JPH07131987A - Drive control circuit for ultrasonic motor - Google Patents
Drive control circuit for ultrasonic motorInfo
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- JPH07131987A JPH07131987A JP5276857A JP27685793A JPH07131987A JP H07131987 A JPH07131987 A JP H07131987A JP 5276857 A JP5276857 A JP 5276857A JP 27685793 A JP27685793 A JP 27685793A JP H07131987 A JPH07131987 A JP H07131987A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、圧電体により励振され
た弾性振動を駆動力とする超音波モータの駆動制御回路
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drive control circuit for an ultrasonic motor which uses elastic vibration excited by a piezoelectric body as a driving force.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、圧電セラッミク等の圧電体、及び
金属等の弾性基板により構成された振動体を交流電圧で
駆動して弾性振動を励振し、これを駆動力とする超音波
モータが注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, an ultrasonic motor which drives a vibrating body composed of a piezoelectric body such as piezoelectric ceramics and an elastic substrate such as metal with an AC voltage to excite elastic vibration, and which uses this as a driving force has attracted attention. Has been done.
【０００３】図３は超音波モータの縦断面図であり、１
は弾性基板であって、この弾性基板１の一面に圧電体２
を貼り合わせて振動体３を構成し、さらに弾性基板１の
他方の面に突起体１aが設置されている。４は弾性体、
５は耐摩耗性材料よりなる摩擦材であり、弾性体４と摩
擦材５とを貼り合わせて移動体６を構成している。７
は、外部に移動体６の回転力を伝達する出力伝達軸であ
り、移動体６の回転を安定に効率よく伝達するために突
起部７aが設けられており、出力取出部７bより外部に回
転を取り出すことが可能である。FIG. 3 is a vertical sectional view of an ultrasonic motor.
Is an elastic substrate, and the piezoelectric body 2 is provided on one surface of the elastic substrate 1.
To form a vibrating body 3, and a protrusion 1a is provided on the other surface of the elastic substrate 1. 4 is an elastic body,
Reference numeral 5 denotes a friction material made of a wear-resistant material, and the elastic body 4 and the friction material 5 are bonded to each other to form the moving body 6. 7
Is an output transmission shaft for transmitting the rotational force of the moving body 6 to the outside, and is provided with a protrusion 7a for transmitting the rotation of the moving body 6 stably and efficiently. Can be taken out.
【０００４】８は、出力伝達軸７の異常振動等を吸収補
正し、移動体６の回転を安定に効率よく出力伝達軸７に
伝えるために設置された摩擦係数の大きな弾性部材であ
る。９は振動体３の振動を阻害することなく振動体３を
支持する支持部材、10はベアリング、11は皿バネであ
る。12は加圧力調整手段であって、この加圧力調整手段
12によって移動体６が摩擦材５を介して振動体３に皿バ
ネ１１により加圧接触させられている。13は超音波モー
タ全体を支持するベース部である。ベアリング10は、こ
のベース部13に設置されており、出力伝達軸７の位置規
制を行っている。Reference numeral 8 denotes an elastic member having a large friction coefficient, which is installed to absorb and correct abnormal vibration of the output transmission shaft 7 and to stably and efficiently transmit the rotation of the moving body 6 to the output transmission shaft 7. Reference numeral 9 is a support member that supports the vibrating body 3 without disturbing the vibration of the vibrating body 3, 10 is a bearing, and 11 is a disc spring. Reference numeral 12 is a pressing force adjusting means.
The movable body 6 is brought into pressure contact with the vibrating body 3 by the disc spring 11 via the friction material 5 by the friction member 5. Reference numeral 13 is a base portion that supports the entire ultrasonic motor. The bearing 10 is installed on the base portion 13 and regulates the position of the output transmission shaft 7.
【０００５】図４は前記超音波モータにおける圧電体２
の電極構造の一例を示す説明図であって、周方向に４波
の曲げ振動を励振するように構成している。同図におい
て、Ａ0，Ｂ0は、それぞれ励振される進行波の２分の１
の波長相当の小領域からなる駆動電極である。Ｃ0は４
分の１の波長相当、Ｄ0は４分の３の波長相当の長さの
電極である。したがって、Ａ0の駆動電極とＢ0の駆動電
極とは互いに、位置的に４分の１波長(＝90度)の位相差
を持つ。FIG. 4 shows the piezoelectric body 2 in the ultrasonic motor.
FIG. 4 is an explanatory view showing an example of the electrode structure of FIG. 3, which is configured to excite four-wave bending vibration in the circumferential direction. In the figure, A 0 and B 0 are half of the traveling waves excited respectively.
Is a drive electrode composed of a small region corresponding to the wavelength of. C 0 is 4
The electrode has a length corresponding to one-quarter wavelength and D 0 corresponds to three-quarter wavelength. Therefore, the drive electrode of A 0 and the drive electrode of B 0 have a phase difference of a quarter wavelength (= 90 degrees) with each other.
【０００６】また、駆動電極Ａ0，Ｂ0内の隣り合う２分
の１波長相当の各小電極部は、厚みの方向に交互に反対
に分極されている。圧電体２の弾性基板１との接着面は
図４に示された面と反対側の面であり、電極は全面電極
である。使用時には斜線で示したように、Ａ0の駆動電
極とＢ0の駆動電極を構成する小領域は、それぞれ短絡
して用いられる。この駆動電極Ａ0，Ｂ0に(数１)、(数
２)で表される電圧Ｖ1及びＶ2をそれぞれ印加すれば、
振動体３には(数３)で表される円周方向に進行する曲げ
振動の進行波が励振される。Further, adjacent small electrode portions corresponding to a half wavelength in the drive electrodes A 0 and B 0 are alternately polarized in opposite directions in the thickness direction. The surface of the piezoelectric body 2 that is bonded to the elastic substrate 1 is the surface opposite to the surface shown in FIG. 4, and the electrode is a full surface electrode. When used, as indicated by hatching, the small regions forming the A 0 drive electrode and the B 0 drive electrode are short-circuited and used. If voltages V 1 and V 2 represented by (Equation 1) and (Equation 2) are applied to the drive electrodes A 0 and B 0 , respectively,
The vibrating body 3 is excited by a traveling wave of bending vibration which is expressed by (Equation 3) and which advances in the circumferential direction.
