JPH07123178B2 - Flexible wiring board and manufacturing method thereof - Google Patents

Flexible wiring board and manufacturing method thereof

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JPH07123178B2
JPH07123178B2 JP61084255A JP8425586A JPH07123178B2 JP H07123178 B2 JPH07123178 B2 JP H07123178B2 JP 61084255 A JP61084255 A JP 61084255A JP 8425586 A JP8425586 A JP 8425586A JP H07123178 B2 JPH07123178 B2 JP H07123178B2
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JP
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insulating layer
pattern
metal
forming
wiring board
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JP61084255A
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隆 上遠野
好伸 伊東
俊二 近森
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Nippon Kodoshi Corp
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Nippon Kodoshi Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、フレキシブル配線基板、特に耐熱性にすぐれ
および寸法精度の高い高品質なフレキシブル配線基板お
よびその製造方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a flexible wiring board, particularly a high-quality flexible wiring board having excellent heat resistance and high dimensional accuracy, and a method for manufacturing the same.

[従来の技術] フレキシブル配線基板は、柔軟性に富み、また厚さが薄
いので電子機器の分野で広く利用されている。しかし、
従来のフレキシブル配線基板の製造方法は製造工程が複
雑であり、また従来の方法で製造されたフレキシブル配
線基板には、その構造から必然的に生じる欠点があっ
た。
[Prior Art] Flexible wiring boards are widely used in the field of electronic devices because they are highly flexible and thin. But,
The conventional manufacturing method of the flexible wiring board has a complicated manufacturing process, and the flexible wiring board manufactured by the conventional method has a drawback inevitably caused by its structure.

すなわち、従来のフレキシブル配線基板は、第2図に1
例を示すように絶縁性のベースフィルム1上に導体とし
ての銅箔3を接着剤2を用いて接着した素材を用い、こ
の銅箔3上に更に接着剤4によって絶縁性のカバーレイ
フィルム5を設けたものである。
That is, the conventional flexible wiring board is shown in FIG.
As shown in the example, a material in which a copper foil 3 as a conductor is adhered to an insulating base film 1 with an adhesive 2 is used, and an insulating cover lay film 5 is further adhered to the copper foil 3 with an adhesive 4. Is provided.

そのために絶縁フィルムにポリイミドフィルムを使用す
る場合にも、接着剤層として、ゴム変性エポキシ樹脂あ
るいは、ゴム変性フェノール樹脂を使用するため、耐熱
性、特にはんだ耐熱性の点で劣ったものとなり、はんだ
ディップコーティング時に樹脂のふくれ、はがれが生ず
ることをがある。
Therefore, even when a polyimide film is used for the insulating film, since a rubber-modified epoxy resin or a rubber-modified phenol resin is used as the adhesive layer, it becomes inferior in terms of heat resistance, particularly solder heat resistance. Resin may blister or peel off during dip coating.

[発明が解決しようとする問題点] そこで、本発明の目的は、上述した従来の欠点を解決
し、高品質、特に耐熱性にすぐれ、しかも寸法精度の高
いフレキシブル配線基板および、かかるフレキシブル配
線基板を簡単な工程で製造することのできる製造方法を
提供することにある。
[Problems to be Solved by the Invention] Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional drawbacks and to provide a flexible wiring board having high quality, particularly excellent heat resistance, and high dimensional accuracy, and the flexible wiring board. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method capable of manufacturing a resin by a simple process.

[問題点を解決するための手段] このような目的を達成するために、本発明のフレキシブ
ル配線基板は、金属導体板の一方の面の所定部分をポリ
イミド系樹脂によって直接に被覆し、他方の面の所定部
分をソルダーレジストによって直接に被覆し、したがっ
て接着剤を用いないので、耐熱性に優れたものである。
また、ポリイミド系樹脂は、所定部分に塗布することに
より第1の絶縁層を形成し、ソルダーレジストは、所定
部分に塗布したり、もしくはその塗布後に写真法により
パターニングして第2の絶縁層を形成する。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve such an object, in the flexible wiring board of the present invention, a predetermined portion of one surface of the metal conductor plate is directly covered with a polyimide resin, and the other is covered. Since a predetermined portion of the surface is directly covered with the solder resist and therefore no adhesive is used, the heat resistance is excellent.
The polyimide resin is applied to a predetermined portion to form a first insulating layer, and the solder resist is applied to a predetermined portion, or after being applied, the second insulating layer is patterned by a photographic method. Form.

すなわち、本発明フレキシブル配線基板を第一形態は金
属導体板の一方の面の所定部分をポリイミド系樹脂によ
って直接に被覆し、金属導体板の他方の面の所定部分を
ソルダーレジストによって直接に被覆したことを特徴と
する。
That is, in the first embodiment of the flexible wiring board of the present invention, a predetermined portion of one surface of the metal conductor plate is directly covered with a polyimide resin, and a predetermined portion of the other surface of the metal conductor plate is directly covered with a solder resist. It is characterized by

本発明フレキシブル配線基板の第二形態は、金属導体板
の少なくとも一端部に金属導体の端子部を有し、端子部
の少なくとも一面は絶縁層によって被覆されておらず、
金属導体板のうちの、端子部以外の一方の面の所定部分
をポリイミド系樹脂によて直接に被覆し、金属導体板の
他方の面の所定部分をソルダーレジストによって直接に
被覆したことを特徴とする。
The second embodiment of the flexible wiring board of the present invention has a terminal portion of a metal conductor on at least one end portion of a metal conductor plate, and at least one surface of the terminal portion is not covered with an insulating layer,
A specific portion of the metal conductor plate other than the terminal portion is directly covered with a polyimide resin, and a predetermined portion of the other surface of the metal conductor plate is directly covered with a solder resist. And

本発明フレキシブル配線基板の製造方法の第一形態は、
金属薄板上にフォトレジストパターンを形成する工程
と、金属薄板上にフォトレジストパターンを用いて導体
パターンを形成する工程と、金属薄板の導体パターンを
有する側の表面を所定部分にのみ溶媒可溶性のポリイミ
ド系樹脂をコーティングすることにより第1の絶縁層を
形成する工程と、金属薄板を除去する工程と、金属薄板
が除去された面の所定部分にのみソルダーレジストをコ
ーティングすることにより第2の絶縁層を形成する工程
とを含むことを特徴とする。
The first embodiment of the method for manufacturing a flexible wiring board of the present invention is
A step of forming a photoresist pattern on a thin metal plate, a step of forming a conductor pattern by using a photoresist pattern on a thin metal plate, and a solvent-soluble polyimide in which only a predetermined portion of the surface of the thin metal plate having the conductor pattern is formed. A step of forming a first insulating layer by coating a system resin, a step of removing the thin metal plate, and a second insulating layer by coating a predetermined portion of the surface from which the thin metal plate has been removed with a solder resist. And a step of forming.

