JPH07159135A - 距離センサ - Google Patents
距離センサInfo
- Publication number
- JPH07159135A JPH07159135A JP6223457A JP22345794A JPH07159135A JP H07159135 A JPH07159135 A JP H07159135A JP 6223457 A JP6223457 A JP 6223457A JP 22345794 A JP22345794 A JP 22345794A JP H07159135 A JPH07159135 A JP H07159135A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distance
- distance sensor
- members
- measuring
- measurement mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 20
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/10—Safety means specially adapted therefor
- A61B6/102—Protection against mechanical damage, e.g. anti-collision devices
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/08—Auxiliary means for directing the radiation beam to a particular spot, e.g. using light beams
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Surgery (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成でＣＴ装置の回転中心位置を測定
することを可能にする距離センサを提供する。 【構成】 測定マークが測定ビーム路に影響を与え、か
つ、測定ビーム路に影響を与えている期間中に生じる、
評価回路に供給される距離信号の持続時間が２つの相互
に相対的に移動する部材の距離に依存する幾何学的な形
を有している。
することを可能にする距離センサを提供する。 【構成】 測定マークが測定ビーム路に影響を与え、か
つ、測定ビーム路に影響を与えている期間中に生じる、
評価回路に供給される距離信号の持続時間が２つの相互
に相対的に移動する部材の距離に依存する幾何学的な形
を有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、距離センサに関する。
【０００２】医学技術において、より詳しく言えば、コ
ンピュータトモグラフ技術を用いる際、２つの相互に相
対的に移動する部材の距離を計測するという課題が存在
する。回転架台を有するＣＴ装置を用いる際、許容され
ない距離変化を検出するために、固定部からの回転部の
距離と回転中心位置とを測定しなければならない。
ンピュータトモグラフ技術を用いる際、２つの相互に相
対的に移動する部材の距離を計測するという課題が存在
する。回転架台を有するＣＴ装置を用いる際、許容され
ない距離変化を検出するために、固定部からの回転部の
距離と回転中心位置とを測定しなければならない。
【０００３】
【従来の技術】ドイツ特許第１２１５３８４号明細書に
おいて、定点に対する軸の軸方向の変位の無接触測定装
置が記載されている。この装置には軸の上に測定マーク
が付けられており、測定マークは測定ビーム路に影響を
与え、かつ、測定ビーム路に影響を与えている期間に生
ずる信号の持続時間が軸の変位に依存する幾何学的な形
を有している。目標位置からのＣＴ装置の回転中心の移
動を検出するためにはこの装置は適しない。なぜなら、
軸方向の移動が生じてしまうからである。
おいて、定点に対する軸の軸方向の変位の無接触測定装
置が記載されている。この装置には軸の上に測定マーク
が付けられており、測定マークは測定ビーム路に影響を
与え、かつ、測定ビーム路に影響を与えている期間に生
ずる信号の持続時間が軸の変位に依存する幾何学的な形
を有している。目標位置からのＣＴ装置の回転中心の移
動を検出するためにはこの装置は適しない。なぜなら、
軸方向の移動が生じてしまうからである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、簡単
な構成で、コンピュータ断層撮影の際に回転中心位置を
測定することを可能にする冒頭に述べた形式の距離セン
サを提供することにある。
な構成で、コンピュータ断層撮影の際に回転中心位置を
測定することを可能にする冒頭に述べた形式の距離セン
サを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によ
り、測定マークが測定ビーム路に影響を与え、かつ、測
定ビーム路に影響を与えている期間中に発生し、評価回
路に供給される距離信号の持続時間が２つの部材の距離
に依存する幾何学的な形を有することにより解決され
る。本発明の距離センサによって、特別な形を持った測
定マークが光線に影響を与え有利にも遮断する。この遮
断時間は、２つの部材の距離に依存する。測定された遮
断時間から、それに応じて距離を測定することができ
る。
り、測定マークが測定ビーム路に影響を与え、かつ、測
定ビーム路に影響を与えている期間中に発生し、評価回
路に供給される距離信号の持続時間が２つの部材の距離
に依存する幾何学的な形を有することにより解決され
る。本発明の距離センサによって、特別な形を持った測
定マークが光線に影響を与え有利にも遮断する。この遮
