JPH07146200A - 漏液検知器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 導電性の低い液の漏出を確実、迅速に検出す
る漏液検知器を提供する。 【構成】 電源３の正負両極にそれぞれの一端が接続さ
れたセンサケーブル１ａ，１ｂの各他端に、漏液に対し
て溶け込みその導電性を高める感度誘引剤付きのシール
６を橋絡する。漏液の導電性を高めて、センサケーブル
１ａ，１ｂ、漏液、電源３により閉回路を形成し、この
回路を流れる電流を電流計４で検出する。迅速、確実に
如何なる漏液でも検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体装置の製
造プロセスにて純水等の漏液の発生防止を目的として使
用される漏液検知器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の漏液検知器は、図６に示すよう
に、漏液の恐れがある場所に施すセンサケーブル１ａ、
１ｂと、検知の必要のないセンサケーブル１ａ、１ｂの
部分に施す絶縁体被覆部２とを備えている。また、この
漏液検知器は、センサケーブル１ａとセンサケーブル１
ｂとの間に電位差を生じさせる起電力（電池）３と、セ
ンサケーブルに流れる電流を検出する電流計４と、より
なる本体５を有している。

【０００３】次に、動作について説明する。起電力３に
てセンサケーブル１ａとセンサケーブル１ｂとの間に電
位差を生じさせておく。ただし、センサケーブル１ａと
センサケーブル１ｂとの間は絶縁状態であって、電流計
４において電流は検出されない。図７のように、センサ
ケーブル１ａ、１ｂに漏れた液体１３が接触する。これ
が導電性のある液体の場合は、センサケーブル１ａ、１
ｂ間に生じている電位差により電流１４が流れる。した
がって、電流計４においてこの電流が検出されて、漏液
が検知される。また、絶縁体被覆部２に液体が接触して
も電流が流れないので漏液は検知されない。漏れた液体
の検知可能範囲としては、液体の導電率が２μｓ／ｃｍ
程度以上である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来の漏液検知器
では、漏れた液体が純水などの導電性の低い液体の場
合、電流が流れにくいので漏液は検知されない。また、
漏液したまわりの雰囲気中の成分が液に溶け込むことに
より、液体の導電性が高められると、電流が流れて漏液
が検知されることがある。しかし、この場合は漏液の検
知に長時間を要するという問題がある。従来の漏液検知
器では、導電率２μｓ／ｃｍ程度までの液は検出可能で
あるのに対し、超純水の導電率は０．０６μｓ／ｃｍ程
度であり、超純水は検出不可能である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、対向配置された一対の電極と、これらの電極間の電
流の変化を検出する検出手段とを備えた漏液検知器にお
いて、上記対向する一対の電極間に、液に溶け込み液の
導電性を高める感度誘引剤を橋絡して設けた漏液検知器
である。

【０００６】請求項２に記載の発明は、所定間隔離間し
て対向配置された漏液検出部を有する一対のケーブル
と、これらのケーブルに異なる極性を付与する電源と、
ケーブルに流れた電流を検出する電流計とを備えた漏液
検知器において、上記ケーブルの漏液検出部に導電性を
高める感度誘引剤を設けた漏液検知器である。

【０００７】請求項３の発明は、上記感度誘引剤は、上
記一対のケーブルを被検知部に固設するためのシールに
含まれる請求項２に記載の漏液検知器である。被検知部
とは、液体が漏出するおそれのある部分である。例えば
純水製造装置の純水容器外壁、純水パイプの外面等であ
る。

【０００８】

【作用】本検知器の作用は、以下の通りである。導電性
の低い液体が感度誘引剤に接触して、感度誘引剤が液体
に溶解することにより、導電性の高いる溶液になる。こ
の結果、センサケーブルの接液部（漏液検出部）に電流
が流れ、漏液が検出される。例えば、導電性の低い液体
が純水である場合は、感度誘引剤は電解物質となる。

