JPH07169444A - Dielectric barrier electric discharge lamp apparatus - Google Patents
Dielectric barrier electric discharge lamp apparatusInfo
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- JPH07169444A JPH07169444A JP34320793A JP34320793A JPH07169444A JP H07169444 A JPH07169444 A JP H07169444A JP 34320793 A JP34320793 A JP 34320793A JP 34320793 A JP34320793 A JP 34320793A JP H07169444 A JPH07169444 A JP H07169444A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、塗料の硬化、
表面洗浄、殺菌等に使用される真空紫外線光源の改良に
係り、特に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を
形成し、該エキシマ分子から放射される光を利用するい
わゆる誘電体バリヤ放電ランプを使用した誘電体バリヤ
放電ランプ装置の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to, for example, the curing of paints,
Regarding improvement of vacuum ultraviolet light source used for surface cleaning, sterilization, etc., in particular, a so-called dielectric barrier discharge lamp is used which forms excimer molecules by dielectric barrier discharge and utilizes light emitted from the excimer molecules. The present invention relates to improvement of a dielectric barrier discharge lamp device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平２−７３５３号があり、そこ
には、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを
充填し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるい
は無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブッ
ク」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）に
よってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から
放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ
放電ランプについて記載されている。すなわち、石英ガ
ラス板のような光透過性の誘電体２枚を対向して設けて
放電空間を形成し、前記放電空間に稀ガス、重水素ある
いは希ガスとハロゲンの混合ガス等を充填し、前記２個
の誘電体の前記放電空間に対向していない面に電極を設
け、前記電極に交流電圧を印加して前記放電空間に無声
放電を発生させて紫外線を放射させる構成・方式が知ら
れている。前記誘電体としては、石英ガラスの他に、サ
ファイア、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウムなど
が知られている。上記した希ガスを放電ガスとした誘電
体バリヤ放電ランプは、真空紫外線が高効率で得られ
る、放電容器の形状の自由度が大きいなど、従来の低圧
水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプには無い種々の
特長を有しているため有用である。しかし、上記のよう
な誘電体バリヤ放電ランプは、数ｋＨｚから数百ｋＨｚ
の高周波で、しかも高電圧で動作しているため、電磁雑
音電波を放射したり、安全性に問題があった。2. Description of the Related Art As a technique related to the present invention, there is, for example, Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 2-7353, in which a discharge vessel is filled with a discharge gas for forming excimer molecules, Barrier discharge (also known as ozonizer discharge or silent discharge. See the revised edition “Discharge Handbook” published by The Institute of Electrical Engineers of Japan, June 2001, Reprint 7th edition, page 263) forms excimer molecules, and the light emitted from the excimer molecules is extracted. A radiator, or dielectric barrier discharge lamp, is described. That is, two light-transmitting dielectrics such as quartz glass plates are provided so as to face each other to form a discharge space, and the discharge space is filled with a rare gas, deuterium or a mixed gas of a rare gas and a halogen, There is known a configuration / method in which electrodes are provided on surfaces of the two dielectrics that do not face the discharge space, and an AC voltage is applied to the electrodes to generate silent discharge in the discharge space and radiate ultraviolet rays. ing. Other than quartz glass, sapphire, magnesium fluoride, calcium fluoride and the like are known as the dielectric. Dielectric barrier discharge lamps using the above rare gases as discharge gas do not exist in conventional low-pressure mercury discharge lamps and high-pressure arc discharge lamps because they can obtain vacuum ultraviolet rays with high efficiency and have a high degree of freedom in the shape of the discharge vessel. It is useful because it has various features. However, the dielectric barrier discharge lamp as described above has several kHz to several hundred kHz.