断時間は、２つの部材の距離に依存する。測定された遮
断時間から、それに応じて距離を測定することができ
る。
【０００６】本発明の有利な実施例では、２つの測定マ
ークが互いに並べて設けられる。この構成により、距離
センサは部材の傾斜、ねじれ及び回転数の変動のような
部材の相対速度の変化に対して不感である。
ークが互いに並べて設けられる。この構成により、距離
センサは部材の傾斜、ねじれ及び回転数の変動のような
部材の相対速度の変化に対して不感である。
【０００７】
【実施例】次に本発明を実施例に基づき図を用いて詳細
に説明する。
に説明する。
【０００８】図１は、本発明による距離センサの基本原
理を示す。図１において、固定部材１と移動部材２が示
されている。移動部材２と共に光送信機３と光受信機４
は、線５に沿って移動される。三角形の測定マーク６は
固定部材１に設けられており、三角形の頂点が移動部材
２に対向している。
理を示す。図１において、固定部材１と移動部材２が示
されている。移動部材２と共に光送信機３と光受信機４
は、線５に沿って移動される。三角形の測定マーク６は
固定部材１に設けられており、三角形の頂点が移動部材
２に対向している。
【０００９】移動部材２が矢印７の方向に移動される
と、光送信機３の光線は、時間ｔｍの間で光受信機４に
反射される。それに応じて光受信機４は、電気出力信号
を経過８に相応して供給する。経過８のパルスの持続時
間は、固定部材１と移動部材２との間の距離に依存す
る。経過８のパルスの持続時間をこのような距離に換算
することが可能である。
と、光送信機３の光線は、時間ｔｍの間で光受信機４に
反射される。それに応じて光受信機４は、電気出力信号
を経過８に相応して供給する。経過８のパルスの持続時
間は、固定部材１と移動部材２との間の距離に依存す
る。経過８のパルスの持続時間をこのような距離に換算
することが可能である。
【００１０】部材３、４、６からなる装置は、可動部と
固定部とを相互に逆に切り換え可能である。つまり、部
材６を移動可能とし、部材３、４を固定することができ
る。測定時間ｔｍの期間では、部材１と２との間に近似
的に一定した相対速度、又は少なくとも直線的に変化す
る相対速度が存在しなければならない。上記の原理は、
直線移動にも回転移動にも適用される。光受信機４を相
応して配置することにより、周知の通り、光源３の光線
の反射の代わりにこのような光線の遮断を検出すること
も可能である。
固定部とを相互に逆に切り換え可能である。つまり、部
材６を移動可能とし、部材３、４を固定することができ
る。測定時間ｔｍの期間では、部材１と２との間に近似
的に一定した相対速度、又は少なくとも直線的に変化す
る相対速度が存在しなければならない。上記の原理は、
直線移動にも回転移動にも適用される。光受信機４を相
応して配置することにより、周知の通り、光源３の光線
の反射の代わりにこのような光線の遮断を検出すること
も可能である。
【００１１】図２は、図１による距離センサの変形実施
例の構成を示す図である。図２では、測定マーク６と並
んで、反射測定マークとして作動する第２の測定マーク
９が設けられている。測定マーク６と９によって発生さ
れるパルス持続時間の商を求めれば、測定中にこれらの
量が変化しない限り、距離センサは、移動部材２の傾
斜、ねじれ（取付けの不正確）及び絶対速度の変化、例
えば回転数の変動の影響を受けない。
例の構成を示す図である。図２では、測定マーク６と並
んで、反射測定マークとして作動する第２の測定マーク
９が設けられている。測定マーク６と９によって発生さ
れるパルス持続時間の商を求めれば、測定中にこれらの
量が変化しない限り、距離センサは、移動部材２の傾
斜、ねじれ（取付けの不正確）及び絶対速度の変化、例
えば回転数の変動の影響を受けない。
【００１２】距離ｄの測定に関し、図２で選択した測定
マークの配置に対して次の関係が成り立つ。
マークの配置に対して次の関係が成り立つ。
【００１３】ｄ＝ｔｍ／ｔｎ×Ｓｎ／２ 条件：Ａ//Ｂ//Ｃ Ｃ⊥Ｄ 但し、ｄは、距離（測定値） ｔｍは、測定マークの遮断時間 ｔｎは、反射マークの遮断時間 Ｓｍは、測定マークの遮断路長 Ｓｎは、反射マークの遮断路長 ｖｂは、軌道速度 光受信機４によって形成される距離信号を、振幅に関し
て評価することによって、ある値、例えば明か暗かが、
即ち遮断されているか否かが判定される５０％値を得る
ことができる。このようにして、距離センサが常に測定
マークの側縁の幾何学的に同じ位置で判定する。このこ
とは滑らかな明暗移行部を有する拡大光束の際、有利で
ある。
て評価することによって、ある値、例えば明か暗かが、
即ち遮断されているか否かが判定される５０％値を得る
ことができる。このようにして、距離センサが常に測定
マークの側縁の幾何学的に同じ位置で判定する。このこ
とは滑らかな明暗移行部を有する拡大光束の際、有利で
ある。
【００１４】これにより光送信機３の制御と調整が容易
になる。さらにそれにより、場合によっては光送信機３
が消耗しているか、あるいは光学的欠陥（例えば汚れ）
があるか、またそうしたことがいつ起きるのかが確認さ
れる。
になる。さらにそれにより、場合によっては光送信機３
が消耗しているか、あるいは光学的欠陥（例えば汚れ）
があるか、またそうしたことがいつ起きるのかが確認さ
れる。
【００１５】マーク９の縁部の傾斜によって、マーク６
を用いる時と同様な光学的及び電気的伝送特性を得るこ
とができる。
を用いる時と同様な光学的及び電気的伝送特性を得るこ
とができる。
【００１６】時間的測定が非常に正確に行われるので、
そこから良好な位置分解能が得られる。実際の場合、測
定時間は約２．８ｍｓであり、時間分解能は１μｓであ
り、軌道速度は約３．６ｍ／ｓであり、結果的に得られ
た位置分解能は約５μｍである。時間分解能が例えば１
００ｎｓに高められると、位置分解能は０．５μｍ以下
に高められる。
