JPH07129252A - ワーク乾燥機 - Google Patents

ワーク乾燥機

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JPH07129252A
JPH07129252A JP27878893A JP27878893A JPH07129252A JP H07129252 A JPH07129252 A JP H07129252A JP 27878893 A JP27878893 A JP 27878893A JP 27878893 A JP27878893 A JP 27878893A JP H07129252 A JPH07129252 A JP H07129252A
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JP
Japan
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work
drying
drying chamber
ipa
steam
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP27878893A
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English (en)
Inventor
Naoya Ito
直也 伊藤
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NEC Hiroshima Ltd
Original Assignee
Hiroshima Nippon Denki KK
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Publication date
Application filed by Hiroshima Nippon Denki KK filed Critical Hiroshima Nippon Denki KK
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Publication of JPH07129252A publication Critical patent/JPH07129252A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ワークを乾燥する装置において、純水の蒸気を
利用して乾燥させるのでIPA等を利用した乾燥機に較
べ、ランニングコストが安く、装置として簡単で安価と
なり、また乾燥の仕上がりの程度を一定に保つようにす
る。 【構成】薬液処理,水洗を施されたワークを乾燥させる
乾燥機において、ヒータ1aと温度コントローラ1eを
備えた蒸気発生器1と、冷却管を備えた乾燥チャンバ2
と、インラインヒータ3aを備え、蒸気発生器1から蒸
気を乾燥チャンバ2に導く蒸気導入管3を備え、さらに
2 加熱用のインラインヒータ3a,フィルタ整流器及
び温度検知用の温度センサ2aを備えている。これによ
り、IPA等を利用した乾燥機に較べ、ランニングコス
ト及び価格が安く、乾燥状態を一定に保つことが可能な
乾燥機を提供することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワーク乾燥機に関し、
特に高温の水蒸気を使用したワーク乾燥機に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のワーク乾燥機は、図4に示すよう
なIPAの気化力を利用したIPA乾燥機や、図6に示
すような遠心力を利用した遠心乾燥機等がある。
【0003】図4のIPA乾燥機の動作について説明す
ると、乾燥チャンバ2の底部にIPA10を入れ、この
IPA10を加熱し、乾燥チャンバ2内にIPA蒸気
(ベーパ)11の雰囲気を作る。
【0004】また、乾燥チャンバ2の上部側面に冷却管
2cが配置され、IPA蒸気11は冷やされて、ベーパ
ーラインが形成される。
【0005】乾燥チャンバ2内に純水で濡れたワーク7
及びキャリア6が入ると、ワーク7及びキャリア6の温
度が低いため、IPA蒸気11はワーク7及びキャリア
6の表面で液化する。IPAが液化するとワーク及びキ
ャリア表面では、純水はIPAと混じり合い、ワーク7
及びキャリア6から乾燥チャンバ2の底部に落下する。
【0006】さらに、IPAの液化が進行するとワーク
7及びキャリア6の表面全体がIPA10に置換され
る。。その状態になった後、ベーパーライン8上にこの
ワーク及びキャリアを出すと、IPAが気化して、ワー
ク及びキャリアが乾燥する。
【0007】また、IPA10を使用するため、防爆対
策電装部品や消火装置を備え、装置全体を防爆化しなけ
ればならない。このため、チャンバ2上に、炎検知器1
3b,消火ノズル13cを設け、このノズル13cに消
火剤を送る消火ボンベ13aを設け、また炎検知器13
bからの信号を受けて消火器ボンベを制御するコントロ
ーラ13を設けている。
【0008】さらに、IPA10中の水分が増えると、
ベーパーライン8上で、IPA10を気化させ乾燥させ
る際、IPA10だけ気化して水分が残り、シミ等を発
生させるため、IPA10中の水分を監視し、所定の水
分量になったら、IPA10を交換して、乾燥状態を一
定に保つ工夫をしなければならない。
【0009】つぎは、図6の遠心乾燥機の動作について
説明すると、排気口25を備えた筺体22内のチャンバ
21内にモータ(図示せず)で回転するターンテーブル
23が配置されている。
【0010】固定ボルト24で回転自在に筺体22に設
けたターンテーブル23にはキャリア6に入ったワーク
7を収納するクレードル20が対向するように固定され
ている。
【0011】ワーク7及びキャリア6がクレードル20
に収納されると、ターンテーブル23が回転を始める。
【0012】回転数が所定の値になると所定の時間その
回転数で回転し、その後回転が止まると乾燥が完了す
る。
【0013】乾燥は、回転の遠心力によりワーク7及び
キャリア6の表面の水分が吹き飛ばされると同時に、回
転により発生するチャンバ21の上部から排気口25へ
向けての高速の空気の流れが、ワーク7及びキャリア6
の表面に当たり、水分の蒸発が促進されることで、進行
する。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】図4のIPAワーク乾
燥機では、IPA10を使用しており、この蒸発分や乾
燥状態を保つ必要から、IPAを定期的に交換しなけれ
ばならず、ランニングコストが非常に高くなるという欠
点があった。
【0015】また、IPAは引火性が高いので、安全性
を確保するために、装置自体を防爆構造にしたり、消火
器を備えたりしなければならず、装置が複雑になり大型
化し高価になるという問題点があった。
【0016】乾燥の仕上がりの程度は、IPA中の水分
に影響され、バッチ数をこなす程IPA中の水分は多く
なり、シミ等が発生する。
【0017】そのため、IPA中の水分を水分計で監視