Since it operates at a high frequency and a high voltage, it emits electromagnetic noise radio waves and has a problem in safety.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、電磁
雑音電波の放射が少なく、かつ、安全性の高い誘電体バ
リヤ放電ランプ装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a dielectric barrier discharge lamp device which emits a small amount of electromagnetic noise radio waves and has high safety.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、少なく
とも誘電体バリヤ放電によってエキシマを形成するガス
が充填された放電容器と、該ガスを放電用ガスとした誘
電体バリヤ放電を行うための電極と、該誘電体バリヤ放
電によって発生した紫外エキシマ光を取り出す窓部材を
有する誘電体バリヤ放電ランプと、誘電体バリヤ放電ラ
ンプを収納するためのランプハウスと、商用周波数を高
周波に変換する周波数コンバータと昇圧トランスからな
る該誘電体バリヤ放電を行うための電源装置とからなる
誘電体バリヤ放電ランプ装置において、該昇圧トランス
を該誘電体バリヤ放電ランプのすぐ近くに設置すること
により達成される。また、少なくとも誘電体バリヤ放電
によってエキシマを形成するガスが充填された放電容器
と、該ガスを放電用ガスとした誘電体バリヤ放電を行う
ための電極と、該誘電体バリヤ放電によって発生した紫
外エキシマ光を取り出す窓部材を有する誘電体バリヤ放
電ランプと、誘電体バリヤ放電ランプを収納するための
ランプハウスと、商用周波数を高周波に変換する周波数
コンバータと昇圧トランスからなる該誘電体バリヤ放電
を行うための電源装置とからなる誘電体バリヤ放電ラン
プ装置において、該昇圧トランスを該ランプハウス内に
設置することによって、本発明の目的は達成される。さ
らに、該電源装置の該周波数コンバータの部分を該昇圧
トランスを収納する箱とは別の箱内に収納することによ
り、本発明の目的はより一層達成される。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide at least a discharge vessel filled with a gas forming an excimer by a dielectric barrier discharge, and a dielectric barrier discharge using the gas as a discharge gas. A dielectric barrier discharge lamp having electrodes, a window member for extracting ultraviolet excimer light generated by the dielectric barrier discharge, a lamp house for housing the dielectric barrier discharge lamp, and a frequency converter for converting a commercial frequency to a high frequency In a dielectric barrier discharge lamp device including a power supply device for discharging the dielectric barrier discharge, the booster transformer is installed in the immediate vicinity of the dielectric barrier discharge lamp. Further, at least a discharge vessel filled with a gas forming an excimer by a dielectric barrier discharge, an electrode for performing a dielectric barrier discharge using the gas as a discharge gas, and an ultraviolet excimer generated by the dielectric barrier discharge. A dielectric barrier discharge lamp having a window member for extracting light, a lamp house for housing the dielectric barrier discharge lamp, and a dielectric barrier discharge including a frequency converter for converting a commercial frequency to a high frequency and a step-up transformer. The object of the present invention is achieved by installing the step-up transformer in the lamp house in a dielectric barrier discharge lamp device including the power supply device. Further, the object of the present invention is further achieved by housing the frequency converter portion of the power supply device in a box different from the box in which the step-up transformer is housed.
【０００５】[0005]
【作用】本発明者等は、該誘電体バリヤ放電ランプ装置
の実用化のために種々の検討を行った結果、該誘電体バ
リヤ放電ランプ装置の電磁雑音電波について以下のこと
を発見した。一般に、紫外線ランプが産業用として使用
されるためには、ランプの表面積１平方センチメートル
当たり約１ミリワット以上の紫外線出力が必要である。
一方、誘電体バリヤ放電ランプにおいてランプの表面積
１平方センチメートル当たり約１ミリワット以上の紫外
線出力を得るためには、数ｋＨｚ以上の高周波の、数ｋ
Ｖ以上の高電圧を、該誘電体バリヤ放電ランプに印加す
る必要がある。上記した数ｋＨｚ以上の高周波の、数ｋ
Ｖ以上の高電圧それ自身が電磁雑音電波源になるのに加
えて、放電が時間的に連続的に行われている従来の無電
極あるいは有電極の高周波放電アークランプ装置に対し
て、誘電体バリヤ放電ランプの放電は微小な断続的な放
電であるので、該誘電体バリヤ放電ランプ装置の電磁雑
音電波は著しく強い。したがって、誘電体バリヤ放電ラ
ンプ装置においては、従来の無電極あるいは有電極の高
周波放電アークランプ装置のように、ランプを収納した
ランプハウスと、ランプハウスとは別に独立して電源装
置を設け、高電圧給電ケーブルで該電源装置からランプ
に高周波・高電圧を供給する方式を採用すると、該高電
圧給電ケーブルから電磁雑音電波が放射される。上記の
現象は、放電が時間的に断続的に行われている誘電体バ
リヤ放電ランプ独特の現象である。The present inventors have conducted various studies to put the dielectric barrier discharge lamp device into practical use, and have found the following regarding electromagnetic noise radio waves of the dielectric barrier discharge lamp device. Generally, in order for an ultraviolet lamp to be used for industrial purposes, an ultraviolet output of about 1 milliwatt or more per square centimeter of the surface area of the lamp is required.