そこから良好な位置分解能が得られる。実際の場合、測
定時間は約２．８ｍｓであり、時間分解能は１μｓであ
り、軌道速度は約３．６ｍ／ｓであり、結果的に得られ
た位置分解能は約５μｍである。時間分解能が例えば１
００ｎｓに高められると、位置分解能は０．５μｍ以下
に高められる。
【００１７】上記の距離センサは、架台の回転中心位置
の移動を１００分の１ミリメートルの分解能で検出する
ために、また相応する補正手段のために、ＣＴ装置にお
いて用いられる。
の移動を１００分の１ミリメートルの分解能で検出する
ために、また相応する補正手段のために、ＣＴ装置にお
いて用いられる。
【００１８】図３は、図１による距離センサの回路図で
ある。図３において、光受信機４に後置接続された評価
回路が示されている。光受信機の出力信号は前置増幅器
１０に供給される。前置増幅器は比較器１１に直接に接
続され、かつ間接的に正のピークの検知回路１２及び負
のピークの検知回路１３を介して接続されている。検知
回路１２、１３の出力信号は加算器１４に供給され、加
算器１４の出力信号は乗算器１５を介して比較器１１に
基準信号として供給される。比較器１１の出力信号はゲ
ート回路１６を制御し、ゲート回路１６のもう一方の入
力側が、例えば１ＭＨｚの発振器１７に接続されてい
る。ゲート回路１６はカウンタ１８を制御し、カウンタ
１８の出力信号は、評価−制御−インターフェース装置
１９に供給される。光送信機３は、目標値信号を入力側
２１で受け取る輝度調節器２０に接続されている。
ある。図３において、光受信機４に後置接続された評価
回路が示されている。光受信機の出力信号は前置増幅器
１０に供給される。前置増幅器は比較器１１に直接に接
続され、かつ間接的に正のピークの検知回路１２及び負
のピークの検知回路１３を介して接続されている。検知
回路１２、１３の出力信号は加算器１４に供給され、加
算器１４の出力信号は乗算器１５を介して比較器１１に
基準信号として供給される。比較器１１の出力信号はゲ
ート回路１６を制御し、ゲート回路１６のもう一方の入
力側が、例えば１ＭＨｚの発振器１７に接続されてい
る。ゲート回路１６はカウンタ１８を制御し、カウンタ
１８の出力信号は、評価−制御−インターフェース装置
１９に供給される。光送信機３は、目標値信号を入力側
２１で受け取る輝度調節器２０に接続されている。
【図１】本発明による距離センサの基本原理を示す略線
図である。
図である。
【図２】図１による距離センサの変形を示す略線図であ
る。
る。
【図３】図１による距離センサの回路図を示す。
１、２ 部材 ３ 光送信機 ４ 光受信機 ５ 線 ６、９ 測定マーク ７ 矢印 ８ 経過 １０ 前置増幅器 １１ 比較器 １２、１３ 検知回路 １４ 加算器 １５ 乗算器 １６ ゲート回路 １７ 発振器 １８ カウンタ １９ インターフェース装置 ２０ 輝度調整器 ２１ 出力側
Claims (5)
- 【請求項１】 測定マーク（６）を備える２つの相互に
相対的に移動する部材（１、２）を有するＣＴ装置の回
転中心位置を測定するための距離センサにおいて、測定
マーク（６）が測定ビーム路に影響を与え、かつ、測定
ビーム路に影響を与えている期間中に生じる、図３の評
価回路に供給される距離信号の持続時間（ｔｍ）が部材
（１、２）の距離に依存する幾何学的な形を有している
ことを特徴とする距離センサ。 - 【請求項２】 測定マーク（６）が、他方の部材（２）
に頂点を向けている三角形の形を持つことを特徴とする
請求項１に記載の距離センサ。 - 【請求項３】 ２つの測定マーク（６、９）が互いに並
んで設けられていることを特徴とする請求項１又は２に
記載の距離センサ。 - 【請求項４】 距離信号の振幅の評価回路（第３図）を
有することを特徴とする請求項１から３までのいずれか
１項記載の距離センサ。 - 【請求項５】 回転中心位置を測定するためにＣＴ装置
に用いたことを特徴とする請求項１から４までのいずれ
か１項記載の距離センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4332254A DE4332254C1 (de) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | Verwendung eines Abstandssensors für Computertomographen |
| DE4332254.9 | 1993-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159135A true JPH07159135A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=6498335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6223457A Pending JPH07159135A (ja) | 1993-09-22 | 1994-09-19 | 距離センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5512761A (ja) |
| JP (1) | JPH07159135A (ja) |
| DE (1) | DE4332254C1 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19746096A1 (de) * | 1997-10-17 | 1999-05-06 | Siemens Ag | Röntgeneinrichtung |
| DE19746093C2 (de) * | 1997-10-17 | 2002-10-17 | Siemens Ag | C-Bogen-Röntgengerät |
