JPH07131094A - レーザ発振器の高周波電源の位相検出による異常検出装置 - Google Patents
レーザ発振器の高周波電源の位相検出による異常検出装置Info
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- JPH07131094A JPH07131094A JP27225493A JP27225493A JPH07131094A JP H07131094 A JPH07131094 A JP H07131094A JP 27225493 A JP27225493 A JP 27225493A JP 27225493 A JP27225493 A JP 27225493A JP H07131094 A JPH07131094 A JP H07131094A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高周波レーザ発振器の電源装置の異常を有効
に検出する異常検出装置を提供する。 【構成】 高周波電源の高周波インバータ１、昇圧トラ
ンス３および整合回路５の各出力の少なくとも一つの出
力の電圧と電流の位相差を検出する位相比較器７、９、
１１と、検出された位相差が所定値を越えた場合、警報
を出力する警報器１３とからなる。
に検出する異常検出装置を提供する。 【構成】 高周波電源の高周波インバータ１、昇圧トラ
ンス３および整合回路５の各出力の少なくとも一つの出
力の電圧と電流の位相差を検出する位相比較器７、９、
１１と、検出された位相差が所定値を越えた場合、警報
を出力する警報器１３とからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ発振器の高周
波電源の位相検出による異常検出装置に関する。
波電源の位相検出による異常検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に、レーザ発振器の高周波電源の一
例として、高周波インバータ１、昇圧トランス３、整合
回路５等を示してある。高周波インバータ１は、入力端
子から供給される直流電力を、ブリッジに組み込まれた
４個のＦＥＴ素子Ｔ1 〜Ｔ4 と、図示を省略した制御回
路によって前記４個の素子のゲートｇを制御することに
より、所定の高周波交流電力に変換する。昇圧トランス
３は、高周波インバータ１から供給される高周波交流電
圧を所定の高圧の高周波交流電圧へ昇圧する。
例として、高周波インバータ１、昇圧トランス３、整合
回路５等を示してある。高周波インバータ１は、入力端
子から供給される直流電力を、ブリッジに組み込まれた
４個のＦＥＴ素子Ｔ1 〜Ｔ4 と、図示を省略した制御回
路によって前記４個の素子のゲートｇを制御することに
より、所定の高周波交流電力に変換する。昇圧トランス
３は、高周波インバータ１から供給される高周波交流電
圧を所定の高圧の高周波交流電圧へ昇圧する。
【０００３】整合回路５は電力伝達の効率の向上を図る
もので、可変Ｌ、Ｃ回路からなり、昇圧トランス３（電
源）と図示を省略したレーザ発振器の放電部（負荷）と
の整合を行う。Ｌ、Ｃを可変にしてあるので、レーザ発
振器の放電電流の広い範囲で整合する。整合時には、昇
圧トランス３の出力の力率は１になる。
もので、可変Ｌ、Ｃ回路からなり、昇圧トランス３（電
源）と図示を省略したレーザ発振器の放電部（負荷）と
の整合を行う。Ｌ、Ｃを可変にしてあるので、レーザ発
振器の放電電流の広い範囲で整合する。整合時には、昇
圧トランス３の出力の力率は１になる。
【０００４】高周波インバータ１、昇圧トランス３、整
合回路５等が正常に動作しているかどうかは、従来は、
例えば図に示すように、高周波インバータ１、昇圧トラ
ンス３および整合回路５の各出力部ａｂ、ｃｄ、ｅｆ等
の電圧とその電流を、それぞれ交流電圧電流計１５、１
７、１９等によって計測して判断していた。
合回路５等が正常に動作しているかどうかは、従来は、
例えば図に示すように、高周波インバータ１、昇圧トラ
ンス３および整合回路５の各出力部ａｂ、ｃｄ、ｅｆ等
の電圧とその電流を、それぞれ交流電圧電流計１５、１
７、１９等によって計測して判断していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記のように、高周波
電源の高周波インバータ１、昇圧トランス３、整合回路
５等の出力は、通常の交流電圧、電流計によって計測さ
れ、計測値が規定値の範囲にあれば、一応正常に動作し
ているものと判断されていた。しかし、レーザ発振器の
出力を低下させる高周波電源内や発振器の電極外の異常
放電や、高周波インバータの出力の電圧と電流の位相差
に基づくスイッチング素子の破損等の防止、保護手段と
しては、交流電圧、電流計に替わる装置が必要であっ
た。
電源の高周波インバータ１、昇圧トランス３、整合回路
５等の出力は、通常の交流電圧、電流計によって計測さ
れ、計測値が規定値の範囲にあれば、一応正常に動作し
ているものと判断されていた。しかし、レーザ発振器の
出力を低下させる高周波電源内や発振器の電極外の異常
放電や、高周波インバータの出力の電圧と電流の位相差
に基づくスイッチング素子の破損等の防止、保護手段と
しては、交流電圧、電流計に替わる装置が必要であっ
た。
【０００６】この発明は、このような点に着目してなさ
れたもので、高周波電源を構成する各部の出力の電圧と
電流の位相差を検出することにより、電源装置の異常を
検出する装置を提供することを目的とする。
れたもので、高周波電源を構成する各部の出力の電圧と
電流の位相差を検出することにより、電源装置の異常を
検出する装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明のレーザ発振器の高周波電源の異常検出
装置は、高周波電源の高周波インバータ、昇圧トランス
および整合回路の各出力の少なくとも一つの出力の電圧
と電流の位相差を検出する位相比較器と、位相比較器に
より検出された位相差が所定値を越えた場合、警報を出
力する警報器とからなるものである。ここで、少なくと
