JPH07174712A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH07174712A JPH07174712A JP34407793A JP34407793A JPH07174712A JP H07174712 A JPH07174712 A JP H07174712A JP 34407793 A JP34407793 A JP 34407793A JP 34407793 A JP34407793 A JP 34407793A JP H07174712 A JPH07174712 A JP H07174712A
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- light
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】検査対象物を撮像し、当該撮像して得られる画
像に基づいて検査対象物の外観を検査する外観検査方法
において、一段と簡易な構成によつて検査対象を検査す
る。 【構成】カメラ１２の周囲には実装基板２を照明する円
形蛍光灯１３と円筒形状のスリツト部材１４と円筒形状
の色フイルタ１５が同軸上に配置されている。円形蛍光
灯１３から照射された光源光は光路ａに沿つてスリツト
部材１４のスリツト１４Ａ及び色フイルタ１５を介して
実装基板２上の例えばチツプ部品３の電極３Ａ又はフイ
レツト４において反射し、当該反射光は光路ａ′に沿つ
てカメラ１２の光学系に入射する。この結果カメラ１２
は特に反射率の高い電極３Ａ及びフイレツト４の反射光
を全体撮像画像内において高輝度で撮像し、これを画像
処理部２０に送出する。
像に基づいて検査対象物の外観を検査する外観検査方法
において、一段と簡易な構成によつて検査対象を検査す
る。 【構成】カメラ１２の周囲には実装基板２を照明する円
形蛍光灯１３と円筒形状のスリツト部材１４と円筒形状
の色フイルタ１５が同軸上に配置されている。円形蛍光
灯１３から照射された光源光は光路ａに沿つてスリツト
部材１４のスリツト１４Ａ及び色フイルタ１５を介して
実装基板２上の例えばチツプ部品３の電極３Ａ又はフイ
レツト４において反射し、当該反射光は光路ａ′に沿つ
てカメラ１２の光学系に入射する。この結果カメラ１２
は特に反射率の高い電極３Ａ及びフイレツト４の反射光
を全体撮像画像内において高輝度で撮像し、これを画像
処理部２０に送出する。
Description
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術（図５） 発明が解決しようとする課題（図５） 課題を解決するための手段（図１） 作用（図１） 実施例（図１〜図４） 発明の効果
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は外観検査装置に関し、例
えばチツプ部品が実装された基板のはんだ付け部の状
態、又はチツプ部品の実装状態等を検査する外観検査装
置に適用して好適なものである。
えばチツプ部品が実装された基板のはんだ付け部の状
態、又はチツプ部品の実装状態等を検査する外観検査装
置に適用して好適なものである。
【０００３】
【従来の技術】従来、基板上に実装されたデイスクリー
ト（分離）部品又はチツプ部品等の実装状態及びはんだ
付け状態を検査する外観検査装置として図５に示すよう
な構成のものがある。
ト（分離）部品又はチツプ部品等の実装状態及びはんだ
付け状態を検査する外観検査装置として図５に示すよう
な構成のものがある。
【０００４】すなわち図５において１は全体として外観
検査装置を示し、チツプ部品３を実装した後はんだ４に
よつてはんだ付けした実装基板２に対して、ハロゲン光
源５Ａ及び５Ｂをそれぞれ常時点灯させ、当該ハロゲン
光源５Ａ及び５Ｂからの光源光を光フアイバケーブル６
Ａ及び６Ｂを介してレンズＬＥＮ１及びＬＥＮ２を有す
る光学系７Ａ及び７Ｂに導入し、当該光学系７Ａ及び７
Ｂから反射ミラーＭ１及びＭ２を介して光源光を照射す
ることにより、カメラ８によつて実装基板２を撮像す
る。
検査装置を示し、チツプ部品３を実装した後はんだ４に
よつてはんだ付けした実装基板２に対して、ハロゲン光
源５Ａ及び５Ｂをそれぞれ常時点灯させ、当該ハロゲン
光源５Ａ及び５Ｂからの光源光を光フアイバケーブル６
Ａ及び６Ｂを介してレンズＬＥＮ１及びＬＥＮ２を有す
る光学系７Ａ及び７Ｂに導入し、当該光学系７Ａ及び７
Ｂから反射ミラーＭ１及びＭ２を介して光源光を照射す
ることにより、カメラ８によつて実装基板２を撮像す