On the other hand, in order to obtain an ultraviolet ray output of about 1 milliwatt or more per square centimeter of the surface area of a dielectric barrier discharge lamp, a high frequency of several kHz or several k
It is necessary to apply a high voltage above V to the dielectric barrier discharge lamp. Several k of high frequency above several kHz
In addition to the fact that a high voltage of V or higher itself becomes a source of electromagnetic noise radio waves, a high frequency discharge arc lamp device with no electrodes or electrodes, which discharges continuously, is used as a dielectric material. Since the discharge of the barrier discharge lamp is a minute and intermittent discharge, the electromagnetic noise radio wave of the dielectric barrier discharge lamp device is remarkably strong. Therefore, in the dielectric barrier discharge lamp device, as in the conventional high-frequency discharge arc lamp device without electrodes or with electrodes, a lamp house accommodating the lamp and a power supply device separately provided separately from the lamp house are provided. When a method of supplying a high frequency and high voltage from the power supply device to the lamp with a voltage supply cable is adopted, electromagnetic noise radio waves are radiated from the high voltage supply cable. The above phenomenon is a phenomenon peculiar to a dielectric barrier discharge lamp in which discharge is intermittently performed in time.
【０００６】該高電圧給電ケーブルを電磁的にシールド
する事は、原理的には可能である。しかし、該高電圧給
電ケーブルが高周波・高電圧を供給しているため、該シ
ールド部材と該高電圧給電ケーブル間の電気絶縁を十分
にするために該シールド部材と該高電圧給電ケーブル間
の距離を大きくする必要があり、従って該シールド部材
が非常に大きくなって取扱が不便になるという不利点が
生じたり、あるいは小形の部材でシールドを行った場合
には、該シールド部材と該高電圧給電ケーブル間の電気
絶縁が困難になって安全性が低下したり、かつ、該シー
ルド部材と該高電圧給電ケーブル間の静電容量を通して
漏洩電流が流れ、電源装置全体の効率が低下すると言う
不利点が生じる。It is possible in principle to electromagnetically shield the high-voltage power supply cable. However, since the high-voltage power supply cable supplies high frequency and high voltage, the distance between the shield member and the high-voltage power supply cable is sufficient to ensure sufficient electrical insulation between the shield member and the high-voltage power supply cable. Therefore, if the shield member becomes very large and the handling becomes inconvenient, or if the shield is made by a small member, the shield member and the high voltage power supply are Disadvantages that the electrical insulation between the cables becomes difficult and the safety deteriorates, and the leakage current flows through the electrostatic capacitance between the shield member and the high-voltage power supply cable, and the efficiency of the entire power supply device decreases. Occurs.
