JPH07174520A - 測長装置 - Google Patents
測長装置Info
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- JPH07174520A JPH07174520A JP5319456A JP31945693A JPH07174520A JP H07174520 A JPH07174520 A JP H07174520A JP 5319456 A JP5319456 A JP 5319456A JP 31945693 A JP31945693 A JP 31945693A JP H07174520 A JPH07174520 A JP H07174520A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】アッベの誤差を消去でき、目盛線幅の変動によ
る誤差も発生せず、高精度な測定が可能で、スリット間
隔を調整する等の必要がなく、容易に行え、さらに高速
化に適する測長装置を提供することにある。 【構成】被写体の測定方向に移動可能な移動台10と、前
記被写体の像を投影するとともにエッジを検出するエッ
ジ検出光学系15と、前記移動台の移動量を検出し、被写
体の測定点に対し対称に２個配置され前記被写体の長さ
を測定するレーザ干渉計3,5 と、エッジ検出光学系15に
より投影された被写体像を光電変換し、ラッチ信号を発
生させるラッチ信号発生回路22,41,42,43,44,45,46,47
と、前記ラッチ信号により各レーザ干渉計3,5 で得られ
たデータを取り込み、これらを平均し測長データとする
データ処理手段を具備したもの。
る誤差も発生せず、高精度な測定が可能で、スリット間
隔を調整する等の必要がなく、容易に行え、さらに高速
化に適する測長装置を提供することにある。 【構成】被写体の測定方向に移動可能な移動台10と、前
記被写体の像を投影するとともにエッジを検出するエッ
ジ検出光学系15と、前記移動台の移動量を検出し、被写
体の測定点に対し対称に２個配置され前記被写体の長さ
を測定するレーザ干渉計3,5 と、エッジ検出光学系15に
より投影された被写体像を光電変換し、ラッチ信号を発
生させるラッチ信号発生回路22,41,42,43,44,45,46,47
と、前記ラッチ信号により各レーザ干渉計3,5 で得られ
たデータを取り込み、これらを平均し測長データとする
データ処理手段を具備したもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば標準尺等の長さ
を高精度に測定可能な測長装置に関する。
を高精度に測定可能な測長装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、測長機として、例えば精密工学会
第４４巻第２号「２ｍ標準尺測定用レーザ干渉計（第２
報）」に記載されている。これについて、図５および図
６を参照して説明する。移動台１０には、検出用光学系
１５が装着され、測定方向に移動する。この場合の移動
量は、以下のようにして測定される。すなわち、レーザ
光源１からのレーザ光は、反射鏡３０を介し干渉計３で
分岐され、各レーザ光は反射鏡３１，３２により参照鏡
３７および移動台１０に固定された可動鏡６に入射し、
再び同じ経路を通り、干渉計３で干渉した後、反射鏡３
３とプリズム３４を介して検出器８，９により測定され
る。．検出用光学系１５より標準尺１３上に刻まれた目
盛線の像は、リレーレンズ３６を介してスリット３５に
投影され、光電変換素子３８により検出される。光電変
換素子３８の出力は、増幅器３９により増幅され、微分
器４０により微分される。
第４４巻第２号「２ｍ標準尺測定用レーザ干渉計（第２
報）」に記載されている。これについて、図５および図
６を参照して説明する。移動台１０には、検出用光学系
１５が装着され、測定方向に移動する。この場合の移動
量は、以下のようにして測定される。すなわち、レーザ
光源１からのレーザ光は、反射鏡３０を介し干渉計３で
分岐され、各レーザ光は反射鏡３１，３２により参照鏡
３７および移動台１０に固定された可動鏡６に入射し、
再び同じ経路を通り、干渉計３で干渉した後、反射鏡３
