JPH07176599A - ウエハ位置決め装置およびウエハ供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハの受け渡しとオリフラ合わせとを確
実、簡易かつ高精度に行うことができる装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】 このウエハ位置決め装置は、基台２４に回転
方向および上下方向に駆動される保持体３７を有する。
この保持体３７の上面にはウエハ１を保持したア−ム５
１と、上記基台２４に固定されかつ上記ア−ム５１から
ウエハが受け渡される保持テ−ブル２６と、上記保持テ
−ブル２６に受け渡されるウエハ１の中心を保持テ−ブ
ル２６の回転中心に一致させる第１の治具４８と、ウエ
ハ１に形成されたオリフラ２を検知するセンサ１７と、
このセンサ７によって検知されたオリフラを機械的に位
置決めする第２の治具６０とが設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ウエハのオリフラ合
わせを行うウエハ位置決め装置およびこのウエハ位置決
め装置にウエハを供給するウエハ供給装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体装置製造工程にはフォト
リソグラフィ工程がある。このフォトリソグラフィ工程
には、レジスト塗布、露光、現像の各工程がある。一般
的に上記レジスト塗布工程はウエハの結晶面方位と関係
なく行うことができるが、露光工程はウエハの面方位を
考慮しなくてはならない。すなわち、ウエハをレジスト
塗布工程から露光工程に受け渡す際にウエハの面方位を
揃える必要がある。

【０００３】上記ウエハはバ−状のシリコンの単結晶イ
ンゴットにＸ線方位測定により定められた結晶方位にウ
エハ面内の結晶学的基準方向を示すオリエンテ−ション
フラット（オリフラ）が設けられた後、スライシングに
より形成される（図６に示す状態）。したがって、ウエ
ハ１の位置決めは上記オリフラ２を検知することによっ
て行われる。

【０００４】上記オリフラ２を検知することで上記ウエ
ハ１の位置決めを行うウエハ位置決め装置として従来図
１０に示すようなものがある。図１０中４はこの位置決
め装置のウエハ受け渡し装置、５はオリフラ合わせ装置
である。

【０００５】上記ウエハ受け渡し装置４はベ−ス６を有
する。このベ−ス６には、図に７で示す第１のテ−ブル
７が取り付けられている。この第１のテ−ブルは、図示
しない駆動モ−タによって図に矢印（イ）で示すように
回転位置決め駆動されるようになっている。

【０００６】また、この第１の載置テ−ブル７の幅方向
一端側にはこの第１の載置テ−ブル７の長手方向に沿う
ガイドレ−ル８が取り付けられている。このガイドレ−
ル８には、保持部材１０がスライド駆動自在に取り付け
られている。そして、この保持部材１０には、Ｙ字先端
部９ａを上記第１の載置テ−ブル７の長手方向一端から
外方へ突出させてウエハ１の受け渡しを行うア−ム９が
略水平に保持されている。

【０００７】上記第１の載置テ−ブル７は、回転駆動さ
れない状態で、長手方向一端面が上記レジスト塗布工程
が終了したウエハ１…を上下方向に所定隙間を存して積
層保持するウエハキャリア１２に対向するように配置さ
れている。すなわち、上記第１の載置テ−ブル７は上記
ア−ム９をウエハキャリア１２の方向に駆動することで
上記ウエハキャリア１２からウエハ１の下面を保持し取
り出すことができるようになっている。

【０００８】そして、このウエハ受け渡し装置４は、ウ
エハ１を取り出したなら、上記第１の載置テ−ブル７を
図に矢印（イ）で示す方向に９０度回動させ、上記ア−
ム９の先端を上記オリフラ合わせ装置５に対向させる。

【０００９】このオリフラ合わせ装置５は第２の載置テ
−ブル１４を有する。この第２の載置テ−ブル１４には
図に１５で示すウエハ保持テ−ブルが取り付けられてい
る。このウエハ保持テ−ブル１５は上端を上記ウエハ位
置を吸着保持可能な吸着部とすると共に、上記第２の載
置テ−ブル１４の上面から突没自在なように設けられ、
かつ図示しない駆動手段により垂直軸線回りに回転位置
決め駆動されるようになっている。

【００１０】上記第２の載置テ−ブル１４の上面には一
側面が上記ウエハ１の外周面に沿うような形状に形成さ
れた一対の位置決め治具１６、１６がその一側面を互い
に対向させて配置されている。この位置決め治具１６、
１６は上記ウエハ保持テ−ブル１５を挟んで線対称に配
置され、図示しない駆動手段によって互いに接離する方
向に駆動されるようになっている。

【００１１】また、上記第２の載置テ−ブル１４の載置
面１４ａ上には上記ウエハ１のオリフラ２のある位置を
検出することができる非接触センサ１７が固定されてい
る。この非接触センサ１７は上記ウエハ１のオリフラ２
を検出し、この検出信号により上記ウエハ保持テ−ブル
１５の回転を所定の位置で停止させるようになってい
る。