【０００７】[0007]
【数１】Ｖ1＝Ｖ0sin(ωt)[Formula 1] V 1 = V 0 sin (ωt)
【０００８】[0008]
【数２】Ｖ2＝Ｖ0cos(ωt)(2) V 2 = V 0 cos (ωt)
【０００９】[0009]
【数３】ξ＝ξ0cos(ωt−ｋx) ただし、Ｖ0は電極に印加される電圧の最大値、ωは角
周波数、ｔは時間、ξは曲げ振動の振幅値、ξ，ξ0は
曲げ振動の振幅の最大値、ｋは波数、ｘは位置を示す。Equation 3] ξ = ξ 0 cos (ωt- kx) However, V 0 is the maximum value of the voltage applied to the electrodes, omega is the angular frequency, t is time, xi] is the bending amplitude of the vibration, ξ, ξ 0 Indicates the maximum value of the bending vibration amplitude, k indicates the wave number, and x indicates the position.
【００１０】図５は前記超音波モータの動作状態を説明
する説明図であり、同図は、前記振動体３に進行波を励
振することによって、振動体３の表面のＡ点が長軸ｗ，
単軸ｕの楕円運動をし、振動体３に加圧して設置された
移動体６が、摩擦材５を介して振動体３の表面の任意の
点の描く楕円の頂点Ａ近傍で接触し、摩擦力により波の
進行方向とは逆方向に(数４)で表される速度ｖで運動す
る様子を示している。FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the operating state of the ultrasonic motor. In FIG. 5, the point A on the surface of the vibrating body 3 is the long axis w by exciting the traveling wave in the vibrating body 3. ，
The moving body 6 that is uniaxially u-ellipsoidally moving and is pressed against the vibrating body 3 comes into contact with the vibrating body 3 near the apex A of the ellipse drawn by an arbitrary point on the surface of the vibrating body 3, It is shown that the frictional force causes movement at a velocity v represented by (Equation 4) in the direction opposite to the traveling direction of the wave.
【００１１】[0011]
【数４】ｖ＝ω×ｗ 図６は前記振動体３の駆動端子からみた等価回路であ
り、電気的容量(Ｃe)14、電気系−機械系変換トランス
(変換係数Ｎ)15、機械的弾性定数(Ｃm)16、質量(Ｌm)1
7、機械的損失(Ｒm)18とで表され、力Ｆとして出力され
る。圧電体２に電圧Ｖを印加すると、その周波数，絶対
値に応じた総電流(ｉ)19が流れる。この総電流(ｉ)19
は、圧電体２の電気的容量(Ｃe)14に流れる電流である
電気腕電流(ｉe)20と電気系−機械系変換トランス15に
流れる電流である機械腕電流(ｉm)21とからなる。この
機械腕電流(ｉm)21が、電気系−機械系変換トランス15
により(数５)で表される変位速度ｖdに変換される。Equation 4] v = ω × w 6 is an equivalent circuit as viewed from the driving terminal of the vibrator 3, the electrical capacitance (C e) 14, an electric system - mechanical conversion transformer
(Conversion coefficient N) 15, mechanical elastic constant ( Cm ) 16, mass ( Lm ) 1
7, mechanical loss (R m ) 18 and output as force F. When the voltage V is applied to the piezoelectric body 2, the total current (i) 19 corresponding to the frequency and the absolute value of the voltage V flows. This total current (i) 19
An electric arm current is the current flowing in the electric capacitance (C e) 14 of the piezoelectric member 2 (i e) 20 and the electrical system - a mechanical arm current (i m) 21 is the current flowing in the mechanical system conversion transformer 15 Consists of. This mechanical arm current (i m ) 21 is the electric system-mechanical system conversion transformer 15
Is converted into the displacement velocity v d represented by (Equation 5).
【００１２】[0012]
【数５】ｖd＝ｄξ／ｄt したがって、総電流(ｉ)19、あるいは機械腕電流(ｉm)2
1によって、変位ξを求めることができる。[Mathematical formula-see original document] v d = dξ / dt Therefore, the total current (i) 19 or the machine arm current (i m ) 2
The displacement ξ can be obtained by 1.
【００１３】これらのことより、移動体６の回転速度
は、振動体３の曲げ振動の振幅の瞬時値に比例し、曲げ
振動の振幅の瞬時値は、振動体３を構成する圧電体２に
流れる機械腕電流(ｉm)21に比例する。そこで、この機
械腕電流(ｉm)21を検出し、これを移動体６の回転速度
情報として利用することにより、移動体６の回転速度を
安定に制御することができる。From these facts, the rotation speed of the moving body 6 is proportional to the instantaneous value of the bending vibration amplitude of the vibrating body 3, and the instantaneous value of the bending vibration amplitude is transmitted to the piezoelectric body 2 constituting the vibrating body 3. It is proportional to the flowing mechanical arm current (i m ) 21. Therefore, to detect the mechanical arm current (i m) 21, which by utilizing the rotational speed information of the movable body 6, it is possible to stably control the rotation speed of the moving body 6.
【００１４】図７は従来の超音波モータの駆動制御回路
であり、電圧制御発振器22から移動体６の目標回転速度
に対応する周波数の駆動信号が発生される。この駆動信
号は２分割され、一方の信号は90度位相器23を通り、電
力増幅器24によって電力増幅される。また他方の信号は
電力増幅器25に直接印加されて電力増幅される。FIG. 7 shows a conventional drive control circuit for an ultrasonic motor, in which a voltage-controlled oscillator 22 generates a drive signal having a frequency corresponding to the target rotation speed of the moving body 6. This drive signal is divided into two, and one signal passes through the 90-degree phase shifter 23 and is power-amplified by the power amplifier 24. The other signal is directly applied to the power amplifier 25 for power amplification.
【００１５】さらに電力増幅器24から発せられた信号
は、コイル26を通って圧電体２上の２組の駆動電極の一
方の駆動電極27に印加されるとともに、この駆動電極27
の下の圧電体２の静電容量と等価な静電容量を有するキ
ャパシタ28に印加される。同様に電力増幅器25から発せ
られた信号は、コイル29を通って圧電体２上の２組の駆
動電極の他方の駆動電極30に印加されるとともに、この
駆動電極30の下の圧電体２の静電容量と等価な静電容量
を有するキャパシタ31に印加される。Further, the signal emitted from the power amplifier 24 is applied to one drive electrode 27 of the two sets of drive electrodes on the piezoelectric body 2 through the coil 26, and the drive electrode 27 is also applied.
