JPH0712897A - Lsiテスト方法、及びテスト装置 - Google Patents

Lsiテスト方法、及びテスト装置

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JPH0712897A
JPH0712897A JP5143254A JP14325493A JPH0712897A JP H0712897 A JPH0712897 A JP H0712897A JP 5143254 A JP5143254 A JP 5143254A JP 14325493 A JP14325493 A JP 14325493A JP H0712897 A JPH0712897 A JP H0712897A
Authority
JP
Japan
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test
lsi
object code
wait
timer
Prior art date
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Pending
Application number
JP5143254A
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English (en)
Inventor
Satoshi Kamata
聡 鎌田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は、LSIテストの時間短縮を
図ることにある。 【構成】 11はテスト装置本体であり、13はこのテ
スト装置本体の動作制御司るプロセッサである。このプ
ロセッサにおいて、ウェイト期間中に次のオブジェクト
コードについての処理の実行可否を判別し、この判別結
果に基づいて当該オブジェクトコードについての処理を
開始することによって上記ウェイトに起因する無駄時間
を排除し、LSIテストの時間短縮を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LSI(半導体集積回
路)のテスト方法、及び当該テストに使用されるテスト
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】LSIの動作試験において、LSIテス
ト装置が使用される。このLSIテスト装置は、被測定
LSIに対して電源を供給するためのデバイス電源や、
その電源供給タイミングを制御するためのデバイス電源
コントローラ、各種記憶装置、さらにはテストシーケン
スプログラムを実行するためのプロセッサなどが設けら
れ、ユーザが記述するテストシーケンスプログラムのオ
ブジェクトコードが当該プロセッサによってインタプリ
ートされ、それによってテスト装置内の各種ハードウエ
アが制御されるようになっている。そのようなLSIテ
スト装置においては、ウェイトタイム用オブジェクトコ
ードが現われた場合、プロセッサは、先ずタイマ(ハー
ドウエア)にウェイトタイムを設定してからそのタイマ
を起動し、終了割込み監視状態に入るようになってい
る。
【0003】尚、LSIテスト技術について記載された
文献の例としては、特開平4−218785号公報があ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のLSIテスト装
置においては、ウェイトタイム用オブジェクトコードが
現われた場合、プロセッサは、先ずタイマ(ハードウエ
ア)にウェイトタイムを設定してからそのタイマを起動
し、終了割込み監視状態に入る。そのように従来は、タ
イマ起動直後から終了割込み監視が行われるため、プロ
セッサは、タイマ終了までウェイトタイム期間中は次の
オブジェクトコードの処理を実行できない。このこと
は、無駄時間を発生し、LSIテスト時間の短縮を阻害
する主たる要因とされるのが、本発明者によって見いだ
された。
【0005】本発明の目的は、LSIテストの時間短縮
図るための技術を提供することにある。
【0006】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0008】すなわち、オブジェクトコードに従ってウ
ェイトタイマを起動し、このウェイト期間中に次のオブ
ジェクトコードについての処理の実行可否を判別し、こ
の判別結果に基づいて上記ウェイト期間中に当該オブジ
ェクトコードについての処理を開始する。このとき、上
記LSIのテストには、被測定メモリに書込まれたテス
トパターンの当該被測定メモリからの読出しデータと、
それの期待値との比較結果をフェイルメモリに書込む処
理を含めることができる。
【0009】また、オブジェクトコードに従ってウェイ
トタイマを起動する第1手段と、このウェイト期間中に
次のオブジェクトコードについての処理の実行可否を判
別する第2手段と、この判別結果に基づいて上記ウェイ
ト期間中に当該オブジェクトコードについての処理を開
始する第3手段とを含んでテスト装置を構成する。
【0010】
【作用】上記した手段によれば、上記ウェイト期間中に
次のオブジェクトコードについての処理の実行可否を判
別し、この判別結果に基づいて当該オブジェクトコード
についての処理を開始することは、ウェイトタイムに起
因する無駄時間を短縮するように作用し、このことが、
LSIテストの時間短縮を達成する。
【0011】
【実施例】図1には本発明の一実施例に係るLSIテス
ト装置が示される。
【0012】図1において11はLSIテスト装置本体
であり、このLSIテスト装置本体11は、ホストコン
ピュータ10に結合され、さらにパフォーマンスボード
29を介して被測定LSI30に結合されることによっ