【００１２】すなわち、上記ウエハ受け渡し装置４は、
上記ウエハキャリア１２から上記ウエハ１を取り出した
後、上記第１の載置テ−ブル７を図に矢印（イ）で示す
ように回動させ、上記ア−ム９を上記オリフラ合わせ装
置５に対向させ、上記ウエハ１を上記ウエハ保持テ−ブ
ル１５の上方に位置させる。

【００１３】そして、上記一対の位置決め治具１６、１
６を接近する方向に駆動することで、上記ウエハ１の外
周に上記治具１６、１６の一側面が係合し、このウエハ
１の中心位置を上記ウエハ保持テ−ブル１５の回転軸線
上に一致させることができるようになっている。

【００１４】上記ウエハ１の中心がウエハ保持テ−ブル
１５の回転軸線上に一致したならば、上記ウエハ保持テ
−ブル１５は吸引力を発生させながら上昇駆動され、上
記ウエハ１の下面に当接し、このウエハ１の下面を吸着
保持しつつ上記ア−ム９の保持部９ａから上方へ離間さ
せる。

【００１５】次に、上記ウエハ保持テ−ブル１５が回転
駆動される。上記非接触センサ１７は上記ウエハ１のオ
リフラ２の位置を検知し、この検知信号を図示しない回
転駆動手段に送り上記非接触センサ１７と上記ウエハ１
のオリフラ２の位置とが一致する状態で上記ウエハ保持
テ−ブル１５の回転を停止させる。このことで上記ウエ
ハ１はオリフラ合わせ（位置決め）される。

【００１６】上記ウエハ１が位置決めされたならばこの
ウエハ１は、上述したのと逆の動作によって再び上記ア
−ム９に受け渡され、上記ウエハキャリア１２内に格納
される。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のウエハ位置決め装置では、以下に説明する解決すべ
き課題がある。第１に、上述のようなウエハ位置決め装
置では、オリフラ合わせ装置５とウエハ１をウエハキャ
リア１２からオリフラ合わせ装置５に受け渡す受け渡し
装置４の２つの装置が設けられ、この２つの装置５、４
間で上記ウエハ１の受け渡しを行わなければならない。

【００１８】このため上記ウエハ位置決め装置は構造お
よび動作が複雑になり、ウエハ１の位置合わせ精度が低
下するということがある。また、第２に、上記ウエハキ
ャリア１２を設置する場合に、このウエハキャリア１２
を設置した際の振動等により、キャリア１２内からウエ
ハ１が飛び出したり、位置ずれを起こすということがあ
る。

【００１９】キャリア１２内からウエハ１が飛び出した
場合には、このウエハ１が破損する恐れがある。また、
ウエハ１が大きく位置ずれしたまま上記ウエハ位置決め
装置に移送された場合には、治具１６を用いても上記ウ
エハ１の中心を上記ウエハ保持テ−ブル１５のセンタに
一致させることができない場合があり、位置合わせが行
えないということがある。

【００２０】第３に、上記センサ１７でオリフラ２を検
出する場合、上記センサ１７の解像度には一定の限界が
あるために、オリフラ２の検出を良好に行えないという
ことがある。この結果、上記ウエハ１の高精度な位置合
わせには限界があるということがある。

【００２１】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、上記ウエハの受け渡しとオリフラ合わせと
を確実、簡易かつ高精度に行うことができるウエハ位置
決め装置およびウエハ供給装置を提供することを目的と
するものである。

【００２２】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、基台と、この基台に設けられた保持体と、同じく上
記基台に上記保持体とは独立に設けられ、この保持台の
上側に位置すると共に上面にウエハを保持可能な保持テ
−ブルと、上記保持体に設けられ、上記保持テ−ブルの
中心を通る方向に往復移動するア−ムと、上記保持テ−
ブルの上方に設けられ、上記保持テ−ブルの中心を中心
に形成された円弧面を有し、上記ア−ムに保持されたウ
エハをこの円弧面に当接させることで、このウエハの中
心を上記保持テ−ブルの中心に一致させる第１の位置決
め治具と、上記保持体と保持テ−ブルとを相対的に上下
駆動し、上記ア−ムと保持テ−ブルとで上記ウエハの受
け渡しを行なわせる上下駆動手段と、上記保持体と保持
テ−ブルとを相対的に回転駆動する回転駆動手段と、上
記保持体に設けられ、この保持体をウエハを保持した保
持テ−ブルに対して相対的に回動させることで、上記保
持テ−ブル上に保持されたウエハのオリフラを検知する
センサと、上記ウエハのオリフラに当接することで、こ
のオリフラを機械的に位置決めする第２の位置決め治具
とを具備することを特徴とするものである。

【００２３】第２の手段は、ウエハを所定間隔で積層保
持するウエハキャリアを支持し、このウエハキャリアか
らウエハを供給するウエハ供給装置において、上記ウエ
ハキャリアを保持する保持台と、この保持台から立設さ
れた治具と、上記治具を駆動し、この治具を上記ウエハ
キャリアの外面に当接させてこのウエハキャリアの上記
保持台上での位置ずれを補正すると共に、上記治具を上
記ウエハキャリアに保持された各ウエハの外周面に当接
させて各ウエハのウエハキャリア内での位置ずれを補正
する駆動機構とを具備することを特徴とするものであ
る。