る。
【０００５】カメラ８の光学系にはカラーフイルタ８Ａ
が設けられており、特定の色成分をカツトするようにな
されている。例えば実装基板２上に形成された銅箔パタ
ーンは赤色原色成分を反射し易いため、カラーフイルタ
８Ａとして赤色原色成分をカツトし得る分光特性のもの
を用いることにより、銅箔パターン部における反射光量
を減らして、特に反射光量の多いチツプ部品３の電極３
Ａ又ははんだ付け部（以下これをフイレツトと呼ぶ）４
からの反射光をカメラ８によつて撮像し、この結果得ら
れる画像の明暗差によつてチツプ部品の有無を検査する
ようになされている。
が設けられており、特定の色成分をカツトするようにな
されている。例えば実装基板２上に形成された銅箔パタ
ーンは赤色原色成分を反射し易いため、カラーフイルタ
８Ａとして赤色原色成分をカツトし得る分光特性のもの
を用いることにより、銅箔パターン部における反射光量
を減らして、特に反射光量の多いチツプ部品３の電極３
Ａ又ははんだ付け部（以下これをフイレツトと呼ぶ）４
からの反射光をカメラ８によつて撮像し、この結果得ら
れる画像の明暗差によつてチツプ部品の有無を検査する
ようになされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところがかかる構成の
外観検査装置１を用いて実装基板２を検査しようとする
と、検査対象物に対して周囲から照明光を照射する必要
があり、複数のハロゲン光源５Ａ、５Ｂ及び光フアイバ
ケーブル６Ａ、６Ｂ並びに光学系７Ａ、７Ｂ等を設ける
必要があり、外観検査装置１が全体として複雑化するこ
とを避け得ない問題があつた。
外観検査装置１を用いて実装基板２を検査しようとする
と、検査対象物に対して周囲から照明光を照射する必要
があり、複数のハロゲン光源５Ａ、５Ｂ及び光フアイバ
ケーブル６Ａ、６Ｂ並びに光学系７Ａ、７Ｂ等を設ける
必要があり、外観検査装置１が全体として複雑化するこ
とを避け得ない問題があつた。
【０００７】また外観検査装置１においては、光学系７
Ａ及び７Ｂでなる照明系を移動することによつて検査対
象物に対する光源光の照射角度を変化させ、これにより
検査対象物の形状等を検査するようになされており、こ
の場合光フアイバケーブル６Ａ及び６Ｂに断線等が発生
し、耐久性が劣化する問題があつた。
Ａ及び７Ｂでなる照明系を移動することによつて検査対
象物に対する光源光の照射角度を変化させ、これにより
検査対象物の形状等を検査するようになされており、こ
の場合光フアイバケーブル６Ａ及び６Ｂに断線等が発生
し、耐久性が劣化する問題があつた。
【０００８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、光源光の照射角度及び照射光量を任意に設定し得る
照明系を、耐久性を劣化させることなく一段と簡易な構
成によつて実現し得る外観検査装置を提案しようとする
ものである。
で、光源光の照射角度及び照射光量を任意に設定し得る
照明系を、耐久性を劣化させることなく一段と簡易な構
成によつて実現し得る外観検査装置を提案しようとする
ものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、検査対象物２、３、３Ａを撮像
し、当該撮像して得られる画像に基づいて検査対象物
２、３、３Ａの外観を検査する外観検査装置１０におい
て、検査対象物２、３、３Ａに対して照明光を照射する
光源１３と、光源１３から検査対象物２、３、３Ａに照
射される照明光の光量及び又は照射方向を制御するスリ
ツト部材１４とを備えるようにする。
め本発明においては、検査対象物２、３、３Ａを撮像
し、当該撮像して得られる画像に基づいて検査対象物
２、３、３Ａの外観を検査する外観検査装置１０におい
て、検査対象物２、３、３Ａに対して照明光を照射する
光源１３と、光源１３から検査対象物２、３、３Ａに照
射される照明光の光量及び又は照射方向を制御するスリ
ツト部材１４とを備えるようにする。
【００１０】また本発明においては、検査対象物２、
３、３Ａを撮像し、当該撮像して得られる画像に基づい
て検査対象物２、３、３Ａの外観を検査する外観検査装
置１０において、検査対象物２、３、３Ａに対して照明
光を照射する光源１３と、光源１３から検査対象物２、
３、３Ａに照射される照明光の色成分を制御する色フイ
ルタ１５とを備えるようにする。
３、３Ａを撮像し、当該撮像して得られる画像に基づい
て検査対象物２、３、３Ａの外観を検査する外観検査装
置１０において、検査対象物２、３、３Ａに対して照明
