JPH07131287A - 二重モード弾性表面波フイルタ - Google Patents
二重モード弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPH07131287A JPH07131287A JP29478693A JP29478693A JPH07131287A JP H07131287 A JPH07131287 A JP H07131287A JP 29478693 A JP29478693 A JP 29478693A JP 29478693 A JP29478693 A JP 29478693A JP H07131287 A JPH07131287 A JP H07131287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- edge
- wave filter
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、素子のエッジの影響を軽減
した二重モード弾性表面波フイルタを得ることである。 【構成】弾性表面波フイルタにおいて、IDTの中心か
ら各反射器の外側部の素子のエッジまでの距離を(n・
λ)/2または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さを
(n・λ)にすることにより、素子のエッジでの反射が
弾性表面波の振幅の腹ではなく節で起こる様にすること
により、素子のエッジからの弾性表面波の反射波の位相
を反射器からの反射波の位相に合わせることで位相の乱
れが無くなり、結果として弾性表面波フイルタの通過帯
域内の特性の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減
衰量の悪化が避けられた。
した二重モード弾性表面波フイルタを得ることである。 【構成】弾性表面波フイルタにおいて、IDTの中心か
ら各反射器の外側部の素子のエッジまでの距離を(n・
λ)/2または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さを
(n・λ)にすることにより、素子のエッジでの反射が
弾性表面波の振幅の腹ではなく節で起こる様にすること
により、素子のエッジからの弾性表面波の反射波の位相
を反射器からの反射波の位相に合わせることで位相の乱
れが無くなり、結果として弾性表面波フイルタの通過帯
域内の特性の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減
衰量の悪化が避けられた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、二重モード弾性表面波
フイルタ素子に関する。
フイルタ素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から弾性表面波フイルタは、矩形平
板状の基板の表面上に櫛形電極(IDT)と、IDTの
弾性表面波の伝播方向を挟む様に両側に配置された反射
器とから構成されている。この弾性表面波フイルタの小
型化を図るためには、反射器の本数を最小限度に抑える
ことが重要になる。しかし、反射器の本数を減らして行
くと、エネルギー閉じ込め量が100%から減少し弾性
波が反射器の外側に漏れ出す様になる。この様な漏れが
生ずるとこの漏れた弾性波は素子のエッジで反射して反
射器からの反射波に混入して位相の乱れを生ずる。この
様な現象が起きると通過帯域内での損失が増加したり通
過帯域外でのスプリアスが増加するという不具合が発生
する。
板状の基板の表面上に櫛形電極(IDT)と、IDTの
弾性表面波の伝播方向を挟む様に両側に配置された反射
器とから構成されている。この弾性表面波フイルタの小
型化を図るためには、反射器の本数を最小限度に抑える
ことが重要になる。しかし、反射器の本数を減らして行
くと、エネルギー閉じ込め量が100%から減少し弾性
波が反射器の外側に漏れ出す様になる。この様な漏れが
生ずるとこの漏れた弾性波は素子のエッジで反射して反
射器からの反射波に混入して位相の乱れを生ずる。この
様な現象が起きると通過帯域内での損失が増加したり通
過帯域外でのスプリアスが増加するという不具合が発生
する。
【0003】そこで、この様な不具合を改善するため
に、従来から、各反射器の外側部に樹脂等を塗布するこ
とによる弾性表面波のダンピング部を設けることがおこ
なわれていた。(特開平5−102782)
に、従来から、各反射器の外側部に樹脂等を塗布するこ
とによる弾性表面波のダンピング部を設けることがおこ
なわれていた。(特開平5−102782)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし樹脂を塗布する
ことは、塗布や硬化には設備や工数を必要としたり、樹
脂を塗布するスペースの損失も大きい。そこで、樹脂の
塗布を行うことを省略したいという課題が有った。
ことは、塗布や硬化には設備や工数を必要としたり、樹
脂を塗布するスペースの損失も大きい。そこで、樹脂の
塗布を行うことを省略したいという課題が有った。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
には、IDT2の中心から反射器3の外側部の素子のエ
ッジまでの距離を(n・λ)/2にすることで素子のエ
ッジ4からの反射が波の節で反射して反射器3からの反
射波との位相を一致させることで弾性表面波の素子のエ
ッジ4からの反射波の影響を著しく軽減することで、前
記課題が解決された。また、弾性表面波の伝播方向にあ
る素子の長さを(n・λ)にし、その中央にIDTを配
置することによって素子のエッジ4からの反射が波の節
で反射して反射器3からの反射波との位相を一致させる
ことで弾性表面波の素子のエッジ4からの反射波の影響
を著しく軽減することで、前記課題が解決された。な