【００２４】

【作用】第１の手段によれば、ウエハの受け渡しとオリ
フラ合せとを一つの装置で行うことができる。第２の手
段によれば、ウエハキャリアからウエハが飛び出した
り、ウエハキャリア自体やウエハが位置擦れすることが
有効に防止できる。

【００２５】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図１〜図５を参
照して説明する。この装置は、図に示すように、ウエハ
位置合わせ装置２０と、このウエハ位置合わせ装置２０
の側方に設けられ、このウエハ位置合わせ装置２０に未
だオリフラ合わせがされていないウエハ１を供給すると
共にこのウエハ位置合わせ装置からすでにオリフラ合わ
せされたウエハ１を回収するウエハ保持装置２１とから
なる。

【００２６】まず、ウエハ位置合わせ装置２０の構成を
その作用と共に説明する。図１中２４はこの発明のウエ
ハ位置合わせ装置２０の基台である。この基台２４の上
面の略中央には長尺なるロッド２５が軸線を垂直にして
立設されている。そしてこのロッド２５の上端には、上
記ウエハ１の外径より小さい外径で形成されかつ上面を
ウエハ１を保持する保持面としたウエハ保持テ−ブル２
６（以下「保持テ−ブル」と略す）が固定されている。

【００２７】また、上記基台２４の上面には上記ロッド
２５の外径より大径なる内径部２７ａを有する円筒形状
の保持部材２７が軸線を上記ロッド２５の軸線と一致さ
せて立設されている。

【００２８】上記保持部材２７の上端には、この保持部
材の径方向外側へ略水平に突出するモ−タブラケット２
８が設けられている。このモ−タブラケット２８の下面
には、第１の駆動モ−タ２９がその駆動軸を上記モ−タ
ブラケット２８の上面から上方に延出させて取り付けら
れている。そして、この駆動軸には第１の駆動プ−リ３
０が取り付けられている。

【００２９】上記保持部材２７の内径部２７ａ内には、
上記保持部材２７の内径より小さい外径を有し、上記ロ
ッド２５の外径より若干大きい内径を有する円筒形状の
回転体３１が上記ロッド２５と軸線を一致させかつ上記
保持部材２７の内径部２７ａに一対の軸受３３、３３を
介して回転自在に取り付けられている。

【００３０】上記回転体３１の上端部は上記保持部材２
７の上端より上方に突出していて、その上端には径方向
外側へ突出するフランジ部３１ａが形成されている。ま
た、上記回転体３１の高さ方向中途部の外周面には上記
第１の駆動プ−リ３０と略同じ高さに第１の従動プ−リ
３４が設けられている。

【００３１】そして、上記第１の駆動プ−リ３０と第１
の従動プ−リ部３４とには駆動ベルト３５が掛け渡さ
れ、上記第１の駆動モ−タ２９を作動させることでこの
回転体３１は回転駆動されるようになっている。

【００３２】一方、上記回転体３１の上端に形成された
フランジ部３１ａの上面には一対のガイド３６、３６が
平行に離間して略垂直に立設されている。このガイド３
６には上下移動可能なスライダ３８を有していて、この
スライダ３８は図に３７で示す保持体内に設けられた仕
切板３７ａの一方の側面に固定されている。

【００３３】上記保持体３７は下方に開口した矩形箱状
に形成され、上記仕切板３７ａは、この保持体３７の内
部を略垂直に仕切っている。したがって、この保持体３
７は、上記ガイド３６に沿って上下方向にスライド移動
することが出切るようになっている。

【００３４】なお、上記ロッド２５は、この保持体３７
を非接触に貫通してこの保持体３７の上方へ突出し、こ
のロッドの上端に設けられた保持テ−ブル２６は上記保
持体３７の上下動にかかわらず一定の高さに保持される
ようになっている。

【００３５】また、上記回転体３１のフランジ部３１ａ
の上面には、図に４１で示すコの字状の第１の支持部材
が取り付けられている。この第１の支持部材４１には、
上下駆動手段としてのボ−ルねじ機構３９のねじ軸が軸
線を垂直にして回転自在に取り付けられている。このね
じ軸の下端部には第２の従動プ−リ４０が取り付けられ
ている。

【００３６】一方、上記ボ−ルねじ機構３９を構成する
ナット３９ａは上記仕切板３７ａの一方の側面に固着さ
れている。したがって、上記保持体３７は、このボ−ル
ねじ機構３９によって上下駆動されるようになってい
る。

【００３７】また、図３に示すように、上記回転体３１
のフランジ部３１ａの上記仕切板３７ａの他側面側には
コの字状の第２の支持部材４２が取り付けられている。
上記第２の支持部材４２の上壁には第２の駆動モ−タ４
３が軸線を垂直にかつ駆動軸を上記上壁と下壁の間に延
出させて設けられている。