３とプリズム３４を介して検出器８，９により測定され
る。．検出用光学系１５より標準尺１３上に刻まれた目
盛線の像は、リレーレンズ３６を介してスリット３５に
投影され、光電変換素子３８により検出される。光電変
換素子３８の出力は、増幅器３９により増幅され、微分
器４０により微分される。
【０００３】この場合、スリット３５の幅を調整するこ
とにより、図６に示すような波形が得られ、かつ微分器
４０の出力により、目盛中心を決定することができる。
図５の例では、可動鏡６と標準尺１３が同一軸上に配置
されておらず、以下のような理由で、アッベ（Ａｂｂ
ｅ）の基本定理を満足していない。すなわち、該基本定
理は、長さを測定するレーザ測長機等にあっては、測る
べき長さと、尺度として使用する分割目盛とが、その測
定方向において一直線上に並ぶように配置することによ
り、最も誤差が少なくなるという定理である。
とにより、図６に示すような波形が得られ、かつ微分器
４０の出力により、目盛中心を決定することができる。
図５の例では、可動鏡６と標準尺１３が同一軸上に配置
されておらず、以下のような理由で、アッベ（Ａｂｂ
ｅ）の基本定理を満足していない。すなわち、該基本定
理は、長さを測定するレーザ測長機等にあっては、測る
べき長さと、尺度として使用する分割目盛とが、その測
定方向において一直線上に並ぶように配置することによ
り、最も誤差が少なくなるという定理である。
【０００４】ところが、図５の例ではアッベ（Ａｂｂ
ｅ）の基本定理を満足していないのは、該基本定理を満
足するように構成すると、装置全体が大型化するという
欠点があるためである。
ｅ）の基本定理を満足していないのは、該基本定理を満
足するように構成すると、装置全体が大型化するという
欠点があるためである。
【０００５】このため、図５の例では標準尺１３から測
定軸線すなわち可動鏡６までの距離と、検出用光学系１
５の対物レンズの焦点距離とを一致させてエッベンスタ
イン（Ｅｐｐｅｎｓｔｅｉｎ）の条件を満足させてい
る。
定軸線すなわち可動鏡６までの距離と、検出用光学系１
５の対物レンズの焦点距離とを一致させてエッベンスタ
イン（Ｅｐｐｅｎｓｔｅｉｎ）の条件を満足させてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５の
例では、目盛線の像によりスリット３５の幅を調整する
必要があり、微細な調整が必要となる。また、標準尺１
３の目盛線幅はすべてが同じ線幅に製作されているとは
限らず、この目盛線幅の変動が誤差となる。
例では、目盛線の像によりスリット３５の幅を調整する
必要があり、微細な調整が必要となる。また、標準尺１
３の目盛線幅はすべてが同じ線幅に製作されているとは
限らず、この目盛線幅の変動が誤差となる。
【０００７】さらに、エッベンスタインの条件を満足す
るため、長い焦点距離の対物レンズが必要になり、装置
が複雑で大型化することが考えられる。本発明は前記問
題点を解決するためなされたもので、アッベの誤差を消
去でき、目盛線幅の変動による誤差も発生せず、高精度
な測定が可能で、スリット間隔を調整する等の必要がな
く、容易に行え、さらに高速化に適する測長装置を提供
することを目的とする。
るため、長い焦点距離の対物レンズが必要になり、装置
が複雑で大型化することが考えられる。本発明は前記問
題点を解決するためなされたもので、アッベの誤差を消
去でき、目盛線幅の変動による誤差も発生せず、高精度
な測定が可能で、スリット間隔を調整する等の必要がな
く、容易に行え、さらに高速化に適する測長装置を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、被写体の測定方向に移
動可能な移動台と、前記被写体の像を投影するととも
に、エッジを検出するエッジ検出光学系と、前記移動台
の移動量を検出し、被写体の測定点に対し対称に２個配
置され前記被写体の長さを測定するレーザ干渉計と、前
記エッジ検出光学系により投影された被写体像を光電変
換し、ラッチ信号を発生させるラッチ信号発生手段と、
前記ラッチ信号により前記各レーザ干渉計で得られたデ
ータを取り込み、これらを平均し、測長データとするデ
ータ処理手段と、を具備した測長装置である。