本発明フレキシブル配線基板の製造方法の第二形態は、
金属薄板上にフォトレジストパターンを形成する工程
と、金属薄板上にフォトレジストパターンを用いて導体
パターンを形成する工程と、金属薄板の導体パターンを
有する側の表面の所定部分にのみ溶媒可溶性のポリイミ
ド系樹脂をコーティングすることにより第1の絶縁層を
形成する工程と、金属薄板を除去する工程と、金属薄板
が除去された面にソルダーレジストをコーティングする
工程と、そのコーティングされたソルダーレジストを写
真法によりパターニングして第2の絶縁層を形成する工
程とを含むことを特徴とするフレキシブル配線基板の製
造方法。
The second embodiment of the method for manufacturing a flexible wiring board of the present invention is
A step of forming a photoresist pattern on a metal thin plate, a step of forming a conductor pattern using a photoresist pattern on a metal thin plate, and a solvent-soluble polyimide only on a predetermined portion of the surface of the metal thin plate on the side having the conductor pattern. A step of forming a first insulating layer by coating a resin based resin, a step of removing the thin metal plate, a step of coating a solder resist on the surface from which the thin metal plate has been removed, and a photograph of the coated solder resist And a step of forming a second insulating layer by patterning by a method.

本発明フレキシブル配線基板の製造方法の第三形態は、
金属箔の一方の面の所定部分に、溶媒可溶性のポリイミ
ド系樹脂をコーティングすることにより第1の絶縁層を
形成する工程と、金属箔のうち、第1の絶縁層を被覆し
ていない部分にレジストパターンを形成する工程と、金
属箔をパターンエッチングする工程と、レジストパター
ンを除去する工程と、金属箔のうち前記第1の絶縁層の
形成されている面とは反対側の面の所定部分にソルダー
レジストをコーティングすることにより第2の絶縁層を
形成する工程とを含むことを特徴とする。
The third embodiment of the method for manufacturing a flexible wiring board of the present invention is
A step of forming a first insulating layer by coating a solvent-soluble polyimide resin on a predetermined portion of one surface of the metal foil, and a portion of the metal foil which is not covered with the first insulating layer. A step of forming a resist pattern, a step of pattern etching a metal foil, a step of removing the resist pattern, and a predetermined portion of the surface of the metal foil opposite to the surface on which the first insulating layer is formed. And forming a second insulating layer by coating a solder resist on the substrate.

本発明フレキシブル配線基板の製造方法の第四形態は、
金属箔の一方の面の所定部分に、溶媒可溶性のポリイミ
ド系樹脂をコーティングすることにより第1の絶縁層を
形成する工程と、金属箔のうち、第1の絶縁層を被覆し
ていない部分にレジストパターンを形成する工程と、金
属箔をパターンエッチングする工程と、レジストパター
ンを除去する工程と、金属箔のうち第1の絶縁層の形成
されている面とは反対側の面にソルダーレジストをコー
ティングする工程と、そのコーティングされたソルダー
レジストを写真法によりパターニングして第2の絶縁層
を形成する工程とを含むことを特徴とする。
A fourth embodiment of the method for manufacturing a flexible wiring board of the present invention is
A step of forming a first insulating layer by coating a solvent-soluble polyimide resin on a predetermined portion of one surface of the metal foil, and a portion of the metal foil which is not covered with the first insulating layer. A step of forming a resist pattern, a step of pattern-etching the metal foil, a step of removing the resist pattern, and a step of applying a solder resist on the surface of the metal foil opposite to the surface on which the first insulating layer is formed. The method is characterized by including a step of coating and a step of patterning the coated solder resist by a photographic method to form a second insulating layer.

[作用] 本発明のフレキシブル配線基板は、接着剤のない構造な
ので、すぐれた耐熱性を発揮できる。さらにまた、パタ
ーン塗布法もしくは写真法を用いて第2の絶縁層を形成
するので、フレキシブル配線基板も簡単な工程で製造す
ることができ、しかも寸法精度に優れたフレキシブル配
線基板を製造することができる。
[Operation] Since the flexible wiring board of the present invention has no adhesive, it can exhibit excellent heat resistance. Furthermore, since the second insulating layer is formed by using the pattern coating method or the photographic method, the flexible wiring board can be manufactured in a simple process, and the flexible wiring board having excellent dimensional accuracy can be manufactured. it can.

[実施例] 以下に、図面に基づいて本発明を詳細に説明する。[Examples] Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図(a)〜(e)に本発明のフレキシブル配線基板
の一実施例として端子およびランドを有する配線基板の
例を示す。
1 (a) to 1 (e) show an example of a wiring board having terminals and lands as an embodiment of the flexible wiring board of the present invention.

第1図(a)はフレキシブル配線基板の端子部を含む部
分の平面図、第1図(b)はフレキシブル配線基板のラ
ンド部分を含む平面図、第1図(c)は第1図(a)に
おける線X-X線に沿った断面図,第1図(d)は第1図
(a)における線Y-Yに沿った断面図、第1図(e)は
第1図(b)における線Z-Zに沿った断面図である。
1 (a) is a plan view of a portion including a terminal portion of a flexible wiring board, FIG. 1 (b) is a plan view including a land portion of the flexible wiring board, and FIG. 1 (c) is FIG. 1 (a). 1) is a sectional view taken along line XX in FIG. 1A, FIG. 1D is a sectional view taken along line YY in FIG. 1A, and FIG. 1E is taken along line ZZ in FIG. 1B. FIG.

