JPH07153730A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH07153730A JPH07153730A JP29923093A JP29923093A JPH07153730A JP H07153730 A JPH07153730 A JP H07153730A JP 29923093 A JP29923093 A JP 29923093A JP 29923093 A JP29923093 A JP 29923093A JP H07153730 A JPH07153730 A JP H07153730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- cleaning
- vertical
- washing
- nozzles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】洗浄液吹付け工程でのワークの昇降行程を短く
して作業能率を向上し、または洗浄ユニットのブラシの
保守，修理を容易にする。 【構成】実施例が従来例と異なるのは、一つに、噴射ユ
ニット11を上下方向に２段に、合計４個配置にしたこ
と、二つに、洗浄ユニット21をブラシ22,23 が露出可能
に直進・回転の複合移動式にしたことである。いま、ワ
ーク９の垂直方向寸法をＬとすると、ノズル12の垂直方
向間隔はＬ／２に定められ、ワーク９の昇降行程はＬ／
２、つまりノズル12が1 個のときの半分になる。その結
果、ワークの昇降行程が減縮した分だけ、洗浄工数が削
減できる。洗浄ユニット21は、ここには図示してない
が、引出し可能に案内されたスライダの端部に関節を介
して回動可能に連結され、この構造によってブラシ22,2
3 が露出され保守・修理が容易になる。
して作業能率を向上し、または洗浄ユニットのブラシの
保守，修理を容易にする。 【構成】実施例が従来例と異なるのは、一つに、噴射ユ
ニット11を上下方向に２段に、合計４個配置にしたこ
と、二つに、洗浄ユニット21をブラシ22,23 が露出可能
に直進・回転の複合移動式にしたことである。いま、ワ
ーク９の垂直方向寸法をＬとすると、ノズル12の垂直方
向間隔はＬ／２に定められ、ワーク９の昇降行程はＬ／
２、つまりノズル12が1 個のときの半分になる。その結
果、ワークの昇降行程が減縮した分だけ、洗浄工数が削
減できる。洗浄ユニット21は、ここには図示してない
が、引出し可能に案内されたスライダの端部に関節を介
して回動可能に連結され、この構造によってブラシ22,2
3 が露出され保守・修理が容易になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば集積回路の
フォトマスク製造用拡大パターン原版であるレティクル
を洗浄するのに用いられる装置であって、一工程として
ノズルから面状に噴射された洗浄液を吹き付けたり、ま
たは別の工程として円盤状の回転洗浄部材を両面に同時
に押圧する洗浄装置に関する。
フォトマスク製造用拡大パターン原版であるレティクル
を洗浄するのに用いられる装置であって、一工程として
ノズルから面状に噴射された洗浄液を吹き付けたり、ま
たは別の工程として円盤状の回転洗浄部材を両面に同時
に押圧する洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について、その断面図を示す図５
を参照しながら説明する。図5 において、レティクルと
しての板状ワーク９が、ベース4 で床面上に設置された
洗浄槽１の内部において、最下位の洗浄部材としてのブ
ラシ22と、その上位のブラシ23と、最上位のノズル12と
によって、この順序で洗浄される。ワーク9 は、その面
を垂直にし、図示してないハンドリング装置によって下
降し、位置決めユニット2 によって、適正に位置決めさ
れる。その後に、ワーク9 は、洗浄槽1 の天井部の符号
を付けてない開口を通り、シャッタ3 が一時左側に移動
して路を開けた箇所を通過し、最下位のブラシ22の相対
する空間で位置決めされる。
を参照しながら説明する。図5 において、レティクルと
しての板状ワーク９が、ベース4 で床面上に設置された
洗浄槽１の内部において、最下位の洗浄部材としてのブ
ラシ22と、その上位のブラシ23と、最上位のノズル12と
によって、この順序で洗浄される。ワーク9 は、その面
を垂直にし、図示してないハンドリング装置によって下
降し、位置決めユニット2 によって、適正に位置決めさ
れる。その後に、ワーク9 は、洗浄槽1 の天井部の符号
を付けてない開口を通り、シャッタ3 が一時左側に移動
して路を開けた箇所を通過し、最下位のブラシ22の相対
する空間で位置決めされる。
【０００３】ブラシ22は、円盤状の多孔質材料からなる
軟らかい部材で、図３の実施例と従来例とに共通な洗浄
部材の配置正面図に示すように、片側にそれぞれ３個配