め、請求項１に対応する発明は、被写体の測定方向に移
動可能な移動台と、前記被写体の像を投影するととも
に、エッジを検出するエッジ検出光学系と、前記移動台
の移動量を検出し、被写体の測定点に対し対称に２個配
置され前記被写体の長さを測定するレーザ干渉計と、前
記エッジ検出光学系により投影された被写体像を光電変
換し、ラッチ信号を発生させるラッチ信号発生手段と、
前記ラッチ信号により前記各レーザ干渉計で得られたデ
ータを取り込み、これらを平均し、測長データとするデ
ータ処理手段と、を具備した測長装置である。
【０００９】前記目的を達成するため、請求項２に対応
する発明は、前記ラッチ信号発生手段は、立上りエッジ
検出部および立下り検出部とを備え、該各検出部にそれ
ぞれラッチ信号を発生させ、前記立上りエッジ検出部に
よるラッチ信号から第１のデータを取り込む第１のレー
ザ干渉計と、前記立下り検出部によるラッチ信号から第
２のデータを取り込む第２のレーザ干渉計と、前記第
１、前記第２のデータを平均し、測長データとするデー
タ処理手段と、を具備したことを特徴とする請求項１記
載の測長装置である。
する発明は、前記ラッチ信号発生手段は、立上りエッジ
検出部および立下り検出部とを備え、該各検出部にそれ
ぞれラッチ信号を発生させ、前記立上りエッジ検出部に
よるラッチ信号から第１のデータを取り込む第１のレー
ザ干渉計と、前記立下り検出部によるラッチ信号から第
２のデータを取り込む第２のレーザ干渉計と、前記第
１、前記第２のデータを平均し、測長データとするデー
タ処理手段と、を具備したことを特徴とする請求項１記
載の測長装置である。
【００１０】前記目的を達成するため、請求項３に対応
する発明は、前記ラッチ信号発生手段は、しきい値およ
び検出領域を設定可能なウインドコンパレータと、前記
しきい値と前記検出信号を比較するコンパレータよりな
り、前記コンパレータの出力信号を、前記立上りラッチ
信号および立下りラッチ信号とすることを特徴とする請
求項１記載の測長装置である。
する発明は、前記ラッチ信号発生手段は、しきい値およ
び検出領域を設定可能なウインドコンパレータと、前記
しきい値と前記検出信号を比較するコンパレータよりな
り、前記コンパレータの出力信号を、前記立上りラッチ
信号および立下りラッチ信号とすることを特徴とする請
求項１記載の測長装置である。
【００１１】
【作用】請求項１に対応する発明によれば、レーザ干渉
計の測定点より対称位置での移動量を測定しているの
で、２つデータを平均することにより、移動台の傾きに
よるアッベの誤差を消去でき、目盛線幅の変動による誤
差も発生せず、高精度な測定が可能で、スリット間隔を
調整する等の必要がなく、容易に行える。
計の測定点より対称位置での移動量を測定しているの
で、２つデータを平均することにより、移動台の傾きに
よるアッベの誤差を消去でき、目盛線幅の変動による誤
差も発生せず、高精度な測定が可能で、スリット間隔を
調整する等の必要がなく、容易に行える。
【００１２】請求項２，３に対応する発明によれば、立
ち上がり、立ち下がりエッジを別々に検出しているの
で、高速化に適しており、照明、温度等のドリフトを極
力小さくできる。
ち上がり、立ち下がりエッジを別々に検出しているの
で、高速化に適しており、照明、温度等のドリフトを極
力小さくできる。
【００１３】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
て説明する。図１は本発明の１実施例の概略構成を示す
図であり、これは以下のように構成されている。測定方
向に互いに間隔を存して平行に配設されている案内部材
１４ａ，１４ｂと、この案内部材１４ａ，１４ｂに沿っ
て移動可能な移動台１０と、移動台１０に測定方向に配
設された可動鏡６，７と、移動台１０に配設され測定物
のエッジ（端部）を検出する後述するエッジ検出光学系
１５と、移動台１０のほぼ中央部に配設され配設された
標準尺１３と、このような可動鏡６，７、標準尺１３、
エッジ検出光学系１５を有する移動台１０に移動力を与
えるモータ１１と、移動台１０に固定されモータ１１の
回転力を移動台１０に伝達するためのスチールテープ１
２と、レーザ光源１からのレーザ光を分岐して可動鏡６
