JPH07128518A - Color filter - Google Patents

Color filter

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JPH07128518A
JPH07128518A JP29441493A JP29441493A JPH07128518A JP H07128518 A JPH07128518 A JP H07128518A JP 29441493 A JP29441493 A JP 29441493A JP 29441493 A JP29441493 A JP 29441493A JP H07128518 A JPH07128518 A JP H07128518A
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JP
Japan
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layer
light
color filter
transparent
shielding layer
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Pending
Application number
JP29441493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Haneda
昭夫 羽田
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH07128518A publication Critical patent/JPH07128518A/en
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Abstract

PURPOSE:To efficiently produce a high-qulity color filter in good yield at a low cost. CONSTITUTION:This color filter consists of a transparent substrate 1 of glass, etc., a light shielding layer 2 consisting of an opaque metallic layer formed on one side of the substrate in the form of a pattern, a photoresist layer 3 left on the layer 2, a tricolor transparent layer of red R, green G and blue B formed to fill at least the space between the patterns of the layer 2 and a transparent protective layer 4 covering the transparent colored layer and the light shielding layer 2, and the photoresist layer 3 contains a violet pigment absorbing the wavelengths enhanced in human relative visibility.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラー液晶表示装置等に
用いられるカラーフィルターに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter used in a color liquid crystal display device or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置は前面基板と背面基板との
間に液晶物質を封入し、この前面基板と背面基板の各々
に設けられた透明電極に電圧を印加して上記液晶物質を
駆動させ光線の透過・不透過を制御することにより画面
表示を行うディスプレイ装置である。そして、この液晶
表示装置によってカラー表示を行う場合には、上記透過
光をそれぞれの色に着色するカラーフィルターを上記前
面基板又は背面基板として適用している。
2. Description of the Related Art In a liquid crystal display device, a liquid crystal material is sealed between a front substrate and a rear substrate, and a voltage is applied to a transparent electrode provided on each of the front substrate and the rear substrate to drive the liquid crystal substance. It is a display device that displays a screen by controlling transmission / non-transmission of light rays. When color display is performed by this liquid crystal display device, a color filter for coloring the transmitted light in each color is applied as the front substrate or the rear substrate.

【0003】従来、このようなカラーフイルターの形成
は以下のようにして行われていた。すなわち、重クロム
酸塩にて感光性を持たせたゼラチン、グリュー、カゼイ
ン、ポリビニルアルコール等の親水性樹脂溶液をガラス
板等の透明基板に回転塗布法により全面に塗膜し、つい
で、マスク露光法により所定のパターンを焼き付け、現
像してレリーフパターンを形成し、これを所望の色の酸
性染料にて染色し、しかる後、タンニン酸水溶液と吐酒
石水溶液にて防染処理を施す。この工程を色の数だけ繰
り返してカラーフィルター部を形成する。
Conventionally, formation of such a color filter has been performed as follows. That is, a hydrophilic resin solution such as gelatin, glue, casein, or polyvinyl alcohol, which has been made photosensitive with dichromate, is coated on the entire surface by a spin coating method on a transparent substrate such as a glass plate, and then mask exposure is performed. A predetermined pattern is baked by the method and developed to form a relief pattern, which is dyed with an acid dye of a desired color, and then subjected to a stain-proof treatment with an aqueous tannic acid solution and an aqueous tartar solution. This process is repeated for the number of colors to form the color filter portion.

【0004】さらに、液晶表示装置としての表示品質を
高めるため、各色区画間の境界部に格子状の遮光性ブラ
ックマトリックスパターンを形成する。この遮光性パタ
ーンは、上記透明基板の一方の面にあらかじめ均一な不
透明金属膜を全面に形成し、ついでその上面にフォトリ
ソグラフィー法にてレリーフパターンを形成してから露
出している不透明金属膜をエッチング処理することによ
り形成することができる。
Further, in order to improve the display quality of the liquid crystal display device, a grid-like light-shielding black matrix pattern is formed at the boundary between the color sections. The light-shielding pattern is formed by forming a uniform opaque metal film on one surface of the transparent substrate in advance and then forming a relief pattern on the upper surface by a photolithography method and then exposing the exposed opaque metal film. It can be formed by etching.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
如き従来のカラーフィルターの形成法によると、遮光性
パターンを形成する際に、レリーフパターンにピンホー
ル欠陥があると、たとえそれが小さいものであってもエ
ッチング工程時にそれが下面の不透明金属膜に大きなピ
ンホールを生じさせ、遮光効果が減退するという不具合
を生じる。
However, according to the conventional method of forming a color filter as described above, when a relief pattern has a pinhole defect when forming a light-shielding pattern, it is small. However, during the etching process, it causes a large pinhole in the opaque metal film on the lower surface, which causes a problem that the light shielding effect is reduced.