光を照射する光源１３と、光源１３から検査対象物２、
３、３Ａに照射される照明光の色成分を制御する色フイ
ルタ１５とを備えるようにする。
【００１１】また本発明においては、光源１３は蛍光灯
でなるようにする。
でなるようにする。
【００１２】また本発明においては、光源１３及びスリ
ツト部材１４はそれぞれ検査対象物２、３、３Ａを取り
囲む円形形状でなるようにする。
ツト部材１４はそれぞれ検査対象物２、３、３Ａを取り
囲む円形形状でなるようにする。
【００１３】また本発明においては、検査対象物２、
３、３Ａは、所定の基板２上に部品３が実装されてなる
ようにする。
３、３Ａは、所定の基板２上に部品３が実装されてなる
ようにする。
【００１４】また本発明においては、検査対象物２、
３、３Ａは、所定の基板２上に部品３がはんだ付けによ
つて実装されてなるようにする。
３、３Ａは、所定の基板２上に部品３がはんだ付けによ
つて実装されてなるようにする。
【００１５】
【作用】検査対象物２、３、４に対して光源１３から照
射される照明光の光量及び照射角度をスリツト部材１４
によつて制御することにより、検査対象物２、３、３Ａ
の形状及び反射率に応じて検査しようとする対象物を重
点的に明るく描出し得る。
射される照明光の光量及び照射角度をスリツト部材１４
によつて制御することにより、検査対象物２、３、３Ａ
の形状及び反射率に応じて検査しようとする対象物を重
点的に明るく描出し得る。
【００１６】また検査対象物２、３、３Ａに対して光源
１３から照射される照明光の色成分及び色成分の方向性
を制御することにより、検査対象物２、３、３Ａの色成
分に応じて検査しようとする対象物を重点的に明るく描
出することができでる。
１３から照射される照明光の色成分及び色成分の方向性
を制御することにより、検査対象物２、３、３Ａの色成
分に応じて検査しようとする対象物を重点的に明るく描
出することができでる。
【００１７】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１８】図５との対応部分に同一符号を付して示す
図１において外観検査装置１０は実装基板２上に実装さ
れたチツプ部品３をカメラ１２によつて撮像し、当該撮
像信号Ｓ１を画像処理部２０に送出することにより、チ
ツプ部品３の実装状態を示す外観データを得る。
図１において外観検査装置１０は実装基板２上に実装さ
れたチツプ部品３をカメラ１２によつて撮像し、当該撮
像信号Ｓ１を画像処理部２０に送出することにより、チ
ツプ部品３の実装状態を示す外観データを得る。
【００１９】カメラ１２の周囲には実装基板２を照明す
る円形蛍光灯１３と円筒形状のスリツト部材１４と円筒
形状の色フイルタ１５が同軸上に配置されている。円形
蛍光灯１３から照射された光源光は光路ａに沿つてスリ
ツト部材１４のスリツト１４Ａ及び色フイルタ１５を介
して実装基板２上の例えばチツプ部品３の電極３Ａ又は
フイレツト４において反射し、当該反射光は光路ａ´に
沿つてカメラ１２の光学系に入射する。
る円形蛍光灯１３と円筒形状のスリツト部材１４と円筒
形状の色フイルタ１５が同軸上に配置されている。円形
蛍光灯１３から照射された光源光は光路ａに沿つてスリ
ツト部材１４のスリツト１４Ａ及び色フイルタ１５を介
して実装基板２上の例えばチツプ部品３の電極３Ａ又は
フイレツト４において反射し、当該反射光は光路ａ´に
沿つてカメラ１２の光学系に入射する。
【００２０】この結果カメラ１２は特に反射率の高い電
極３Ａ及びフイレツト４の反射光を全体撮像画像内にお
いて高輝度で撮像し、これを画像処理部２０に送出す
る。従つて画像処理部において得られる画像は電極３Ａ
及びフイレツト４において高輝度の画像となる。
極３Ａ及びフイレツト４の反射光を全体撮像画像内にお
いて高輝度で撮像し、これを画像処理部２０に送出す
る。従つて画像処理部において得られる画像は電極３Ａ
及びフイレツト４において高輝度の画像となる。
【００２１】また円形蛍光灯１３、スリツト部材１４及
び色フイルタ１５はそれぞれ矢印ｙで示す方向又はこれ
とは逆方向に上下動し得るようになされており、実装基
板２上のチツプ部品３等の検査対象物に対する光源光の
照射角度を任意に設定することができる。
び色フイルタ１５はそれぞれ矢印ｙで示す方向又はこれ
とは逆方向に上下動し得るようになされており、実装基
板２上のチツプ部品３等の検査対象物に対する光源光の
照射角度を任意に設定することができる。
【００２２】ここで図２はスリツト部材１４を底部側か
ら見た状態を示し、スリツト部材１４の下端部から切欠