Is applied to a capacitor 28 having a capacitance equivalent to that of the piezoelectric body 2 below. Similarly, the signal emitted from the power amplifier 25 is applied to the other drive electrode 30 of the two sets of drive electrodes on the piezoelectric body 2 through the coil 29, and the signal of the piezoelectric body 2 below the drive electrode 30 is applied. It is applied to a capacitor 31 having an electrostatic capacitance equivalent to the electrostatic capacitance.
【００１６】このとき、図３にて説明した振動体３上に
周方向に進行する曲げ振動が励振され、摩擦材５と振動
体３の突起体１aの間に作用する摩擦力により、移動体
６が進行波の進行方向と逆向きに駆動される。また圧電
体２には、前述したように駆動電圧の周波数と、その絶
対値に応じた総電流(ｉ)19が流れ、この総電流(ｉ)19
は、抵抗32により電圧信号に変換され、差動増幅器33の
一方の入力に印加される。At this time, a bending vibration that advances in the circumferential direction is excited on the vibrating body 3 described with reference to FIG. 3, and the moving body is moved by the frictional force acting between the friction material 5 and the protrusion 1a of the vibrating body 3. 6 is driven in the direction opposite to the traveling direction of the traveling wave. Further, as described above, the total current (i) 19 according to the frequency of the drive voltage and its absolute value flows through the piezoelectric body 2, and this total current (i) 19
Is converted into a voltage signal by the resistor 32 and applied to one input of the differential amplifier 33.
【００１７】前記キャパシタ28とキャパシタ31にも印加
電圧の絶対値、及びその周波数に応じた圧電体２上の２
組の駆動電極27，30を流れる電気腕電流(ｉe)20と等価
な電流が流れ、それぞれを加え合わせたものが抵抗34に
より電圧信号に変換され、差動増幅器33の他方の入力端
に入力される。差動増幅器33の出力は、総機械腕電流に
比例した電圧値であって、前述したように、移動体６の
回転速度に比例したものである。この後、差動増幅器33
の出力は、整流器35により直流電圧に変換された後に、
差動増幅器36により速度設定値37と比較処理される。差
動増幅器36の出力は、電圧制御発振器22の周波数制御端
子に印加され、移動体６の回転速度が一定となるように
超音波モータの駆動周波数を調整する。ここで、差動増
幅器36の出力は(数６)のようになる。The capacitor 28 and the capacitor 31 also have two values on the piezoelectric body 2 depending on the absolute value of the applied voltage and its frequency.
The set of driving electrodes 27, 30 electrically arm current (i e) 20 equivalent to a current flows through the is converted into what the combined respectively added voltage signal by the resistor 34, the other input terminal of the differential amplifier 33 Is entered. The output of the differential amplifier 33 is a voltage value proportional to the total mechanical arm current, and is proportional to the rotation speed of the moving body 6 as described above. After this, the differential amplifier 33
After being converted into a DC voltage by the rectifier 35, the output of
The differential amplifier 36 performs comparison processing with the speed set value 37. The output of the differential amplifier 36 is applied to the frequency control terminal of the voltage controlled oscillator 22, and adjusts the drive frequency of the ultrasonic motor so that the rotation speed of the moving body 6 becomes constant. Here, the output of the differential amplifier 36 is as in (Equation 6).
【００１８】[0018]
【数６】Ｖout＝Ｋ1(Ｖ1-Ｖ2) Ｖoutは、差動増幅器36の出力、Ｖ1は速度設定値37、Ｖ
2は整流器35より得られる移動体６の回転速度信号、Ｋ1
は比例定数であって差動増幅器36の増幅度に対応してい
る。## EQU6 ## V out = K 1 (V 1 -V 2 ) V out is the output of the differential amplifier 36, V 1 is the speed set value 37, V
2 is the rotation speed signal of the moving body 6 obtained from the rectifier 35, K 1
Is a proportional constant and corresponds to the amplification degree of the differential amplifier 36.
【００１９】[0019]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示すような超音波モータの従来の駆動制御回路では、移
動体６の回転速度情報と速度設定値を比較して、その差
を増幅処理して超音波モータの速度制御を行っており、
また超音波モータの形状が小さくなるに従い回転速度情
報である機械腕電流も小さくなるため比較処理をする差
動増幅器の増幅度を大きくする必要があるとともに、目
標回転速度に対して実際の回転速度には偏差が存在し、
また回転速度情報にノイズの影響が生じると増幅度が大
きいために超音波モータが不安定な状態になり易いとい
う問題を有していた。However, in the conventional drive control circuit of the ultrasonic motor as shown in FIG. 7, the rotational speed information of the moving body 6 is compared with the speed set value, and the difference is amplified. Is controlling the speed of the ultrasonic motor,
Further, as the shape of the ultrasonic motor becomes smaller, the mechanical arm current, which is the rotation speed information, also becomes smaller, so it is necessary to increase the amplification degree of the differential amplifier for comparison processing. There is a deviation in
Further, if the rotation speed information is affected by noise, the degree of amplification is large, so that the ultrasonic motor tends to be in an unstable state.
【００２０】また、超音波モータの低速駆動時には、振
動体，移動体の加工精度の影響により移動体の動作が不
安定となり、再起動が不安定になり安定回転させること
ができないという問題も有していた。Further, when the ultrasonic motor is driven at a low speed, there is a problem that the operation of the moving body becomes unstable due to the influence of the processing accuracy of the vibrating body and the moving body, the restart becomes unstable, and stable rotation cannot be performed. Was.