【０００７】少なくとも誘電体バリヤ放電によってエキ
シマを形成するガスが充填された放電容器と、該ガスを
放電用ガスとした誘電体バリヤ放電を行うための電極
と、該誘電体バリヤ放電によって発生した紫外エキシマ
光を取り出す窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプ
と、誘電体バリヤ放電ランプを収納するためのランプハ
ウスと、商用周波数を高周波に変換する周波数コンバー
タと昇圧トランスからなる該誘電体バリヤ放電を行うた
めの電源装置とからなる誘電体バリヤ放電ランプ装置に
おいて、該昇圧トランスを該誘電体バリヤ放電ランプの
直近に設置すると、該昇圧トランスと該誘電体バリヤ放
電ランプを結ぶ該高電圧給電ケーブルが短くなるため、
該高電圧給電ケーブルの電気絶縁が容易になり、かつ、
該高電圧給電ケーブルを電磁的にシールドする事が容易
になるため、電磁雑音電波の放射が少なく、かつ、安全
性の高い誘電体バリヤ放電ランプ装置が得られる。本発
明における直近の意味は、該昇圧トランスと該誘電体バ
リヤ放電ランプを結ぶ該高電圧給電ケーブルの長さが、
５０ｃｍ以下の場合を言う。At least a discharge vessel filled with a gas that forms an excimer by a dielectric barrier discharge, an electrode for performing a dielectric barrier discharge using the gas as a discharge gas, and an ultraviolet ray generated by the dielectric barrier discharge A dielectric barrier discharge lamp having a window member for taking out excimer light, a lamp house for housing the dielectric barrier discharge lamp, a frequency converter for converting a commercial frequency into a high frequency, and the dielectric barrier discharge including a step-up transformer are performed. In the dielectric barrier discharge lamp device including a power supply device for the above, when the step-up transformer is installed in the immediate vicinity of the dielectric barrier discharge lamp, the high-voltage power supply cable connecting the step-up transformer and the dielectric barrier discharge lamp is short. Because,
Electrical insulation of the high-voltage power supply cable is facilitated, and
Since it is easy to electromagnetically shield the high-voltage power supply cable, it is possible to obtain a dielectric barrier discharge lamp device which emits less electromagnetic noise radio waves and has high safety. The most recent meaning in the present invention is that the length of the high-voltage power supply cable connecting the step-up transformer and the dielectric barrier discharge lamp is
It refers to the case of 50 cm or less.
【０００８】少なくとも誘電体バリヤ放電によってエキ
シマを形成するガスが充填された放電容器と、該ガスを
放電用ガスとした誘電体バリヤ放電を行うための電極
と、該誘電体バリヤ放電によって発生した紫外エキシマ
光を取り出す窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプ
と、誘電体バリヤ放電ランプを収納するためのランプハ
ウスと、商用周波数を高周波に変換する周波数コンバー
タと昇圧トランスからなる該誘電体バリヤ放電を行うた
めの電源装置とからなる誘電体バリヤ放電ランプ装置に
おいて、該昇圧トランスを該ランプハウス内に設置する
と、該該昇圧トランスと該誘電体バリヤ放電ランプを結
ぶ該高電圧給電ケーブルがランプハウス内に存在するた
め、該高電圧給電ケーブルは該ランプハウスでシールド
されるため、電磁雑音電波の放射が少なく、かつ、安全
性の高い誘電体バリヤ放電ランプ装置が得られる。At least a discharge vessel filled with a gas forming an excimer by a dielectric barrier discharge, an electrode for performing a dielectric barrier discharge using the gas as a discharge gas, and an ultraviolet ray generated by the dielectric barrier discharge A dielectric barrier discharge lamp having a window member for taking out excimer light, a lamp house for housing the dielectric barrier discharge lamp, a frequency converter for converting a commercial frequency into a high frequency, and the dielectric barrier discharge including a step-up transformer are performed. In the dielectric barrier discharge lamp device including a power supply device for the high-voltage power supply cable connecting the step-up transformer and the dielectric barrier discharge lamp in the lamp house, the step-up transformer is installed in the lamp house. Since the high voltage power supply cable is shielded by the lamp house because it is present, electromagnetic noise Less radiation wave, and high safety dielectric barrier discharge lamp device can be obtained.
【０００９】さらに、該電源装置の該周波数コンバータ
の部分を該昇圧トランスを収納する箱とは別の箱内に収
納すると、該該昇圧トランスの高電圧部分から放射され
る電磁雑音電波によって該周波数コンバータが誤動作す
ることがなくなり、安全性の高い誘電体バリヤ放電ラン
プ装置が得られる。Further, if the part of the frequency converter of the power supply device is housed in a box different from the box for housing the step-up transformer, the frequency is changed by electromagnetic noise radio waves radiated from the high-voltage part of the step-up transformer. The converter does not malfunction, and a highly safe dielectric barrier discharge lamp device can be obtained.