| US6008964A (en) * | 1997-11-14 | 1999-12-28 | Exabyte Corporation | Cartridge library and method of operation thereof |
| US6373579B1 (en) * | 1999-05-26 | 2002-04-16 | Hand Held Products, Inc. | Portable measurement apparatus for determinging the dimensions of an object and associated method |
| US6466396B1 (en) | 2000-11-09 | 2002-10-15 | Exabyte Corporation | Cartridge library |
| US6462900B1 (en) | 2000-11-09 | 2002-10-08 | Exabyte Corporation | Cartridge picker robot with ribbon cable for cartridge library |
| US6473261B1 (en) | 2000-11-09 | 2002-10-29 | Exabyte Corporation | Cartridge overinsertion protection for cartridge library |
| US6612499B2 (en) | 2002-01-24 | 2003-09-02 | Exabyte Corporation | Calibration cartridge for automated cartridge library and method of using same |
| US20080278847A1 (en) * | 2007-05-11 | 2008-11-13 | Barkley John A | Method and apparatus for positioning drives in cartridge library |
| US20080282275A1 (en) * | 2007-05-11 | 2008-11-13 | Zaczek Thomas E | Entry/exit port method and apparatus for cartridge library |
| US20080282281A1 (en) * | 2007-05-11 | 2008-11-13 | White Christopher M | Cartridge engagement apparatus and method for cartridge library |
| US7777986B2 (en) * | 2007-05-11 | 2010-08-17 | Tandberg Data Corporation | Multi-dimensional transport method and drive subsystems in a cartridge library apparatus |
| US7777985B2 (en) * | 2007-05-11 | 2010-08-17 | Tandberg Data Corporation | Transport method and apparatus for cartridge library utilizing cam slot and follower for moving a robot carriage |
| DE102014111694A1 (de) * | 2014-08-15 | 2016-02-18 | Fraba B.V | Vorrichtung zur Überwachung einer Maschinenbewegung und Verfahren zum Überwachen einer Maschinenbewegung |
| CN115597487B (zh) * | 2022-10-11 | 2023-09-15 | 中山芯承半导体有限公司 | 一种用于测量印刷电路板层间偏移量的测量方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1197236B (de) * | 1960-06-04 | 1965-07-22 | Reutlinger & Soehne Dr | Anordnung zur beruehrungslosen Messung der axialen Verschiebung einer umlaufenden Welle gegen einen Festpunkt |
| DE1215384B (de) * | 1961-05-04 | 1966-04-28 | Reutlinger & Soehne Dr | Anordnung zur beruehrungslosen Messung der axialen Verschiebung einer Welle gegen einen Festpunkt |
| US3922539A (en) * | 1974-04-02 | 1975-11-25 | Pitney Bowes Inc | Improved circuit for detecting the passage of an article beating a repetitive marking |
| US4864631A (en) * | 1984-11-02 | 1989-09-05 | Adolph Coors Company | Obstructed-field-indicia-sensing device |
| US4812983A (en) * | 1985-01-03 | 1989-03-14 | General Electric Company | Method and means of correcting for a shift in the center of rotation of a rotating fan beam CT system |