【0006】かかる不具合をなくすため、上記遮光性パ
ターンを形成するためのレリーフパターンを黒色着色剤
を含有させたフォトレジストで形成し、このブラック色
フォトレジスト層を遮光性パターン上にそのまま残した
状態で、その上にカラーフィルター部を形成することに
より、前述のごとく遮光性パターンに大きなピンホール
が形成されても、この大きなピンホールによる遮光効果
の減退が上のブラック色フォトレジスト層によって軽減
され、ピンホールに基づく歩留まり低下を防止すること
が可能なカラーフィルターが開示されている(例えば特
開昭 63-282702号、特開平3-274502号等の各公報参
照)。
In order to eliminate such a problem, the relief pattern for forming the light-shielding pattern is formed by a photoresist containing a black colorant, and the black photoresist layer is left as it is on the light-shielding pattern. Thus, by forming the color filter portion thereon, even if a large pinhole is formed in the light-shielding pattern as described above, the deterioration of the light-shielding effect due to this large pinhole is reduced by the upper black photoresist layer. Japanese Patent Laid-Open No. 63-282702 and Japanese Patent Laid-Open No. 3-274502 disclose color filters capable of preventing a decrease in yield due to pinholes.

【0007】しかし、これらの公報に記載の手段では、
黒色着色剤によるフォトレジスト感光波長域(一般に3
20〜450nmの範囲)の光線の吸収率が大きく、遮
光性パターンを安定して形成できないことがある。
However, in the means described in these publications,
Photoresist photosensitive wavelength range (generally 3
The light absorptivity in the range of 20 to 450 nm) is large, and the light-shielding pattern may not be stably formed.

【0008】本発明は上記従来の問題に鑑みなされたも
ので、その目的は、生産効率が高く、品質的にも優れ、
かつ歩留まり向上をはかることが可能で製造コストの低
減をはかることができるカラーフィルターを提供するこ
とにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to achieve high production efficiency and excellent quality.
Another object of the present invention is to provide a color filter capable of improving the yield and reducing the manufacturing cost.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のカラーフィルターは、透明基板と、該透明
基板の一方の面にパターン状に形成された不透明金属層
からなる遮光層と、該遮光層上に残存させたフォトレジ
スト層と、前記遮光層のパターン間を少なくとも埋め込
むようにして形成された透明着色層とを具備し、前記フ
ォトレジスト層は人間の比視感度の高い波長範囲を吸収
するバイオレット系の顔料を含有してなることを特徴と
している。
In order to achieve the above object, the color filter of the present invention comprises a transparent substrate, and a light-shielding layer consisting of an opaque metal layer formed in a pattern on one surface of the transparent substrate, A photoresist layer left on the light-shielding layer, and a transparent coloring layer formed so as to fill at least the space between the patterns of the light-shielding layer, wherein the photoresist layer has a wavelength range with high human visual acuity. It is characterized by containing a violet pigment that absorbs.

【0010】また、前記遮光層はフォトリソグラフィー
法で形成されることを特徴としている。
Further, the light shielding layer is formed by a photolithography method.

【0011】また、前記不透明金属層はクロム、アルミ
ニウム及び銅から選ばれる金属を主成分とすることを特
徴としている。
Further, the opaque metal layer is characterized by containing a metal selected from chromium, aluminum and copper as a main component.

【0012】さらに、前記遮光層、透明着色層を含む全
面に透明保護層が設けられたことを特徴としている。
Further, a transparent protective layer is provided on the entire surface including the light shielding layer and the transparent colored layer.

【0013】[0013]

【作用】本発明は、上述の如く、人間の比視感度の高い
波長範囲を吸収するバイオレット系顔料を含有するフォ
トレジスト層を遮光パターン形成後もそのまま遮光層上
に残した状態で、透明着色層を形成するようにしたか
ら、たとえフォトレジスト層に小さなピンホールがあっ
て、それにより下面の遮光層にエッチング時に大きなピ
ンホールを生じさせたとしても、この遮光層のピンホー
ルによる遮光効果減退をこのフォトレジスト層によって
実質的に問題がなくなるほどまで軽減させることができ
る。
According to the present invention, as described above, the transparent coloring is performed while the photoresist layer containing the violet pigment that absorbs a wavelength range having high human visual acuity is left on the light shielding layer even after the light shielding pattern is formed. Since the layer is formed, even if a small pinhole is formed in the photoresist layer, which causes a large pinhole in the lower light-shielding layer during etching, the light-shielding effect is reduced by the pinhole in the light-shielding layer. Can be mitigated by this photoresist layer to the point where it is practically problem-free.