置され、洗浄剤および水の供給を受けながら、ワーク9
を両側から押圧しながら回転して洗浄する。この洗浄工
程は、ワーク9 の表面に付着した汚れを除去するための
粗洗浄である。次工程は、純水の供給のもとでおこなう
ブラシ23（配置は図３参照）による仕上げ洗浄である。
なお、各ブラシ22,23 は、洗浄ユニット21に属する。左
右の各洗浄ユニット21は、内部にブラシ回転用のモータ
と、ブラシ押圧用の空気圧シリンダとを内蔵し、洗浄槽
1 の左右各側面に取り付けられる。
軟らかい部材で、図３の実施例と従来例とに共通な洗浄
部材の配置正面図に示すように、片側にそれぞれ３個配
置され、洗浄剤および水の供給を受けながら、ワーク9
を両側から押圧しながら回転して洗浄する。この洗浄工
程は、ワーク9 の表面に付着した汚れを除去するための
粗洗浄である。次工程は、純水の供給のもとでおこなう
ブラシ23（配置は図３参照）による仕上げ洗浄である。
なお、各ブラシ22,23 は、洗浄ユニット21に属する。左
右の各洗浄ユニット21は、内部にブラシ回転用のモータ
と、ブラシ押圧用の空気圧シリンダとを内蔵し、洗浄槽
1 の左右各側面に取り付けられる。
【０００４】ブラシによる洗浄が終了すると、ワーク9
は上昇し、噴射ユニット11の相対箇所の上側の二点鎖線
の位置に達する。ワーク9 は、上側, 下側の各二点鎖線
位置の間を往復昇降する。一方、両側の噴射ユニット11
のノズル12から、斜め下方に洗浄液が面状に噴射され、
ワーク9 の両面に吹き付ける。したがって、ワーク9の
往復昇降の間に洗浄液の吹き付けによって洗浄される。
このシャワー洗浄の目的は、仕上げと、ワーク9 の乾き
ムラの発生防止とである。以上の洗浄工程が全て終了す
ると、ワーク9 はシャッタ3 が左側に開かれ搬出され
る。
は上昇し、噴射ユニット11の相対箇所の上側の二点鎖線
の位置に達する。ワーク9 は、上側, 下側の各二点鎖線
位置の間を往復昇降する。一方、両側の噴射ユニット11
のノズル12から、斜め下方に洗浄液が面状に噴射され、
ワーク9 の両面に吹き付ける。したがって、ワーク9の
往復昇降の間に洗浄液の吹き付けによって洗浄される。
このシャワー洗浄の目的は、仕上げと、ワーク9 の乾き
ムラの発生防止とである。以上の洗浄工程が全て終了す
ると、ワーク9 はシャッタ3 が左側に開かれ搬出され
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来例には次のような
欠点がある。一つは、ノズル12が左右一対であるから、
昇降行程がワーク9 の垂直方向の寸法に対応して決ま
り、大きいスペースを要することである。もう一つは、
洗浄ユニット21の各ブラシ22,23 の交換その他の内部の
保守・修理をするのに、洗浄ユニット21全体を洗浄槽1
から取り外しなければならない不便さである。
欠点がある。一つは、ノズル12が左右一対であるから、
昇降行程がワーク9 の垂直方向の寸法に対応して決ま
り、大きいスペースを要することである。もう一つは、
洗浄ユニット21の各ブラシ22,23 の交換その他の内部の
保守・修理をするのに、洗浄ユニット21全体を洗浄槽1
から取り外しなければならない不便さである。
【０００６】この発明が解決すべき課題は、従来の技術
がもつ以上の問題点を解消し、板状ワークの洗浄工程に
用いられ、ノズルから面状に噴射された洗浄液を吹き付
ける工程で、ワークの移動行程を短くして作業能率を向
上したり、または円盤状の回転洗浄部材を両面に同時に
押圧する洗浄ユニットの保守，修理を容易にする洗浄装
置を提供することにある。
がもつ以上の問題点を解消し、板状ワークの洗浄工程に
用いられ、ノズルから面状に噴射された洗浄液を吹き付
ける工程で、ワークの移動行程を短くして作業能率を向
上したり、または円盤状の回転洗浄部材を両面に同時に
押圧する洗浄ユニットの保守，修理を容易にする洗浄装
置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る洗浄装置
は、面を垂直にして往復昇降する板状ワークの各面に対
し、斜め下方に洗浄液を面状に噴射して吹き付けるノズ
ルの複数個が、その各噴射面を平行にし、ワークの垂直
方向寸法をノズル個数で除した値の間隔で垂直方向に並
設される。
は、面を垂直にして往復昇降する板状ワークの各面に対
し、斜め下方に洗浄液を面状に噴射して吹き付けるノズ
ルの複数個が、その各噴射面を平行にし、ワークの垂直
方向寸法をノズル個数で除した値の間隔で垂直方向に並
設される。
【０００８】請求項２に係る洗浄装置は、面を垂直にし
て往復直進する板状ワークの各面に対し、円盤状の洗浄
部材を軸線の回りに回転させながら押圧する洗浄ユニッ
トを備える装置であって、洗浄ユニットの少なくとも一
方が、水平方向に移動可能で、かつ垂直軸線の回りに旋
回可能に構成される。
て往復直進する板状ワークの各面に対し、円盤状の洗浄
部材を軸線の回りに回転させながら押圧する洗浄ユニッ
