示す断面図。
FIG. 6 is a sectional view showing a plate and the like showing another preferred embodiment of the liquid transfer device of the present invention.

【図7】図6の皿の斜視図。7 is a perspective view of the dish of FIG.

【図8】本発明の液転写装置のさらに別の好ましい実施
例を示す皿等を示す断面図。
FIG. 8 is a sectional view showing a plate and the like showing still another preferred embodiment of the liquid transfer device of the present invention.

【図9】従来のフラックス転写装置を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a conventional flux transfer device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ノズル(転写用部材の設定手
段) 12 デバイス(転写用部材) 14 皿(液収容手段) 16 吸引通路 18 バンプ 20 フラックス(液) 22 配管 26 圧縮空気供給源(気体供給源) 40 吸引手段 70 上下操作手段(操作手段) 90 圧縮空気付与手段(気体付与手
段)
10 Nozzle (Means for Setting Transfer Member) 12 Device (Member for Transfer) 14 Dish (Liquid Storage Means) 16 Suction Passage 18 Bump 20 Flux (Liquid) 22 Piping 26 Compressed Air Supply Source (Gas Supply Source) 40 Suction Means 70 Vertical operation means (operation means) 90 Compressed air applying means (gas applying means)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B05D 7/00 H 7717−4D H01L 21/321 H05K 3/34 503 B 7128−4E ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location B05D 7/00 H 7717-4D H01L 21/321 H05K 3/34 503 B 7128-4E

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液を転写用部材により対象物に対して転
写するための液転写装置であって、 上記転写用部材を設定する転写用部材設定手段と、 上記液を収容する液収容手段と、 上記転写用部材設定手段に固定された上記転写用部材
を、上記液収容手段の上記液に接触させて上記転写用部
材を上記液収容手段の上記液から離すための操作手段
と、 上記液収容手段に気体を導いて上記転写用部材に付与す
る気体付与手段と、を備えることを特徴とする液転写装
置。
1. A liquid transfer device for transferring a liquid to an object by a transfer member, comprising: a transfer member setting means for setting the transfer member; and a liquid containing means for containing the liquid. An operation means for bringing the transfer member fixed to the transfer member setting means into contact with the liquid of the liquid storage means to separate the transfer member from the liquid of the liquid storage means; A liquid transfer device comprising: a gas supply unit that guides gas to the storage unit and supplies the transfer member with the gas.
【請求項2】 前記気体付与手段は、気体供給源と、こ
の気体供給源からの気体を前記液収容手段に導いて上記
転写用部材に付与する配管と、を備える請求項1に記載
の液転写装置。
2. The liquid according to claim 1, wherein the gas applying means includes a gas supply source and a pipe for guiding the gas from the gas supply source to the liquid containing means and applying the gas to the transfer member. Transfer device.
【請求項3】 前記配管には、サイホン部分を備える請
求項2に記載の液転写装置。
3. The liquid transfer device according to claim 2, wherein the pipe is provided with a siphon portion.
【請求項4】 前記転写用部材は、前記転写用部材設定
手段に対して、着脱可能に設定されている請求項1ない
し請求項3のいづれかに記載の液転写装置。
4. The liquid transfer apparatus according to claim 1, wherein the transfer member is set to be attachable to and detachable from the transfer member setting means.
【請求項5】 前記液は、前記対象物としての基板のハ
ンダ部分に付与されるフラックスである請求項1ないし
請求項3のいづれかに記載の液転写装置。
5. The liquid transfer device according to claim 1, wherein the liquid is a flux applied to a solder portion of a substrate as the object.
【請求項6】 前記転写用部材は、前記液に接触するた
めの突起状のバンプを備える請求項1ないし請求項3の
いづれかに記載の液転写装置。
6. The liquid transfer device according to claim 1, wherein the transfer member includes a bump having a projection shape for coming into contact with the liquid.
【請求項7】 前記気体は、圧縮空気である請求項1ま
たは請求項2に記載の液転写装置。
7. The liquid transfer apparatus according to claim 1, wherein the gas is compressed air.
【請求項8】 液を転写用部材により対象物に対して転
写するための液転写方法であって、 液収容手段にある上記液に、上記転写用部材を接触し
て、 上記液の付いた上記転写用部材を上記液の面から離す時
に、上記液収容手段側から上記液の付いた上記転写用部
材に対して気体を吹きつけることを特徴とする液転写方
法。
8. A liquid transfer method for transferring a liquid to an object by a transfer member, wherein the transfer member is brought into contact with the liquid in a liquid storage means to attach the liquid. A liquid transfer method, wherein when the transfer member is separated from the surface of the liquid, a gas is blown from the liquid containing means side to the transfer member with the liquid.
【請求項9】 前記気体は、圧縮空気である請求項8に
記載の液転写方法。
9. The liquid transfer method according to claim 8, wherein the gas is compressed air.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001345543A (en) * 2000-05-31 2001-12-14 Sanyo Electric Co Ltd Flux transfer apparatus
JP2011139085A (en) * 2011-02-16 2011-07-14 Fuji Mach Mfg Co Ltd Flux transfer device

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