し、水分が決められた値以上になったら、IPAを交換
する。
【0018】しかし、IPA交換直前と直後では、直前
のものが直後のものに較べ、仕上がり状態は悪く、仕上
がり状態に差がでるため、乾燥状態を一定に保つことが
非常に難しいという問題点もあった。
【0019】乾燥は、IPAの気化力を利用しているた
めに、わずかではあるがワーク及びキャリア表面にIP
A成分が残留し、ワークの品質を悪化させるという問題
点があった。
【0020】また、IPAベーパー11を発生させるた
めに、局所排気12の設備を設けなければならず、さら
に、排気中からIPA分を除外する除外設備も合わせ持
たなければならないので、装置自身ばかりでなく、排気
の付帯設備も高価なものになる欠点があった。
【0021】また、遠心乾燥機では、回転機構を備えて
いるため軸受部が存在し、そこからのパーティクルの発
塵や回転の振動での発塵によりワークの乾燥状態が悪化
したり、遠心力によりワーク7へ機械的ダメージが入る
可能性があり、ワーク7の品質を悪化させるという問題
点があった。
【0022】
【課題を解決するための手段】本発明は、薬液処理,水
洗を施されたワークを乾燥させる乾燥機において、ヒー
タと温度センサと温度コントローラとを備えた蒸気発生
器と、前記ワークの出入口と扉と配水管と排気管と温度
センサとを備えた乾燥チャンバと、インラインヒータと
圧力開放弁と圧力制御弁と前記乾燥チャンバ内に具備さ
れた前記温度センサの信号をもとに予め設定された値通
りに前記インラインヒータを制御するインラインヒータ
コントローラとを備え、前記蒸気発生器から蒸気を前記
乾燥チャンバに導く蒸気導入管を具備することを特徴と
する。
【0023】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例のワーク乾燥機
のブロック図である。図1において、この実施例は、内
部に純水4を貯め、その純水4を温度センサ1dで温度
を測定しながら温度コントローラ1eで制御してヒータ
1aで加熱し、純水4の蒸気を発生させる蒸気発生器1
と、蒸気の圧力を制御する圧力制御弁3cと蒸気発生器
1内の蒸気圧を開放する圧力開放弁3dと乾燥チャンバ
2内を予めプログラムされた温度プロファイル通りの温
度になるように乾燥チャンバ2内に配置された温度セン
サ2aの信号に基づきインラインヒータ3aを制御する
インラインヒーターコントローラ3bを備え、蒸気発生
器1から蒸気を乾燥チャンバ2に導く蒸気導入管3と、
ワーク出入口2e,扉2d,配水管2c,排気2b,温
度センサ2aを備えた乾燥チャンバ2を具備している。
【0024】蒸気発生器1内部に貯められた純水4が、
温度センサ1dにて温度を測定されながら温度コントロ
ーラ1eによって制御されるヒータ1aで温められて、
蒸気5になる。
【0025】乾燥チャンバ2では、ワーク出入口2eよ
りワーク7及びキャリア6がこの乾燥チャンバ2に入
り、扉2dが閉まると、圧力開放弁3dが閉じる。する
と、蒸気5は蒸気発生器1より蒸気導入管3を通り、圧
力制御弁3cで所定の圧力になった後、コントローラ3
bにより制御されるインラインヒータ3aにより所定の
温度に加熱されて、乾燥チャンバ2内に入る。
【0026】乾燥チャンバ2内で、蒸気5はワーク7及
びキャリア6を加熱し、排気2bより乾燥チャンバ2外
に排出される。純水4は、純水導入管1cから導入さ
れ、排水バルブ1bから排出される。
【0027】次に、乾燥チャンバ2内の蒸気5の温度プ
ロファイルについて説明すると、乾燥チャンバ2内の温
度は、図5に示すように、始め、低温から徐々に温度を
上げて所定の温度になったらその温度を一定時間保ち、
終了するプロファイルを持つ。
【0028】この制御は予めインラインヒーターコント
ローラ3b内にプログラムされており、温度センサ2a
の信号をもとにコントロールされる。
【0029】さらに、乾燥プロセスについて説明する
と、まず蒸気5が乾燥チャンバ2内に入ると、始めは低
温なのでワーク7及びキャリア6の表面で蒸気5が液化
し、ワーク7及びキャリア6の全体が一様に純水で濡れ
る。徐々に、蒸気5の温度が上がると、水分が蒸発して
飛散し、乾燥が終了する。これにより、シミの無い均一
な乾燥が可能となる。
【0030】本発明の第2の実施例を示す図2のブロッ
ク図を参照すると、この実施例は、圧力制御弁3cの2
次側に、窒素(N2 )の配管3f及びN2 バルブ3eを
備える以外は、図1と共通するため、この共通する部分
は説明を省く。
【0031】乾燥終了時、圧力開放弁3dが開くと、同
時にN2 バルブ3eが開き、N2 はインラインヒータ3
aを通り、所定の温度に加熱されて乾燥チャンバ2に入
る。すると、キャリア6とワーク7の乾燥が促進され
る。
【0032】即ち、蒸気導入管3の途中で、インライン
ヒータ3aの1次側にN2 バルブを備えたN2 配管3f
を具備し、乾燥プロセスの最終段階で乾燥チャンバ2内
をN2 でパージして、乾燥を促進する機構を備えてい
る。
【0033】本発明の第3の実施例のブロック図を示す
図3を参照すると、この実施例は、第1の実施例の機構
に加えて、乾燥チャンバ2の周囲にチャンバ加熱ヒータ
2fを配置し、乾燥チャンバ2内の温度均一性を良く
し、乾燥の均一化を図るとともに、乾燥の促進を促す。
【0034】その他の部分は、図1と共通するため、説
明を省く。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、純水の
蒸気発生器と蒸気加熱用ヒータと乾燥チャンバ2を備え
た蒸気を利用したワーク乾燥機である為、従来のIPA
等を利用した乾燥機に較べ、ランニングコストが安く、
また装置自体を防爆構造にしたり、消火器を備えたりす
る必要がないので、装置が簡単で安価になるという効果
がある。
【0036】また、本発明によれば、乾燥の仕上がりの
程度は、常に新しい蒸気を利用するので仕上がり状態に
差がなく、乾燥状態を一定に保つことが容易であるとい
う効果もある。
【0037】また、乾燥はIPA等の有機溶剤の気化力
を利用していないので、ワーク及びキャリアの表面に有
機溶剤成分が残留するという問題がないという効果もあ
り、また回転やそれに伴う振動等がないので、パーティ
クルの発生や、機械的ダメージ等の心配がないという効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例のワーク乾燥機のブロッ
ク図である。
【図2】本発明の第2の実施例のブロック図である。
【図3】本発明の第3の実施例のブロック図である。
【図4】従来のIPA乾燥機のブロック図である。
【図5】乾燥チャンバ内温度プロファイルを示す特性図
である。
【図6】従来のIPA乾燥機のブロック図である。
【符号の説明】
1 蒸気発生器 2 乾燥チャンバ 3 蒸気導入管 4 純水 5 蒸気 6 キャリア 7 ワーク 8 ベーパーライン 9 整流器 10 IPA 11 IPAベーパ 12 有機排気 13 消火器コントローラ 20 クレードル 21 チャンバ 22 筺体 23 ターンテーブル 24 ターンテーブル固定ボルト 25 排気口