トを備える装置であって、洗浄ユニットの少なくとも一
方が、水平方向に移動可能で、かつ垂直軸線の回りに旋
回可能に構成される。
【０００９】
【作用】請求項１に係る洗浄装置では、複数個のノズル
が、往復昇降する板状ワークの面に対し、斜め下方に洗
浄液を面状に噴射して吹き付けて洗浄するとき、ワーク
の所要往復昇降行程は、ノズルが１個のときの昇降行程
つまりワークの垂直方向寸法を、ノズル個数で除した値
でよいことになる。
が、往復昇降する板状ワークの面に対し、斜め下方に洗
浄液を面状に噴射して吹き付けて洗浄するとき、ワーク
の所要往復昇降行程は、ノズルが１個のときの昇降行程
つまりワークの垂直方向寸法を、ノズル個数で除した値
でよいことになる。
【００１０】請求項２に係る洗浄装置では、少なくとも
一方の洗浄ユニットを、その洗浄部材の停止時に水平方
向に移動させて引き出した後に、垂直軸線の回りに旋回
させて、洗浄部材を露出させることができる。
一方の洗浄ユニットを、その洗浄部材の停止時に水平方
向に移動させて引き出した後に、垂直軸線の回りに旋回
させて、洗浄部材を露出させることができる。
【００１１】
【実施例】この発明に係る洗浄装置の実施例について、
以下に図１〜図４を参照しながら説明する。図１は実施
例の断面図である。実施例が従来例と異なるのは、一つ
には、噴射ユニット11を上下方向に２段に、合計４個配
置にしたこと、二つには、洗浄ユニットを洗浄部材が露
出可能に直進・回転の複合移動式にしたこと、である。
その詳細について、別の図を参照しながら説明する。な
お、図１において、従来例と同じ部材には同じ符号を付
けてある。
以下に図１〜図４を参照しながら説明する。図１は実施
例の断面図である。実施例が従来例と異なるのは、一つ
には、噴射ユニット11を上下方向に２段に、合計４個配
置にしたこと、二つには、洗浄ユニットを洗浄部材が露
出可能に直進・回転の複合移動式にしたこと、である。
その詳細について、別の図を参照しながら説明する。な
お、図１において、従来例と同じ部材には同じ符号を付
けてある。
【００１２】図２は実施例のノズル配置に係る要部の側
面図である。噴射ユニット11とノズル12とは、左右にそ
れぞれ上下２段に配置される。いま、ワーク９の垂直方
向寸法をＬとすると、ノズル12の垂直方向間隔はＬ／２
に定められる。したがって、ワーク９の昇降行程はＬ／
２、つまりノズル12が１個のときの半分になる。その結
果、ワークの昇降行程が減縮した分だけ、洗浄工数が削
減でき、言い換えれば作業の能率向上が図れる。一般論
としては、ノズル12の個数を増すほど、昇降行程は減縮
されるが、その減少率とノズル12の増分費用との割合
は、ノズル12を２段にしたときが最大であるから、実施
例の設定が最適であると言える。
面図である。噴射ユニット11とノズル12とは、左右にそ
れぞれ上下２段に配置される。いま、ワーク９の垂直方
向寸法をＬとすると、ノズル12の垂直方向間隔はＬ／２
に定められる。したがって、ワーク９の昇降行程はＬ／
２、つまりノズル12が１個のときの半分になる。その結
果、ワークの昇降行程が減縮した分だけ、洗浄工数が削
減でき、言い換えれば作業の能率向上が図れる。一般論
としては、ノズル12の個数を増すほど、昇降行程は減縮
されるが、その減少率とノズル12の増分費用との割合
は、ノズル12を２段にしたときが最大であるから、実施
例の設定が最適であると言える。
【００１３】図４は実施例の洗浄ユニットの移動構造に
係る平面図である。図４において、右側の洗浄ユニット
21は基板24を備え、この基板24で洗浄槽1 の側面にネジ
固定される。洗浄槽1 は背面側( 図の上側) に一対のガ
イド25を備え、これにスライダ26が軸線方向に直進可能
に遊合し案内される。一方、洗浄ユニット21の背面側(
図の上側) にアーム28が固着され、このアーム28の端部
とスライダ26の右端とが、関節27を介して回動可能に連
結される。したがって、右側の洗浄ユニット21を、その
停止時に水平に右方向に移動させて引き出した後に、関
節27の垂直軸線( 図の紙面に直角) の回りに旋回させ
て、ブラシ22,23 を露出させることができる。なお、ブ
ラシ22,23 の配置は、従来例で述べたように、図３の実
施例と従来例とに共通な洗浄部材群の配置正面図に示さ
れる。その結果、洗浄ユニット21の保守，修理が容易に
おこなえる。この実施例では、右側の洗浄ユニット21だ
けを、直進・回転の複合移動させる方式にしてあるが、
この方式が左側の洗浄ユニット21にも同時に適用されて
もよいことは当然である。なお、図の窓板29は、内部の
様子を外部から観察するように設けた透明な板状部材で
ある。
係る平面図である。図４において、右側の洗浄ユニット
21は基板24を備え、この基板24で洗浄槽1 の側面にネジ
固定される。洗浄槽1 は背面側( 図の上側) に一対のガ
イド25を備え、これにスライダ26が軸線方向に直進可能