に導くビームスプリッタ２と、ビームスプリッタ２で分
岐された光を可動鏡７に導くビームベンダ４と、ビーム
スプリッタ２と可動鏡６の間に配設されたレーザ干渉計
３と、ビームベンダ４と可動鏡７の間に配設されたレー
ザ干渉計５と、レーザ干渉計３の出力を検出する検出器
８と、レーザ干渉計５の出力を検出する検出器９と、検
出器８，９の検出出力を入力して測長データを出力する
ための信号処理を行う後述する図示しない信号処理手段
を備えている。
て説明する。図１は本発明の１実施例の概略構成を示す
図であり、これは以下のように構成されている。測定方
向に互いに間隔を存して平行に配設されている案内部材
１４ａ，１４ｂと、この案内部材１４ａ，１４ｂに沿っ
て移動可能な移動台１０と、移動台１０に測定方向に配
設された可動鏡６，７と、移動台１０に配設され測定物
のエッジ（端部）を検出する後述するエッジ検出光学系
１５と、移動台１０のほぼ中央部に配設され配設された
標準尺１３と、このような可動鏡６，７、標準尺１３、
エッジ検出光学系１５を有する移動台１０に移動力を与
えるモータ１１と、移動台１０に固定されモータ１１の
回転力を移動台１０に伝達するためのスチールテープ１
２と、レーザ光源１からのレーザ光を分岐して可動鏡６
に導くビームスプリッタ２と、ビームスプリッタ２で分
岐された光を可動鏡７に導くビームベンダ４と、ビーム
スプリッタ２と可動鏡６の間に配設されたレーザ干渉計
３と、ビームベンダ４と可動鏡７の間に配設されたレー
ザ干渉計５と、レーザ干渉計３の出力を検出する検出器
８と、レーザ干渉計５の出力を検出する検出器９と、検
出器８，９の検出出力を入力して測長データを出力する
ための信号処理を行う後述する図示しない信号処理手段
を備えている。
【００１４】以下このように構成された実施例の動作を
説明する。レーザ光源１からのレーザ光は、ビームスプ
リッタ２により分岐され、第１のレーザ干渉計３および
ビームベンダ４を介して第２のレーザ干渉計５に入射さ
れる。
説明する。レーザ光源１からのレーザ光は、ビームスプ
リッタ２により分岐され、第１のレーザ干渉計３および
ビームベンダ４を介して第２のレーザ干渉計５に入射さ
れる。
【００１５】干渉計３，５より出射されるレーザ光は、
測定点と高さ方向で一致し、等間隔Ｌ１だけ離れて線対
称に、移動台１０に装着された可動鏡６，７で反射さ
れ、再び各干渉計３，５に入射された後、干渉計３，５
内の参照光と干渉し、検出器８，９により移動台１０の
移動量を検出する。
測定点と高さ方向で一致し、等間隔Ｌ１だけ離れて線対
称に、移動台１０に装着された可動鏡６，７で反射さ
れ、再び各干渉計３，５に入射された後、干渉計３，５
内の参照光と干渉し、検出器８，９により移動台１０の
移動量を検出する。
【００１６】移動台１０は、モータ１１とスチールテー
プ１２により標準尺１３の測定方向に互いに間隔を存し
て平行に配設されている案内部材１４ａ，１４ｂに沿っ
て駆動される。
プ１２により標準尺１３の測定方向に互いに間隔を存し
て平行に配設されている案内部材１４ａ，１４ｂに沿っ
て駆動される。
【００１７】このような構成において、例えば移動台１
０が例えば図１に示す矢印の方向（ヨーイング方向）に
傾きながら動いたとしても、標準尺１３の測定点より同
一距離で線対称な位置での移動距離を測定しているの
で、２つのデータを平均することにより、アッベの誤差
を消去することができる。
０が例えば図１に示す矢印の方向（ヨーイング方向）に
傾きながら動いたとしても、標準尺１３の測定点より同
一距離で線対称な位置での移動距離を測定しているの
で、２つのデータを平均することにより、アッベの誤差
を消去することができる。
【００１８】図２はエッジ検出光学系１５の概略構成を
示す図であり、光源１６、レンズ１７、ハーフミラ１
８、対物レンズ１９、結像レンズ２０、ピンホール２
１、光電変換素子２２から構成されている。
示す図であり、光源１６、レンズ１７、ハーフミラ１
８、対物レンズ１９、結像レンズ２０、ピンホール２
１、光電変換素子２２から構成されている。
【００１９】具体的には、光源１６から出射した光は、
レンズ１７を通り、ハーフミラ１８で曲げられ、対物レ