【0014】[0014]

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0015】図1は本発明のカラーフィルターの一実施
例の構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an embodiment of the color filter of the present invention.

【0016】図1によれば、本実施例のカラーフィルタ
ーは、ガラス基板などの透明基板1と、その一方の面に
パターン状に形成された不透明金属層からなる遮光層2
と、この遮光層2上に残存させたフォトレジスト層3
と、遮光層2のパターン間を少なくとも埋め込むように
して形成された赤色R,緑色G及び青色Bの三色の透明
着色層と、これらの透明着色層及び遮光層2の全面を覆
うようにして設けられた透明保護層4とからなってお
り、上記フォトレジスト層3は人間の比視感度の高い波
長範囲を吸収するバイオレット系の顔料を含有してい
る。
Referring to FIG. 1, the color filter of the present embodiment comprises a transparent substrate 1 such as a glass substrate and a light shielding layer 2 composed of an opaque metal layer formed in a pattern on one surface thereof.
And the photoresist layer 3 left on the light shielding layer 2.
A transparent colored layer of three colors of red R, green G and blue B formed so as to fill at least the space between the patterns of the light shielding layer 2, and the entire surfaces of these transparent colored layer and the light shielding layer 2 are covered. The transparent protective layer 4 is provided, and the photoresist layer 3 contains a violet pigment that absorbs a wavelength range in which humans have high relative visual sensitivity.

【0017】次に、図2に従って上記カラーフィルター
の形成方法について説明する。 先ず、透明基板1の一
方の面に例えばクロム、アルミニウム、銅などの金属を
蒸着法、スパッタリング法などにより厚さ500〜20
00μm程度の均一な不透明金属層2aを全面に形成す
る。次いで、その上面に人間の比視感度の高い波長範囲
を吸収するリオノーゲンバイオレットRL(東洋インキ
製造(株)製;C.Iピグメントバイオレット23)等
のバイオレット系の顔料を含有させたフォトレジスト
(例えばOFPR:商品名、東京応化工業(株)製な
ど)をスピナーあるいはロールコーター等によって均一
に全面塗布し、乾燥させたのち、マスク露光法により露
光、現像して所定パターンのフォトレジスト層3を形成
する(図2(a)参照)。
Next, a method for forming the color filter will be described with reference to FIG. First, on one surface of the transparent substrate 1, a metal such as chromium, aluminum, or copper is deposited to a thickness of 500 to 20 by a vapor deposition method, a sputtering method, or the like.
A uniform opaque metal layer 2a having a thickness of about 00 μm is formed on the entire surface. Then, a photoresist containing a violet pigment such as Rionogen Violet RL (manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd .; CI Pigment Violet 23) which absorbs a wavelength range having high human visual acuity on its upper surface ( For example, OFPR: trade name, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) is uniformly applied on the entire surface by a spinner or a roll coater, dried, and then exposed and developed by a mask exposure method to form a photoresist layer 3 having a predetermined pattern. Formed (see FIG. 2A).

【0018】フォトレジスト層3に含有されているバイ
オレット系の顔料は図4に示すような分光透過率曲線を
有しており、これから明らかなように人間の比視感度
(図5に示す標準比視感度曲線V(λ)を参照)の高い
波長範囲の吸収が大きく、フォトレジストの感光波長域
(一般に320〜450nmの範囲)での透過性が良好
である。
The violet pigment contained in the photoresist layer 3 has a spectral transmittance curve as shown in FIG. 4, and it is clear from this that the human visual acuity (standard ratio shown in FIG. 5). The absorption in the high wavelength range of the luminosity curve V (λ) is large, and the transmittance of the photoresist in the photosensitive wavelength range (generally 320 to 450 nm) is good.

【0019】このようなバイオレット系の顔料はフォト
レジストの樹脂成分に対して20〜50重量%程度の範
囲で含有させることが好ましい。含有量が20重量%よ
り少ないと、形成された遮光膜の遮光性能が不足して表
示画面のコントラストが低下する等の不都合がある。他
方、含有量が50重量%より多いと、上記フォトレジス
トの粘度が増大して均一な膜厚のフォトレジスト層の塗
布が困難になったり、現像工程において現像が困難とな
って現像除去すべき部位にフォトレジストが残存したり
する問題がある。
Such a violet pigment is preferably contained in the range of about 20 to 50% by weight with respect to the resin component of the photoresist. If the content is less than 20% by weight, the formed light-shielding film has insufficient light-shielding performance, and the contrast of the display screen is lowered. On the other hand, if the content is more than 50% by weight, the viscosity of the photoresist is increased, making it difficult to apply a photoresist layer having a uniform film thickness, or developing is difficult in the developing process and should be removed. There is a problem that the photoresist remains on the part.