【０００９】

【実施例】次に、本発明について図面を参照してその実
施例を説明する。図１、図２は本発明の一実施例に係る
漏液検知器の原理を示す図である。この漏液検知器は、
漏液の恐れがある場所に設置されるセンサケーブル１
ａ、１ｂと、センサケーブル１ａ、１ｂにあって検知の
必要のない部分に施される絶縁体被覆部２と、センサケ
ーブル１ａ、１ｂ上の絶縁体被覆部２がない部分であっ
て、漏れた液が接触する部分に設けられた感度誘引剤付
シール６とを備えている。また、この漏液検知器は、本
体５を有し、この本体５は、センサケーブル１ａ、１ｂ
間に電位差を生じさせるための起電力（電源）３と、セ
ンサケーブル１ａ，１ｂ間に流れる電流を検出する電流
計４とを有している。

【００１０】したがって、導電性の低い液体が漏れる
と、感度誘引剤付シール６に接触する。感度誘引剤は、
この液体に溶解してセンサケーブル１ａ，１ｂ付近にお
いては、導電性の低い液体を導電率２μｓ／ｃｍ以上の
導電性溶液７になるようにする。このとき、起電力３に
よってセンサケーブル１ａ、１ｂ間に電位差が生じてい
るため、導電性溶液７に検出可能となる電流が流れ、電
流計４においてこの電流が検出される。したがって、従
来は検出不可能であった導電率０．０６μｓ／ｃｍ程度
の純水の漏れでも、この漏液検知器では検知することが
できる。なお、流れた電流に基づいてランプ、ブザー等
を起動する構成としてもよい。

【００１１】図３は、感度誘引剤付シールの詳細図であ
る。センサケーブル１ａ、１ｂをはさみ込むようにして
粘着部８にて感度誘引剤付シール６を貼り付ける。感度
誘引剤付きシール６がセンサケーブル１ａ、１ｂに接触
していない面には感度誘引剤付着部９を備えている。こ
のシール６はケーブル１ａ，１ｂを貼設するためのもの
であってもよい。

【００１２】次に、図４、図５には本発明の他の実施例
を示している。この漏液検知器は感度誘引剤付止具１０
を有している。この感度誘引剤付止具１０は、漏液検知
用のセンサケーブル１ａ、１ｂを設置する場所におい
て、このケーブル１ａ，１ｂを固定するための止具であ
る。感度誘引剤付止具１０は、粘着面１２を有し、ケー
ブル１ａ，１ｂを床などに接着固定する。漏液検知の原
理は、上記実施例のそれと同じである。漏液発生後の処
置として、この止具１０等を取り外して、新しい感度誘
引剤付シール６あるいは感度誘引剤付止具１０に交換す
るが、感度誘引剤付止具１０の方が、感度誘引剤と止具
との交換が同時に出来て手間がかからなくなる。

【００１３】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、センサケ
ーブル部に感度誘引剤を付加させたことで、導電性が低
い液体の漏液に関しても短時間で漏液検知出来るという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る漏液検知器の概略を示
す模式図である。

【図２】本発明の一実施例に係る漏液検知器の検知原理
の概略を示す模式図である。

【図３】本発明の一実施例に係る感度誘引剤付シールを
示す斜視図である。

【図４】本発明の他の実施例に係る感度誘引剤付止具の
斜視図である。

【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。

【図６】従来の漏液検知器の概略を示す模式図である。

【図７】従来の漏液検知器の検知原理の概略を示す模式
図である。

【符号の説明】

１ａ センサケーブル １ｂ センサケーブル ３ 起電力 ４ 電流計 ６ 感度誘引剤付シール ７ 導電性溶液 ９ 感度誘引剤付着部 １０ 感度誘引剤付止具 １１ 感度誘引剤 １３ 液体 １４ 電流

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向配置された一対の電極と、これらの
   電極間の電流の変化を検出する検出手段とを備えた漏液
   検知器において、 上記対向する一対の電極間に、液に溶け込み液の導電性
   を高める感度誘引剤を橋絡して設けたことを特徴とする
   漏液検知器。
2. 【請求項２】 所定間隔離間して対向配置された漏液検
   出部を有する一対のケーブルと、これらのケーブルに異
   なる極性を付与する電源と、ケーブルに流れた電流を検
   出する電流計とを備えた漏液検知器において、 上記ケーブルの漏液検出部に導電性を高める感度誘引剤
   を設けたことを特徴とする漏液検知器。
3. 【請求項３】 上記感度誘引剤は、上記一対のケーブル
   を被検知部に固設するためのシールに含まれる請求項２
   に記載の漏液検知器。