第1図(a)〜(e)において、11は銅などの導体板、
11Aはその端子部、11Bは導体板11の露出したランド部、
12は導体板11の一方の主面上に配設したポリイミド系樹
脂による絶縁層、12′は導体板11の他方の主面上に配設
したソルダーレジストによる絶縁層、13は導体板11のパ
ターン間を埋めるフォトレジスト層である。
In FIGS. 1 (a) to (e), 11 is a conductor plate such as copper,
11A is its terminal portion, 11B is the exposed land portion of the conductor plate 11,
12 is an insulating layer made of a polyimide resin provided on one main surface of the conductor plate 11, 12 'is an insulating layer made of solder resist provided on the other main surface of the conductor plate 11, and 13 is a conductor plate 11. It is a photoresist layer that fills in between the patterns.

図に示すように、本発明によるフレキシブル配線基板
は、端子部11Aおよびランド部11Bを除き、導体板11の一
方の主面および他方の主面が、ぞれぞれ、ポリイミド系
樹脂層12により、およびソルダーレジスト層12′で直接
に被覆されている。
As shown in the figure, the flexible wiring board according to the present invention, except for the terminal portion 11A and the land portion 11B, one main surface and the other main surface of the conductor plate 11, respectively, by the polyimide resin layer 12 , And the solder resist layer 12 ′ is directly coated.

このような構造のフレキシブル配線基板は、第3図
(a)〜(e),第4図(a)〜(e),および第5図
(a)〜(e)に示す工程によって容易に作ることがで
きる。
A flexible wiring board having such a structure is easily manufactured by the steps shown in FIGS. 3 (a) to (e), 4 (a) to (e), and 5 (a) to (e). be able to.

第3図(a)〜(e)は第1図(a)の線X-Xに沿った
断面、第4図(a)〜(e)は線Y-Yに沿った断面、第
5図(a)〜(e)は線Z-Zに沿った断面を示す。
FIGS. 3 (a) to 3 (e) are cross sections taken along line XX in FIG. 1 (a), FIGS. 4 (a) to 4 (e) are cross sections taken along line YY, and FIGS. (E) shows the cross section along the line ZZ.

次に、各工程を簡単に説明する。Next, each step will be briefly described.

(1)金属薄板21上にフォトレジストパターン22を形成
する(第3図(a),第4図(a),第5図(a))。
(1) A photoresist pattern 22 is formed on the thin metal plate 21 (FIGS. 3 (a), 4 (a) and 5 (a)).

(2)パターンめっきにより、レジストパターン22に沿
って金属薄板21上に導体パターン23を形成する。(第3
図(b),第4図(b),第5図(b))。
(2) A conductor pattern 23 is formed on the thin metal plate 21 along the resist pattern 22 by pattern plating. (Third
Figure (b), Figure 4 (b), Figure 5 (b)).

(3)ポリイミド系樹脂のパターンコーティングによ
り、レジストパターン22および導体パターン23のうち必
要部分の上にのみ、第1の絶縁層24を形成する(第3図
(c),第4図(c),第5図(c))。この絶縁層24
のうちの非被覆部分、すなわち開口部分にランド25が露
出している。
(3) The first insulating layer 24 is formed only on a necessary portion of the resist pattern 22 and the conductor pattern 23 by pattern coating with a polyimide resin (FIGS. 3 (c) and 4 (c)). , FIG. 5 (c)). This insulation layer 24
The land 25 is exposed in the uncovered portion, that is, the opening portion.

(4)金属薄板21を除去する(第3図(d),第4図
(d),第5図(d))。
(4) The thin metal plate 21 is removed (FIG. 3 (d), FIG. 4 (d), FIG. 5 (d)).

(5)ソルダーレジストのパターンコーティングによ
り、パターン22および23の露出表面のうち必要部分にの
み第2の絶縁層24′を形成する(第3図(e),第4図
(e),第5図(e))。この絶縁層24′のうちの非被
覆部分、すなわち開口部分にランド25′が露出してい
る。
(5) The second insulating layer 24 'is formed only on a necessary portion of the exposed surfaces of the patterns 22 and 23 by pattern coating with solder resist (FIGS. 3 (e), 4 (e), 5). Figure (e)). The land 25 'is exposed in the uncovered portion of the insulating layer 24', that is, in the opening portion.

このようにして、第1図(a)〜(e)に示したような
端子およびランドを有するフレキシブル配線基板が作製
される。
In this way, a flexible wiring board having terminals and lands as shown in FIGS. 1A to 1E is manufactured.

次に本発明のフレキシブル配線基板の具体例を示すが、
本発明はかかる実施例にのみ限定されるものではない。
Next, specific examples of the flexible wiring board of the present invention will be shown.
The invention is not limited to only these examples.

あるいはまた、上述の(5)項の工程の代わりに、紫外
線硬化型のソルダーレジストをパターン22および23の露
出表面の全面に塗布した後に、パターンマスクを通して
紫外線により露光し、必要部分のみを硬化させ、次い
で、現象を行う、いわゆる写真法によって絶縁層24′を
形成することもできる。これは、パターンが微細であ
り、寸法精度を厳密に決める必要のある場合には特に好
ましい。
Alternatively, instead of the above step (5), an ultraviolet curable solder resist is applied to the entire exposed surfaces of the patterns 22 and 23, and then exposed to ultraviolet rays through a pattern mask to cure only necessary portions. Then, the insulating layer 24 'can be formed by a so-called photographic method in which the phenomenon is then performed. This is particularly preferable when the pattern is fine and the dimensional accuracy needs to be strictly determined.

このような構造の、フレキシブル配線基板は、第6図
(a)〜(e)、第7図(a)〜(e)および第8図
(a)〜(e)に示す工程によっても作ることができ
る。
The flexible wiring board having such a structure is also manufactured by the steps shown in FIGS. 6 (a) to (e), 7 (a) to (e) and 8 (a) to (e). You can

第6図(a)〜(e)は第1図(a)の線X-Xに沿った
断面、第7図(a)〜(e)は第1図(a)の線Y-Yに
沿った断面、第8図(a)〜(e)は第1図(d)の線
Z-Zに沿った断面を示す。
6 (a) to 6 (e) are cross sections taken along line XX in FIG. 1 (a), FIGS. 7 (a) to 7 (e) are cross sections taken along line YY in FIG. 1 (a), 8 (a)-(e) are the lines of FIG. 1 (d).
A cross section along ZZ is shown.

これら工程を順をおって説明する。These steps will be described step by step.

