JPH07146415A - ガラス光導波路の端部を処理する方法 - Google Patents

ガラス光導波路の端部を処理する方法

Info

Publication number
JPH07146415A
JPH07146415A JP6174900A JP17490094A JPH07146415A JP H07146415 A JPH07146415 A JP H07146415A JP 6174900 A JP6174900 A JP 6174900A JP 17490094 A JP17490094 A JP 17490094A JP H07146415 A JPH07146415 A JP H07146415A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical waveguide
laser beam
end part
glass
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6174900A
Other languages
English (en)
Inventor
Philip Reuther James
フィリップ ルーサー ジェイムズ
Otto I Szentesi
イストバン センテシ オットー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CCS Holdings Inc
Original Assignee
Siecor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siecor Corp filed Critical Siecor Corp
Publication of JPH07146415A publication Critical patent/JPH07146415A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
    • G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
    • G02B6/381—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs of the ferrule type, e.g. fibre ends embedded in ferrules, connecting a pair of fibres
    • G02B6/3818—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs of the ferrule type, e.g. fibre ends embedded in ferrules, connecting a pair of fibres of a low-reflection-loss type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/22—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B19/226—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラス光導波路の端部を効果的に処理する方
法を提供すること。 【構成】 ガラス光導波路の端部を処理する方法におい
て、光導波路を機械的に研磨し、そしてその後でレ−ザ
ビ−ムを使用して光導波路の端部において少なくともあ
る程度のガラスを蒸発させることによって光導波路の反
射率を低下させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス光導波路の端部を
処理する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】より良い反射損失結果（better return
loss results）を得るためにガラス光導波路の末端端部
を処理する方法が米国特許第５２６１０１号に開示され
ている。その米国特許にはガラス導波路の末端端部を機
械的に研磨し、その後で反射損失を軽減させるために前
記末端端部の表面を若干溶融させる方法が開示されてい
るが、そのような溶融を生じさせるための好ましい手段
はレ−ザである。
【０００３】上記特許に記載された方法は結果を実現し
かつ証明しているが、潜在的な問題が残っている。光導
波通路の表面におけるガラスを溶融させると、その光導
波通路の表面の幾何学形状寸法を変更し、かつその溶融
の程度を制御することが困難である。大量のエネルギが
必要とされるから、望ましくない溶融や、光導波通路の
表面における穴の形成が生ずるおそれがある。他の関連
した問題は、ド−パントの拡散により光導波通路のモ−
ド・フィ−ルド直径が変化するという問題である。
【０００４】
【本発明が解決しようとする課題】したがって、本発明
は上述した問題点のうちの幾つかを軽減しまたは除去し
つつ前記の方法の利点を保持する改良された方法を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】ガラス光導波通路の端部
を処理するこの改良された方法は、前述の方法と同様
に、光導波通路の末端端部を機械的に研磨することから
始る。その後で、レ−ザビ−ムを照射することによって
光導波通路の末端端部における少なくともある程度のガ
ラスを蒸発させることによって光導波通路端部の反射率
が低下される。この方法を用いれば、光導波通路の反射
率が-45dB〜-80dBの範囲内となされ得る。光導波通路の
末端端部にレ−ザビ−ムを１度だけ照射することによっ
て本発明の方法を実施することができるが、光導波通路
の末端端部にレ−ザが照射される回数を増加することに
よって結果が改善する傾向がある。反復の回数は所望に
応じて使用者によって２回から100回まで増大し得る。
光導波通路端部におけるレ−ザビ−ムのスポット・サイ
ズを125×10-6メ−トル以下にして、0.1〜100ワットの
範囲のピ−クパワ−と、1/2秒以下のパルス存続期間を
有するレ−ザビ−ムを用いることによって優れた結果が
得られた。使用されるレ−ザの種類に依存して、レ−ザ
ビ−ムは0.1×10-6メ−トル〜1.5×10-6メ−トルの範囲
内の波長、または8.5×10-6メ−トル〜11.0×10-6メ−
トルの範囲内の波長を有しうる。
【０００６】
【実施例】図１を参照すると、セラミックまたは金属合
金で通常作成されるフェル−ル５が光導波通路の末端端
部６を保持する。フェル−ル５と末端端部６は研磨ホイ
−ル９上に懸下された水性スラリ７が材料８によって研
