JPH07131287A - 二重モード弾性表面波フイルタ - Google Patents
二重モード弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPH07131287A JPH07131287A JP29478693A JP29478693A JPH07131287A JP H07131287 A JPH07131287 A JP H07131287A JP 29478693 A JP29478693 A JP 29478693A JP 29478693 A JP29478693 A JP 29478693A JP H07131287 A JPH07131287 A JP H07131287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- edge
- wave filter
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、素子のエッジの影響を軽減
した二重モード弾性表面波フイルタを得ることである。 【構成】弾性表面波フイルタにおいて、ＩＤＴの中心か
ら各反射器の外側部の素子のエッジまでの距離を（ｎ・
λ）／２または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さを
（ｎ・λ）にすることにより、素子のエッジでの反射が
弾性表面波の振幅の腹ではなく節で起こる様にすること
により、素子のエッジからの弾性表面波の反射波の位相
を反射器からの反射波の位相に合わせることで位相の乱
れが無くなり、結果として弾性表面波フイルタの通過帯
域内の特性の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減
衰量の悪化が避けられた。
した二重モード弾性表面波フイルタを得ることである。 【構成】弾性表面波フイルタにおいて、ＩＤＴの中心か
ら各反射器の外側部の素子のエッジまでの距離を（ｎ・
λ）／２または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さを
（ｎ・λ）にすることにより、素子のエッジでの反射が
弾性表面波の振幅の腹ではなく節で起こる様にすること
により、素子のエッジからの弾性表面波の反射波の位相
を反射器からの反射波の位相に合わせることで位相の乱
れが無くなり、結果として弾性表面波フイルタの通過帯
域内の特性の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減
衰量の悪化が避けられた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、二重モード弾性表面波
フイルタ素子に関する。
フイルタ素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から弾性表面波フイルタは、矩形平
板状の基板の表面上に櫛形電極（ＩＤＴ）と、ＩＤＴの
弾性表面波の伝播方向を挟む様に両側に配置された反射
器とから構成されている。この弾性表面波フイルタの小
型化を図るためには、反射器の本数を最小限度に抑える
ことが重要になる。しかし、反射器の本数を減らして行
くと、エネルギー閉じ込め量が１００％から減少し弾性
波が反射器の外側に漏れ出す様になる。この様な漏れが
生ずるとこの漏れた弾性波は素子のエッジで反射して反
射器からの反射波に混入して位相の乱れを生ずる。この
様な現象が起きると通過帯域内での損失が増加したり通
過帯域外でのスプリアスが増加するという不具合が発生
する。
板状の基板の表面上に櫛形電極（ＩＤＴ）と、ＩＤＴの
弾性表面波の伝播方向を挟む様に両側に配置された反射
器とから構成されている。この弾性表面波フイルタの小
型化を図るためには、反射器の本数を最小限度に抑える
ことが重要になる。しかし、反射器の本数を減らして行
くと、エネルギー閉じ込め量が１００％から減少し弾性
波が反射器の外側に漏れ出す様になる。この様な漏れが
生ずるとこの漏れた弾性波は素子のエッジで反射して反
射器からの反射波に混入して位相の乱れを生ずる。この
様な現象が起きると通過帯域内での損失が増加したり通
過帯域外でのスプリアスが増加するという不具合が発生
する。
【０００３】そこで、この様な不具合を改善するため
に、従来から、各反射器の外側部に樹脂等を塗布するこ
とによる弾性表面波のダンピング部を設けることがおこ
なわれていた。（特開平５−１０２７８２）
に、従来から、各反射器の外側部に樹脂等を塗布するこ
とによる弾性表面波のダンピング部を設けることがおこ
なわれていた。（特開平５−１０２７８２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし樹脂を塗布する
ことは、塗布や硬化には設備や工数を必要としたり、樹
脂を塗布するスペースの損失も大きい。そこで、樹脂の
塗布を行うことを省略したいという課題が有った。
ことは、塗布や硬化には設備や工数を必要としたり、樹
脂を塗布するスペースの損失も大きい。そこで、樹脂の
塗布を行うことを省略したいという課題が有った。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
には、ＩＤＴ２の中心から反射器３の外側部の素子のエ
ッジまでの距離を（ｎ・λ）／２にすることで素子のエ
ッジ４からの反射が波の節で反射して反射器３からの反
射波との位相を一致させることで弾性表面波の素子のエ
ッジ４からの反射波の影響を著しく軽減することで、前
記課題が解決された。また、弾性表面波の伝播方向にあ
る素子の長さを（ｎ・λ）にし、その中央にＩＤＴを配
置することによって素子のエッジ４からの反射が波の節
で反射して反射器３からの反射波との位相を一致させる