【００１０】[0010]
【実施例】本発明の第１の実施例である誘電体バリヤ放
電ランプ装置の概略図を図１に示し、該誘電体バリヤ放
電ランプ装置に使用している同軸円筒形誘電体バリヤ放
電ランプの概略図を、図２に示す。図２において、放電
容器１は全長約１５０ｍｍの合成石英ガラス製で、外径
Ｄ1 が１４ｍｍ、肉厚１ｍｍの内側管２、内径Ｄ2が約
２４ｍｍ、肉厚１ｍｍの外側管３を同軸に配置して中空
円筒状の放電空間１８を形成したものである。外側管３
は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓部材
を兼用しており、その外面に光を透過する導電性網から
なる電極４が設けられている。内側管２の外面に光の反
射板と誘電体バリヤ放電の電極を兼ねたアルミニウム薄
膜電極５が設けられている。該アルミニウム薄膜電極５
を、窒化ボロン２０で被覆し、該アルミニウム薄膜電極
５を化学的、機械的に保護した。放電容器１の両端に絶
縁性の口金１０，１１が設けられている。放電容器の放
電空間１８に放電用ガスとして２５０トールのキセノン
ガスを封入した。該誘電体バリヤ放電ランプの表面積１
平方センチメートルあたりの入力電力を０．２ワットと
して電源８で点灯した。その結果、波長１７２ｎｍに最
大値を有する紫外線が効率よく放射されされた。1 is a schematic view of a dielectric barrier discharge lamp device according to a first embodiment of the present invention, showing a coaxial cylindrical dielectric barrier discharge lamp used in the dielectric barrier discharge lamp device. A schematic diagram is shown in FIG. In FIG. 2, the discharge vessel 1 is made of synthetic quartz glass having a total length of about 150 mm, and an inner tube 2 having an outer diameter D 1 of 14 mm and a wall thickness of 1 mm and an outer tube 3 having an inner diameter D 2 of about 24 mm and a wall thickness of 1 mm are coaxially arranged. It is arranged to form a hollow cylindrical discharge space 18. Outer tube 3
Serves as both a dielectric barrier for dielectric barrier discharge and a light extraction window member, and an electrode 4 made of a conductive net that transmits light is provided on the outer surface thereof. On the outer surface of the inner tube 2 is provided an aluminum thin film electrode 5 which also serves as a light reflector and an electrode for dielectric barrier discharge. The aluminum thin film electrode 5
Was coated with boron nitride 20 to chemically and mechanically protect the aluminum thin film electrode 5. Insulating bases 10 and 11 are provided at both ends of the discharge vessel 1. The discharge space 18 of the discharge vessel was filled with 250 torr of xenon gas as a discharge gas. Surface area of the dielectric barrier discharge lamp 1
The power supply 8 was turned on with an input power of 0.2 watts per square centimeter. As a result, the ultraviolet ray having the maximum value at the wavelength of 172 nm was efficiently emitted.
【００１１】図１において、上記した該誘電体バリヤ放
電ランプ４１は、照射窓４３を有するランプハウス４２
内に取り付けられている。４４は光反射板である。電源
コード４５によって給電された商用周波数の電圧は、周
波数コンバータ４６によって高周波に変換され、高周波
給電ケーブル４８によって昇圧トランス５０に給電され
る。昇圧トランス５０によって昇圧された高周波・高電
圧が高電圧給電ケーブル４９によって誘電体バリヤ放電
ランプ４１に印加され、誘電体バリヤ放電ランプ４１が
点灯する。なお、４７は電源ボックスである。図示して
いないが、ランプハウス４２内の雰囲気は窒素ガスによ
って置換されている。このようにしてランプハウス内か
ら酸素を除去すると紫外線の透過が良くなる。高周波・
高電圧と、誘電体バリヤ放電によって発生した高周波電
磁雑音が乗っている高電圧給電ケーブル４９および昇圧
トランス５０がランプハウス４２内に収納されているた
め、高周波電磁雑音がシールドされ、さらに、該電源装
置の該周波数コンバータ４６の部分を該昇圧トランス５
０を収納している箱、すなわちランプハウス４２とは別
の電源ボックス４７内に収納したので、該昇圧トランス
５０の高電圧部分から放射される電磁雑音電波によって
該周波数コンバータ４６が誤動作することがなくなり、
従って、電磁雑音電波の放射が少なく、かつ、安全性の
高い誘電体バリヤ放電ランプ装置が得られた。In FIG. 1, the above-mentioned dielectric barrier discharge lamp 41 has a lamp house 42 having an irradiation window 43.