【0020】次に、このフォトレジスト層3をマスクと
して露出する部分の不透明金属層2aをエッチング除去
し、図2(b)に示す如く、パターン状の遮光層2を形
成する。さらに、このフォトレジスト層3を200℃以
上の温度にて熱処理してフォトレジスト層3に十分な耐
薬品性を付与する。このように、バイオレット系の顔料
を含有するフォトレジスト層3を遮光層2上に残存させ
たことにより、フォトレジスト層3の除去工程を省略で
き工程短縮となる。また、図3に示すようにフォトレジ
スト層3中に小さなピンホール3aがたまたま存在し
て、その下の遮光層2に大きなピンホール2bがエッチ
ング工程時に形成されたとしても、この遮光層2のピン
ホールによる遮光効果減退を上記フォトレジスト層3に
よって軽減できる。
Next, the exposed portion of the opaque metal layer 2a is removed by etching using the photoresist layer 3 as a mask to form a patterned light-shielding layer 2 as shown in FIG. 2 (b). Further, the photoresist layer 3 is heat-treated at a temperature of 200 ° C. or higher to give the photoresist layer 3 sufficient chemical resistance. In this way, by leaving the photoresist layer 3 containing the violet pigment on the light shielding layer 2, the step of removing the photoresist layer 3 can be omitted and the steps can be shortened. Further, as shown in FIG. 3, even if a small pinhole 3a happens to exist in the photoresist layer 3 and a large pinhole 2b is formed in the light shielding layer 2 thereunder during the etching process, this light shielding layer 2 is not formed. The reduction of the light blocking effect due to the pinhole can be reduced by the photoresist layer 3.

【0021】次に、図2(c)〜(e)に示すように、
遮光層2のパターン間を少なくとも埋め込むようにして
赤色R、緑色G及び青色Bの三色の透明着色層を順次形
成する。先ず、赤色Rの透明着色層は、例えば、感光性
樹脂を全面に塗布し、画素パターン状に露光し現像した
後、残留する画素パターン状の感光性樹脂を赤色染料で
染色して形成することができる(染色法)。また、着色
顔料が分散された印刷インキを上記画素部位にパターン
状に印刷して形成することもできる(印刷法)。あるい
は着色顔料が分散された感光性樹脂を全面に塗布し、露
光し、画素パターン状に現像して形成することもできる
(顔料分散法)。
Next, as shown in FIGS. 2 (c) to 2 (e),
Transparent colored layers of three colors of red R, green G and blue B are sequentially formed so as to fill at least the space between the patterns of the light shielding layer 2. First, the transparent colored layer of red R is formed, for example, by coating a photosensitive resin on the entire surface, exposing and developing it in a pixel pattern, and then dyeing the remaining photosensitive resin in a pixel pattern with a red dye. Can be done (staining method). It is also possible to form a pattern by printing a printing ink in which a color pigment is dispersed on the pixel portion (printing method). Alternatively, a photosensitive resin in which a color pigment is dispersed may be applied on the entire surface, exposed, and developed into a pixel pattern (pigment dispersion method).

【0022】このような方法を繰り返して行うことによ
り、緑色G及び青色Bの透明着色層についても同様にし
て形成することができる。
By repeating such a method, the green G and blue B transparent colored layers can be similarly formed.

【0023】最後に図1に示すように、例えばアクリル
系樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂等
の透明材料を全面に塗布して透明保護層4を設けること
により、表面の平滑化を図る。
Finally, as shown in FIG. 1, a transparent protective layer 4 is provided by coating a transparent material such as acrylic resin, urethane resin, epoxy resin, or silicon resin on the entire surface to smooth the surface. .

【0024】また、さらにその上に図示しない透明導電
膜層を形成することができる。
Further, a transparent conductive film layer (not shown) can be further formed thereon.

【0025】透明導電膜層としては、酸化インジュー
ム、酸化スズを真空蒸着した後、必要に応じフォトエッ
チングによりパターン化してITOの透明導電膜層を形
成する。
As the transparent conductive film layer, indium oxide and tin oxide are vacuum-deposited, and if necessary, patterned by photoetching to form a transparent conductive film layer of ITO.