削または研磨されるべきである。研削または研磨に関連
して水性スラリ７が必要に応じて使用されうる。
【０００７】機械的手段による研削または研磨が完了し
た後で、レ−ザ、ビ−ム減衰および集束オプティックス
および光導波通路末端端部よりなる図２に示された研磨
ヘッド光トレ−ンによって光導波通路末端端部６がさら
に処理される。レ−ザ１２は低デュ−ティサイクル脈動
モ−ド（low duty cycle pulsed mode）で動作する空
冷、回折格子同調、連続波CO2レ−ザである。それは、
長寿命、シ−ルドオフ（sealed off）30cm放電長、８ミ
リメ−トル穴レ−ザチュ−ブ、135ライン／ミリメ−ト
ル・リットロウ（Littrow）取り付け回折格子１１およ
び60cmの空洞長を有する95％反射率、１メ−トル半径平
凹出力カプラ１３よりなる。同調レ−ザ１２は水平方向
の平面内での回折格子の回転によって実現される。CO2
レ−ザ・ラインの帯域幅が狭いので、ライン・センタ−
でレ−ザ動作をするために空洞長を調節することが必要
である。電磁トランスデュ−サを用いて空洞長調節がな
されうる。
【０００８】回折格子１１からの残留ゼロ位放射線が焦
電検出器１０によって検知されかつレ−ザエネルギ出力
をモニタするために用いられる。レ−ザの調節時にレ−
ザ放射線が光導波通路の末端端部６に入射するのを防止
するためにレ−ザ１２の出力側に電気機械シャッタが取
り付けられる。光導波通路末端端部６に入射するピ−ク
パワ−を減衰させて制御するために、２つの対向したZn
Seブリュ−スタ−・ウインドウよりなるブリュ−スタ−
角偏波器１４が用いられる。レ−ザビ−ム１６を集束さ
せるために、焦点距離が50ミリメ−トルで、正のミニス
カス（positiveminiscus）ARを被覆したGEレンズ１５が
用いられる。このレンズは光導波通路に対するビ−ムの
アラインメントを許容するためのX-Y調節を含んでいる
べきであり、それによって集束されるスポット・サイズ
が集束リングを用いて調節され得る。
【０００９】ガラスの蒸発を生ずるためのレ−ザ１２の
パワ−出力の一例が図３に示されている。光導波通路末
端端部６のガラスを蒸発させかつそのガラスのバルク溶
融を回避するために、レ−ザパワ−は迅速にピ−クに達
し、そして迅速に低下しなければならない。
【００１０】機械的研磨によって-50dBまでの反射率結
果を得ることができる。ここで説明したレ−ザ蒸発は、
１０回の反復の後で-55dB以下に反射率をさらに低下さ
せ、そして４０回の反復の後では-60dB以下に低下させ
ることが認められた。
【００１１】以上本発明を実施するための好ましい１つ
の実施例について説明したが、本発明はそれに限定され
るものではなく、レ−ザ波長、ピ−クパワ−、パルス存
続期間、スポットサイズ、レ−ザビ−ムの適用の反復回
数等のシステム・パラメ−タは必要に応じて変更するこ
とができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明によればガラス光導波路の端部が
効果的に処理される。
【図面の簡単な説明】
【図１】機械的研磨の工程の側面図である。
【図２】研磨ヘッド光トレ−ンの概略図である。
【図３】レ−ザのパワ−の一例の図である。
【符号の説明】
５ フェル−ル ６ 光導波通路の末端端部 ７ 水性スラリ ８ 材料 ９ 研磨ホイ−ル １０ 焦電検出器 １１ 回折格子 １２ 同調レ−ザ １３ 出力カプラ １４ ブリュ−スタ−角偏波器 １５ GEレンズ
【手続補正書】
【提出日】平成６年８月３０日
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光導波通路端部を機械的に研磨し、その
    後で、レ−ザビ−ムを照射して光導波通路端部における
    少なくともある程度のガラスを蒸発させることによって
    光導波通路端部の反射率を低下させることよりなるガラ
    ス光導波通路の端部を処理する方法。
  2. 【請求項２】 レ−ザビ−ムが0.1〜1.5μmの範囲内の
    波長を有する請求項１の方法。
  3. 【請求項３】 レ−ザビ−ムが8.5〜11.0μmの範囲内の
    波長を有する請求項１の方法。
  4. 【請求項４】 レ−ザビ−ムが2〜100回反復して光導波
    通路端部に照射される請求項１の方法。
  5. 【請求項５】 レ−ザビ−ムが0.1〜100ワットの範囲内
    のピ−クパワ−を有している請求項１の方法。
  6. 【請求項６】 レ−ザビ−ムが２分の１秒以下のパルス
    存続期間を有する請求項１の方法。
  7. 【請求項７】 光導波通路端部におけるレ−ザビ−ムの
    スポット・サイズが125μm以下である請求項１の方法。
  8. 【請求項８】 レ−ザビ−ムを使用した後における光導
    波通路の反射率が-45dB〜-80dBの範囲内である請求項１
    の方法。
  9. 【請求項９】 レ−ザビ−ムが2〜100回反復して光導波
    通路端部に照射される請求項８の方法。
  10. 【請求項１０】 レ−ザビ−ムが２分の１以下のパルス
    存続期間を有する請求項８の方法。
  11. 【請求項１１】 光導波通路端部におけるレ−ザビ−ム
    のスポット・サイズが125μm以下である請求項８の方
    法。
  12. 【請求項１２】 レ−ザビ−ムが0.1〜100ワットの範囲
    内のピ−クパワ−を有する請求項８の方法。
  13. 【請求項１３】 レ−ザビ−ムが2〜100回反復して光導
    波通路端部に照射される請求項１２の方法。
  14. 【請求項１４】 レ−ザビ−ムが２分の１秒以下のパル
    ス存続期間を有する請求項１２の方法。
  15. 【請求項１５】 光導波通路端部におけるレ−ザビ−ム
    のスポット・サイズが125μm以下である請求項１２の方
    法。
JP6174900A 1993-07-06 1994-07-05 ガラス光導波路の端部を処理する方法 Pending JPH07146415A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/085,791 US5317661A (en) 1993-07-06 1993-07-06 Laser removal of altered index of refraction layer on glass fibers
US85791 1993-07-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07146415A true JPH07146415A (ja) 1995-06-06