【００３８】この第２の駆動モ−タ４３の駆動軸には第
２の駆動プ−リ４４が上記第２の従動プ−リ４０と略同
じ高さで取り付けられている。そして、上記第２の駆動
プ−リ４４と第２の従動プ−リ４０とには第２の駆動ベ
ルト４５が掛け渡されている。

【００３９】したがって、上記第２の駆動モ−タ４３を
作動させれば、上記第２の従動プ−リ４４を介して上記
ボ−ルねじ機構３９が作動して、上記保持体３７を上下
方向に駆動するようになっている。

【００４０】また、上記保持体３７の上部の上記仕切板
３７ａの他方の側面には図１に示すように上記保持体３
７の長手方向に沿うガイドレ−ル４９が取り付けられて
いる。このガイドレ−ル４９にはスライダ５０が水平方
向にスライド自在に取り付けられている。

【００４１】このスライダ５０には後述するア−ム５１
を保持するア−ム保持部材５２の下端部５２ａが固着さ
れている。また、このア−ム保持部材５２の下端部５２
ａには連結部材５３が突設されている。

【００４２】図３に示すように、上記ア−ム保持部材５
２の上端部は略水平に折曲された後、さらに下方に折曲
されていて、その先端部５２ｂは後述する一対の第１の
治具４８の一方を跨いでこの一対の第１の治具４８、４
８の対向面間に位置するようになっている。

【００４３】このア−ム保持部材５２の先端部５２ｂに
は、図１および図２に示すように先端部５１ａにウエハ
１を保持するア−ム５１が水平に取り付けられている。
このア−ムの先端部５１ａは、保持したウエハ１の下側
に保持テ−ブル２６を位置させることができるようにＹ
字フォ−ク状に形成されている。

【００４４】また、図１に示すように、上記仕切板３７
ａの他方の側面には、上記ア−ム保持部材５２を上記ガ
イドレ−ル４９に沿って駆動する駆動手段５４が設けら
れている。

【００４５】この駆動手段５４は上記仕切板３７ａの上
記ガイドレ−ル４９の一端部に対応する部位に軸線を垂
直にしかつ駆動軸を上方に延出させて設けられた第３の
駆動モ−タ５５と、この第３の駆動モ−タ５５の駆動軸
に取り付けられた第３の駆動プ−リ５６と、上記ガイド
レ−ル４９の他端部に対応する部位に上記第３の駆動プ
−リ５６と略同じ高さで回転自在に保持された第３の従
動プ−リ５７と、上記第３の駆動プ−リ５６と上記第３
の従動プ−リ５７とに張設された第３の駆動ベルト５８
とからなる。

【００４６】そして、この駆動ベルト５８には、上記連
結部材５３の下端部が固着されている。したがって、上
記第３の駆動モ−タ５５を作動させることで上記連結部
材５３を介してア−ム保持部材５２およびア−ム５１を
上記ガイドレ−ル４９に沿って進退駆動できるようにな
っている。

【００４７】また、上記保持体３７の上面には、検知手
段としての非接触センサ１７が撮像面を上方に向けて取
り付けられている。この非接触センサ１７は上記保持テ
−ブル２６上に保持されるウエハ１の周辺部に対向する
ようになっていて、ウエハ１のオリフラ２を検知するこ
とができるようになっている。

【００４８】一方、上記回転体３１のフランジ部３１ａ
の上面には、後述する第１、第２の位置決め治具４８、
６０を保持する位置決め治具保持柱６１が立設されてい
る。この保持柱６１は、上記保持体３７を非接触に貫通
し、上端部をこの保持体３７の上面から突出させて設け
られている。

【００４９】この保持柱６１の上端には、第２の治具６
０が設けられている。この第２の治具６０は、一端面６
０ａを上記ウエハ１のオリフラ２に当接させて上記ウエ
ハ１のオリフラ２の位置決めを機械的に行えるようにな
っている。

【００５０】また、この保持柱６１の、上記第２の治具
６０が設けられた位置の直下には、図に４８で示す第１
の治具を保持するブラケット６３が突設されている。こ
のブラケット６３は、上記保持柱６１から略水平に延出
されると共に、図３に示すように上方に開口するチャン
ネル形状に成形されたもので、その上端には、一対の第
１の治具４８、４８が保持されている。

【００５１】この一対の第１の治具４８、４８は図２に
示すように上記保持体３７の幅方向に一定距離離間して
平行に配置されたブロック形状の部材である。これら一
対の第１の治具４８、４８は上記第２の治具６０に対向
する側の端面とそれぞれの対向面とによって構成される
角部が上記ウエハ１の外周面に沿う曲面４８ａ、４８ａ
に形成されている。これら一対の第１の治具４８、４８
はこの曲面４８ａ、４８ａに上記ウエハ１の外周縁を当
接させたときに、上記ウエハ１の中心を上記ロッド２５
（保持テ−ブル２６）の中心軸線上に一致させるように
配置されている。