お、波長λとはIDT下の波長のことである。
には、IDT2の中心から反射器3の外側部の素子のエ
ッジまでの距離を(n・λ)/2にすることで素子のエ
ッジ4からの反射が波の節で反射して反射器3からの反
射波との位相を一致させることで弾性表面波の素子のエ
ッジ4からの反射波の影響を著しく軽減することで、前
記課題が解決された。また、弾性表面波の伝播方向にあ
る素子の長さを(n・λ)にし、その中央にIDTを配
置することによって素子のエッジ4からの反射が波の節
で反射して反射器3からの反射波との位相を一致させる
ことで弾性表面波の素子のエッジ4からの反射波の影響
を著しく軽減することで、前記課題が解決された。な
お、波長λとはIDT下の波長のことである。
【0006】
【作用】図1に示す様に、弾性表面波フイルタにおい
て、IDT2の中心から各反射器3の外側部の素子のエ
ッジ4までの距離を(n・λ)/2にすることにより、
素子のエッジ4での反射が弾性表面波の振幅の腹ではな
く弾性表面波の振幅節5で起こる様にすることにより、
素子のエッジ4からの弾性表面波の反射波の位相を反射
器からの反射波の位相に整合できるのでIDTへ返る反
射波の位相の乱れが無くなり、結果として共振型弾性表
面波フイルタの通過帯域内の特性の乱れや挿入損失の増
大、及び通過帯域外減衰量の悪化が避けられる。
て、IDT2の中心から各反射器3の外側部の素子のエ
ッジ4までの距離を(n・λ)/2にすることにより、
素子のエッジ4での反射が弾性表面波の振幅の腹ではな
く弾性表面波の振幅節5で起こる様にすることにより、
素子のエッジ4からの弾性表面波の反射波の位相を反射
器からの反射波の位相に整合できるのでIDTへ返る反
射波の位相の乱れが無くなり、結果として共振型弾性表
面波フイルタの通過帯域内の特性の乱れや挿入損失の増
大、及び通過帯域外減衰量の悪化が避けられる。
【0007】
【実施例】図1に示す様に、矩形平板状の基板1の表面
上に櫛型電極(IDT)2とIDT2の弾性表面波の伝
搬方向側を挟み込む様に両側に反射器3が配置されてい
る。 この様な二重モード共振型弾性表面波フイルタに
おいて、小型化していくに従い、両方の反射器の本数を
減らすことになり、エネルギーの閉じ込め量が100%
からずれて反射器の外へ漏れ出す様になる。漏れの状態
の一例を示すと、80〜90MHzの周波数では、反射
器の本数300本では99%の反射率(漏れ1%)、反
射器の本数100〜150本では85〜90%の反射率
(漏れ15〜10%)である。1%の漏れを基準にする
と反射器の本数を1/2に減らすと、漏れは10%に増
加し、反射器の本数を1/3に減らすと、漏れは15%
に増加する。
上に櫛型電極(IDT)2とIDT2の弾性表面波の伝
搬方向側を挟み込む様に両側に反射器3が配置されてい
る。 この様な二重モード共振型弾性表面波フイルタに
おいて、小型化していくに従い、両方の反射器の本数を
減らすことになり、エネルギーの閉じ込め量が100%
からずれて反射器の外へ漏れ出す様になる。漏れの状態
の一例を示すと、80〜90MHzの周波数では、反射
器の本数300本では99%の反射率(漏れ1%)、反
射器の本数100〜150本では85〜90%の反射率
(漏れ15〜10%)である。1%の漏れを基準にする
と反射器の本数を1/2に減らすと、漏れは10%に増
加し、反射器の本数を1/3に減らすと、漏れは15%
に増加する。
【0008】反射器から漏れた弾性表面波は反射器の外
側の素子のエッジへ到達しエッジで反射される。この反
射波は、反射器での反射と異なり、位相が乱れていた
り、反射器からの正規の反射波と位相が合わなかったり
して、正規の共振を妨げ、Qを低下させる結果を招く。
このために、フイルタを構成した時に挿入損失が増大し
たり、帯域外の減衰量が少なくなり、フイルタとしての
性能が劣化する。
側の素子のエッジへ到達しエッジで反射される。この反
射波は、反射器での反射と異なり、位相が乱れていた
り、反射器からの正規の反射波と位相が合わなかったり
して、正規の共振を妨げ、Qを低下させる結果を招く。
このために、フイルタを構成した時に挿入損失が増大し
たり、帯域外の減衰量が少なくなり、フイルタとしての
性能が劣化する。
【0009】この不具合を解消するためには、弾性表面
波の反射器から漏れて、素子のエッジからのIDTへの
反射の位相が乱れなくすれば良いので、従来技術では、
反射器と素子のエッジとの間にダンピング部を設けるこ
とで減衰させていたが、実施例ではIDTの中心から素
子のエッジまでの距離を(n・λ)/2にすること、ま
たは弾性表面波の伝播方向の素子の長さを(n・λ)に
することで、素子のエッジでの弾性表面波の反射が丁度
弾性表面波の節で起こる様にすることにより,素子のエ
ッジからの弾性表面波の反射波の位相を反射器からの反
射波の位相に合わせることで位相の乱れが無くなり、結
果として共振型弾性表面波フイルタの通過帯域内の特性
の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減衰量の悪化
が避けられた。図2に本発明の弾性表面波フイルタのI
DTの中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関
係をグラフで示す。図3に本発明の弾性表面波フイルタ
のIDTの中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域
外減衰量の関係をグラフで示す。加工精度は、±λ/4
は必要であるが、現在ではこの程度の精度は充分確保で
きる。本発明は、二重モード共振型弾性表面波フイルタ
として、横結合であっても縦結合であっても効果を奏す
る。一般的に「エッジ」とは、素子用基板の角の稜線を
言う。(稜を含む稜近傍の側面)
波の反射器から漏れて、素子のエッジからのIDTへの
反射の位相が乱れなくすれば良いので、従来技術では、
反射器と素子のエッジとの間にダンピング部を設けるこ