に遊合し案内される。一方、洗浄ユニット21の背面側(
図の上側) にアーム28が固着され、このアーム28の端部
とスライダ26の右端とが、関節27を介して回動可能に連
結される。したがって、右側の洗浄ユニット21を、その
停止時に水平に右方向に移動させて引き出した後に、関
節27の垂直軸線( 図の紙面に直角) の回りに旋回させ
て、ブラシ22,23 を露出させることができる。なお、ブ
ラシ22,23 の配置は、従来例で述べたように、図３の実
施例と従来例とに共通な洗浄部材群の配置正面図に示さ
れる。その結果、洗浄ユニット21の保守，修理が容易に
おこなえる。この実施例では、右側の洗浄ユニット21だ
けを、直進・回転の複合移動させる方式にしてあるが、
この方式が左側の洗浄ユニット21にも同時に適用されて
もよいことは当然である。なお、図の窓板29は、内部の
様子を外部から観察するように設けた透明な板状部材で
ある。
【００１４】
【発明の効果】請求項１に係る洗浄装置では、複数個の
ノズルが、往復昇降する板状ワークの面に対し、斜め下
方に洗浄液を面状に噴射して吹き付けて洗浄するとき、
ワークの所要昇降行程は、ノズルが１個のときの昇降行
程つまりワークの垂直方向寸法を、ノズル個数で除した
値でよいことになる。その結果、ワークの昇降行程が減
縮した分だけ、洗浄工数が削減でき、言い換えれば作業
の能率向上が図れる。
ノズルが、往復昇降する板状ワークの面に対し、斜め下
方に洗浄液を面状に噴射して吹き付けて洗浄するとき、
ワークの所要昇降行程は、ノズルが１個のときの昇降行
程つまりワークの垂直方向寸法を、ノズル個数で除した
値でよいことになる。その結果、ワークの昇降行程が減
縮した分だけ、洗浄工数が削減でき、言い換えれば作業
の能率向上が図れる。
【００１５】請求項２に係る洗浄装置では、少なくとも
一方の洗浄ユニットを、その洗浄部材の停止時に水平方
向に移動させて引き出した後に、垂直軸線の回りに旋回
させて、洗浄部材を露出させることができる。したがっ
て、洗浄ユニットの保守，修理が容易におこなえる。
一方の洗浄ユニットを、その洗浄部材の停止時に水平方
向に移動させて引き出した後に、垂直軸線の回りに旋回
させて、洗浄部材を露出させることができる。したがっ
て、洗浄ユニットの保守，修理が容易におこなえる。
【図１】この発明に係る実施例の断面図
【図２】実施例のノズル配置に係る要部の側面図
【図３】実施例と従来例とに共通な洗浄部材群の配置正
面図
面図
【図４】実施例の洗浄ユニットの移動構造に係る平面図
【図５】従来例の断面図
１ 洗浄槽 ２ 位置決めユニット ３ シャッタ ４ ベース ９ ワーク １１ 噴射ユニット １２ ノズル ２１ 洗浄ユニット ２２，２３ ブラシ（洗浄部材） ２４ 基板 ２５ ガイド ２６ スライダ ２７ 関節 ２８ アーム ２９ 窓板
【手続補正書】
【提出日】平成５年１２月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば集積回路製
造用の拡大原版であるレティクルを洗浄するのに用いら
れる装置であって、一工程としてノズルから面状に噴射
された洗浄液を吹き付けたり、または別の工程として円
盤状の回転洗浄部材を両面に同時に押圧する洗浄装置に
関する。
造用の拡大原版であるレティクルを洗浄するのに用いら
れる装置であって、一工程としてノズルから面状に噴射
された洗浄液を吹き付けたり、または別の工程として円
盤状の回転洗浄部材を両面に同時に押圧する洗浄装置に
関する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塚本 秀 東京都港区港南２丁目13番29号 キヤノン 販売株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】面を垂直にして往復昇降する板状ワークの
各面に対し、斜め下方に洗浄液を面状に噴射して吹き付
けるノズルの複数個が、その各噴射面を平行にし、ワー
クの垂直方向寸法をノズル個数で除した値の間隔で、垂
直方向に並設されることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】面を垂直にして往復直進する板状ワークの
各面に対し、円盤状の洗浄部材をその軸線の回りに回転
させながら押圧する洗浄ユニットを備える装置であっ
て、洗浄ユニットの少なくとも一方が、水平方向に移動
可能で、かつ垂直軸線の回りに旋回可能に構成されるこ