【００５２】また、上記第１の治具４８は、図１に示す
ように、上記第２の治具６０よりも高い位置に配置され
ていて、上記第２の治具６０は上記保持テ−ブル２６よ
りも高い位置に配置されている。そして、上記保持ア−
ム５１は、上記保持体３７が上下駆動されることで、先
端部５１ａに保持したウエハ１をそれぞれ第１、第２の
治具４８、６０および保持テ−ブル２６と同じ高さに位
置決めするようになっている。

【００５３】次に、上記ウエハ供給装置２１の構成につ
いて図１および図４を参照して説明する。このウエハ供
給装置は、複数枚のウエハ１…を上下に所定間隔で積層
保持するウエハキャリア６５を保持し、このウエハキャ
リア６５を上下させることで、各ウエハ１…を上記ウエ
ハ位置合わせ装置２０の保持ア−ム５１に対向させるも
のである。

【００５４】このような動作を行うために、上記ウエハ
供給装置２１は、図に６６で示すエレベ−タ装置を具備
する。このエレベ−タ機構６６は、例えば、ボ−ルねじ
機構６７で作動するようになっていて、このエレベ−タ
装置６６の天板６６ａは、このボ−ルねじ機構６７によ
って上下方向に駆動されるようになっている。

【００５５】このエレベ−タ装置６６の天板６６ａ上に
は、上端面にウエハキャリア６５を保持すると共に、こ
のウエハキャリア６５の位置決めおよびこのウエハキャ
リア６５内に積層保持されたウエハ１の姿勢を揃えるウ
エハ揃え機構６８が設けられている。

【００５６】このウエハ揃え機構６８は、ケ−ス６９
（保持台）を具備し、このケ−ス６９内には、軸線を垂
直にした駆動モ−タ７０が設けられていて、この駆動モ
−タ７０の駆動軸には駆動プ−リ７１が設けられてい
る。

【００５７】一方、上記ケ−ス６９内には、短尺なる回
転軸７２が、図に一点鎖線で示す軸線（イ）回りに回転
自在に設けられている。この回転軸７２の下端には、上
記駆動プ−リ７１と略同じ高さで従動プ−リ７３が固定
されている。この従動プ−リ７３と駆動プ−リ７１との
間には、駆動ベルト７４が掛け渡されていて、上記駆動
モ−タ７０が作動することで、上記回転軸７２は回転駆
動されるようになっている。

【００５８】一方、上記回転軸７２の上端には、クラン
ク板７５が設けられていて、このクランク板７５の上面
には、上端をこのケ−ス６９の上面から上方に突出させ
た棒部材７６が略垂直に立設されている。この棒部材７
６は、その軸線を上記回転軸７２の軸線と偏心させて設
けられている。

【００５９】このような機構は、図４に示すように、上
記回転軸の軸線を平行にして２組設けられている。各機
構は、図５（ａ）の下図に示すように、上記棒部材７６
が上記ケ−ス６９上に載置される上記ウエハキャリア６
５を挟むように配置されている。

【００６０】そして、各機構は、同図に一点鎖線の矢印
（ロ）で示すように、上記軸線（イ）を中心として回動
するようになっている。なお、上記ケ−ス６９の上面に
上記棒部材７６が移動するための円弧状のスリット７８
が設けられてる。

【００６１】また、上記ケ−ス６９の上面には、上記ウ
エハキャリア６５を位置決め保持するためのレ−ル７９
が紙面と直交する方向に設けられている。上記ウエハキ
ャリア６５は、下端に設けられた切欠部８０をこのレ−
ル７９に係止させて、このケ−ス６９の上端面上に載置
され、後述するように上記棒部材７６によって位置決め
されるようになっている。

【００６２】次に、図１および図６（ａ）〜（ｃ）、図
７（ｄ）〜（ｆ）、図８（ｇ）〜（ｉ）を参照してこの
ウエハ位置決め装置によるウエハ１の位置決めの動作を
説明する。

【００６３】作業者は、まず、上記ウエハ位置決め装置
２１の、ウエハ揃え機構６８の上端面に上記ウエハキャ
リア６５を載置する。このとき、上記ウエハ供給装置２
１は、上記棒部材６７を図５（ａ）の下図に示す位置か
ら若干矢印（ハ）方向に回動させた状態で停止させてい
る。作業者は、上記ウエハキャリア６５の下端に設けら
れた切欠部８０を上記ケ−ス６９の上端部に設けられた
レ−ル７９に係止させた状態で、このウエハキャリア６
５を載置する。

【００６４】このとき、上記ウエハキャリア６５のウエ
ハ取り出し側（上記ウエハ位置合わせ装置に対向する
側）には、上記棒部材６７が位置しているので、このウ
エハキャリア６５を載置したときの振動で上記ウエハ１
がこのウエハキャリア６５内でずれても、このウエハキ
ャリア６５から飛び出してしまうことはない。

【００６５】ウエハキャリア６５が載置されたならば、
上記棒部材６７は、さらに矢印（ハ）方向に回動し、同
図（ｂ）に示すように、上記ウエハキャリア６５の側面
に当接する。このことで、上記ウエハキャリア６５は所
定の位置に位置決めされる。