It is installed inside. Reference numeral 44 is a light reflection plate. The commercial frequency voltage supplied by the power cord 45 is converted into a high frequency by the frequency converter 46, and is supplied to the step-up transformer 50 by the high frequency power supply cable 48. The high frequency / high voltage boosted by the step-up transformer 50 is applied to the dielectric barrier discharge lamp 41 by the high voltage power supply cable 49, and the dielectric barrier discharge lamp 41 is turned on. In addition, 47 is a power supply box. Although not shown, the atmosphere in the lamp house 42 is replaced with nitrogen gas. By removing oxygen from the inside of the lamp house in this way, the transmission of ultraviolet rays is improved. high frequency·
Since the high voltage power supply cable 49 and the step-up transformer 50, which carry high voltage and high frequency electromagnetic noise generated by dielectric barrier discharge, are housed in the lamp house 42, the high frequency electromagnetic noise is shielded, and the power source Connect the part of the frequency converter 46 of the device to the step-up transformer 5
Since it is housed in a box housing 0, that is, in a power supply box 47 different from the lamp house 42, the frequency converter 46 may malfunction due to electromagnetic noise radio waves radiated from the high voltage portion of the step-up transformer 50. Disappeared
Therefore, a dielectric barrier discharge lamp device that emits a small amount of electromagnetic noise and has high safety can be obtained.
【００１２】本発明の第２の実施例である誘電体バリヤ
放電ランプ装置の概略図を図３に示す。この実施例にお
いては、第１の実施例の構成に加えて、周波数コンバー
タ４６もランプハウス４２内に収納した構成である。
高周波・高電圧と、誘電体バリヤ放電によって発生した
高周波電磁雑音が乗っている高電圧給電ケーブル４９お
よび昇圧トランス５０に加え、高周波給電ケーブル４８
もランプハウス４２内に収納されているため、高周波電
磁雑音がシールドされ、従って、電磁雑音電波の放射が
さらに少なく、かつ、安全性の高い誘電体バリヤ放電ラ
ンプ装置が得られた。A schematic diagram of a dielectric barrier discharge lamp device according to a second embodiment of the present invention is shown in FIG. In this embodiment, in addition to the structure of the first embodiment, the frequency converter 46 is also housed in the lamp house 42.
In addition to the high-voltage power supply cable 49 and the step-up transformer 50 that carry high-frequency / high-voltage and high-frequency electromagnetic noise generated by dielectric barrier discharge, the high-frequency power supply cable 48
Since it is also housed in the lamp house 42, high-frequency electromagnetic noise is shielded, and therefore, a dielectric barrier discharge lamp device having high safety and less emission of electromagnetic noise radio waves can be obtained.