【００２１】本発明の目的は、前記問題を解決し、安定
かつ効率よく超音波モータを駆動できる超音波モータの
駆動制御回路を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a drive control circuit for an ultrasonic motor, which can drive the ultrasonic motor stably and efficiently.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は圧電体に２組の電極群を配置し、これらの
電極群に各々交流電圧を印加し、前記圧電体と弾性体と
から構成される振動体に弾性進行波を励振することによ
り、前記振動体上に加圧接触して設置された移動体を回
転させる超音波モータの駆動制御回路において、駆動信
号を出力する駆動信号発生回路と、超音波モータの回転
速度信号と目標回転速度信号の差を増幅処理する差動増
幅器と、この差動増幅器の出力を積算処理する積分器
と、前記差動増幅器の出力と前記積分器の出力を加算処
理する加算器とを備えたことを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention arranges two sets of electrode groups on a piezoelectric body, and applies an alternating voltage to each of these electrode groups to form the piezoelectric body and the elastic body. A drive signal that outputs a drive signal in a drive control circuit of an ultrasonic motor that rotates a moving body that is placed in pressure contact with the vibrating body by exciting an elastic traveling wave into the vibrating body A generation circuit, a differential amplifier for amplifying the difference between the rotation speed signal of the ultrasonic motor and the target rotation speed signal, an integrator for integrating the output of this differential amplifier, an output of the differential amplifier and the integration And an adder that performs addition processing on the output of the container.
【００２３】また前記超音波モータの駆動制御回路にお
いて、駆動信号を出力する駆動信号発生回路と、超音波
モータの回転速度信号と目標回転速度信号を比較処理す
る差動増幅器と、前記目標回転速度信号を一定時間間隔
で一定時間、高速回転側に移行させる目標速度調整回路
とを備えたことを特徴とする。In the drive control circuit for the ultrasonic motor, a drive signal generating circuit for outputting a drive signal, a differential amplifier for comparing the rotational speed signal of the ultrasonic motor with a target rotational speed signal, and the target rotational speed A target speed adjusting circuit for shifting the signal to the high-speed rotation side at a constant time interval for a predetermined time is provided.
【００２４】さらに前記回転速度信号として、機械腕電
流、あるいはセンサ電極出力、あるいは外部センサ出力
を用いることを特徴とする。Further, a mechanical arm current, a sensor electrode output, or an external sensor output is used as the rotation speed signal.
【００２５】[0025]
【作用】前記構成の超音波モータの駆動制御回路では、
移動体の機械腕電流，センサ電極出力，外部センサ出力
等の回転速度情報と速度設定値を差動増幅処理し、増幅
処理後の値を、積算処理し、差動増幅処理した値と積算
処理した値を加算処理し、この値で超音波モータの駆動
周波数を調整して速度を制御することにより、信号の増
幅度を大きくする必要がなくなり、この結果、回転速度
情報にインパルス的なノイズの影響が出ても、安定かつ
効率よく超音波モータを回転させることができる。In the drive control circuit of the ultrasonic motor having the above structure,
Differential amplification processing of rotation speed information such as machine arm current of the moving body, sensor electrode output, external sensor output, etc. and speed setting value is performed, and the value after amplification processing is integrated, and the value after differential amplification processing and integration processing It is not necessary to increase the amplification degree of the signal by adjusting the driving frequency of the ultrasonic motor with this value and controlling the speed with this value. Even if the influence is exerted, the ultrasonic motor can be rotated stably and efficiently.
【００２６】また、ある時間間隔で、設定時間，速度設
定値を確実に移動体の起動が可能な回転速度に移行する
ことにより、超音波モータの低速回転時に振動体，移動
体の加工精度の影響で停止状態になっても、確実に超音
波モータを再起動させて回転させることができる。Further, at certain time intervals, the set time and the speed set value are shifted to the rotational speed at which the moving body can be reliably started, so that the processing accuracy of the vibrating body and the moving body can be improved when the ultrasonic motor rotates at a low speed. Even if the ultrasonic motor is stopped due to the influence, the ultrasonic motor can be surely restarted and rotated.
【００２７】[0027]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、超音波モータとしては、図３に基づいて説
明した構成のものを使用するものとする。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that the ultrasonic motor having the configuration described with reference to FIG. 3 is used.
【００２８】図１は本発明の第１実施例である超音波モ
ータの駆動制御回路のブロック図であり、電圧制御発振
器38の出力は２分割されて、一方は直接電力増幅器39
に、他方は90度位相器40を介して電力増幅器41に接続さ
れている。電力増幅器39の出力は、コイル42を通って圧
電体２上の２組の駆動電極の一方の駆動電極43に印加さ
れるとともに、この駆動電極43の下の圧電体２の静電容
量と等価な静電容量を有するキャパシタ44に印加され
る。電力増幅器41の出力は、コイル45を通って圧電体２
上の２組の駆動電極の他方の駆動電極46に印加されると
ともに、この駆動電極46の下の圧電体２の静電容量と等
価な静電容量を有するキャパシタ47に印加される。FIG. 1 is a block diagram of a drive control circuit for an ultrasonic motor according to a first embodiment of the present invention. The output of a voltage controlled oscillator 38 is divided into two, one of which is a direct power amplifier 39.
The other is connected to the power amplifier 41 via the 90-degree phase shifter 40. The output of the power amplifier 39 is applied to one drive electrode 43 of the two sets of drive electrodes on the piezoelectric body 2 through the coil 42 and is equivalent to the electrostatic capacitance of the piezoelectric body 2 under the drive electrode 43. Applied to a capacitor 44 having a large electrostatic capacity. The output of the power amplifier 41 passes through the coil 45 and the piezoelectric body 2
It is applied to the other drive electrode 46 of the upper two sets of drive electrodes, and is also applied to the capacitor 47 having a capacitance equivalent to the capacitance of the piezoelectric body 2 below this drive electrode 46.
【００２９】キャパシタ44の出力側と、キャパシタ47の
出力側は抵抗48の一端に接続されており、抵抗48の他端
は接地されている。また、圧電体２の出力側は抵抗49に
接続されており、抵抗49の他端は接地されている。抵抗
48と抵抗49の抵抗値は互いに等しい。さらに抵抗48のキ
ャパシタ44とキャパシタ47に接続されている側は、差動
増幅器50の一方の入力端に接続されるとともに、抵抗49
の圧電体２の出力端に接続されている側が差動増幅器50
の他方の入力端に接続されている。差動増幅器50の出力
は整流器51に接続され、整流器51の出力は差動増幅器52
の一方の入力端子に接続されており、差動増幅器52の他
方の入力端には速度設定値53が接続されている。The output side of the capacitor 44 and the output side of the capacitor 47 are connected to one end of a resistor 48, and the other end of the resistor 48 is grounded. The output side of the piezoelectric body 2 is connected to the resistor 49, and the other end of the resistor 49 is grounded. resistance
The resistance values of 48 and resistor 49 are equal to each other. Further, the side of the resistor 48 connected to the capacitor 44 and the capacitor 47 is connected to one input end of the differential amplifier 50 and the resistor 49.