ンズ１９を介して標準尺１３の目盛上に照明され、かつ
標準尺１３の目盛より反射された光は、再び対物レンズ
１９に入射し、結像レンズ２０によりピンホール２１上
に投影される。そして、ピンホール２１を通過した光
は、光電変換素子２２に入射し、電気信号に変換され
る。
レンズ１７を通り、ハーフミラ１８で曲げられ、対物レ
ンズ１９を介して標準尺１３の目盛上に照明され、かつ
標準尺１３の目盛より反射された光は、再び対物レンズ
１９に入射し、結像レンズ２０によりピンホール２１上
に投影される。そして、ピンホール２１を通過した光
は、光電変換素子２２に入射し、電気信号に変換され
る。
【００２０】図３は光電変換素子２２の出力を信号処理
する信号処理手段の概略構成を示す図であり、電流ー電
圧変換回路（ＩーＶ）４１、ウインドコンパレータ４
２、コンパレータ４３、インバータ４４，４５、フリッ
プフロップ４６，４７から構成されている。
する信号処理手段の概略構成を示す図であり、電流ー電
圧変換回路（ＩーＶ）４１、ウインドコンパレータ４
２、コンパレータ４３、インバータ４４，４５、フリッ
プフロップ４６，４７から構成されている。
【００２１】具体的には、光電変換素子２２の出力は、
電流ー電圧変換回路４１により電圧信号に変換され、ウ
インドコンパレータ４２およびコンパレータ４３に入力
される。ウインドコンパレータ４２に入力された信号
は、任意のしきい値ＶT すなわち図４の（Ｖmax ＋Ｖmi
n ）÷２の値とウインド幅Ｖw により２値化された検出
許可信号としてインバータ４４を介してフリップフロッ
プ４６，４７のクリア端子( CLR ) に入力され、ウイン
ドコンパレータ４２においてウィンド内の場合すなわち
ハイ（Ｈｉｇｈ）レベルのときにエッジ検出許可とな
る。
電流ー電圧変換回路４１により電圧信号に変換され、ウ
インドコンパレータ４２およびコンパレータ４３に入力
される。ウインドコンパレータ４２に入力された信号
は、任意のしきい値ＶT すなわち図４の（Ｖmax ＋Ｖmi
n ）÷２の値とウインド幅Ｖw により２値化された検出
許可信号としてインバータ４４を介してフリップフロッ
プ４６，４７のクリア端子( CLR ) に入力され、ウイン
ドコンパレータ４２においてウィンド内の場合すなわち
ハイ（Ｈｉｇｈ）レベルのときにエッジ検出許可とな
る。
【００２２】また、コンパレータ４３に入力された信号
は、任意のしきい値により２値化されたエッジ信号とし
て出力される。このエッジ信号は、インバータ４５を介
してフリップフロップ４６のクロック端子に入力され
る。すると、フリップフロップ４６，４７の出力は、図
４に示すようにクロックパルスの立上りでロー（Ｌｏ
ｗ）となり、クリア端子のＬｏｗ入力でＨｉｇｈとな
る。よって、フリップフロップ４６，４７の出力は、図
４に示すようにそれぞれ立上りラッチ信号、立下りラッ
チ信号となる。
は、任意のしきい値により２値化されたエッジ信号とし
て出力される。このエッジ信号は、インバータ４５を介
してフリップフロップ４６のクロック端子に入力され
る。すると、フリップフロップ４６，４７の出力は、図
４に示すようにクロックパルスの立上りでロー（Ｌｏ
ｗ）となり、クリア端子のＬｏｗ入力でＨｉｇｈとな
る。よって、フリップフロップ４６，４７の出力は、図
４に示すようにそれぞれ立上りラッチ信号、立下りラッ
チ信号となる。
【００２３】以上述べた実施例の動作について、図４の
タイミングチャートを参照して説明する。いま、光電変
換素子２２から図４のような出力波形が得られたとす
る。この場合、エッジ検出光学系１５が標準尺１３の目
盛線１３ａを通過すると、目盛１３ａの反射による明暗
で電圧値に差が現れた５０％のところをしきい値ＶT と
すると、目盛線１３ａのエッジを検出することができ
る。
タイミングチャートを参照して説明する。いま、光電変
換素子２２から図４のような出力波形が得られたとす
る。この場合、エッジ検出光学系１５が標準尺１３の目
盛線１３ａを通過すると、目盛１３ａの反射による明暗
で電圧値に差が現れた５０％のところをしきい値ＶT と
すると、目盛線１３ａのエッジを検出することができ
る。
【００２４】以上のことは、目盛線１３ａに対して所定