形状の２組のスリツト１４Ａ及び１４Ｂが90°の角間隔
を隔てて形成されている。従つて当該スリツト１４Ａ及
び１４Ｂが形成された底部側を実装基板２に対して対向
するように配置した際に、スリツト１４Ａ又は１４Ｂが
チツプ部品３の電極３Ａに対向する位置に配置されるよ
うになされている。
ら見た状態を示し、スリツト部材１４の下端部から切欠
形状の２組のスリツト１４Ａ及び１４Ｂが90°の角間隔
を隔てて形成されている。従つて当該スリツト１４Ａ及
び１４Ｂが形成された底部側を実装基板２に対して対向
するように配置した際に、スリツト１４Ａ又は１４Ｂが
チツプ部品３の電極３Ａに対向する位置に配置されるよ
うになされている。
【００２３】すなわちチツプ部品３の電極３Ａは、一般
に立方体形状のチツプ部品３の側面のうち、対向する対
面に形成されており、スリツト部材１４において 180°
間隔に１組のスリツト１４Ａ又は１４Ｂを形成すること
により、電極３Ａに対向して当該スリツト１４Ａ又は１
４Ｂを配置することができる。
に立方体形状のチツプ部品３の側面のうち、対向する対
面に形成されており、スリツト部材１４において 180°
間隔に１組のスリツト１４Ａ又は１４Ｂを形成すること
により、電極３Ａに対向して当該スリツト１４Ａ又は１
４Ｂを配置することができる。
【００２４】また実装基板２上におけるチツプ部品３の
実装方向は、90°の角度を持つた２つの方向だけであ
り、これに応じてスリツト部材１４に形成された２組の
スリツト１４Ａ及び１４Ｂを互いに90°の角間隔を以て
形成することにより、スリツト部材１４のスリツト方向
を一度設定しておけば、２通りの実装方向でなるチツプ
部品３に対していずれの方向に実装された場合において
も、スリツト１４Ａ又は１４Ｂが電極３Ａに対向するよ
うに配置し得る。
実装方向は、90°の角度を持つた２つの方向だけであ
り、これに応じてスリツト部材１４に形成された２組の
スリツト１４Ａ及び１４Ｂを互いに90°の角間隔を以て
形成することにより、スリツト部材１４のスリツト方向
を一度設定しておけば、２通りの実装方向でなるチツプ
部品３に対していずれの方向に実装された場合において
も、スリツト１４Ａ又は１４Ｂが電極３Ａに対向するよ
うに配置し得る。
【００２５】従つてスリツト１４Ａ又は１４Ｂを介して
円形蛍光灯１３の光源光をチツプ部品３に対して所定の
方向性を以て重点的に照射することができると共に、ス
リツト１４Ａ及び１４Ｂの大きさ及び形状によつてチツ
プ部品３に対する光源光の光量を調整することができ
る。
円形蛍光灯１３の光源光をチツプ部品３に対して所定の
方向性を以て重点的に照射することができると共に、ス
リツト１４Ａ及び１４Ｂの大きさ及び形状によつてチツ
プ部品３に対する光源光の光量を調整することができ
る。
【００２６】以上の構成において、図３（Ａ）に示すよ
うに円形蛍光灯１３、スリツト部材１４及び色フイルタ
１５をそれぞれできるだけ実装基板２に対して近い低位
置に配置し、チツプ部品３の電極３Ａのエツジ部分にお
いて光源光が正反射するようにしてカメラ１２に反射光
を入射すると、チツプ部品３の平面画像として図３
（Ｂ）に示すように、電極３Ａのエツジ部分が明るい明
画像ＬＩＧとして描出される。
うに円形蛍光灯１３、スリツト部材１４及び色フイルタ
１５をそれぞれできるだけ実装基板２に対して近い低位
置に配置し、チツプ部品３の電極３Ａのエツジ部分にお
いて光源光が正反射するようにしてカメラ１２に反射光
を入射すると、チツプ部品３の平面画像として図３
（Ｂ）に示すように、電極３Ａのエツジ部分が明るい明
画像ＬＩＧとして描出される。
【００２７】ここで実装基板２上においてはチツプ部品
３の実装領域に接続された銅箔パターンＣＵが形成され
ており、当該銅箔パターンＣＵの反射率は電極３Ａの反
射率と同等程度に高く、色フイルタ１５として銅箔パタ
ーンＣＵの色成分をカツトし得る分光特性のものを用い
て当該銅箔パターンＣＵにおける反射光量を減らすよう
になされている。
３の実装領域に接続された銅箔パターンＣＵが形成され
ており、当該銅箔パターンＣＵの反射率は電極３Ａの反
射率と同等程度に高く、色フイルタ１５として銅箔パタ
ーンＣＵの色成分をカツトし得る分光特性のものを用い
て当該銅箔パターンＣＵにおける反射光量を減らすよう
になされている。
【００２８】すなわち図４は銅箔パターンＣＵにおける
分光特性を示し、特に波長が 600〜700[nm] の赤色成分
の光量比が高くなつている。従つて当該赤色成分をカツ
トするような分光特性の色フイルタ１５を用いることに