て、当該被測定LSI30のテストを可能とする。被測
定LSI30は、特に制限されないが、半導体メモリと
される。上記ホストコンピュータ10は、ユーザによっ
て作成されたテスト制御プログラムのコンパイルや、上
記被測定LSI30のテスト結果の表示及びデータベー
ス化などに使用される。上記パフォーマンスボード29
は、LSIテスト装置11と被測定LSI30とのイン
タフェースとして機能するボードであり、被測定LSI
30の外部端子と結合可能なソケットを含み、このソケ
ットに被測定LSI30が結合されるようになってい
る。被測定LSI30は、特に制限されないが、複数の
スタティック型メモリセルをアレイ状に配列して成るス
タティックRAM(ランダム・アクセス・メモリ)とさ
れる。
【0013】上記LSIテスト装置本体11は、以下の
ように構成される。
【0014】特に制限されないが、LSIテスト装置本
体11内にはシステムバス16が設けられ、このシステ
ムバス16を介してホストインタフェース12、プロセ
ッサ13、ワークレジスタ14、タイマ15、バッファ
メモリ17、テストコントローラ21、タイミングジェ
ネレータ22、デバイス電源コントローラ23が、相互
に結合されることによって、各種データや制御信号のや
り取りが可能とされる。
【0015】上記ホストインタフェース12はホストコ
ンピュータ10に結合され、LSIテスト装置本体11
とホストコンピュータ10との間のデータのやり取りを
可能とする。上記プロセッサ13は、LSIテスト装置
本体11内のハードウェアの動作制御を司るもので、そ
の制御においてワークレジスタ14に形成されるワーク
エリアを使用する。バッファメモリ17は、ホストコン
ピュータ10から転送されたデータや、これからホスト
コンピュータ10へ転送するためのデータを保持するた
めに使用される。特に制限されないが、このバッファメ
モリ17に保持されるデータには、オブジェクトデー
タ、テスト結果、テストパターンが含まれる。上記テス
トコントローラ21は、上記バッファメモリ17内のテ
ストパターンを、ピンコントローラ26に伝達する。伝
達されたデータはテストパターンメモリ24に格納され
る。そしてこのテストパターンは、ピンコントローラ2
6の制御により、タイミングジェネレータ22によって
発生されたタイミングでピンエレクトロニクス27及び
パフォーマンスボード29を介して被測定LSI30に
伝達可能とされる。また、被測定LSI30からの読出
しデータは、ピンエレクトロニクス27で期待値と比較
され、その比較結果が、ピンコントローラ26を介して
フェイルメモリ25に格納される。デバイス電源28は
デバイス電源コントローラ23の制御により、被測定L
SI30の動作用電源を供給する。
【0016】次に、被測定LSI30のテストにおける
各部の動作について説明する。
【0017】テスタユーザはホストコンピュータ10に
よってテスト制御プログラムを作成し、それをコンパイ
ルすることによってオブジェクトデータを生成し、それ
を磁気ディスク等に格納する。被測定LSI30のテス
トを行う場合、ホストコンピュータ10の操作端末装置
からテストプログラムを起動する。当該テストプログラ
ムの起動により、上記磁気ディスク等に格納されている
オブジェクトデータがホストインタフェース12を介し
てバッファメモリ17に展開される。しかる後に、上記
バッファメモリ17内のオブジェクトデータがリードさ
れ、それがプロセッサ13で実行されることによって、
テスト制御プログラムに記述された環境が形成される。
【0018】図3には、バッファメモリ17に展開され
たオブジェクトデータの一例が示される。
【0019】図3に示されるように、バッファメモリ1
7に展開されたオブジェクトデータ18には、特に制限
されないが、デバイス電源電圧設定についての制御デー
タ、デバイス電源電流設定についての制御データ、ユー
ザウェイト1についての制御データ、演算1についての
制御データ、演算2についての制御データ、デバイス電
源印加開始についての制御データ、汎用レジスタ間デー
タ転送1についての制御データ、汎用レジスタ間データ
転送2についての制御データ、デバイス電源テスト実行
についての制御データ、終了処理についての制御データ
などが含まれる。
【0020】プロセッサ13はこのオブジェクトコード
を1ワードづつインタプリートする。先ずコードNo.
1のデバイス電源電圧設定に関するデータ、及びコード
No.2のデバイス電源電流設定に関する制御データが
プロセッサ13によってインタプリートされ、デバイス
電源コントローラ23が制御されることによって、被測
定LSI30に供給される電圧値及び電流値がデバイス
電源28にセットされる。次に、ユーザウェイト用コー
ドによりタイマ15に起動がかかる。しかし、セットさ
れても未だ被測定LSI30には電源は印加されない。
このタイマ15によるウェイトの目的は、デバイス電源
のレベル安定化であるため、このウェイト中に、コード
No.3の演算1及びコードNo.4の演算2を実行し
ても、実際には何ら不都合を生じない。つまり、デバイ
ス電源安定化のため電源印加は不可能であるが、このウ
ェイト期間を積極的に利用して、先行可能な処理を開始
しても実質的な問題はなく、逆にそのようにすること
で、テスト時間の短縮が可能とされる。プロセッサ13
によってその演算を開始する。次に、コードNo.5の
デバイス電源印加開始についての制御データがインタリ
プートされるが、これはデバイス電源に対する印加開始
要求であるから、これを実行するには、その前に上記コ
ードNo.1,2の設定レベルが確定している必要があ
る。すなわち、ウェイト中にコードNo.5のデバイス