The differential amplifier 50 is connected to the output end of the piezoelectric body 2 of
Is connected to the other input terminal of. The output of the differential amplifier 50 is connected to the rectifier 51, and the output of the rectifier 51 is the differential amplifier 52.
The speed setting value 53 is connected to the other input terminal of the differential amplifier 52.
【００３０】差動増幅器52の出力は２分割され、一方は
加算器54の一方の入力端子に、他方は積分器55に接続さ
れており、積分器55の出力は加算器54の他方の入力端子
に接続されている。また、加算器54の出力は電圧制御発
振器38の周波数制御端子に接続されている。The output of the differential amplifier 52 is divided into two, one is connected to one input terminal of the adder 54 and the other is connected to the integrator 55. The output of the integrator 55 is the other input of the adder 54. It is connected to the terminal. The output of the adder 54 is connected to the frequency control terminal of the voltage controlled oscillator 38.
【００３１】以上のように構成された超音波モータの駆
動制御回路について、以下にその動作を説明する。The operation of the drive control circuit for the ultrasonic motor configured as described above will be described below.
【００３２】電圧制御発振器38、移動体(図３参照)６の
目標回転速度に対応する周波数の駆動信号を発生する。
この駆動信号は２分割されて、一方は、90度位相器40を
通って90度移相されてから、電力増幅器41によって超音
波モータを駆動するのに必要な電力を有する信号に増幅
され、他方は電力増幅器39によって超音波モータを駆動
するのに必要な電力を有する信号に増幅される。The voltage-controlled oscillator 38 generates a drive signal having a frequency corresponding to the target rotation speed of the moving body (see FIG. 3) 6.
This drive signal is divided into two, one of which is phase-shifted by 90 degrees through the 90-degree phase shifter 40, and then amplified by the power amplifier 41 into a signal having a power required to drive the ultrasonic motor, The other is amplified by the power amplifier 39 into a signal having the power required to drive the ultrasonic motor.
【００３３】さらに電力増幅器41から発せられた電圧
は、コイル45を通って圧電体２上に設けられた駆動電極
46に印加されるとともに、この駆動電極46下の圧電体２
の静電容量と等価な静電容量を有するキャパシタ47に印
加される。同様に電力増幅器39から発せられた電圧は、
コイル42を通って圧電体２上に設けられた他方の駆動電
極43に印加されるとともに、この駆動電極43下の静電容
量と等価な静電容量を有するキャパシタ44に印加され
る。Further, the voltage generated from the power amplifier 41 passes through the coil 45 and the drive electrode provided on the piezoelectric body 2.
The piezoelectric body 2 under the drive electrode 46 while being applied to
Is applied to a capacitor 47 having a capacitance equivalent to that of the. Similarly, the voltage generated from the power amplifier 39 is
The voltage is applied to the other drive electrode 43 provided on the piezoelectric body 2 through the coil 42, and is also applied to the capacitor 44 having a capacitance equivalent to the capacitance below the drive electrode 43.
【００３４】このとき圧電体２には、２組の駆動電極4
3，46上に印加された電圧の絶対値、及びその周波数に
応じた総電流(図６参照)19が流れ、抵抗49により、この
総電流19は電圧信号に変換され差動増幅器50の一方の入
力端に入力される。At this time, the piezoelectric body 2 has two sets of drive electrodes 4
A total current 19 (see FIG. 6) according to the absolute value of the voltage applied to 3, 46 and its frequency flows, and the total current 19 is converted into a voltage signal by the resistor 49 and one of the differential amplifiers 50. Is input to the input terminal of.
【００３５】前記キャパシタ44とキャパシタ47にも印加
電圧の絶対値、及びその周波数に応じた圧電体２上の２
組の駆動電極43，46を流れる電気腕電流(図６参照)20と
等価な電流が流れ、それぞれを加え合わせたものが抵抗
48により電圧信号に変換され、差動増幅器50の他方の入
力端に入力される。The capacitor 44 and the capacitor 47 also have two values on the piezoelectric body 2 depending on the absolute value of the applied voltage and its frequency.
A current equivalent to the electric arm current (see FIG. 6) 20 flowing through the pair of drive electrodes 43 and 46 flows, and the sum of the two is resistance.
It is converted into a voltage signal by 48 and input to the other input terminal of the differential amplifier 50.
【００３６】差動増幅器50の出力は、圧電体２に流れる
前記総電流19より得られる電圧値から、キャパシタ44と
キャパシタ47より得られる圧電体２を流れる電気腕電流
20と等価な電流より得られる電圧値を差し引いたもの
で、これは圧電体２を流れる総機械腕電流に比例した電
圧値であり、移動体６の回転速度に比例した信号であ
る。The output of the differential amplifier 50 is the electric arm current flowing through the piezoelectric body 2 obtained from the capacitors 44 and 47 from the voltage value obtained from the total current 19 flowing through the piezoelectric body 2.
The voltage value obtained is subtracted from the current equivalent to 20, which is a voltage value proportional to the total mechanical arm current flowing through the piezoelectric body 2 and a signal proportional to the rotation speed of the moving body 6.
【００３７】差動増幅器50の出力は、整流器51により整
流され直流電圧信号に変換され、差動増幅器52により速
度設定値53と比較増幅処理される。その後、差動増幅器
52の出力は加算器54と積分器55の入力端子に印加され
る。積分器55は差動増幅器52の出力を時間的に積分処理
し、その出力が加算器54の他方の入力端子に印加され、
加算器54により差動増幅器52と積分器55の出力が加算さ
れ、電圧制御発振器38の周波数制御端子に印加される。
ここで加算器55の出力は(数７)のように表現することが
できる。The output of the differential amplifier 50 is rectified by the rectifier 51 and converted into a DC voltage signal, which is compared and amplified with the speed set value 53 by the differential amplifier 52. Then the differential amplifier
The output of 52 is applied to the input terminals of adder 54 and integrator 55. The integrator 55 temporally integrates the output of the differential amplifier 52, and its output is applied to the other input terminal of the adder 54,
The outputs of the differential amplifier 52 and the integrator 55 are added by the adder 54 and applied to the frequency control terminal of the voltage controlled oscillator 38.
Here, the output of the adder 55 can be expressed as in (Equation 7).