Family

ID=22193969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6174900A Pending JPH07146415A (ja) 1993-07-06 1994-07-05 ガラス光導波路の端部を処理する方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5317661A (ja)
EP (1) EP0633482B1 (ja)
JP (1) JPH07146415A (ja)
DE (1) DE69410542T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160187592A1 (en) * 2014-11-12 2016-06-30 Nanoprecision Products, Inc. Method of laser polishing a connectorized optical fiber and a connectorized optical fiber formed in accordance therewith

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4234740C2 (de) * 1992-10-15 1997-12-11 Joachim Hentze Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen
EP0853528A4 (en) * 1995-08-22 2002-01-30 Seagate Technology Llc SURFACE TREATMENT BY LASER RADIATION OF RECEIVING CARRIERS
JP3883601B2 (ja) * 1996-03-27 2007-02-21 富士通株式会社 光イコライザ
US5966485A (en) * 1996-11-22 1999-10-12 Siecor Corporation Method of producing core protrusion relative to cladding in an optical fiber of a fiber optic connector
US5906686A (en) * 1997-11-18 1999-05-25 Lucent Technologies Inc. Fiber optic connector cleaning process
JP2004533932A (ja) * 2001-07-02 2004-11-11 バーテック レーザー システムズ、インク 硬質な非金属基板における開口部の加熱形成方法
US6821025B2 (en) * 2002-07-18 2004-11-23 Westover Scientific, Inc. Fiber-optic endface cleaning assembly and method
US7232262B2 (en) 2002-07-18 2007-06-19 Westover Scientific, Inc. Fiber-optic endface cleaning apparatus and method
CA2424442C (en) * 2003-03-31 2011-09-20 Institut National D'optique Method for engraving materials using laser etched v-grooves
US20090041412A1 (en) * 2007-08-07 2009-02-12 Jeffrey Dean Danley Laser erosion processes for fiber optic ferrules
US8740474B2 (en) 2011-04-12 2014-06-03 Adc Telecommunications, Inc. Methods for processing a multi-fiber ferrule
CN103056729A (zh) * 2011-10-24 2013-04-24 苏州市信德威激光科技有限公司 利用激光抛光光纤端面及玻璃表面的装置及其工艺方法
US9205609B1 (en) 2011-12-21 2015-12-08 Corning Cable Systems Llc Laser cutting and polishing methods for optical fibers and fibers resulting
US8764314B2 (en) 2012-06-15 2014-07-01 Corning Cable Systems Llc Optical fiber and composite inorganic ferrule assemblies and methods
US8985866B2 (en) 2012-06-20 2015-03-24 Corning Cable Systems Llc Simultaneous thermal forming of ferrule and optical fiber in a ferrule assembly to thermally form an optical surface in the ferrule assembly, and related fiber optic components, fiber connectors, assemblies, and methods
US9205610B1 (en) 2012-09-17 2015-12-08 Corning Cable Systems Llc Head-on laser shaping of optical surfaces of optical fibers, and related assemblies and methods
US8840318B2 (en) 2012-10-15 2014-09-23 Corning Cable Systems Llc Ferrule with stress-isolation feature
US8696215B1 (en) 2012-10-15 2014-04-15 Corning Cable Systems Llc Adhesive compositions including partially cross-linked resins and coupling agents and methods for use thereof
US9568686B2 (en) 2012-10-15 2017-02-14 Corning Optical Communications LLC Optical connector and ferrule adhesion system including adhesive composition, and related methods
US9039295B2 (en) 2012-10-15 2015-05-26 Corning Cable Systems Llc Adhesive compositions including partially cross-linked resins and thermoset resins and methods for use thereof
US9880362B2 (en) 2012-10-22 2018-01-30 Corning Optical Communications LLC Methods of securing one or more optical fibers to a ferrule
US8753021B1 (en) 2013-02-12 2014-06-17 Corning Cable Systems Llc Adhesives for securing optical fibers to ferrules of optical connectors and methods for use thereof
US9089931B1 (en) 2013-03-11 2015-07-28 Corning Cable Systems Llc Systems and methods for laser cleaving optical fibers
US9052469B2 (en) 2013-04-26 2015-06-09 Corning Cable Systems Llc Preterminated fiber optic connector sub-assemblies, and related fiber optic connectors, cable assemblies, and methods