も一つの出力とは、高周波インバータ、昇圧トランスお
よび整合回路の三つの出力の内いずれかの一つの出力、
または、いずれかの二つの出力、または、総ての出力と
いう意味である。また、所定値とは、各位相比較器ごと
に予め設定された基準値のことである。
めに、この発明のレーザ発振器の高周波電源の異常検出
装置は、高周波電源の高周波インバータ、昇圧トランス
および整合回路の各出力の少なくとも一つの出力の電圧
と電流の位相差を検出する位相比較器と、位相比較器に
より検出された位相差が所定値を越えた場合、警報を出
力する警報器とからなるものである。ここで、少なくと
も一つの出力とは、高周波インバータ、昇圧トランスお
よび整合回路の三つの出力の内いずれかの一つの出力、
または、いずれかの二つの出力、または、総ての出力と
いう意味である。また、所定値とは、各位相比較器ごと
に予め設定された基準値のことである。
【０００８】
【作用】このように、構成されているので、高周波電源
装置の高周波インバータ、昇圧トランスおよび整合回路
の各出力の少なくとも一つの出力の電圧と電流の位相差
が、位相比較器によって検出され、検出値が所定値を越
えた場合には、警報器から警報が出力される。これによ
って、必要な処置を講ずることができる。
装置の高周波インバータ、昇圧トランスおよび整合回路
の各出力の少なくとも一つの出力の電圧と電流の位相差
が、位相比較器によって検出され、検出値が所定値を越
えた場合には、警報器から警報が出力される。これによ
って、必要な処置を講ずることができる。
【０００９】
【実施例】次に、この発明の実施例について、図１に基
づいて説明する。この図の高周波電源装置は、前述の従
来のレーザ発振器の高周波電源の説明図２と同様である
ので、高周波インバータ１、昇圧トランス３および整合
回路５の構成についての説明は省略する。図示のよう
に、高周波インバータ１、昇圧トランス３および整合回
路５の各出力部は、それぞれ位相比較器７、９、１１へ
接続され、これらの出力は警報器１３へ接続されてい
る。
づいて説明する。この図の高周波電源装置は、前述の従
来のレーザ発振器の高周波電源の説明図２と同様である
ので、高周波インバータ１、昇圧トランス３および整合
回路５の構成についての説明は省略する。図示のよう
に、高周波インバータ１、昇圧トランス３および整合回
路５の各出力部は、それぞれ位相比較器７、９、１１へ
接続され、これらの出力は警報器１３へ接続されてい
る。
【００１０】位相比較器７、９、１１の構成は、例え
ば、入力した電圧と電流の乗算を行い、フィルタによっ
て高周波を除去したもので、方形波の場合には位相差
に、正弦波の場合には位相差のｓｉｎに、それぞれ比例
した電圧を出力する。これらの位相比較器の出力が、そ
れぞれに予め設定された基準値を越えた場合には、該当
する位相比較器から警報信号が出力され、警報器１３が
警報を発する。
ば、入力した電圧と電流の乗算を行い、フィルタによっ
て高周波を除去したもので、方形波の場合には位相差
に、正弦波の場合には位相差のｓｉｎに、それぞれ比例
した電圧を出力する。これらの位相比較器の出力が、そ
れぞれに予め設定された基準値を越えた場合には、該当
する位相比較器から警報信号が出力され、警報器１３が
警報を発する。
【００１１】次に、各位相比較器の作用について説明す
る。位相比較器７は、高周波インバータ１の出力部ａｂ
の電圧と電流間の位相差を検出するもので、位相差が生
ずると、スイッチング素子が破損する恐れがあるので、
速やかな対策を講ずるために設けたものである。
る。位相比較器７は、高周波インバータ１の出力部ａｂ
の電圧と電流間の位相差を検出するもので、位相差が生
ずると、スイッチング素子が破損する恐れがあるので、
速やかな対策を講ずるために設けたものである。
【００１２】位相比較器９は、整合回路５の電源側の昇
圧トランス３の出力部ｃｄの電圧と電流の位相差を検出
するものである。整合回路５は、前記のように、昇圧ト
ランス３と図示を省略したレーザ発振器の放電部との整
合を行うものである。整合状態では、昇圧トランス３の
出力部ｃｄの電圧と電流間の位相差は無いが、非整合状
態では、その程度に応じて位相差を生ずる。高周波電源
が整合状態にあるとき、電極外放電等の異常放電が生ず
ると、整合が崩れ、位相差を生ずる。異常放電の程度が
大きくなると位相差も大きくなる。従って、位相比較器
９によって位相差を検出すれば異常放電の程度を知るこ
とができ、所定値を越えた場合には警報を出力させる。
圧トランス３の出力部ｃｄの電圧と電流の位相差を検出
するものである。整合回路５は、前記のように、昇圧ト
ランス３と図示を省略したレーザ発振器の放電部との整
合を行うものである。整合状態では、昇圧トランス３の
出力部ｃｄの電圧と電流間の位相差は無いが、非整合状
態では、その程度に応じて位相差を生ずる。高周波電源
が整合状態にあるとき、電極外放電等の異常放電が生ず
ると、整合が崩れ、位相差を生ずる。異常放電の程度が
大きくなると位相差も大きくなる。従って、位相比較器
９によって位相差を検出すれば異常放電の程度を知るこ
とができ、所定値を越えた場合には警報を出力させる。
【００１３】位相比較器１１は整合回路５の出力部ｅｆ
の電圧と電流間の位相差を検出するもので、整合状態に
あるときは位相差はないが、出力部ｅｆとレーザ発振器
を接続するケーブル等に異常放電があれば位相差を生ず
る。この値が所定値を越えた場合には警報を出力させ
る。
の電圧と電流間の位相差を検出するもので、整合状態に
あるときは位相差はないが、出力部ｅｆとレーザ発振器
を接続するケーブル等に異常放電があれば位相差を生ず
る。この値が所定値を越えた場合には警報を出力させ
る。
【００１４】このように、それぞれの位相比較器にはそ
れぞれの作用があり、高周波電源装置に対応して効率的
に設ければよく、必ずしも全部設けなくてもよい。
れぞれの作用があり、高周波電源装置に対応して効率的
に設ければよく、必ずしも全部設けなくてもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
電極外放電等の異常放電を検出することができ、またイ