とを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29923093A JPH07153730A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29923093A JPH07153730A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07153730A true JPH07153730A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17869832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29923093A Pending JPH07153730A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07153730A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008213197A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Honda Motor Co Ltd | ノズルの付着物除去装置 |
| US8002899B2 (en) * | 2008-09-30 | 2011-08-23 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for mask pellicle adhesive residue cleaning |
| US11467508B2 (en) | 2018-07-25 | 2022-10-11 | Applied Materials, Inc. | Pellicle adhesive residue removal system and methods |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP29923093A patent/JPH07153730A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008213197A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Honda Motor Co Ltd | ノズルの付着物除去装置 |
| US8002899B2 (en) * | 2008-09-30 | 2011-08-23 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for mask pellicle adhesive residue cleaning |
| US11467508B2 (en) | 2018-07-25 | 2022-10-11 | Applied Materials, Inc. | Pellicle adhesive residue removal system and methods |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101185922B (zh) | 自动喷漆机 | |
| EP1170089A1 (en) | Polishing apparatus | |
| CN205966646U (zh) | 非接触式光罩或晶圆洁净装置 | |
| JPH07153730A (ja) | 洗浄装置 | |
| CN212890267U (zh) | 一种高压龙门式大型自动冲洗平台用的清洗装置 | |
| JP2002148818A (ja) | 薬液処理装置及び方法 | |
| CN211386018U (zh) | 清洁设备 | |
| CN212703209U (zh) | 一种机械刀具加工后快速清洗装置 | |
| CN110161808A (zh) | 光栅尺清洁装置和方法、光刻机 | |
| CN212597442U (zh) | 一种片状工件加工用清理装置 | |
| JP4317502B2 (ja) | 機械部品等洗浄装置 | |
| JP2022085807A (ja) | 印刷ローラのローラ表面を洗浄する結合機構 | |
| CN218017898U (zh) | 一种用于扳手打磨的夹持工装 | |
| JPH03181148A (ja) | ダイシング方法 | |
| JP2812190B2 (ja) | ロール洗浄装置 | |
| CN216939993U (zh) | 汽车零部件加工用精密成型磨床 | |
| CN210309557U (zh) | 印刷机版辊清洗机构 | |
| CN220658507U (zh) | 一种导光板加工用清洗设备 | |
| CN216181695U (zh) | 一种多方位石材雕刻机 | |
| CN209849201U (zh) | 涂覆基台 | |
| KR100492351B1 (ko) | 건축 내장재용 인쇄장치 | |
| CN114675511A (zh) | 晶圆显影设备及晶圆清洗方法 | |
| CN212597380U (zh) | 一种半导体晶圆清洗设备 | |
| JPH0442877A (ja) | 多色施釉装置 | |
| JP3773626B2 (ja) | 両面洗浄ユニット及びこれを用いたウエット処理装置 |