| US4703424A (en) * | 1985-01-03 | 1987-10-27 | General Electric Company | Method and means of correcting for a shift in the center of rotation of a rotating fan beam CT system |
| US4788441A (en) * | 1985-12-16 | 1988-11-29 | Acme-Cleveland Corporation | Range finder wherein distance between target and source is determined by measuring scan time across a retroreflective target |
| JP2603616B2 (ja) * | 1986-06-02 | 1997-04-23 | オムロン株式会社 | 反射型光電スイツチ |
| DD256910A1 (de) * | 1986-12-30 | 1988-05-25 | Werkzeugmasch Forschzent | Massstab fuer eine absolut messende digitale positionsmesseinrichtung |
| US4928008A (en) * | 1987-12-11 | 1990-05-22 | The Boeing Company | Variable light transmission filter and optical analog position sensor |
-
1993
- 1993-09-22 DE DE4332254A patent/DE4332254C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-08-29 US US08/296,590 patent/US5512761A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-09-19 JP JP6223457A patent/JPH07159135A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4332254C1 (de) | 1995-02-23 |
| US5512761A (en) | 1996-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07159135A (ja) | 距離センサ | |
| JP2565989B2 (ja) | 複数の走査個所を有する位置走査装置 | |
| JPH05133732A (ja) | 読取ヘツド | |
| US6807870B2 (en) | Rotary shaft axial elongation measuring method and device | |
| JPH0547762B2 (ja) | ||
| US3384753A (en) | Photosensitive means for measuring a dimension of an object | |
| JPH08178700A (ja) | インクリメンタルエンコーダ | |
| US4561778A (en) | Apparatus for measuring the dimensions of cylindrical objects by means of a scanning laser beam | |
| JPH09145408A (ja) | エンコーダ装置 | |
| JP6266926B2 (ja) | 回転角測定装置 | |
| US4097734A (en) | Zero index for electro-optical measuring device | |
| JPS5842904A (ja) | 測長装置 | |
| JP2000507703A (ja) | 角度測定装置 | |
| US5886779A (en) | Lens meter | |
| JP2603317B2 (ja) | レーザ距離計及びレーザ距離計を用いた厚さ計の校正方法 | |
| JPH0599620A (ja) | エツジ検出装置 | |
| JPH04105013A (ja) | 回転同期信号検出装置、回転部可視化装置および回転部変位計測装置 | |
| RU2208166C1 (ru) | Устройство для определения положения проходческого щита | |
| SU1716977A3 (ru) | Устройство дл измерени угловых величин | |
| JPH0829131A (ja) | 光学式測定装置 | |
| JPS62255807A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| RU2542292C2 (ru) | Способ измерения уровня расплава и его скорости вращения при выращивании кристаллов | |
| JPS6057202A (ja) | 光学式表面変位検出装置 | |
| JP2992649B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH0233186Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031128 |