より、銅箔パターンＣＵにおける反射光量を減らすこと
ができ、撮像画像として当該銅箔パターンＣＵの画像が
明るく描写されることを回避し得、この結果電極３Ａだ
けを明るく描写することができる。
分光特性を示し、特に波長が 600〜700[nm] の赤色成分
の光量比が高くなつている。従つて当該赤色成分をカツ
トするような分光特性の色フイルタ１５を用いることに
より、銅箔パターンＣＵにおける反射光量を減らすこと
ができ、撮像画像として当該銅箔パターンＣＵの画像が
明るく描写されることを回避し得、この結果電極３Ａだ
けを明るく描写することができる。
【００２９】かくしてチツプ部品３のエツジを検出する
ことにより、当該チツプ部品３の有無及び位置を検出す
ることができる。
ことにより、当該チツプ部品３の有無及び位置を検出す
ることができる。
【００３０】また円形蛍光灯１３、スリツト部材１４及
び色フイルタ１５を上方に移動するとチツプ部品３に対
する光源光の照射角度を変化する。従つて例えばチツプ
部品３がはんだ付けされているような場合、当該フイレ
ツト４（図１）の表面が水平面に対して傾斜して形成さ
れていても、当該フイレツト４の有無及び形成角度等の
形成状態を検査することができる。
び色フイルタ１５を上方に移動するとチツプ部品３に対
する光源光の照射角度を変化する。従つて例えばチツプ
部品３がはんだ付けされているような場合、当該フイレ
ツト４（図１）の表面が水平面に対して傾斜して形成さ
れていても、当該フイレツト４の有無及び形成角度等の
形成状態を検査することができる。
【００３１】以上の構成によれば、スリツト１４Ａ、１
４Ｂを形成したスリツト部材１４及び色フイルタ１５を
用いて円形蛍光灯１３の光源光のチツプ部品３に照射す
ると共に、スリツト部材１４、色フイルタ１５及び円形
蛍光灯１３を任意に上下移動するようにしたことによ
り、チツプ部品３等の検査対象物に対する光源光の照射
角度及び光量を任意に設定し得る照明系を従来の場合に
比して一段と簡易な構成によつて実現できる。
４Ｂを形成したスリツト部材１４及び色フイルタ１５を
用いて円形蛍光灯１３の光源光のチツプ部品３に照射す
ると共に、スリツト部材１４、色フイルタ１５及び円形
蛍光灯１３を任意に上下移動するようにしたことによ
り、チツプ部品３等の検査対象物に対する光源光の照射
角度及び光量を任意に設定し得る照明系を従来の場合に
比して一段と簡易な構成によつて実現できる。
【００３２】なお上述の実施例においては、円形蛍光灯
１３、スリツト部材１４及び色フイルタ１５として円形
形状のものを用いた場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、要は検査対象物を取り囲むような形状のも
のであれば良く、種々の形状のものを用いることができ
る。
１３、スリツト部材１４及び色フイルタ１５として円形
形状のものを用いた場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、要は検査対象物を取り囲むような形状のも
のであれば良く、種々の形状のものを用いることができ
る。
【００３３】また上述の実施例においては、スリツト部
材１４及び色フイルタ１５を併用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、検査対象物に応じて一方
だけを用いるようにしても良い。
材１４及び色フイルタ１５を併用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、検査対象物に応じて一方
だけを用いるようにしても良い。
【００３４】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、検査対象
物を周囲から照射する光源と、照明光を検査対象物に対
して重点的に照射するスリツトとを用いることにより、
照明光の光量及び方向性を任意に制御して検査対象物を
重点的に明るく描出することができる。
物を周囲から照射する光源と、照明光を検査対象物に対
して重点的に照射するスリツトとを用いることにより、
照明光の光量及び方向性を任意に制御して検査対象物を
重点的に明るく描出することができる。
【００３５】また検査対象物を周囲から照射する光源
と、所定の分光特性を有する色フイルタとを用いること
により、反射光の色成分を制御して検査対象物を重点的
に明るく描出することができる。
と、所定の分光特性を有する色フイルタとを用いること
により、反射光の色成分を制御して検査対象物を重点的
に明るく描出することができる。