【００６６】ついで、上記棒部材７６は、同図（ａ）に
示す位置に駆動され、上記ウエハキャリア６５内に収納
された各ウエハ１…の外周面に当接する。このことで、
上記ウエハ１のウエハキャリア６５内での位置ずれが補
正される。

【００６７】このような補正作業が終了したならば、再
度上記棒部材７６は、同図（ｂ）に示す位置に移動し、
上記ウエハキャリア６５の側面を保持する。ついで、上
記ウエハ位置決め装置２０が作動する。このウエハ位置
決め装置２０は、上記第１の駆動モ−タ２９を作動さ
せ、図１に示すように、上記保持ア−ム５１の保持部５
１ａが上記ウエハ供給装置２０のウエハキャリア６５に
対向するように位置決めする。

【００６８】ついで、図６（ａ）に示すように、このウ
エハ位置決め装置２０は、第３の駆動モ−タ５５を作動
させ、上記ア−ム５１を上記ウエハキャリア６５の方向
に駆動する。このことでア−ム５１の保持部５１ａは上
記ウエハキャリア６５内に挿入され位置決めされる。つ
いで上記ウエハキャリア６５は上記エレベ−タ機構６６
によって所定寸法下降駆動され、上記ア−ム５１の保持
部５１ａに上記ウエハ１を受け渡す。

【００６９】上記ア−ム５１の先端部５１ａ上に上記ウ
エハ１が保持されたならば、このア−ム５１はウエハキ
ャリア６５から離間する方向に駆動される。このことで
図６（ｂ）に示すように上記ア−ム５１は上記ウエハ１
の外周面を上記一対の第１の治具４８、４８の曲面４８
ａ、４８ａに当接させ、上記ウエハ１の中心を上記ロッ
ド２５（保持テ−ブル２６）の中心軸線つまり保持体３
７の回転中心に一致させる（図２に示す状態）。上記ウ
エハ１の中心が上記ロッド２５の中心軸線と一致したな
らば上記ア−ム５１は保持部５１ａに上記ウエハ１を保
持した状態でその位置に停止する。

【００７０】次に、上記第２の駆動モ−タ４３（図５に
示す）が作動し、上記ボ−ルねじ機構３９を作動させ上
記保持体３７を下方向に駆動する。このことで図６
（ｃ）に示すように上記保持テ−ブル２６に対して上記
ア−ム５１が下降するから、このア−ム５１の保持部５
１ａに保持されたウエハ１が保持テ−ブル２６上に受け
渡される。

【００７１】ついで、図７（ｄ）に示すように上記第１
の駆動モ−タ２９を作動させ、上記回転体３１と共に保
持体３７を回動させる。このとき、上記ロッド２５の上
端部に取り付けられた保持テ−ブル２６およびこの保持
テ−ブル２６の上面に載置されたウエハ１は回転せず、
図６（ｃ）に示す状態で保持される。

【００７２】上記保持体３７を回転駆動することで上記
非接触センサ１７は上記ウエハ１の周辺部をスキャンす
るから、このウエハ１に形成されたオリフラ２を検出す
ることができる。上記非接触センサ１７がオリフラ２を
検出すると、その位置で上記保持体３７の回転は停止さ
れる。（図７（ｄ））ついで、図７（ｅ）に示すよう
に、上記第２の駆動モ−タ４３が作動し、上記保持体３
７を上昇駆動する。このことで保持テ−ブル２６に保持
されたウエハ１が再び上記ア−ム５１の保持部５１ａに
受け渡される。つまり、ウエハ１はオリフラ２が所定の
位置に位置決め（オリフラ合わせ）された状態でア−ム
５１の保持部５１ａに受け渡される。

【００７３】同図に示すように、上記ア−ム５１は、保
持部５１ａに保持したウエハ１を第２の位置決め治具６
０と略同じ高さで保持する。そして、図７（ｆ）示すよ
うに、上記第３の駆動モ−タ５５を作動させて、上記ア
−ム５１を上記第２の位置決め治具６０の方向に駆動す
る。このことで、上記第２の位置決め治具６０の一端面
を上記ウエハ１のオリフラ２に当接させて上記オリフラ
２の機械的な位置決めを行う。

【００７４】このようにして、上記ウエハ１のオリフラ
合わせが終了したならば、上記第１の駆動モ−タ２９が
作動して上記保持体３７およびア−ム５１を回転駆動
し、図８（ｇ）に示すように、上記ア−ム５１の保持部
５１ａを上記ウエハキャリア６５に対向位置決めする。

【００７５】ついで図８（ｈ）に示すように、上記第２
の駆動モ−タ４３が作動して、上記保持体３７は若干量
上昇駆動され、上記ア−ム５１を上記第１の位置決め治
具４８と略同じ高さに保持する。そして、図８（ｉ）に
示すように、上記第３の駆動モ−タ５５が作動して、上
記ア−ム５１の一端部５１ａを上記ウエハキャリア６５
内に位置決め挿入し、上記位置決めされたウエハ１をウ
エハキャリア６５の元の位置に返還する。これらのこと
により、上記ウエハ１の位置決めは完了する。