【００１３】本発明の第３の実施例である誘電体バリヤ
放電ランプ装置の概略図を図４に示す。この実施例にお
いては、昇圧トランス５０は、トランス収納ボックス２
３内に収納し、誘電体バリヤ放電ランプ４１に直近して
設置した。トランス収納ボックス２３とランプハウス４
２を直径３０ｍｍのフレキシブルな金属管２１で結び、
肉厚６ｍｍのシリコンゴム管２２でカバーした高電圧給
電ケーブル４９を該金属管２１内に通した。昇圧トラン
ス５０と誘電体バリヤ放電ランプ４１を結ぶ高電圧給電
ケーブル４９の長さは、４０ｃｍである。昇圧トランス
５０が誘電体バリヤ放電ランプ４１に直近して設置され
ているため、高電圧給電ケーブル４９が短くなったの
で、該高電圧給電ケーブルの電気絶縁が容易になり、か
つ、該高電圧給電ケーブルを電磁的にシールドする事が
容易になるため、電磁雑音電波の放射が少なく、かつ、
安全性の高い誘電体バリヤ放電ランプ装置が得られた。A schematic diagram of a dielectric barrier discharge lamp device according to a third embodiment of the present invention is shown in FIG. In this embodiment, the step-up transformer 50 is the transformer storage box 2
It was housed in 3 and installed in the immediate vicinity of the dielectric barrier discharge lamp 41. Transformer storage box 23 and lamp house 4
Connect the two with a flexible metal tube 21 with a diameter of 30 mm,
A high-voltage power supply cable 49 covered with a silicon rubber tube 22 having a thickness of 6 mm was passed through the metal tube 21. The length of the high voltage power supply cable 49 connecting the step-up transformer 50 and the dielectric barrier discharge lamp 41 is 40 cm. Since the step-up transformer 50 is installed in the immediate vicinity of the dielectric barrier discharge lamp 41, the high-voltage power supply cable 49 is shortened, which facilitates the electrical insulation of the high-voltage power supply cable, and the high-voltage power supply cable. Since it is easy to shield the cable electromagnetically, the emission of electromagnetic noise radio waves is small, and
A highly safe dielectric barrier discharge lamp device was obtained.
【００１４】[0014]
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、電磁
雑音電波の放射が少なく、かつ、安全性の高い誘電体バ
リヤ放電ランプ装置を提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a dielectric barrier discharge lamp device that emits a small amount of electromagnetic noise radio waves and is highly safe.
【図１】本発明の誘電体バリヤ放電ランプ装置の実施例
の説明図である。FIG. 1 is an explanatory view of an embodiment of a dielectric barrier discharge lamp device of the present invention.
【図２】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの実施例の説
明図である。FIG. 2 is an explanatory view of an embodiment of the dielectric barrier discharge lamp of the present invention.
【図３】本発明の誘電体バリヤ放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of another embodiment of the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention.
【図４】本発明の誘電体バリヤ放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of another embodiment of the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention.
１ 放電容器 ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 導電性網電極 ５ 導電性薄膜電極 ８ 電源 １０ 口金 １１ 口金 １８ 放電空間 ２０ 窒化ボロン膜 ２１ 金属管 ２２ シリコンゴム管 ２３ トランス収納ボックス ４１ 誘電体バリヤ放電ランプ ４２ ランプハウス ４５ 電源コード ４６ 周波数コンバータ ４８ 高周波給電ケーブル ４９ 高電圧給電ケーブル ５０ 昇圧トランス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Discharge container 2 Inner tube 3 Outer tube 4 Conductive mesh electrode 5 Conductive thin film electrode 8 Power supply 10 Base 11 Base 15 Discharge space 20 Boron nitride film 21 Metal tube 22 Silicon rubber tube 23 Transformer storage box 41 Dielectric barrier discharge lamp 42 Lamp house 45 Power cord 46 Frequency converter 48 High frequency power cable 49 High voltage power cable 50 Step-up transformer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平本 立躬 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 笠木 邦雄 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Tateman Hiramoto, 1194 Sado, Bessho-cho, Himeji-shi, Hyogo Ushio Denki Co., Ltd. (72) Kunio Kasagi, 1194, Sado, Bessho-cho, Himeji-shi, Hyogo Ushio Electric Within the corporation
Claims (4)
キシマを形成するガスが充填された放電容器と、該ガス
を放電用ガスとした誘電体バリヤ放電を行うための電極
と、該誘電体バリヤ放電によって発生した紫外エキシマ
光を取り出す窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプ
と、誘電体バリヤ放電ランプを収納するためのランプハ
ウスと、商用周波数を高周波に変換する周波数コンバー
タと昇圧トランスからなる該誘電体バリヤ放電を行うた
めの電源装置とからなる誘電体バリヤ放電ランプ装置に
おいて、該昇圧トランスを該誘電体バリヤ放電ランプの
直近に設置したことを特徴とする誘電体バリヤ放電ラン
プ装置。1. A discharge vessel at least filled with a gas forming an excimer by a dielectric barrier discharge, an electrode for performing a dielectric barrier discharge using the gas as a discharge gas, and generated by the dielectric barrier discharge. Dielectric barrier discharge lamp having a window member for extracting the ultraviolet excimer light, a lamp house for housing the dielectric barrier discharge lamp, the dielectric barrier discharge including a frequency converter for converting a commercial frequency to a high frequency and a step-up transformer A dielectric barrier discharge lamp device comprising a power supply device for performing the above, wherein the step-up transformer is installed in the immediate vicinity of the dielectric barrier discharge lamp.