【００３８】[0038]
【数７】Ｖout＝Ｋ1(Ｖ1−Ｖ2)＋∫Ｋ2(Ｖ1−Ｖ2)ｄt Ｖoutは加算器55の出力、Ｖ1は速度設定値、Ｖ2は整流
器51より得られる移動体６の回転速度信号、Ｋ1，Ｋ2は
比例定数であり、それぞれ差動増幅器52，積分器55の増
幅度に対応している。このようにすることにより、従来
の超音波モータの駆動制御回路と異なり、比例定数を小
さく抑えることができるとともに、回転速度情報にノイ
ズが出ても、安定で効率よく超音波モータを駆動制御す
ることができる。[Formula 7] V out = K 1 (V 1 −V 2 ) + ∫K 2 (V 1 −V 2 ) dt V out is the output of the adder 55, V 1 is the speed set value, and V 2 is from the rectifier 51. The obtained rotation speed signals K 1 and K 2 of the moving body 6 are proportional constants, which correspond to the amplification degrees of the differential amplifier 52 and the integrator 55, respectively. By doing so, unlike the conventional ultrasonic motor drive control circuit, the proportional constant can be suppressed to a small value, and even if noise occurs in the rotational speed information, the ultrasonic motor can be drive-controlled stably and efficiently. be able to.
【００３９】図２は本発明の第２実施例である超音波モ
ータの駆動制御回路のブロック図であり、電圧制御発振
器56の出力は２分割されて、一方は直接電力増幅器57
に、他方は90度位相器58を介して電力増幅器59に接続さ
れている。電力増幅器57の出力は、コイル60を通って圧
電体２上の２組の駆動電極の一方の駆動電極61に印加さ
れるとともに、この駆動電極61の下の圧電体２の静電容
量と等価な静電容量を有するキャパシタ62に印加され
る。電力増幅器59の出力は、コイル63を通って圧電体２
上の２組の駆動電極の他方の駆動電極64に印加されると
ともに、この駆動電極64の下の圧電体２の静電容量と等
価な静電容量を有するキャパシタ65に印加される。FIG. 2 is a block diagram of a drive control circuit for an ultrasonic motor according to a second embodiment of the present invention. The output of the voltage controlled oscillator 56 is divided into two, one of which is a direct power amplifier 57.
The other is connected to the power amplifier 59 via the 90-degree phase shifter 58. The output of the power amplifier 57 is applied to one drive electrode 61 of the two drive electrodes on the piezoelectric body 2 through the coil 60 and is equivalent to the capacitance of the piezoelectric body 2 under the drive electrode 61. Applied to a capacitor 62 having a large electrostatic capacitance. The output of the power amplifier 59 passes through the coil 63 and the piezoelectric body 2
It is applied to the other drive electrode 64 of the upper two sets of drive electrodes, and is also applied to the capacitor 65 having a capacitance equivalent to that of the piezoelectric body 2 below the drive electrode 64.
【００４０】キャパシタ62の出力側と、キャパシタ65の
出力側は抵抗66の一端に接続されており、抵抗66の他端
は接地されている。圧電体２の出力側は抵抗67に接続さ
れており、抵抗67の他端は接地されている。また、抵抗
66と抵抗67の抵抗値は互いに等しい。さらに抵抗66のキ
ャパシタ62とキャパシタ65に接続されている側は、差動
増幅器68の一方の入力端に接続されるとともに、抵抗67
の圧電体２の出力端に接続されている側は差動増幅器68
の他方の入力端に接続されている。The output side of the capacitor 62 and the output side of the capacitor 65 are connected to one end of a resistor 66, and the other end of the resistor 66 is grounded. The output side of the piezoelectric body 2 is connected to the resistor 67, and the other end of the resistor 67 is grounded. Also the resistance
The resistance values of 66 and resistor 67 are equal to each other. Further, the side of the resistor 66 connected to the capacitors 62 and 65 is connected to one input terminal of the differential amplifier 68, and also to the resistor 67.
The differential amplifier 68 is connected to the output end of the piezoelectric body 2.
Is connected to the other input terminal of.
【００４１】差動増幅器68の出力は整流器69に接続さ
れ、整流器69の出力は差動増幅器70の一方の入力端子に
接続されている。また、速度設定値71は差動増幅器72の
一方の入力端に接続されており、他方には一定の周波
数、一定のデューティ比で発振する発振器73が接続され
ている。また、差動増幅器72の出力は差動増幅器70の他
方の入力端子に接続されており、差動増幅器70の出力は
電圧制御発振器56の周波数制御端子に接続されている。The output of the differential amplifier 68 is connected to the rectifier 69, and the output of the rectifier 69 is connected to one input terminal of the differential amplifier 70. The speed setting value 71 is connected to one input end of a differential amplifier 72, and the other is connected to an oscillator 73 that oscillates at a constant frequency and a constant duty ratio. The output of the differential amplifier 72 is connected to the other input terminal of the differential amplifier 70, and the output of the differential amplifier 70 is connected to the frequency control terminal of the voltage controlled oscillator 56.
【００４２】以上のように構成された超音波モータの駆
動制御回路について、以下にその動作を説明する。The operation of the drive control circuit for the ultrasonic motor configured as described above will be described below.
【００４３】電圧制御発振器56から、移動体(図３参照)
６の目標回転速度に対応する周波数の駆動信号が発生さ
れる。ここで前記信号は２分割されて、一方は、90度位
相器58を通って電力増幅器59によって超音波モータを駆
動するのに必要な電力を有する信号に増幅され、他方
は、電力増幅器57によって超音波モータを駆動するのに
必要な電力を有する信号に増幅される。From the voltage controlled oscillator 56, the moving body (see FIG. 3)
A drive signal having a frequency corresponding to the target rotation speed of 6 is generated. Here, the signal is divided into two, one passes through a 90-degree phase shifter 58 and is amplified by a power amplifier 59 into a signal having a power necessary to drive an ultrasonic motor, and the other is amplified by a power amplifier 57. It is amplified to a signal that has the power required to drive the ultrasonic motor.