(1)金属箔31の片面のうち、端子部等を除いた所定部
分に、ポリイミド系樹脂をパターンコーティグして絶縁
層32を形成する(第6図(a),第7図(a),第8図
(a))。
(1) The insulating layer 32 is formed by pattern-coating a polyimide resin on a predetermined portion of one surface of the metal foil 31 excluding terminals and the like (FIGS. 6A, 7A, and 7A). FIG. 8 (a)).

(2)その金属箔31の露出表面上にレジストパターン3
3,レジスト層33′およびレジストパターン33″を形成す
る。なお、第6図(b)および第7図(b)中の絶縁層
32の側にはレジストパターンは形成されていないが、こ
の部分にもレジストを形成することは、何ら支障ない。
さらにまた、第7図(b)中の下側のレジスト層33′は
パターン化されていないが、このレジスト層33′をもパ
ターン化し、それに続く工程において金属箔31を両側よ
りエッチングすることも可能である(第6図(b),第
7図(b),第8図(b))。
(2) Resist pattern 3 on the exposed surface of the metal foil 31
3, a resist layer 33 'and a resist pattern 33 "are formed. The insulating layer in FIGS. 6 (b) and 7 (b)
No resist pattern is formed on the side of 32, but there is no problem in forming a resist on this portion as well.
Furthermore, although the lower resist layer 33 'in FIG. 7 (b) is not patterned, it is also possible to pattern this resist layer 33' and etch the metal foil 31 from both sides in the subsequent step. It is possible (Fig. 6 (b), Fig. 7 (b), Fig. 8 (b)).

(3)適当なエッチング液を用いて、金属箔31のエッチ
ングを行う(第6図(c),第7図(c),第8図
(c))。
(3) The metal foil 31 is etched using an appropriate etching solution (FIG. 6 (c), FIG. 7 (c), FIG. 8 (c)).

(4)剥離液を用いて、残ったレジスト部分33,33′お
よび33″を剥離除去する(第6図(d),第7図
(d),第8図(d))。
(4) The remaining resist portions 33, 33 'and 33 "are stripped and removed using a stripping solution (Fig. 6 (d), Fig. 7 (d), Fig. 8 (d)).

(5)絶縁層32の所定部分にソルダーレジストをパター
ンコーティングすることにより絶縁層32′を形成する
(第6図(e),第7図(e),第8図(e))。
(5) A predetermined portion of the insulating layer 32 is pattern-coated with a solder resist to form an insulating layer 32 '(FIGS. 6 (e), 7 (e), 8 (e)).

なお、上述の(5)項の工程の代わりに、紫外線硬化型
のソルダーレジストを絶縁層32の全面に塗布し、その後
に、パターンマスクを通して、紫外線により露光し、そ
のソルダマーレジストのうちの必要部分のみを硬化さ
せ、次いで現像する、いわゆる写真法によって絶縁層34
を形成することもできる。
In place of the above step (5), a UV-curable solder resist is applied to the entire surface of the insulating layer 32, and then exposed to UV light through a pattern mask to obtain the solder resist required. The insulating layer 34 is formed by so-called photographic method in which only a part is cured and then developed.
Can also be formed.

実施例1 厚さ80μmのアルミニウム薄板上に、イーストマンコダ
ック社製のネガ型レジスト「マイクロレジスト747」を
膜厚が5μmとなるように、塗布した。レジストを塗布
したアルミニウム板をプリベークし、配線板のパターン
を通して、高圧水銀ランプで露光し、専用の現像液およ
びリンス液を用いて現像し、ポストベークしてアルミニ
ウム薄板の片面にレジストパターンを形成した。
Example 1 A negative resist "Microresist 747" manufactured by Eastman Kodak Co. was coated on an aluminum thin plate having a thickness of 80 μm so that the film thickness was 5 μm. The resist-coated aluminum plate was pre-baked, exposed through a high-pressure mercury lamp through the wiring board pattern, developed using a dedicated developer and rinse solution, and post-baked to form a resist pattern on one side of the aluminum thin plate. .

次いで、レジストパターンの形成されたアルミニウム薄
板を陰極として、ピロリン酸銅めっき浴を使用し、電解
銅めっきを行った。得られた導体パターンは導体幅が20
0μm、導体間隔が250μm、導体厚が40μmのものであ
った。
Next, electrolytic copper plating was performed using a copper pyrophosphate plating bath with the aluminum thin plate having the resist pattern formed as a cathode. The conductor pattern obtained has a conductor width of 20.
The thickness was 0 μm, the conductor interval was 250 μm, and the conductor thickness was 40 μm.

その後、ステンレス製メタルマスクを用い、宇部興産社
製のポリイミド樹脂「Uワニス」を端子部およびランド
部を除き、例えばスクリーン印刷によってパターンコー
ティングし、乾燥,硬化させ20μm厚の絶縁層を得た。
次いで、10重量パーセントの塩酸によりアルミニウム薄
板をエッチング除去した。この時、端子部に残されたフ
ォトレジストは機械的強度が弱く、また絶縁層に支持さ
れていないので、絶縁層の端部(第1図(a)中の12A
部)で切断される。従って端子部にはフォトレジストは
残らない。その後、スクリーン印刷によって、太陽イン
キ製造株式会社製「FOC-800G」を、裏面にも、端子部と
ランド部を除きパターンコーティングを行い、UV硬化さ
せ20μm厚の絶縁層とし、端子およびランド付きフレキ
シブル配線基板を得た。その後、端子部およびランド部
フラックス処理を行い、280℃のはんだ槽に約5秒間デ
ィップさせて、はんだコーティングを行ったが、樹脂層
に劣化は認められなかった。
Then, using a stainless metal mask, polyimide resin "U varnish" manufactured by Ube Industries, Ltd. except for the terminals and lands was pattern-coated by, for example, screen printing, and dried and cured to obtain an insulating layer having a thickness of 20 μm.
The aluminum sheet was then etched away with 10 weight percent hydrochloric acid. At this time, since the photoresist left on the terminal portion has weak mechanical strength and is not supported by the insulating layer, the end portion of the insulating layer (12A in FIG. 1A) is
Part). Therefore, no photoresist remains on the terminals. After that, by screen printing, "FOC-800G" manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. is also pattern-coated on the back side except the terminals and lands, and UV cured to form an insulating layer with a thickness of 20 μm, and flexible with terminals and lands. A wiring board was obtained. After that, the terminal portion and the land portion were subjected to flux treatment, and were dipped in a solder bath at 280 ° C. for about 5 seconds for solder coating, but no deterioration was observed in the resin layer.