キシマを形成するガスが充填された放電容器と、該ガス
を放電用ガスとした誘電体バリヤ放電を行うための電極
と、該誘電体バリヤ放電によって発生した紫外エキシマ
光を取り出す窓部を有する誘電体バリヤ放電ランプと、
誘電体バリヤ放電ランプを収納するためのランプハウス
と、商用周波数を高周波に変換する周波数コンバータと
昇圧トランスからなる該誘電体バリヤ放電を行うための
電源装置とからなる誘電体バリヤ放電ランプ装置におい
て、該昇圧トランスを該ランプハウス内に設置したこと
を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ装置。2. A discharge vessel filled with a gas that forms an excimer by at least a dielectric barrier discharge, an electrode for performing a dielectric barrier discharge using the gas as a discharge gas, and a gas generated by the dielectric barrier discharge. A dielectric barrier discharge lamp having a window portion for extracting the ultraviolet excimer light,
In a dielectric barrier discharge lamp device comprising a lamp house for accommodating a dielectric barrier discharge lamp, a frequency converter for converting a commercial frequency to a high frequency, and a power supply device for performing the dielectric barrier discharge consisting of a step-up transformer, A dielectric barrier discharge lamp device, wherein the step-up transformer is installed in the lamp house.
を該昇圧トランスを収納する箱とは別の箱内に収納した
ことを特徴とした請求項１もしくは請求項２に記載の誘
電体バリヤ放電ランプ装置。3. The dielectric barrier discharge according to claim 1, wherein the frequency converter portion of the power supply device is housed in a box different from the box housing the step-up transformer. Lamp device.
なることを特徴とする請求項１もしくは請求項２に記載
の誘電体バリヤ放電ランプ装置。4. A dielectric barrier discharge lamp device according to claim 1, wherein oxygen gas is removed from the inside of the lamp house.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34320793A JP2775698B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Dielectric barrier discharge lamp device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP34320793A JP2775698B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Dielectric barrier discharge lamp device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH07169444A true JPH07169444A (en) | 1995-07-04 |
| JP2775698B2 JP2775698B2 (en) | 1998-07-16 |
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ID=18359748
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP34320793A Expired - Lifetime JP2775698B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Dielectric barrier discharge lamp device |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2775698B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4874896A (en) * | 1987-12-23 | 1989-10-17 | Uop | Process for the production of alkylamines |
| JP2006066224A (en) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Ushio Inc | Excimer lamp lighting device |
| JP2008159287A (en) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Ushio Inc | Double-tube type rare gas fluorescent lamp and lamp device |
| CN101514783A (en) * | 2008-02-21 | 2009-08-26 | 株式会社Orc制作所 | Ultraviolet irradiation apparatus |
| WO2019198657A1 (en) * | 2018-04-10 | 2019-10-17 | 株式会社デンソー | Discharge-device-integrated power source device |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP34320793A patent/JP2775698B2/en not_active Expired - Lifetime
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| CN101514783A (en) * | 2008-02-21 | 2009-08-26 | 株式会社Orc制作所 | Ultraviolet irradiation apparatus |
| JP2009195825A (en) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Orc Mfg Co Ltd | Ultraviolet irradiation apparatus |
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