間隔を存して標準尺１３上に刻まれている目盛線１３ｂ
も同様である。しかして、しきい値ＶT より得られる立
上りラッチ信号を使い、例えばレーザ干渉計３の測長デ
ータとし、立下りラッチ信号をレーザ干渉計５の測長デ
ータとする。そして、これらの測長データを図示しない
データ処理部に入力し、ここで２つの測長データの平均
をとることにより、目盛線１３ａと目盛線１３ｂの中心
間距離Ｌを得ることができる。
間隔を存して標準尺１３上に刻まれている目盛線１３ｂ
も同様である。しかして、しきい値ＶT より得られる立
上りラッチ信号を使い、例えばレーザ干渉計３の測長デ
ータとし、立下りラッチ信号をレーザ干渉計５の測長デ
ータとする。そして、これらの測長データを図示しない
データ処理部に入力し、ここで２つの測長データの平均
をとることにより、目盛線１３ａと目盛線１３ｂの中心
間距離Ｌを得ることができる。
【００２５】この中心間距離Ｌは、移動台１０の傾きに
よるアッベの誤差は、消去され、かつ目盛線１３ａ，１
３ｂが変化しても中心間距離Ｌは変らず、高精度な測定
が行えることになる。
よるアッベの誤差は、消去され、かつ目盛線１３ａ，１
３ｂが変化しても中心間距離Ｌは変らず、高精度な測定
が行えることになる。
【００２６】また、目盛線１３ａ，１３ｂの幅により、
従来必要であったスリットの間隔を調整する作業は不要
となり、容易に長さの測定ができる。さらに、微小な目
盛幅においても、立上りエッジ、立下りエッジを別々に
検出しているため、高速化にも適しており、照明、温度
等のドリフトを極力小さくすることができる。
従来必要であったスリットの間隔を調整する作業は不要
となり、容易に長さの測定ができる。さらに、微小な目
盛幅においても、立上りエッジ、立下りエッジを別々に
検出しているため、高速化にも適しており、照明、温度
等のドリフトを極力小さくすることができる。
【００２７】前述した実施例では、しきい値ＶT は５０
％としたが、中心間距離を測定する場合は重要な条件で
はなく任意に値であってもよい。さらに、実施例ではエ
ッジ検出光学系１５を落射照明について行ったが、これ
を透過照明で行ってもよい。また、実施例のピンホール
２１をスリットで構成しても同様な効果が得られる。
％としたが、中心間距離を測定する場合は重要な条件で
はなく任意に値であってもよい。さらに、実施例ではエ
ッジ検出光学系１５を落射照明について行ったが、これ
を透過照明で行ってもよい。また、実施例のピンホール
２１をスリットで構成しても同様な効果が得られる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、アッベの誤差を消去で
き、目盛線幅の変動による誤差も発生せず、高精度な測
定が可能で、スリット間隔を調整する等の必要がなく、
容易に行え、さらに高速化に適する測長装置を提供でき
る。
き、目盛線幅の変動による誤差も発生せず、高精度な測
定が可能で、スリット間隔を調整する等の必要がなく、
容易に行え、さらに高速化に適する測長装置を提供でき
る。
【図１】本発明による測長装置の第１実施例の概略構成
を示す図。
を示す図。
【図２】図１のエッジ検出光学系１５を説明するための
図。
図。
【図３】図１の信号処理手段を説明するための図。
【図４】図３の動作を説明するためのタイミングチャー
ト。
ト。
【図５】従来の測長装置の一例を示す概略構成図。
【図６】図５の光電変換素子の出力信号を処理する回路
を説明するための図。
を説明するための図。
１…レーザ光源、２…ビームスプリッタ、４…ビームベ
ンダ、３，５…レーザ干渉計、６，７…可動鏡、８，９
…検出器、１０…移動台、１１…モータ、１２…スチー
ルテープ、１３…標準尺、１４ａ，１４ｂ…案内部材、
１５…エッジ検出光学系、１６…光源、１７…レンズ、
１８…ハーフミラー、１９…対物レンズ、２０…結像レ
ンズ、２１…ピンホール、２２…光電変換素子。
ンダ、３，５…レーザ干渉計、６，７…可動鏡、８，９
…検出器、１０…移動台、１１…モータ、１２…スチー
ルテープ、１３…標準尺、１４ａ，１４ｂ…案内部材、
１５…エッジ検出光学系、１６…光源、１７…レンズ、
１８…ハーフミラー、１９…対物レンズ、２０…結像レ
ンズ、２１…ピンホール、２２…光電変換素子。