実施例2 実施例1と同様、アルミニウム薄板上にレジストパター
ン形成後、銅めっきを行い、導体幅300μm,導体間隔350
μm,導体厚35μmの導体パターンを得た。
Example 2 As in Example 1, after forming a resist pattern on an aluminum thin plate, copper plating was performed to obtain a conductor width of 300 μm and a conductor interval of 350.
A conductor pattern having a thickness of 35 μm and a conductor thickness of 35 μm was obtained.

その後、ジアミノ−ジフェニルエーテルとトリメット酸
クロライドより合成した溶媒可溶性ポリアミドイミド樹
脂をステンレス製メタルマスクを用い、端子部およびラ
ンド部を除きスクリーン印刷によってパターンコーティ
ングし、乾燥,熱処理して30μm厚の絶縁層を得た。次
いで10重畳パーセントの塩酸によりアルミニウム薄板を
エッチング除去し、ナガセ化成工業社製のレジスト剥離
液「N-500」を用いてフォトレジストを剥離した。その
後、太陽インキ製造株式会社製のソルダーレジスト「PS
R-4000」をブレードコーターによって全面塗布し、プリ
ベーク後、パターンマスクを通して高圧水銀ランプで露
光し、専用の現像液を用いて現像し、次いでポストベー
クして、厚さ20μmの絶縁層を形成し、端子およびラン
ドを有するフレキシブル配線基板を得た。その後、端子
部およびランド部にフラックス処理を行い、260℃のは
んだ槽に約10秒間ディップさせてはんだコーティングを
行ったが、樹脂層に劣化は認められなかった。接着力お
よび寸法精度も優れたものであった。
Then, a solvent-soluble polyamide-imide resin synthesized from diamino-diphenyl ether and trimetic acid chloride is screen-printed except for terminals and lands using a stainless metal mask, and dried and heat-treated to form a 30 μm thick insulating layer. Obtained. Then, the aluminum thin plate was removed by etching with 10% by weight of hydrochloric acid, and the photoresist was stripped using a resist stripping solution "N-500" manufactured by Nagase Chemicals. After that, Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd.'s solder resist "PS
R-4000 "is applied over the entire surface by a blade coater, pre-baked, exposed with a high-pressure mercury lamp through a pattern mask, developed with a special developer, and then post-baked to form an insulating layer with a thickness of 20 μm. A flexible wiring board having terminals and lands was obtained. Then, the terminal portion and the land portion were subjected to flux treatment, and the solder coating was performed by dipping in a solder bath at 260 ° C. for about 10 seconds, but no deterioration was observed in the resin layer. The adhesive strength and dimensional accuracy were also excellent.

導体金属としては電気めっきが可能な金属であればいか
なる金属を用いてもよいが、導電性、経済性の点から銅
が好ましい。
As the conductor metal, any metal can be used as long as it is a metal that can be electroplated, but copper is preferable from the viewpoint of conductivity and economy.

金属薄板の除去は本実施例のようにエッチングによるの
でなく、剥離(ピーリングオフ)によって行うこともで
きる。しかし、導体パターンを乱さないためには、エッ
チングが好ましく、またエッチングによる場合は導体金
属と異るエッチング特性をもつものが良い。本実施例の
ように導体金属として銅を用いる場合には、アルミニウ
ム,錫,亜鉛などを使用することが望ましい。
The removal of the thin metal plate can be performed by peeling (peeling off) instead of etching as in the present embodiment. However, in order not to disturb the conductor pattern, etching is preferable, and in the case of etching, one having an etching characteristic different from that of the conductor metal is preferable. When copper is used as the conductor metal as in this embodiment, it is desirable to use aluminum, tin, zinc or the like.

導体層のパターンめっきに使用したフォトレジストを、
めっき終了後の適当な時期、例えばめっき終了後または
金属薄板の除去後に剥離することも好ましいことであ
る。
The photoresist used for the conductor layer pattern plating is
It is also preferable to peel off at an appropriate time after the plating is finished, for example, after the plating is finished or after the metal thin plate is removed.

本発明で使用されるポリイミド系樹脂は、パターンコー
ティングされるため、溶媒可溶性のものである。フィル
ムを金属箔に接着する場合と異なり、液体状のものをコ
ーティングするため、金属と絶縁層間に気泡を残す事が
無く、接着性を向上させる事ができ、また、外力を加え
る事がないため製品の寸法精度を高める事ができる。
Since the polyimide resin used in the present invention is pattern-coated, it is solvent-soluble. Unlike the case of adhering the film to the metal foil, since it is coated with a liquid type, there is no bubble left between the metal and the insulating layer, the adhesiveness can be improved, and no external force is applied. The dimensional accuracy of the product can be improved.

ポリイミド系樹脂として、ポリアミド酸,ポリイミド樹
脂,ポリアミドイミド樹脂,ポリエステル変性イミド樹
脂,シリコーンイミド樹脂等があり、溶媒可溶性のイミ
ド基含有ポリマー、特に溶媒可溶性のポリアミドイミド
樹脂が好ましく、ピンホール,気泡の発生がなく、接着
性および寸法精度の優れたものが得られる。
Polyimide-based resins include polyamic acid, polyimide resin, polyamide-imide resin, polyester-modified imide resin, silicone-imide resin, etc., and solvent-soluble imide group-containing polymers, particularly solvent-soluble polyamide-imide resin, are preferable, It does not occur, and it has excellent adhesiveness and dimensional accuracy.

本発明のさらに他の実施例を以下に示す。Still another embodiment of the present invention will be shown below.

実施例3 厚さ35μmの銅箔上に、ステンレス製メタルマスクを用
いて、宇部興産社製のポリイミド樹脂「Uワニス」を端
子部を除き、例えば、スクリーン印刷によってパターン
コーティングし、ついで乾燥,硬化させて20μm厚の絶
縁層を得た。
Example 3 On a copper foil having a thickness of 35 μm, a polyimide resin “U varnish” manufactured by Ube Industries, Ltd. was removed from the terminals using a metal mask made of stainless steel, for example, pattern coating was performed by screen printing, followed by drying and curing. Then, an insulating layer having a thickness of 20 μm was obtained.