【００７６】このような構成によれば、以下に説明する
効果がある。第１に、上記ウエハ保持装置２１による効
果について説明する。このウエハ保持装置２１によれ
ば、ウエハキャリア６５をウエハ揃え機構上６８上に載
置したときのショックでこのウエハキャリア６５内で上
記ウエハ１…がずれた場合でも、上記棒部材７６を用い
ることで、上記ウエハキャリア６５からウエハが飛び出
してしまうのを防止できる。また、この棒部材７６を駆
動することで、ウエハキャリア６５自体の位置ずれや、
ウエハキャリア６５内でのウエハ１…の位置ずれを補正
することができる。

【００７７】このことにより、ウエハ１の破損を防止で
きると共に、上記ウエハ位置合わせ装置２１に対してよ
り良好な状態で上記ウエハ１を供給することができる効
果がある。

【００７８】第２に、上記ウエハ位置合わせ装置２１に
よる効果について説明する。このウエハ位置合わせ装置
２１によれば、一台の装置でウエハ１をウエハキャリア
６５から取り出して、そのオリフラ２を検知した後、オ
リフラ２を基準にして位置決めし、上記ウエハキャリア
６５に戻すことができる。しかも、上記ア−ム５１は保
持体５１ａの長手方向に沿って一回往復させるだけです
むので、装置の動作が簡略化され高速かつ高精度で上記
ウエハ１の位置決めを行うことが可能である。

【００７９】また、上記ウエハ１のオリフラ合わせを上
記非接触センサ１７で検出するだけで行うのではなく、
この非接触センサ１７による粗位置合わせの後上記ウエ
ハ１のオリフラ２を第２の位置合わせ治具６０に当接さ
せることで機械的にオリフラ合わせを行うようにした。

【００８０】このことで、上記非接触センサ１７の解像
度の限界によって上記オリフラ２の検出を十分に行えな
い場合でも、上記第１の治具で機械的に位置決めを行え
るから上記ウエハ１のオリフラ合わせの精度が向上する
効果がある。

【００８１】一方、従来例は図１０を引用して示すよう
に受け渡し装置４と、オリフラ合わせ装置５の２台の装
置を設けていたが、この発明では１つの装置で連続的に
行うようにしたから構成が簡略化されコンパクトなウエ
ハ位置決め装置を得ることができる。

【００８２】なお、この発明は上記一実施例に限定され
るものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々変
形可能である。例えば、上記一実施例では、上記保持テ
−ブル２６（ロッド２５）を固定し上記保持体３７を回
転自在かつ上下方向移動自在にしたが、他の実施例とし
て上記保持体３７を固定して上記保持テ−ブル２６（ロ
ッド２５）を回転駆動かつ上下方向移動自在にするよう
にしてもよい。

【００８３】このような構成によれば、保持テ−ブル２
６を回転させてオリフラ２を検出した後に、上記一実施
例に示す図７（ｆ）から図８（ｇ）に至る動作すなわち
上記保持体３７の一端部を上記ウエハキャリア１２に対
向させるという動作が不必要であるから、位置決めの動
作が簡略化されウエハ１の位置決めをより高速で行うこ
とが可能である。

【００８４】また、保持テ−ブル２６と保持体３７との
いずれか１方を回転自在、他方を上下移動自在に設けて
も良い。さらに、上記一実施例では、上記第１、第２の
位置決め治具４８、６０は、それぞれ円弧面４８ａおよ
び一端面６０ａに上記ウエハ１を当接させることで位置
決めを行うものであったが、これに限定されるものでは
ない。

【００８５】上記円弧面４８ａおよび一端面６０ａの設
けられた位置に複数本のピンを立設し、このピンの外周
面に上記ウエハ１を当接させることで、上記ウエハ１の
位置決めを行うようにしても同様の効果を得ることがで
きる。

【００８６】一方、上記ウエハ供給装置２１において、
上記一実施例では、上記棒部材７６は円柱形状であった
が、これに限定されるものではない。上記ウエハ１…お
よびウエハキャリア６５を位置決めできるような形状で
あれば他の形状でも良い。

【００８７】また、上記棒部材７６を駆動する手段は、
上記モ−タ７０やプ−リ等でなくとも良い。例えば、カ
ム機構を用いて、上記クランク板７５を上記軸線（イ）
を支点に揺動させることで上記棒部材７６を駆動するよ
うにしても良い。この場合には、上記カム機構を駆動す
る手段は、油圧や空圧のシリンダ装置であっても良い。

【００８８】また、上記棒部材７６の駆動経路は、円弧
軌跡でなくても良い。クランク状のスリットを設けて、
このスリットに沿って上記棒部材７６を駆動するように
しても良い。さらに、上記一実施例では、上記棒部材を
駆動する駆動源として駆動モ−タ７０を２つ用いたが、
一つで兼用しても良い。