ことで弾性表面波の素子のエッジ４からの反射波の影響
を著しく軽減することで、前記課題が解決された。な
お、波長λとはＩＤＴ下の波長のことである。
には、ＩＤＴ２の中心から反射器３の外側部の素子のエ
ッジまでの距離を（ｎ・λ）／２にすることで素子のエ
ッジ４からの反射が波の節で反射して反射器３からの反
射波との位相を一致させることで弾性表面波の素子のエ
ッジ４からの反射波の影響を著しく軽減することで、前
記課題が解決された。また、弾性表面波の伝播方向にあ
る素子の長さを（ｎ・λ）にし、その中央にＩＤＴを配
置することによって素子のエッジ４からの反射が波の節
で反射して反射器３からの反射波との位相を一致させる
ことで弾性表面波の素子のエッジ４からの反射波の影響
を著しく軽減することで、前記課題が解決された。な
お、波長λとはＩＤＴ下の波長のことである。
【０００６】
【作用】図１に示す様に、弾性表面波フイルタにおい
て、ＩＤＴ２の中心から各反射器３の外側部の素子のエ
ッジ４までの距離を（ｎ・λ）／２にすることにより、
素子のエッジ４での反射が弾性表面波の振幅の腹ではな
く弾性表面波の振幅節５で起こる様にすることにより、
素子のエッジ４からの弾性表面波の反射波の位相を反射
器からの反射波の位相に整合できるのでＩＤＴへ返る反
射波の位相の乱れが無くなり、結果として共振型弾性表
面波フイルタの通過帯域内の特性の乱れや挿入損失の増
大、及び通過帯域外減衰量の悪化が避けられる。
て、ＩＤＴ２の中心から各反射器３の外側部の素子のエ
ッジ４までの距離を（ｎ・λ）／２にすることにより、
素子のエッジ４での反射が弾性表面波の振幅の腹ではな
く弾性表面波の振幅節５で起こる様にすることにより、
素子のエッジ４からの弾性表面波の反射波の位相を反射
器からの反射波の位相に整合できるのでＩＤＴへ返る反
射波の位相の乱れが無くなり、結果として共振型弾性表
面波フイルタの通過帯域内の特性の乱れや挿入損失の増
大、及び通過帯域外減衰量の悪化が避けられる。
【０００７】
【実施例】図１に示す様に、矩形平板状の基板１の表面
上に櫛型電極（ＩＤＴ）２とＩＤＴ２の弾性表面波の伝
搬方向側を挟み込む様に両側に反射器３が配置されてい
る。 この様な二重モード共振型弾性表面波フイルタに
おいて、小型化していくに従い、両方の反射器の本数を
減らすことになり、エネルギーの閉じ込め量が１００％
からずれて反射器の外へ漏れ出す様になる。漏れの状態
の一例を示すと、８０〜９０ＭＨｚの周波数では、反射
器の本数３００本では９９％の反射率（漏れ１％）、反
射器の本数１００〜１５０本では８５〜９０％の反射率
（漏れ１５〜１０％）である。１％の漏れを基準にする
と反射器の本数を１／２に減らすと、漏れは１０％に増
加し、反射器の本数を１／３に減らすと、漏れは１５％
に増加する。
上に櫛型電極（ＩＤＴ）２とＩＤＴ２の弾性表面波の伝
搬方向側を挟み込む様に両側に反射器３が配置されてい
る。 この様な二重モード共振型弾性表面波フイルタに
おいて、小型化していくに従い、両方の反射器の本数を
減らすことになり、エネルギーの閉じ込め量が１００％
からずれて反射器の外へ漏れ出す様になる。漏れの状態
の一例を示すと、８０〜９０ＭＨｚの周波数では、反射
器の本数３００本では９９％の反射率（漏れ１％）、反
射器の本数１００〜１５０本では８５〜９０％の反射率
（漏れ１５〜１０％）である。１％の漏れを基準にする
と反射器の本数を１／２に減らすと、漏れは１０％に増
加し、反射器の本数を１／３に減らすと、漏れは１５％
に増加する。
【０００８】反射器から漏れた弾性表面波は反射器の外
側の素子のエッジへ到達しエッジで反射される。この反
射波は、反射器での反射と異なり、位相が乱れていた
り、反射器からの正規の反射波と位相が合わなかったり
して、正規の共振を妨げ、Ｑを低下させる結果を招く。
このために、フイルタを構成した時に挿入損失が増大し
たり、帯域外の減衰量が少なくなり、フイルタとしての
性能が劣化する。
側の素子のエッジへ到達しエッジで反射される。この反
射波は、反射器での反射と異なり、位相が乱れていた
り、反射器からの正規の反射波と位相が合わなかったり
して、正規の共振を妨げ、Ｑを低下させる結果を招く。
このために、フイルタを構成した時に挿入損失が増大し
たり、帯域外の減衰量が少なくなり、フイルタとしての
性能が劣化する。
【０００９】この不具合を解消するためには、弾性表面
波の反射器から漏れて、素子のエッジからのＩＤＴへの
反射の位相が乱れなくすれば良いので、従来技術では、
反射器と素子のエッジとの間にダンピング部を設けるこ
とで減衰させていたが、実施例ではＩＤＴの中心から素
子のエッジまでの距離を（ｎ・λ）／２にすること、ま
たは弾性表面波の伝播方向の素子の長さを（ｎ・λ）に
することで、素子のエッジでの弾性表面波の反射が丁度
弾性表面波の節で起こる様にすることにより，素子のエ
ッジからの弾性表面波の反射波の位相を反射器からの反
射波の位相に合わせることで位相の乱れが無くなり、結
果として共振型弾性表面波フイルタの通過帯域内の特性
の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減衰量の悪化
が避けられた。図２に本発明の弾性表面波フイルタのＩ
ＤＴの中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関
係をグラフで示す。図３に本発明の弾性表面波フイルタ
のＩＤＴの中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域
外減衰量の関係をグラフで示す。加工精度は、±λ／４
は必要であるが、現在ではこの程度の精度は充分確保で
きる。本発明は、二重モード共振型弾性表面波フイルタ
として、横結合であっても縦結合であっても効果を奏す
る。一般的に「エッジ」とは、素子用基板の角の稜線を