次いで、イーストマンコダック社製のネガ型レジスト
「マイクロレジスト747」を塗布した。レジストを塗布
した銅箔をプリベークし、配線基板のパターンを通し
て、高圧水銀ランプで露光し、専用の現像液およびリン
ス液を用いて現像し、ポストベークしてレジストパター
ンを形成した。
Next, a negative resist "Microresist 747" manufactured by Eastman Kodak Company was applied. The resist-coated copper foil was pre-baked, exposed through a high-pressure mercury lamp through the pattern of the wiring board, developed using a dedicated developer and rinse solution, and post-baked to form a resist pattern.

その後、塩化第二鉄溶液を用いて銅のエッチングを行
い、導体幅200μmで導体間隔250μmの導体パターンを
得た。
Then, copper was etched using a ferric chloride solution to obtain a conductor pattern having a conductor width of 200 μm and a conductor interval of 250 μm.

さらに、ナガセ化成工業社製のレジスト剥離液「N-50
0」を用いてフォトレジストを剥離した。
Furthermore, the resist stripper "N-50" manufactured by Nagase Kasei Co., Ltd.
The photoresist was stripped using "0".

その後、スクリーン印刷によって、太陽インキ製造株式
会社製の「FOC-800G」を、裏面にも、端子部およびラン
ド部を除き、パターンコーティグを施し、ついでUV硬化
させて20μm厚の絶縁層を形成して、端子およびランド
を有するフレキシブル配線基板を得た。その後、端子部
およびランド部にフラックス処理を行い、280℃のはん
だ槽に約5秒間ディップさせて、はんだコーティングを
行ったが、樹脂層に劣化は認められなかった。
After that, by screen printing, "FOC-800G" manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. was also pattern-coated on the back side, except for the terminals and lands, and then UV-cured to form a 20 μm thick insulating layer. Thus, a flexible wiring board having terminals and lands was obtained. Then, the terminal portion and the land portion were subjected to a flux treatment and dipped in a solder bath at 280 ° C. for about 5 seconds for solder coating, but no deterioration was observed in the resin layer.

実施例4 厚さ50μmの銅箔上に、ジアミノージフェニルエーテル
とトリメリット酸より合成したポリアミドイミド樹脂、
ステンレス製メタルマスクを用いて、端子部を除き、パ
ターンコーティングし、ついで、乾燥,熱処理して、30
μm厚の絶縁層を得た。
Example 4 Polyamideimide resin synthesized from diamino-diphenyl ether and trimellitic acid on a copper foil having a thickness of 50 μm,
Using a stainless steel metal mask, remove the terminals, pattern-coat, then dry and heat-treat
An insulating layer having a thickness of μm was obtained.

次いで、イーストマンコダック社製のネガ型レジスト
「マイクロレジスト747」を銅箔のうち絶縁層の形成さ
れていない表面に塗布してからプリベークし、配線基板
のパターンを通して、高圧水銀ランプで露光し、専用の
現像液およびリンス液を用いて現像し、ポストベークし
てレジストパターンを、銅箔のうち前述の絶縁層とは反
対側の表面にのみ形成した。次いで、絶縁層側の端子部
には、ポリプロピレン接着テープを貼り付けた後に、塩
化第二鉄溶液を用いて銅のエッチングを行い、導体幅30
0μmで導体間隔350μmの導体パターンを得た。
Then, a negative resist "Microresist 747" manufactured by Eastman Kodak Co., Ltd. is applied to the surface of the copper foil on which the insulating layer is not formed, and then prebaked, through the pattern of the wiring board, and exposed by a high-pressure mercury lamp, The resist pattern was developed using a dedicated developer and rinse solution, and post-baked to form a resist pattern only on the surface of the copper foil opposite to the above-mentioned insulating layer. Next, after the polypropylene adhesive tape was attached to the terminal portion on the insulating layer side, copper was etched using a ferric chloride solution to give a conductor width of 30
A conductor pattern having a conductor interval of 350 μm at 0 μm was obtained.

更に、ナガセ化成工業社製のレジスト剥離液「N-500」
を用いてフォトレジストを剥離し、次いでポリプロピレ
ンテープを剥離した。
Furthermore, a resist stripper "N-500" manufactured by Nagase Kasei Co., Ltd.
Was used to peel off the photoresist, and then the polypropylene tape was peeled off.

その後、太陽インキ製造株式会社製のソルダーレジスト
「PSR-4000」をブレードコーターによって全面塗布し、
プリベーク後、パターンマスクを通して高圧水銀ランプ
で露光し、専用の現像液を用いて現像し、端子およびラ
ンドを有するフレキシブル配線基板を得た。その後、端
子部およびランド部にフラックス処理を行い、260℃の
はんだ槽に約10秒間ディップさせて、はんだコーティン
グを行ったが、樹脂層に劣化は認められなかった。接着
力および寸法精度も優れたものであった。
After that, Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. solder resist "PSR-4000" is applied over the entire surface with a blade coater,
After pre-baking, it was exposed to a high-pressure mercury lamp through a pattern mask and developed using a dedicated developer to obtain a flexible wiring board having terminals and lands. Then, the terminal portion and the land portion were subjected to flux treatment and dipped in a solder bath at 260 ° C. for about 10 seconds to perform solder coating, but no deterioration was observed in the resin layer. The adhesive strength and dimensional accuracy were also excellent.

なお、本発明で使用されるエッチングレジスト部分33,3
3′および33″はレジスト下の銅のエッチングを防ぎ、
次工程で剥離可能のものであり、パターン化される導体
31側のレジスト部分33は、写真法あるいはスクリーン印
刷等により作製されるものであり、フォトレジストやレ
ジストインク等を用いることができる。また、特に微細
なパターン化の必要のない場合には、レジスト層33′の
代わりに、テープ,アラビアゴム,ゼラチン,ロウ等を
使用してもよい。さらにまた、ハンダもエッチングレジ
ストとして使用可能である。
Incidentally, the etching resist portion 33,3 used in the present invention
3'and 33 "prevent copper etching under the resist,
Conductor that can be peeled off in the next step and is patterned
The resist portion 33 on the 31 side is produced by a photographic method, screen printing or the like, and a photoresist, a resist ink or the like can be used. If fine patterning is not particularly required, tape, gum arabic, gelatin, wax or the like may be used instead of the resist layer 33 '. Furthermore, solder can also be used as an etching resist.

第9図および第10図はそれぞれ端子部の構造の異なる他
の実施例を示す。
9 and 10 show another embodiment in which the structure of the terminal portion is different.