ンバータの素子の破損を未然に防止することができる。
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
電極外放電等の異常放電を検出することができ、またイ
ンバータの素子の破損を未然に防止することができる。
【図１】この発明のレーザ発振器の高周波電源の異常検
出装置の説明図である。
出装置の説明図である。
【図２】従来のレーザ発振器の高周波電源の異常検出装
置の説明図である。
置の説明図である。
１ 高周波インバータ ３ 昇圧トランス ５ 整合回路 ７、９、１１ 位相比較器 １３ 警報器
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ発振器の高周波電源の高周波イン
バータ、昇圧トランスおよび整合回路の各出力の少なく
とも一つの出力の電圧と電流の位相差を検出する位相比
較器と、位相比較器により検出された位相差が所定値を
越えた場合、警報を出力する警報器とからなることを特
徴とするレーザ発振器の高周波電源の位相検出による異
常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27225493A JP3515147B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | レーザ発振器の高周波電源の位相検出による異常検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27225493A JP3515147B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | レーザ発振器の高周波電源の位相検出による異常検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07131094A true JPH07131094A (ja) | 1995-05-19 |
| JP3515147B2 JP3515147B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
ID=17511287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27225493A Expired - Fee Related JP3515147B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | レーザ発振器の高周波電源の位相検出による異常検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3515147B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002208747A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ発振器用電源装置 |
| JP2009194063A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Gigaphoton Inc | 放電励起式ガスレーザ装置およびその故障箇所判別方法 |
| JP2010251411A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| KR101525909B1 (ko) * | 2013-01-24 | 2015-06-09 | 오므론 가부시키가이샤 | 파워 컨디셔너, 태양광 발전 시스템 및 이상 판정 방법 |
| JP2015119583A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | 株式会社ダイヘン | インバータ回路の制御回路、この制御回路を備えたインバータ装置、このインバータ装置を備えた誘導加熱装置、および、制御方法 |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP27225493A patent/JP3515147B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002208747A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ発振器用電源装置 |
| JP2009194063A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Gigaphoton Inc | 放電励起式ガスレーザ装置およびその故障箇所判別方法 |
| JP2010251411A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| KR101525909B1 (ko) * | 2013-01-24 | 2015-06-09 | 오므론 가부시키가이샤 | 파워 컨디셔너, 태양광 발전 시스템 및 이상 판정 방법 |
| JP2015119583A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | 株式会社ダイヘン | インバータ回路の制御回路、この制御回路を備えたインバータ装置、このインバータ装置を備えた誘導加熱装置、および、制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3515147B2 (ja) | 2004-04-05 |
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|---|---|---|---|
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Effective date: 20040106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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