電源印加開始を実行することはできないことになる。よ
ってここで初めてタイマ終了割込みがチェックされ、終
了していれば即印加開始処理に着手されるが、未だ終了
されていないならタイマからの終了割込みを待って印加
開始処理に着手される。コードNo.6の汎用レジスタ
間データ転送は、コードNo.5の電源印加完了後に行
われる。
【0021】以上の処理を、図4及び図5のフローチャ
ートに従って説明する。
【0022】図4に示されるように従来装置では、タイ
マ15にウェイトタイムをセットし(ステップ71)、
タイマ15を起動した後に(ステップ72)、タイマ完
了割込みがあるか否かの判別が行われ(ステップ7
3)、この判別においてタイマ完了の割込みがあった場
合にのみ次のオブジェクトコードがリードされ(ステッ
プ74)それについての処理が行われ(ステップ7
5)、ウェイトが必要とされるか否かについての判別が
行われる。これに対して、図5に示されるように本実施
例では、タイマ15にウェイトタイムがセットされ(ス
テップ81)、タイマ15が起動された後に(ステップ
82)、次のオブジェクトコードがリードされ(ステッ
プ83)、そのオブジェクトがタイマ完了を待たずに実
行可能であるか否かの判別が行われる(ステップ8
4)。この判別において、そのオブジェクトがタイマ完
了を待たずに実行可能であると判断された場合には、当
該オブジェクトについての処理が行われる(ステップ8
6)。また、上記ステップ84の判別において実行不可
と判断された場合には、タイマ完了割込みがあるか否か
の判別が行われ(ステップ85)、この判別において、
タイマ完了の割込みがあったと判断された場合に処理が
開始され、しかる後にウェイトが必要か否かの判別が行
われる(ステップ87)。上記のように、オブジェクト
コードに従ってウェイトタイマを起動するための手段
や、このウェイト期間中に次のオブジェクトコードにつ
いての処理の実行可否を判別するための手段は、プロセ
ッサ13によって機能的に形成される。
【0023】例えば図2に示されるように、従来方式で
は、ウェイト1,2の期間中、コードNo.3,7の処
理を行うことができず、それぞれ無駄時間T1,T2を
生じていたが、本実施例では、先行して処理を開始して
も特に支障の無いオブジェクトコード例えば、No.
3,4.7について積極的に処理を開始することによっ
てウェイト中の無駄時間が短縮される。すなわち、ウェ
イト1の期間中にコードNo.3,4の処理が行われ、
ウェイト2の期間中にNo.7の処理が行われる。尚、
コードNo.の処理はデバイス電源テスト実行であ
り、それについては、先行して処理を開始することがで
きないので、当該処理前に所定のウェイトが挿入され
る。この結果、無駄時間はT3で示されるようになり、
従来方式の場合の無駄時間(T1+T2)に比して大幅
に短縮される。
【0024】上記実施例によれば以下の作用効果が得ら
れる。
【0025】従来装置においてはデバイス電源制御のよ
うにウェイトを多く必要とするオブジェクトデータを処
理する場合、当該処理が完了する迄の間、次のオブジェ
クトの処理に進むことができない関係で、無駄時間を生
ずるのに対して、本実施例では、テストシーケンス中の
ウェイト時間内に、次に処理することが予定されている
処理を先行することによって、上記ウェイトに起因する
無駄時間を排除することができ、それにより、テストに
要する時間が短縮される。
【0026】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。
【0027】例えば、図3に示されるオブジェクトデー
タの内容などは、被測定LSIの種類等に応じて適宜に
変更可能である。
【0028】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるスタテ
ィックRAMのテストに適用した場合について説明した
が、本発明はそれに限定されるものではなく、各種半導
体メモリ、さらにはデータ処理装置など、各種半導体集
積回路に適用することができる。
【0029】本発明は、少なくともテスト制御プログラ
ムに従ってLSIのテストを行うことを条件に適用する
ことができる。
【0030】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0031】すなわち、ウェイト期間中に次のオブジェ
クトコードについての処理の実行可否を判別し、この判
別結果に基づいて当該オブジェクトコードについての処
理を開始することによって上記ウェイトに起因する無駄
時間を排除することができ、、それによりLSIテスト
の時間短縮が可能とされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるLSIテスト装置の構
成ブロック図である。
【図2】上記実施例装置における無駄時間短縮の説明図
である。
【図3】上記実施例装置に設定されるテスト制御プログ
ラムの内容説明図である。
【図4】従来装置における主要動作のフローチャートで
ある。
【図5】上記実施例装置における主要動作のフローチャ
ートである。
【符号の説明】
10 ホストコンピュータ 11 LSIテスト装置本体 12 ホストインタフェース 13 プロセッサ 14 ワークレジスタ 15 タイマ 16 システムバス 17 バッファメモリ 18 オブジェクトデータ 19 テスト結果 20 テストパターン 21 テストコントローラ 22 タイミングジェネレータ 23 デバイス電源コントローラ 24 テストパターンメモリ 25 フェイルメモリ 26 ピンコントローラ 27 ピンエレクトロニクス 28 デバイス電源 29 パフォーマンスボード 30 被測定LSI