【００４４】さらに電力増幅器59から発せられた電圧
は、コイル63を通って圧電体２上に設けられた駆動電極
64に印加されるとともに、この駆動電極64下の圧電体２
の静電容量と等価な静電容量を有するキャパシタ65に印
加される。同様に電力増幅器57から発せられた電圧は、
コイル60を通って圧電体２上に設けられた他方の駆動電
極61に印加されるとともに、この駆動電極61下の静電容
量と等価な静電容量を有するキャパシタ62に印加され
る。Further, the voltage generated from the power amplifier 59 passes through the coil 63 and the driving electrode provided on the piezoelectric body 2.
The piezoelectric body 2 under the drive electrode 64 while being applied to
Is applied to the capacitor 65 having a capacitance equivalent to that of the. Similarly, the voltage generated from the power amplifier 57 is
It is applied to the other drive electrode 61 provided on the piezoelectric body 2 through the coil 60, and is also applied to the capacitor 62 having an electrostatic capacitance equivalent to the electrostatic capacitance below the drive electrode 61.
【００４５】このとき圧電体２上には、２組の駆動電極
61，64上に印加された電圧の絶対値、及びその周波数に
応じた総電流19(図６参照)が流れ、抵抗67により、この
総電流19は電圧信号に変換され差動増幅器68の一方の入
力端に入力される。At this time, two sets of drive electrodes are provided on the piezoelectric body 2.
A total current 19 (see FIG. 6) according to the absolute value of the voltage applied to 61 and 64 and its frequency flows, and the total current 19 is converted into a voltage signal by the resistor 67, and one of the differential amplifiers 68. Is input to the input terminal of.
【００４６】前記キャパシタ62とキャパシタ65にも印加
電圧の絶対値、及びその周波数に応じた圧電体２上の２
組の駆動電極61，64を流れる電気腕電流(図６参照)20と
等価な電流が流れ、それぞれを加え合わせたものが抵抗
66により電圧信号に変換され差動増幅器68の他方の入力
端に入力される。差動増幅器68の出力は、圧電体２に流
れる前記総電流19より得られる電圧値から、キャパシタ
62とキャパシタ65より得られる圧電体２を流れる電気腕
電流20と等価な電流より得られる電圧値を差し引いたも
ので、これは圧電体２を流れる総機械腕電流に比例した
電圧値であり、移動体６の回転速度に比例した信号であ
る。The capacitor 62 and the capacitor 65 also have the two values on the piezoelectric body 2 depending on the absolute value of the applied voltage and its frequency.
A current equivalent to the electric arm current (see Fig. 6) 20 flowing through the pair of drive electrodes 61, 64 flows, and the sum of the two is resistance.
The voltage signal is converted by 66 and input to the other input terminal of the differential amplifier 68. The output of the differential amplifier 68 is the capacitor value from the voltage value obtained from the total current 19 flowing in the piezoelectric body 2.
The value obtained by subtracting the voltage value obtained from the current equivalent to the electric arm current 20 flowing through the piezoelectric body 2 obtained from 62 and the capacitor 65 is a voltage value proportional to the total mechanical arm current flowing through the piezoelectric body 2, This signal is proportional to the rotation speed of the moving body 6.
【００４７】差動増幅器68の出力は、整流器69により整
流され直流電圧信号に変換される。また速度設定値71は
作動増幅器72に印加されており、ある時間間隔で設定時
間だけ発振器73のパルスが差動増幅器72の他方の入力端
子に印加されることにより、差動増幅器72の出力は、あ
る時間間隔の設定時間の間、移動体６の目標回転速度を
安定に起動かつ回転できる領域の回転数とする。これに
より、目標回転速度が低速で振動体３，移動体６の加工
精度の影響により移動体６が停止状態になることがあっ
ても、確実に再起動し回転させることができる。The output of the differential amplifier 68 is rectified by the rectifier 69 and converted into a DC voltage signal. The speed set value 71 is applied to the differential amplifier 72, and the pulse of the oscillator 73 is applied to the other input terminal of the differential amplifier 72 for a set time at a certain time interval, so that the output of the differential amplifier 72 is , The target rotation speed of the moving body 6 is set to the rotation speed of a region in which it can be stably activated and rotated during a set time of a certain time interval. Accordingly, even when the target rotation speed is low and the moving body 6 is stopped due to the influence of the processing accuracy of the vibrating body 3 and the moving body 6, the moving body 6 can be reliably restarted and rotated.
【００４８】以上のように本発明の超音波モータの駆動
制御回路によって、安定に効率よく超音波モータを駆動
できるとともに、低速回転時に振動体，移動体の加工精
度により停止状態となっても、確実に再起動でき回転状
態に移行させていくことができる超音波モータの駆動制
御回路を提供できる。As described above, the ultrasonic motor drive control circuit according to the present invention can drive the ultrasonic motor stably and efficiently, and even when the ultrasonic motor is stopped at low speed due to the processing accuracy of the vibrating body and the moving body, It is possible to provide a drive control circuit for an ultrasonic motor that can be surely restarted and can shift to a rotating state.
【００４９】なお、前記実施例では超音波モータの回転
速度情報として機械腕電流を用いる場合について説明し
たが、回転速度情報としてセンサ出力，エンコーダ出力
等を用いる場合にも有効であることは勿論である。In the above embodiment, the case where the mechanical arm current is used as the rotation speed information of the ultrasonic motor has been described, but it is needless to say that it is also effective when the sensor output, the encoder output or the like is used as the rotation speed information. is there.
【００５０】[0050]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波モ
ータの駆動制御回路は、請求項１〜８記載の構成によれ
ば、超音波モータの駆動時に不安定な状態になることな
く、また振動体，移動体の加工精度の影響により低速駆
動時に超音波モータが不安定になることを防止すること
ができる。As described above, the drive control circuit for an ultrasonic motor according to the present invention, according to the constitutions of claims 1 to 8, does not become unstable when the ultrasonic motor is driven. In addition, it is possible to prevent the ultrasonic motor from becoming unstable during low-speed driving due to the processing accuracy of the vibrating body and the moving body.
【図１】本発明の超音波モータの駆動制御回路の第１実
施例のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a first embodiment of a drive control circuit for an ultrasonic motor according to the present invention.
【図２】本発明の超音波モータの駆動制御回路の第２実
施例のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of a second embodiment of a drive control circuit for an ultrasonic motor according to the present invention.
【図３】超音波モータの縦断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view of an ultrasonic motor.
【図４】超音波モータの圧電体の電極構造を示す平面図
である。FIG. 4 is a plan view showing an electrode structure of a piezoelectric body of an ultrasonic motor.