【0026】このようにして、カラーフィルターが完成
する。
In this way, the color filter is completed.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のカ
ラーフィルターによれば、人間の比視感度の高い波長範
囲を吸収するバイオレット系顔料を含有するフォトレジ
スト層を遮光パターン形成後もそのまま遮光層上に残し
た状態で、透明着色層を形成するようにしたので、フォ
トレジスト層に小さなピンホールがあって、それにより
下面の遮光層にエッタチング時に大きなピンホールを生
じさせたとしても、この遮光層のピンホールによる遮光
効果減退をこのフォトレジスト層によって実質的に問題
がなくなるほどまで軽減させることができ、ピンホール
に基づく歩留まり低下を防止することが可能になるとと
もに、フォトレジスト層の除去工程を省略できて工程短
縮による製造コストの低減が可能となる。
As described in detail above, according to the color filter of the present invention, the photoresist layer containing the violet pigment that absorbs the wavelength range with high human visual acuity remains as it is after the light shielding pattern is formed. Since the transparent colored layer is formed while being left on the light-shielding layer, even if a small pinhole is formed in the photoresist layer, which causes a large pinhole in the lower light-shielding layer during etching, The reduction of the light-shielding effect due to the pinholes in the light-shielding layer can be reduced to such an extent that the photoresist layer practically eliminates the problem, and it is possible to prevent the yield reduction due to the pinholes and to reduce the photoresist layer The removal process can be omitted, and the manufacturing cost can be reduced by shortening the process.

【0028】また、本発明のカラーフィルターは生産効
率が高く、品質的にも優れる。
Further, the color filter of the present invention has high production efficiency and is excellent in quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のカラーフィルターの実施例の構成を示
す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of an embodiment of a color filter of the present invention.

【図2】本発明のカラーフィルターの形成方法を工程順
に示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a method of forming a color filter of the present invention in the order of steps.

【図3】カラーフィルターの一部を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a part of a color filter.

【図4】バイオレット系顔料の分光透過率曲線図であ
る。
FIG. 4 is a spectral transmittance curve diagram of a violet pigment.

【図5】標準比視感度曲線図である。FIG. 5 is a standard relative luminous efficiency curve diagram.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基板 2 遮光層 2a 不透明金属層 2b ピンホール 3 フォトレジスト層 3a ピンホール 4 透明保護層 R、G、B 透明着色層 1 transparent substrate 2 light-shielding layer 2a opaque metal layer 2b pinhole 3 photoresist layer 3a pinhole 4 transparent protective layer R, G, B transparent colored layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板と、該透明基板の一方の面にパ
ターン状に形成された不透明金属層からなる遮光層と、
該遮光層上に残存させたフォトレジスト層と、前記遮光
層のパターン間を少なくとも埋め込むようにして形成さ
れた透明着色層とを具備し、前記フォトレジスト層は人
間の比視感度の高い波長範囲を吸収するバイオレット系
の顔料を含有してなることを特徴とするカラーフィルタ
ー。
1. A transparent substrate, and a light-shielding layer made of an opaque metal layer formed in a pattern on one surface of the transparent substrate,
A photoresist layer left on the light-shielding layer, and a transparent coloring layer formed so as to fill at least the space between the patterns of the light-shielding layer, wherein the photoresist layer has a wavelength range with high human visual acuity. A color filter comprising a violet pigment that absorbs.
【請求項2】 前記遮光層はフォトリソグラフィー法で
形成されることを特徴とする請求項1記載のカラーフィ
ルター。
2. The color filter according to claim 1, wherein the light shielding layer is formed by a photolithography method.
【請求項3】 前記不透明金属層はクロム、アルミニウ
ム及び銅から選ばれる金属を主成分とすることを特徴と
する請求項1記載のカラーフイルター。
3. The color filter according to claim 1, wherein the opaque metal layer contains a metal selected from chromium, aluminum and copper as a main component.
【請求項4】 前記遮光層、透明着色層を含む全面に透
明保護層が設けられたことを特徴とする請求項1記載の
カラーフイルター。
4. The color filter according to claim 1, wherein a transparent protective layer is provided on the entire surface including the light shielding layer and the transparent colored layer.
JP29441493A 1993-10-29 1993-10-29 Color filter Pending JPH07128518A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006031030A (en) * 2005-07-22 2006-02-02 Kyowa Hakko Kogyo Co Ltd Synthetic resin molding
KR100538291B1 (en) * 1996-07-25 2006-03-17 삼성전자주식회사 Manufacturing Method of Color Filter Board
JP2010066596A (en) * 2008-09-11 2010-03-25 Epson Imaging Devices Corp Electrooptical device and method of manufacturing the same, and electronic apparatus

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