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 予め定められたテスト制御プログラムの
    オブジェクトコードに従ってLSIのテストを行うLS
    Iテスト方法において、オブジェクトコードに従ってウ
    ェイトタイマを起動するステップと、このウェイトタイ
    マ起動によるウェイト期間中に次のオブジェクトコード
    についての処理の実行可否を判別するステップと、この
    判別結果に基づいて上記ウェイト期間中に当該オブジェ
    クトコードについての処理を開始するステップとを含む
    ことを特徴とするLSIテスト方法。
  2. 【請求項2】 上記LSIのテストは、被測定メモリに
    書込まれたテストパターンの当該被測定メモリからの読
    出しデータと、それの期待値との比較結果をフェイルメ
    モリに書込む処理を含む請求項1記載のLSIテスト方
    法。
  3. 【請求項3】 予め定められたテスト制御プログラムの
    オブジェクトコードに従ってLSIのテストを行うテス
    ト装置において、オブジェクトコードに従ってウェイト
    タイマを起動する第1手段と、このウェイト期間中に次
    のオブジェクトコードについての処理の実行可否を判別
    する第2手段と、この判別結果に基づいて上記ウェイト
    期間中に当該オブジェクトコードについての処理を開始
    する第3手段とを含むことを特徴とするテスト装置。
JP5143254A 1993-06-15 1993-06-15 Lsiテスト方法、及びテスト装置 Pending JPH0712897A (ja)

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JP5143254A JPH0712897A (ja) 1993-06-15 1993-06-15 Lsiテスト方法、及びテスト装置

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JP5143254A JPH0712897A (ja) 1993-06-15 1993-06-15 Lsiテスト方法、及びテスト装置

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JPH0712897A true JPH0712897A (ja) 1995-01-17

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JP5143254A Pending JPH0712897A (ja) 1993-06-15 1993-06-15 Lsiテスト方法、及びテスト装置

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JP (1) JPH0712897A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8684151B2 (en) 2011-03-09 2014-04-01 Sinfonia Technology Co., Ltd. Raw material loading apparatus and pipe unit for raw material loading apparatus
US8881885B2 (en) 2010-08-09 2014-11-11 Sinfonia Technology Co., Ltd. Raw material loading apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8881885B2 (en) 2010-08-09 2014-11-11 Sinfonia Technology Co., Ltd. Raw material loading apparatus
US8684151B2 (en) 2011-03-09 2014-04-01 Sinfonia Technology Co., Ltd. Raw material loading apparatus and pipe unit for raw material loading apparatus

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