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薬液処理,水洗を施されたワークを乾燥
    させる乾燥機において、ヒータと温度センサと温度コン
    トローラとを備えた蒸気発生器と、前記ワークの出入口
    と扉と配水管と排気管と温度センサとを備えた乾燥チャ
    ンバと、インラインヒータと圧力開放弁と圧力制御弁と
    前記乾燥チャンバ内に具備された前記温度センサの信号
    をもとに予め設定された値通りに前記インラインヒータ
    を制御するインラインヒータコントローラとを備え、前
    記蒸気発生器から蒸気を前記乾燥チャンバに導く蒸気導
    入管を具備することを特徴とするワーク乾燥機。
  2. 【請求項2】 前記蒸気導入管の途中で、前記インライ
    ンヒータの1次側にバルブを備えた窒素配管を具備する
    請求項1記載のワーク乾燥機。
  3. 【請求項3】 前記乾燥チャンバの周囲に、ヒータを具
    備する請求項1記載のワーク乾燥機。
JP27878893A 1993-11-09 1993-11-09 ワーク乾燥機 Withdrawn JPH07129252A (ja)

Priority Applications (1)

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JP27878893A JPH07129252A (ja) 1993-11-09 1993-11-09 ワーク乾燥機

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JP27878893A JPH07129252A (ja) 1993-11-09 1993-11-09 ワーク乾燥機

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ID=17602194

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JP27878893A Withdrawn JPH07129252A (ja) 1993-11-09 1993-11-09 ワーク乾燥機

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JP (1) JPH07129252A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007119526A1 (ja) 2006-04-14 2007-10-25 Bridgestone Corporation インラインヒータ及びその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20010130