【００３６】かくするにつき、光源、スリツト部材及び
色フイルタといつた簡単な構成によつて検査対象物の外
観を容易に検査し得る。
色フイルタといつた簡単な構成によつて検査対象物の外
観を容易に検査し得る。
【図１】本発明による外観検査装置の一実施例を示す略
線図である。
線図である。
【図２】スリツト部材の構成を示す斜視図である。
【図３】電極の描出状態を示す側面図及び平面図であ
る。
る。
【図４】銅パターンの分光特性を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図５】従来の外観検査装置を示す略線図である。
２……実装基板、３……チツプ部品、３Ａ……電極、４
……フイレツト、９……画像処理部、１０……外観検査
装置、１２……カメラ、１３……円形蛍光灯、１４……
スリツト部材、１４Ａ、１４Ｂ……スリツト、１５……
色フイルタ、ＣＵ……銅箔パターン、ＬＩＧ……明画
像。
……フイレツト、９……画像処理部、１０……外観検査
装置、１２……カメラ、１３……円形蛍光灯、１４……
スリツト部材、１４Ａ、１４Ｂ……スリツト、１５……
色フイルタ、ＣＵ……銅箔パターン、ＬＩＧ……明画
像。
Claims (6)
- 【請求項１】検査対象物を撮像し、当該撮像して得られ
る画像に基づいて上記検査対象物の外観を検査する外観
検査装置において、 上記検査対象物に対して照明光を照射する光源と、 上記光源から上記検査対象物に照射される上記照明光の
光量及び又は照射方向を制御するスリツト部材とを具え
ることを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項２】検査対象物を撮像し、当該撮像して得られ
る画像に基づいて上記検査対象物の外観を検査する外観
検査装置において、 上記検査対象物に対して照明光を照射する光源と、 上記光源から上記検査対象物に照射される上記照明光の
色成分を制御する色フイルタとを具えることを特徴とす
る外観検査装置。 - 【請求項３】上記光源は蛍光灯でなることを特徴とする
請求項１又は請求項２に記載の外観検査装置。 - 【請求項４】上記光源及び上記スリツト部材はそれぞれ
上記検査対象物を取り囲む円形形状でなることを特徴と
する請求項１又は請求項２に記載の外観検査装置。 - 【請求項５】上記検査対象物は、所定の基板上に部品が
実装されてなることを特徴とする請求項１又は請求項２
に記載の外観検査装置。 - 【請求項６】上記検査対象物は、所定の基板上に部品が
はんだ付けによつて実装されてなることを特徴とする請
求項１又は請求項２に記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34407793A JPH07174712A (ja) | 1993-12-18 | 1993-12-18 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34407793A JPH07174712A (ja) | 1993-12-18 | 1993-12-18 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174712A true JPH07174712A (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=18366484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34407793A Pending JPH07174712A (ja) | 1993-12-18 | 1993-12-18 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07174712A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030011175A (ko) * | 2001-07-28 | 2003-02-07 | 삼성전자주식회사 | 납땜검사장치 |
-
1993
- 1993-12-18 JP JP34407793A patent/JPH07174712A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030011175A (ko) * | 2001-07-28 | 2003-02-07 | 삼성전자주식회사 | 납땜검사장치 |
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