言う。（稜を含む稜近傍の側面）
波の反射器から漏れて、素子のエッジからのＩＤＴへの
反射の位相が乱れなくすれば良いので、従来技術では、
反射器と素子のエッジとの間にダンピング部を設けるこ
とで減衰させていたが、実施例ではＩＤＴの中心から素
子のエッジまでの距離を（ｎ・λ）／２にすること、ま
たは弾性表面波の伝播方向の素子の長さを（ｎ・λ）に
することで、素子のエッジでの弾性表面波の反射が丁度
弾性表面波の節で起こる様にすることにより，素子のエ
ッジからの弾性表面波の反射波の位相を反射器からの反
射波の位相に合わせることで位相の乱れが無くなり、結
果として共振型弾性表面波フイルタの通過帯域内の特性
の乱れや挿入損失の増大、及び通過帯域外減衰量の悪化
が避けられた。図２に本発明の弾性表面波フイルタのＩ
ＤＴの中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関
係をグラフで示す。図３に本発明の弾性表面波フイルタ
のＩＤＴの中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域
外減衰量の関係をグラフで示す。加工精度は、±λ／４
は必要であるが、現在ではこの程度の精度は充分確保で
きる。本発明は、二重モード共振型弾性表面波フイルタ
として、横結合であっても縦結合であっても効果を奏す
る。一般的に「エッジ」とは、素子用基板の角の稜線を
言う。（稜を含む稜近傍の側面）
【００１０】
【発明の効果】本発明により、ダンピング部が省略出来
たので、ダンピング部のスペース分だけ外形寸法を小さ
く出来るか、またはダンピング部のスペースに反射器を
増設することで、外形寸法が同じならば特性をより改善
できる。また、ダンピング部を設けることは、ダンピン
ク剤を塗布および硬化させる工程が必要になるが、本発
明では本来ある切断工程を、ＩＤＴの中心から（ｎ・
λ）／２、または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さ
を（ｎ・λ）になる様に、±λ／４の精度で加工するだ
けで基本的には利用出来て新たな工程を必要としないの
で、工数の節減が出来てコストダウンが可能になった。
たので、ダンピング部のスペース分だけ外形寸法を小さ
く出来るか、またはダンピング部のスペースに反射器を
増設することで、外形寸法が同じならば特性をより改善
できる。また、ダンピング部を設けることは、ダンピン
ク剤を塗布および硬化させる工程が必要になるが、本発
明では本来ある切断工程を、ＩＤＴの中心から（ｎ・
λ）／２、または、弾性表面波の伝播方向の素子の長さ
を（ｎ・λ）になる様に、±λ／４の精度で加工するだ
けで基本的には利用出来て新たな工程を必要としないの
で、工数の節減が出来てコストダウンが可能になった。
【図１】図１は、本発明の弾性表面波フイルタの構成図
である。
である。
【図２】図２は、本発明の弾性表面波フイルタのＩＤＴ
の中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関係を
示す特性図である。
の中心から素子のエッジまでの距離と挿入損失の関係を
示す特性図である。
【図３】図３は、本発明の弾性表面波フイルタのＩＤＴ
の中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域外減衰量
の関係を示す特性図である。
の中心から素子のエッジまでの距離と通過帯域外減衰量
の関係を示す特性図である。
１ 基板 ２ 櫛型電極（ＩＤＴ） ３ 反射器 ４ 素子のエッジ
Claims (1)
- 【請求項１】 二重モード弾性表面波フイルタにおい
て、櫛型電極（ＩＤＴ）の中心から、反射器の外側の素
子のエッジまでの距離が（ｎ・λ）／２であることを特
徴とする二重モード弾性表面波フイルタ。 【請求項１】 弾性表面波の伝播方向の素子の長さが
（ｎ・λ）であることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の二重モード弾性表面波フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29478693A JPH07131287A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29478693A JPH07131287A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07131287A true JPH07131287A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17812265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29478693A Pending JPH07131287A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07131287A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7038353B2 (en) * | 2001-01-10 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP29478693A patent/JPH07131287A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7038353B2 (en) * | 2001-01-10 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
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