【図５】超音波モータの動作原理図である。FIG. 5 is a diagram showing the principle of operation of the ultrasonic motor.
【図６】振動体の等価回路図である。FIG. 6 is an equivalent circuit diagram of a vibrating body.
【図７】従来の超音波モータの駆動制御回路のブロック
図である。FIG. 7 is a block diagram of a drive control circuit of a conventional ultrasonic motor.
２…圧電体、 ３…振動体、 ４…弾性体、 ６…移動
体、 ７…出力伝達軸、38，56…電圧制御発振器、 3
9，41，57，59…電力増幅器、 40，58…90度位相器、
42，45，60，63，…コイル、 43，46，61，64…駆動
電極、 44，47，62，65…キャパシタ、 48，49，66，
67…抵抗、 50，52，68，70，72…差動振幅器、 51，
69…整流器、 53，71…速度設定値、 54…加算器、
55…積分器、73…発振器。2 ... Piezoelectric body, 3 ... Vibrating body, 4 ... Elastic body, 6 ... Moving body, 7 ... Output transmission shaft, 38, 56 ... Voltage controlled oscillator, 3
9, 41, 57, 59 ... Power amplifier, 40, 58 ... 90 degree phase shifter,
42, 45, 60, 63, ... Coil, 43, 46, 61, 64 ... Drive electrode, 44, 47, 62, 65 ... Capacitor, 48, 49, 66,
67 ... Resistance, 50, 52, 68, 70, 72 ... Differential amplitude device, 51,
69 ... Rectifier, 53, 71 ... Speed setting value, 54 ... Adder,
55 ... integrator, 73 ... oscillator.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西倉 孝弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 川▲崎▼ 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 武田 克 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 今田 勝己 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Takahiro Nishikura 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inside the company (72) Inventor Katsushi Takeda 1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Katsumi Imada 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (8)
の電極群に各々交流電圧を印加し、前記圧電体と弾性体
とから構成される振動体に弾性進行波を励振することに
より、前記振動体上に加圧接触して設置された移動体を
回転させる超音波モータの駆動制御回路において、駆動
信号を出力する駆動信号発生回路と、超音波モータの回
転速度信号と目標回転速度信号の差を増幅処理する差動
増幅器と、この差動増幅器の出力を積算処理する積分器
と、前記差動増幅器の出力と前記積分器の出力を加算処
理する加算器とを備えたことを特徴とする超音波モータ
の駆動制御回路。1. A piezoelectric body is provided with two sets of electrode groups, an AC voltage is applied to each of these electrode groups, and an elastic traveling wave is excited in a vibrating body composed of the piezoelectric body and the elastic body. Thus, in the drive control circuit of the ultrasonic motor that rotates the moving body that is placed in pressure contact with the vibrating body, the drive signal generating circuit that outputs the drive signal, the rotation speed signal of the ultrasonic motor, and the target rotation. A differential amplifier for amplifying the difference between the speed signals; an integrator for integrating the output of the differential amplifier; and an adder for adding the output of the differential amplifier and the output of the integrator. A drive control circuit for an ultrasonic motor.
ることを特徴とする請求項１記載の超音波モータの駆動
制御回路。2. The drive control circuit for the ultrasonic motor according to claim 1, wherein a mechanical arm current is used as the rotation speed signal.
用いることを特徴とする請求項１記載の超音波モータの
駆動制御回路。3. The drive control circuit for the ultrasonic motor according to claim 1, wherein the sensor electrode output is used as the rotation speed signal.
用いることを特徴とする請求項１記載の超音波モータの
駆動制御回路。4. The drive control circuit for the ultrasonic motor according to claim 1, wherein an external sensor output is used as the rotation speed signal.
の電極群に各々交流電圧を印加し、前記圧電体と弾性体
とから構成される振動体に弾性進行波を励振することに
より、前記振動体上に加圧接触して設置された移動体を
回転させる超音波モータの駆動制御回路において、駆動
信号を出力する駆動信号発生回路と、超音波モータの回
転速度信号と目標回転速度信号を比較処理する差動増幅
器と、前記目標回転速度信号を一定時間間隔で一定時
間、高速回転側に移行させる目標速度調整回路とを備え
たことを特徴とする超音波モータの駆動制御回路。5. A piezoelectric body is provided with two sets of electrode groups, an AC voltage is applied to each of these electrode groups, and an elastic traveling wave is excited in a vibrating body composed of the piezoelectric body and the elastic body. Thus, in the drive control circuit of the ultrasonic motor that rotates the moving body that is placed in pressure contact with the vibrating body, the drive signal generating circuit that outputs the drive signal, the rotation speed signal of the ultrasonic motor, and the target rotation. A drive control circuit for an ultrasonic motor, comprising: a differential amplifier for comparing and processing speed signals, and a target speed adjusting circuit for shifting the target rotation speed signal to a high-speed rotation side for a fixed time at a fixed time interval. .
ることを特徴とする請求項５記載の超音波モータの駆動
制御回路。6. The drive control circuit for the ultrasonic motor according to claim 5, wherein a mechanical arm current is used as the rotation speed signal.
用いることを特徴とする請求項５記載の超音波モータの
駆動制御回路。7. The drive control circuit for the ultrasonic motor according to claim 5, wherein the sensor electrode output is used as the rotation speed signal.
用いることを特徴とする請求項５記載の超音波モータの
駆動制御回路。8. The drive control circuit for an ultrasonic motor according to claim 5, wherein an external sensor output is used as the rotation speed signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5276857A JPH07131987A (en) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | Drive control circuit for ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5276857A JPH07131987A (en) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | Drive control circuit for ultrasonic motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07131987A true JPH07131987A (en) | 1995-05-19 |
Family
ID=17575382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5276857A Pending JPH07131987A (en) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | Drive control circuit for ultrasonic motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07131987A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6100622A (en) * | 1997-12-12 | 2000-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus of vibration type actuator |
| JP2001352767A (en) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Toshiba Corp | Power unit for power converter |
-
1993
- 1993-11-05 JP JP5276857A patent/JPH07131987A/en active Pending
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| US6100622A (en) * | 1997-12-12 | 2000-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus of vibration type actuator |
| JP2001352767A (en) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Toshiba Corp | Power unit for power converter |
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