US9085047B2 (en) 2013-05-10 2015-07-21 Corning Optical Communications LLC Coating removal systems for optical fibers
US8755654B1 (en) 2013-05-10 2014-06-17 Corning Cable Systems Llc Coating removal systems for optical fibers
US8702322B1 (en) 2013-06-03 2014-04-22 Corning Cable Systems Llc Optical connector with adhesive material
US9588303B2 (en) 2013-06-03 2017-03-07 Corning Optical Communications LLC Optical connector with adhesive material
US9791637B2 (en) 2014-04-21 2017-10-17 Corning Optical Communications LLC Methods of terminating one or more optical fibers
WO2016029056A1 (en) 2014-08-20 2016-02-25 Adc Telecommunications, Inc. Methods for processing a multi-fiber ferrule using a laser
EP3096163A1 (en) 2015-05-22 2016-11-23 Corning Optical Communications LLC Quantum cascade laser devices and methods for optical-fiber processing for connector applications
CN114050470B (zh) * 2021-11-16 2023-12-19 电子科技大学 一种稀土晶体红外激光器的波长控制方法

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2243798A1 (de) * 1971-11-17 1973-05-24 American Optical Corp Verfahren zum herstellen von linsen mit optischer qualitaet
GB1479575A (en) * 1976-05-25 1977-07-13 Standard Telephones Cables Ltd Terminating optical fibres
CH622355A5 (ja) * 1978-05-23 1981-03-31 Battelle Memorial Institute
US4492060A (en) * 1979-08-03 1985-01-08 Hughes Aircraft Company Method for optically finishing connector-mounted optical fibers
US4272926A (en) * 1979-11-05 1981-06-16 Epoxy Technology Inc. Face finishing tool for fiber optic communication cable
JPS58108507A (ja) * 1981-12-23 1983-06-28 Omron Tateisi Electronics Co 光フアイバ・コネクタの製造方法
JPS58108508A (ja) * 1981-12-23 1983-06-28 Omron Tateisi Electronics Co 光フアイバ・コネクタの製造方法
US4573760A (en) * 1982-01-19 1986-03-04 Fan Robert J Connector system for a single optical fiber
US4510005A (en) * 1982-09-28 1985-04-09 Allied Corporation Method and apparatus for reshaping and polishing an end face of an optical fiber
US4710605A (en) * 1985-04-08 1987-12-01 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Laser nibbling of optical waveguides
GB2175411B (en) * 1985-05-16 1988-08-03 Stc Plc Silica rod lens optical fibre terminations
JPS62237404A (ja) * 1986-04-09 1987-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光フアイバ−端末処理装置
EP0278212B1 (en) * 1987-01-13 1993-09-01 Itt Industries, Inc. Method and apparatus for forming lens-ended optical fibres
FR2612649B1 (fr) * 1987-03-16 1990-09-14 Comp Generale Electricite Procede de modification du coefficient de reflexion de l'extremite d'une fibre optique monomode et interferometre a fibre optique realise a l'aide de ce procede
US5007209A (en) * 1987-06-26 1991-04-16 K.K. Sankyo Seiki Seisakusho Optical fiber connector polishing apparatus and method
US4999955A (en) * 1988-01-14 1991-03-19 K.K. Sankyo Seiki Seisakusho Method and apparatus for conically machining optical fiber connectors
EP0346232B1 (fr) * 1988-06-10 1994-09-07 France Telecom Procédé de raccordement de fibres optiques sans réflexion de Fresnel et système ainsi obtenu, atténuateur optique variable et système utilisant cet atténuateur pour mesurer l'influence du taux de réflexion sur une ligne optique
US4905415A (en) * 1988-11-07 1990-03-06 Hughes Aircraft Company Fiber optic terminus grinding and polishing machine
US4932989A (en) * 1989-04-05 1990-06-12 At&T Bell Laboratories Method and apparatus for fabricating microlenses on optical fibers
US5097522A (en) * 1990-11-09 1992-03-17 General Motors Corporation Optical fiber terminal and termination method
US5136820A (en) * 1991-05-30 1992-08-11 Siecor Corporation Polishing method
US5168145A (en) * 1991-08-30 1992-12-01 General Motors Corporation Plastic fiber optic terminator
US5256851A (en) * 1992-02-28 1993-10-26 At&T Bell Laboratories Microlenses for coupling optical fibers to elliptical light beams
US5226101A (en) * 1992-06-15 1993-07-06 Siecor Corporation Method of laser polishing fiber optic connectors