とで減衰させていたが、実施例ではIDTの中心から素
子のエッジまでの距離を(n・λ)/2にすること、ま
たは弾性表面波の伝播方向の素子の長さを(n・λ)に
することで、素子のエッジでの弾性表面波の反射が丁度
弾性表面波の節で起こる様にすることにより,素子のエ
ッジからの弾性表面波の反射波の位相を反射器からの反
射波の位相に合わせることで位相の乱れが無くなり、結
果として共振型弾性表面波フイルタの通過帯域内の特性
の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減衰量の悪化
が避けられた。図2に本発明の弾性表面波フイルタのI
DTの中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関
係をグラフで示す。図3に本発明の弾性表面波フイルタ
のIDTの中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域
外減衰量の関係をグラフで示す。加工精度は、±λ/4
は必要であるが、現在ではこの程度の精度は充分確保で
きる。本発明は、二重モード共振型弾性表面波フイルタ
として、横結合であっても縦結合であっても効果を奏す
る。一般的に「エッジ」とは、素子用基板の角の稜線を
言う。(稜を含む稜近傍の側面)
【0010】
【発明の効果】本発明により、ダンピング部が省略出来
たので、ダンピング部のスペース分だけ外形寸法を小さ
く出来るか、またはダンピング部のスペースに反射器を
増設することで、外形寸法が同じならば特性をより改善
できる。また、ダンピング部を設けることは、ダンピン
ク剤を塗布および硬化させる工程が必要になるが、本発
明では本来ある切断工程を、IDTの中心から(n・
λ)/2、または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さ
を(n・λ)になる様に、±λ/4の精度で加工するだ
けで基本的には利用出来て新たな工程を必要としないの
で、工数の節減が出来てコストダウンが可能になった。
たので、ダンピング部のスペース分だけ外形寸法を小さ
く出来るか、またはダンピング部のスペースに反射器を
増設することで、外形寸法が同じならば特性をより改善
できる。また、ダンピング部を設けることは、ダンピン
ク剤を塗布および硬化させる工程が必要になるが、本発
明では本来ある切断工程を、IDTの中心から(n・
λ)/2、または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さ
を(n・λ)になる様に、±λ/4の精度で加工するだ
けで基本的には利用出来て新たな工程を必要としないの
で、工数の節減が出来てコストダウンが可能になった。
【図1】図1は、本発明の弾性表面波フイルタの構成図
である。
である。
【図2】図2は、本発明の弾性表面波フイルタのIDT
の中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関係を
示す特性図である。
の中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関係を
示す特性図である。
【図3】図3は、本発明の弾性表面波フイルタのIDT
の中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域外減衰量
の関係を示す特性図である。
の中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域外減衰量
の関係を示す特性図である。
1 基板 2 櫛型電極(IDT) 3 反射器 4 素子のエッジ
Claims (1)
- 【請求項1】 二重モード弾性表面波フイルタにおい
て、櫛型電極(IDT)の中心から、反射器の外側の素
子のエッジまでの距離が(n・λ)/2であることを特
徴とする二重モード弾性表面波フイルタ。 【請求項1】 弾性表面波の伝播方向の素子の長さが
(n・λ)であることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の二重モード弾性表面波フイルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29478693A JPH07131287A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29478693A JPH07131287A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07131287A true JPH07131287A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17812265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29478693A Pending JPH07131287A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07131287A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7038353B2 (en) * | 2001-01-10 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP29478693A patent/JPH07131287A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7038353B2 (en) * | 2001-01-10 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
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