端子部が一面のみ露出され、他面は絶縁されていても差
支えない場合には、絶縁層12,12′のパターンコーティ
ングに際し、例えば第9図の例のように、第1の絶縁層
12は端子部11Aの先端まで一様に設け、第2の絶縁層1
2′は端子部1Aに設けない。
When the terminal portion is exposed only on one side and the other side may be insulated, it does not matter if the insulating layers 12 and 12 'are pattern-coated, for example, as shown in FIG.
12 is evenly provided up to the tip of the terminal portion 11A, and the second insulating layer 1
2'is not provided in the terminal portion 1A.

あるいは、第10図に示すように、第1の絶縁層12の端部
を端子部11Aの上にのみ設けることも可能である。この
ようにすれば、端子部11Aの補強材として絶縁層12を用
いることもできる。
Alternatively, as shown in FIG. 10, the end portion of the first insulating layer 12 can be provided only on the terminal portion 11A. In this way, the insulating layer 12 can be used as a reinforcing material for the terminal portion 11A.

第11図、第12図および第13図は、ランド部の構造の異な
る本発明フレキシブル配線板の3実施例を示す。
FIG. 11, FIG. 12 and FIG. 13 show three embodiments of the flexible wiring board of the present invention having different structures of lands.

第11図の実施例では、ランド部11Bの両面に絶縁層12お
よび12′を設けない。
In the embodiment of FIG. 11, the insulating layers 12 and 12 'are not provided on both surfaces of the land portion 11B.

第12図の実施例では、絶縁層12の非被覆部分、すなわち
開口部分をランド部11Bより大きくする。
In the embodiment of FIG. 12, the uncovered portion of the insulating layer 12, that is, the opening portion is made larger than the land portion 11B.

第13図の実施例では、ランド部11Bに貫通穴20をあけ
て、この穴20にピン等を挿入可能とする。
In the embodiment of FIG. 13, a through hole 20 is formed in the land portion 11B, and a pin or the like can be inserted into this hole 20.

これまでの説明は、主として端子付きのフレキシブル配
線基板について述べたが、端子部は必ずしもあらかじめ
設けておく必要はない。端子部の露出していないフレキ
シブル配線基板から、必要の寸法を切り出し、ヒドラジ
ン等の腐食液によってポリイミド樹脂を除去して端子部
を露呈することもできる。
In the above description, the flexible wiring board with terminals is mainly described, but the terminal portion does not necessarily have to be provided in advance. It is also possible to expose the terminal portion by cutting out a required dimension from the flexible wiring board where the terminal portion is not exposed and removing the polyimide resin with a corrosive liquid such as hydrazine.

[発明の効果] 以上述べたように、本発明によれば、導体層と絶縁層の
間に接着剤層がないので、接着剤に起因する熱による劣
化がなく、ポリイミド系樹脂の耐熱性の特徴が活かさ
れ、耐熱性にすぐれ、かつ寸法精度の高い高品質のフレ
キシブル配線基板を得ることができ、しかもかかる配線
基板を簡単な製造工程で容易に製造することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, since there is no adhesive layer between the conductor layer and the insulating layer, there is no deterioration due to heat due to the adhesive, and the heat resistance of the polyimide resin is improved. It is possible to obtain a high-quality flexible wiring board having excellent heat resistance and high dimensional accuracy by utilizing the characteristics, and moreover, it is possible to easily manufacture such a wiring board by a simple manufacturing process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図(a)および(b)は本発明のフレキシブル配線
基板の実施例を示す平面図、 第1図(c)および(d)は、それぞれ、第1図(a)
のX-XおよびY-Y線断面図、 第1図(e)は第1図(b)のZ-Z線断面図、 第2図は従来のフレキシブル配線基板の構造を示す断面
図、 第3図(a)〜(e),第4図(a)〜(e)および第
5図(a)〜(e)は本発明フレキシブル配線基板の製
造工程の一実施例を説明する断面図、 第6図(a)〜(e),第7図(a)〜(e)および第
8図(a)〜(e)は本発明フレキシブル配線基板の製
造工程の他の実施例を説明する断面図、 第9図および第10図は本発明フレキシブル配線基板の端
子部の他の2実施例を示す断面図、 第11図〜第13図は本発明フレキシブル配線基板のランド
部の他の3実施例を示す断面図である。 1……ベースフィルム、2,4……接着剤、3……導体、
5……カバーレイフィルム、11……導体板、11A……端
子部、11B……ランド部、12……ポリイミド系樹脂によ
る絶縁層、12′……ソルダーレジストによる絶縁層、13
……フォトレジスト層、21……金属薄板、22……レジス
トパターン、23……導体パターン、24,32……ポリイミ
ド系樹脂による絶縁層、24′,32′……ソルダーレジス
トによる絶縁層、25,25′……ランド、31……金属箔、3
3,33″……レジストパターン、33′……レジスト層。
1 (a) and 1 (b) are plan views showing an embodiment of a flexible wiring board of the present invention, and FIGS. 1 (c) and 1 (d) are respectively FIG. 1 (a).
XX and YY line sectional views, FIG. 1 (e) is a ZZ line sectional view of FIG. 1 (b), FIG. 2 is a sectional view showing a structure of a conventional flexible wiring board, and FIG. (E), FIGS. 4 (a) to (e) and FIGS. 5 (a) to (e) are cross-sectional views for explaining one embodiment of the manufacturing process of the flexible wiring board of the present invention, and FIG. 6 (a). ~ (E), Fig. 7 (a) ~ (e) and Fig. 8 (a) ~ (e) are sectional views, Fig. 9 and Fig. 9 for explaining another embodiment of the manufacturing process of the flexible wiring board of the present invention. FIG. 10 is a sectional view showing another two embodiments of the terminal portion of the flexible wiring board of the present invention, and FIGS. 11 to 13 are sectional views showing other three embodiments of the land portion of the flexible wiring board of the present invention. is there. 1 ... Base film, 2, 4 ... Adhesive, 3 ... Conductor,
5 ... Coverlay film, 11 ... Conductor plate, 11A ... Terminal part, 11B ... Land part, 12 ... Insulation layer made of polyimide resin, 12 '... Insulation layer made of solder resist, 13
...... Photoresist layer, 21 …… Metal thin plate, 22 …… Resist pattern, 23 …… Conductor pattern, 24,32 …… Insulation layer made of polyimide resin, 24 ′, 32 ′ …… Insulation layer made of solder resist, 25 , 25 '…… Land, 31 …… Metal foil, 3
3,33 ″ …… resist pattern, 33 ′ …… resist layer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近森 俊二 高知県吾川郡春野町弘岡上648番地 ニツ ポン▲高▼度紙工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−164597(JP,A) 実開 昭57−104563(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shunji Chikamori 648, Hirookaue, Haruno-cho, Agawa-gun, Kochi Prefecture Nippon ▲ Kodoshi Paper Industry Co., Ltd. (56) Reference JP-A-57164597 (JP, A) ) Actually open 57-104563 (JP, U)