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160187592A1 (en) * 2014-11-12 2016-06-30 Nanoprecision Products, Inc. Method of laser polishing a connectorized optical fiber and a connectorized optical fiber formed in accordance therewith
US9915791B2 (en) * 2014-11-12 2018-03-13 Nanoprecision Products, Inc. Method of laser polishing a connectorized optical fiber and a connectorized optical fiber formed in accordance therewith

Also Published As

Publication number Publication date
DE69410542D1 (de) 1998-07-02
EP0633482B1 (en) 1998-05-27
DE69410542T2 (de) 1998-11-26
EP0633482A2 (en) 1995-01-11
EP0633482A3 (en) 1995-02-15
US5317661A (en) 1994-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07146415A (ja) ガラス光導波路の端部を処理する方法
CN108568594B (zh) 基于类等离子体透镜效应调控晶硅表面波纹结构的方法
CN105762636B (zh) 一种产生高空间强度对比度的飞秒涡旋光束的方法
DE4335607B4 (de) Lasersystem mit stabilem Resonator
CN1148154C (zh) 用于外科手术的短脉冲中红外参数发生器
US8702687B2 (en) Surgical laser systems for soft and hard tissue and methods of use thereof
JPS61503066A (ja) 光学透過フィルタ
TW445688B (en) Laser radiation device employing a fiber laser capable of emitting a laser beam including two or more wavelength components
US6358243B1 (en) Dual wavelength surgical laser system
CA2047086C (en) Diffusion reflector
EP3584632B1 (en) Medical laser system
CN110854658A (zh) 高重复频率1.5um人眼安全调Q微片激光器
DE4331389A1 (de) Festkörperlaservorrichtung und Laserbearbeitungsvorrichtung
CN115764533B (zh) 一种高重频高能量的飞秒激光产生系统及方法
CN211556411U (zh) 高重复频率1.5um人眼安全调Q微片激光器
JP2003510821A (ja) 内部に周波数２倍手段を備えた、ダイオードでポンピングされるレーザー
US5790584A (en) Highly repetitive laser employing a rotating wedge
EP0089921B1 (fr) Tête optique d'une installation pour l'observation et le traitement par rayonnement laser de l'oeil
US20230137277A1 (en) Optical oscillator, method for designing optical oscillator, and laser device
KR102230934B1 (ko) 멀티 펄스 레이저 결합 장치
CN112260050A (zh) 一种高阶横模绿光固体激光器
US5267254A (en) Color center laser with transverse auxiliary illumination
DE4345434C2 (de) Verwendung eines Festkörperlasersystems zur Erzeugung eines Laserstrahls in einer Laserbearbeitungsvorrichtung
JPH04302186A (ja) 固体レーザ発振器とレーザ露光装置
CN113675721B (zh) 一种基于激光照射产生宽波段白光的光源系统