【００８９】

【発明の効果】この発明の第１の手段は、基台と、この
基台に設けられた保持体と、同じく上記基台に上記保持
体とは独立に設けられ、この保持台の上側に位置すると
共に上面にウエハを保持可能な保持テ−ブルと、上記保
持体に設けられ、上記保持テ−ブルの中心を通る方向に
往復移動するア−ムと、上記保持テ−ブルの上方に設け
られ、上記保持テ−ブルの中心を中心に形成された円弧
面を有し、上記ア−ムに保持されたウエハをこの円弧面
に当接させることで、このウエハの中心を上記保持テ−
ブルの中心に一致させる第１の位置決め治具と、上記保
持体と保持テ−ブルとを相対的に上下駆動し、上記ア−
ムと保持テ−ブルとで上記ウエハの受け渡しを行なわせ
る上下駆動手段と、上記保持体と保持テ−ブルとを相対
的に回転駆動する回転駆動手段と、上記保持体に設けら
れ、この保持体をウエハを保持した保持テ−ブルに対し
て相対的に回動させることで、上記保持テ−ブル上に保
持されたウエハのオリフラを検知するセンサと、上記ウ
エハのオリフラに当接することで、このオリフラを機械
的に位置決めする第２の位置決め治具とを具備すること
を特徴とするものである。

【００９０】第２の手段は、ウエハを所定間隔で積層保
持するウエハキャリアを支持し、このウエハキャリアか
らウエハを供給するウエハ供給装置において、上記ウエ
ハキャリアを保持する保持台と、この保持台から立設さ
れた治具と、上記治具を駆動し、この治具を上記ウエハ
キャリアの外面に当接させてこのウエハキャリアの上記
保持台上での位置ずれを補正すると共に、上記治具を上
記ウエハキャリアに保持された各ウエハの外周面に当接
させて各ウエハのウエハキャリア内での位置ずれを補正
する駆動機構とを具備することを特徴とするものであ
る。このような構成によれば、ウエハの受け渡しとオリ
フラ合わせとを確実、簡易かつ高精度に行うことができ
る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す正面図。

【図２】同じく、上面図。

【図３】同じく、側面図。

【図４】同じく、ウエハ供給装置の要部を示す斜視図。

【図５】同じく、（ａ）、（ｂ）は、ウエハ供給装置の
動作を示す工程図。

【図６】同じく、ウエハ位置合わせ装置の動作を示す工
程図。

【図７】同じく、ウエハ位置合わせ装置の動作を示す工
程図。

【図８】同じく、ウエハ位置合わせ装置の動作を示す工
程図。

【図９】ウエハを示す平面図。

【図１０】従来例を示す上面図。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…オリフラ、１７…非接触センサ（セン
サ）、２４…基台、２６…ウエハ保持テ−ブル（保持テ
−ブル）、２９…第１の駆動モ−タ（回転駆動手段）、
３７…保持体、３９…ボ−ルねじ機構（上下駆動手
段）、４８…位置決め治具、５１…ウエハ保持ア−ム
（ア−ム）、６５…ウエハキャリア、６８…ウエハ揃え
機構（駆動機構）、６９…ケ−ス（保持台）、７６…棒
部材（治具）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台と、 この基台に設けられた保持体と、 同じく上記基台に上記保持体とは独立に設けられ、この
   保持台の上側に位置すると共に上面にウエハを保持可能
   な保持テ−ブルと、 上記保持体に設けられ、上記保持テ−ブルの中心を通る
   方向に往復移動するア−ムと、 上記保持テ−ブルの上方に設けられ、上記保持テ−ブル
   の中心を中心に形成された円弧面を有し、上記ア−ムに
   保持されたウエハをこの円弧面に当接させることで、こ
   のウエハの中心を上記保持テ−ブルの中心に一致させる
   第１の位置決め治具と、 上記保持体と保持テ−ブルとを相対的に上下駆動し、上
   記ア−ムと保持テ−ブルとで上記ウエハの受け渡しを行
   なわせる上下駆動手段と、 上記保持体と保持テ−ブルとを相対的に回転駆動する回
   転駆動手段と、 上記保持体に設けられ、この保持体をウエハを保持した
   保持テ−ブルに対して相対的に回動させることで、上記
   保持テ−ブル上に保持されたウエハのオリフラを検知す
   るセンサと、 上記ウエハのオリフラに当接することで、このオリフラ
   を機械的に位置決めする第２の位置決め治具とを具備す
   ることを特徴とするウエハ位置決め装置。
2. 【請求項２】 ウエハを所定間隔で積層保持するウエハ
   キャリアを支持し、このウエハキャリアからウエハを供
   給するウエハ供給装置において、 上記ウエハキャリアを保持する保持台と、 この保持台から立設された治具と、 上記治具を駆動し、この治具を上記ウエハキャリアの外
   面に当接させてこのウエハキャリアの上記保持台上での
   位置ずれを補正すると共に、上記治具を上記ウエハキャ
   リアに保持された各ウエハの外周面に当接させて各ウエ
   ハのウエハキャリア内での位置ずれを補正する駆動機構
   とを具備することを特徴とするウエハ供給装置。