Claims (3)
- 【請求項１】 被写体の測定方向に移動可能な移動台
と、 前記被写体の像を投影するとともに、エッジを検出する
エッジ検出光学系と、 前記移動台の移動量を検出し、被写体の測定点に対し対
称に２個配置され前記被写体の長さを測定するレーザ干
渉計と、 前記エッジ検出光学系により投影された被写体像を光電
変換し、ラッチ信号を発生させるラッチ信号発生手段
と、 前記ラッチ信号により前記各レーザ干渉計で得られたデ
ータを取り込み、これらを平均し、測長データとするデ
ータ処理手段と、 を具備した測長装置。 - 【請求項２】 前記ラッチ信号発生手段は、立上りエッ
ジ検出部および立下り検出部とを備え、該各検出部にそ
れぞれラッチ信号を発生させ、 前記立上りエッジ検出部によるラッチ信号から第１のデ
ータを取り込む第１のレーザ干渉計と、 前記立下り検出部によるラッチ信号から第２のデータを
取り込む第２のレーザ干渉計と、 前記第１、前記第２のデータを平均し、測長データとす
るデータ処理手段と、を具備したことを特徴とする請求
項１記載の測長装置。 - 【請求項３】 前記ラッチ信号発生手段は、しきい値お
よび検出領域を設定可能なウインドコンパレータと、前
記しきい値と前記検出信号を比較するコンパレータより
なり、前記コンパレータの出力信号を、前記立上りラッ
チ信号および立下りラッチ信号とすることを特徴とする
請求項１記載の測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31945693A JP3418234B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31945693A JP3418234B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 測長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174520A true JPH07174520A (ja) | 1995-07-14 |
| JP3418234B2 JP3418234B2 (ja) | 2003-06-16 |
Family
ID=18110407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31945693A Expired - Fee Related JP3418234B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3418234B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104215181A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-17 | 中国计量科学研究院 | 一种消除阿贝误差的大长度激光干涉测量系统 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2151666A4 (en) | 2007-05-25 | 2016-03-30 | Nikon Corp | LENGTH KNIFE |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP31945693A patent/JP3418234B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104215181A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-17 | 中国计量科学研究院 | 一种消除阿贝误差的大长度激光干涉测量系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3418234B2 (ja) | 2003-06-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030225 |
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