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】金属導体板の一方の面の所定部分をポリイ
ミド系樹脂によって直接に被覆し、前記金属導体板の他
方の面の所定部分をソルダーレジストによって直接に被
覆したことを特徴とするフレキシブル配線基板。
1. A flexible structure characterized in that a predetermined portion of one surface of a metal conductor plate is directly covered with a polyimide resin and a predetermined portion of the other surface of the metal conductor plate is directly covered with a solder resist. Wiring board.
【請求項2】金属導体板の少なくとも一端部に金属導体
の端子部を有し、該端子部の少なくとも一面は絶縁層に
よって被覆されておらず、前記金属導体板のうちの、前
記端子部以外の一方の面の所定部分をポリイミド系樹脂
によって直接に被覆し、前記金属導体板の他方の面の所
定部分をソルダーレジストによって直接に被覆したこと
を特徴とするフレキシブル配線基板。
2. A metal conductor plate having a terminal portion of a metal conductor on at least one end portion, at least one surface of the terminal portion not being covered with an insulating layer, and the metal conductor plate other than the terminal portion. A flexible wiring board, characterized in that a predetermined portion of one surface is directly covered with a polyimide resin, and a predetermined portion of the other surface of the metal conductor plate is directly covered with a solder resist.
【請求項3】金属薄板上にフォトレジストパターンを形
成する工程と、 前記金属薄板上に前記フォトレジストパターンを用いて
導体パターンを形成する工程と、 前記金属薄板の前記導体パターンを有する側の表面の所
定部分にのみ溶媒可溶性のポリイミド系樹脂をコーティ
ングすることにより第1の絶縁層を形成する工程と、 前記金属薄板を除去する工程と、 金属薄板が除去された面の所定部分にのみソルダーレジ
ストをコーティングすることにより第2の絶縁層を形成
する工程と を含むことを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方
法。
3. A step of forming a photoresist pattern on a metal thin plate, a step of forming a conductor pattern on the metal thin plate using the photoresist pattern, and a surface of the metal thin plate on the side having the conductor pattern. Forming a first insulating layer by coating a solvent-soluble polyimide resin only on a predetermined part of the above, a step of removing the metal thin plate, and a solder resist only on a predetermined part of the surface from which the metal thin plate is removed. And a step of forming a second insulating layer by coating the same.
【請求項4】金属薄板上にフォトレジストパターンを形
成する工程と、 前記金属薄板上に前記フォトレジストパターンを用いて
導体パターンを形成する工程と、 前記金属薄板の前記導体パターンを有する側の表面の所
定部分にのみ溶媒可溶性のポリイミド系樹脂をコーティ
ングすることにより第1の絶縁層を形成する工程と、 前記金属薄板を除去する工程と、 金属薄板が除去された面にソルダーレジストをコーティ
ングする工程と、 そのコーティングされたソルダーレジストを写真法によ
りパターニングして第2の絶縁層を形成する工程と を含むことを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方
法。
4. A step of forming a photoresist pattern on a metal thin plate, a step of forming a conductor pattern on the metal thin plate using the photoresist pattern, and a surface of the metal thin plate on the side having the conductor pattern. Forming a first insulating layer by coating a solvent-soluble polyimide resin only on a predetermined portion of the above step, removing the thin metal plate, and coating a solder resist on the surface from which the thin metal plate has been removed. And a step of forming a second insulating layer by patterning the coated solder resist by a photographic method, the method for producing a flexible wiring board.
【請求項5】金属箔の一方の面の所定部分に、溶媒可溶
性のポリイミド系樹脂をコーティングすることにより第
1の絶縁層を形成する工程と、 前記金属箔のうち、前記第1の絶縁層を被覆していない
部分にレジストパターンを形成する工程と、 前記金属箔をパターンエッチングする工程と、 前記レジストパターンを除去する工程と、 前記金属箔のうち前記第1の絶縁層の形成されている面
とは反対側の面の所定部分にソルダーレジストをコーテ
ィングすることにより第2の絶縁層を形成する工程と を含むことを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方
法。
5. A step of forming a first insulating layer by coating a predetermined portion of one surface of the metal foil with a solvent-soluble polyimide resin, and the first insulating layer of the metal foil. A step of forming a resist pattern on a portion that is not covered, a step of pattern etching the metal foil, a step of removing the resist pattern, and a step of forming the first insulating layer of the metal foil. A step of forming a second insulating layer by coating a predetermined portion of the surface opposite to the surface with a solder resist, the method for manufacturing a flexible wiring board.
【請求項6】金属箔の一方の面の所定部分に、溶媒可溶
性のポリイミド系樹脂をコーティングすることにより第
1の絶縁層を形成する工程と、 前記金属箔のうち、前記第1の絶縁層を被覆していない
部分にレジストパターンを形成する工程と、 前記金属箔をパターンエッチングする工程と、 前記レジストパターンを除去する工程と、 前記金属箔のうち前記第1の絶縁層の形成されている面
とは反対側の面にソルダーレジストをコーティングする
工程と、 そのコーティングされたソルダーレジストを写真法によ
りパターニングして第2の絶縁層を形成する工程と を含むことを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方
法。
6. A step of forming a first insulating layer by coating a solvent-soluble polyimide resin on a predetermined portion of one surface of the metal foil, and the first insulating layer of the metal foil. A step of forming a resist pattern on a portion that is not covered, a step of pattern etching the metal foil, a step of removing the resist pattern, and a step of forming the first insulating layer of the metal foil. A step of coating a solder resist on a surface opposite to the surface, and a step of patterning the coated solder resist by a photographic method to form a second insulating layer. Production method.
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