JPH0712087A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0712087A JPH0712087A JP15849193A JP15849193A JPH0712087A JP H0712087 A JPH0712087 A JP H0712087A JP 15849193 A JP15849193 A JP 15849193A JP 15849193 A JP15849193 A JP 15849193A JP H0712087 A JPH0712087 A JP H0712087A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- inert gas
- casing
- cooling
- cooling water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】冷却水によりケーシング内に錆が発生し、冷却
水が流れずポンプが停止するのを防ぐ。また、ポンプを
コンパクトにし、用力の数を減らす。 【構成】ポンプの冷却をする冷却媒体を不活性ガス９で
行い、冷却することにより熱を吸収して温められた不活
性ガス１０をローター隙１６へ吹き出すための不活性ガ
ス吹き出し口１７をケーシング１に設けている。
水が流れずポンプが停止するのを防ぐ。また、ポンプを
コンパクトにし、用力の数を減らす。 【構成】ポンプの冷却をする冷却媒体を不活性ガス９で
行い、冷却することにより熱を吸収して温められた不活
性ガス１０をローター隙１６へ吹き出すための不活性ガ
ス吹き出し口１７をケーシング１に設けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空ポンプに関し、特
にドライポンプに関する。
にドライポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のドライポンプは、図２に示すよう
に、内部が空間になっているケーシング１と、ケーシン
グ内部にケーシング１と隙を有したローター２とがあ
る。ローター２は、モーター４により回転しており、そ
の軸３を受けるために軸受け５がある。また、軸受け５
とケーシング１はローター２の回転により高温になるた
め、ケーシング１に軸受け冷却部６とケーシング冷却部
７を設け、冷却水２２が流れ、冷却できるようになって
いる。さらに、ポンプ内部の反応ガス分圧を下げるた
め、ポンプ内部に不活性ガス９を導入できる配管２３が
あり、液化ガスを使用する場合は、常温の不活性ガス９
の導入により、ポンプ内部が冷え、液化ガスが再液化す
るのを防ぐため、不活性ガス９の予備加熱用ヒーター１
９を有している。
に、内部が空間になっているケーシング１と、ケーシン
グ内部にケーシング１と隙を有したローター２とがあ
る。ローター２は、モーター４により回転しており、そ
の軸３を受けるために軸受け５がある。また、軸受け５
とケーシング１はローター２の回転により高温になるた
め、ケーシング１に軸受け冷却部６とケーシング冷却部
７を設け、冷却水２２が流れ、冷却できるようになって
いる。さらに、ポンプ内部の反応ガス分圧を下げるた
め、ポンプ内部に不活性ガス９を導入できる配管２３が
あり、液化ガスを使用する場合は、常温の不活性ガス９
の導入により、ポンプ内部が冷え、液化ガスが再液化す
るのを防ぐため、不活性ガス９の予備加熱用ヒーター１
９を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のドライポン
プでは、ケーシングの複雑な形状を成形しやすいという
理由からケーシングの材質に鋳鉄を使用しているため、
冷却水を使用すると冷却水通路に錆が発生し、冷却水が
流れなくなりポンプが停止するという問題があった。ま
た、反応用ガスとして液化ガスを使用する場合、ドライ
ポンプ以外に、予備加熱用ヒーターの設置場所が必要と
なり、装置をコンパクトに設計するのが困難であった。
さらに、用力についても電気・冷却水・不活性ガスと３
種類が必要となり、装置が複雑になるという問題があっ
た。
プでは、ケーシングの複雑な形状を成形しやすいという
理由からケーシングの材質に鋳鉄を使用しているため、
冷却水を使用すると冷却水通路に錆が発生し、冷却水が
流れなくなりポンプが停止するという問題があった。ま
た、反応用ガスとして液化ガスを使用する場合、ドライ
ポンプ以外に、予備加熱用ヒーターの設置場所が必要と
なり、装置をコンパクトに設計するのが困難であった。
さらに、用力についても電気・冷却水・不活性ガスと３
種類が必要となり、装置が複雑になるという問題があっ
た。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のドライポンプ
は、ポンプを冷却する冷却媒体として不活性ガスを使用
し、ポンプを冷却することにより熱を吸収し、温められ
た不活性ガスをケーシングからローター部へ向けて吹き
出すための通路をケーシングに備えている。
は、ポンプを冷却する冷却媒体として不活性ガスを使用
し、ポンプを冷却することにより熱を吸収し、温められ
た不活性ガスをケーシングからローター部へ向けて吹き
出すための通路をケーシングに備えている。
【０００５】
【実施例】次に、本発見について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の実施例のドライポンプ図である。
このドライポンプは、ポンプの冷却を不活性ガス９で行
う。この不活性ガス９を冷却媒体導入口８より導入し、
ポンプ回転により高温となった軸受け５やケーシング１
を冷却する。また、軸受け５やケーシング１を冷却する
ことにより熱を吸収し温められた不活性ガス１０は、ロ
ーター部１６の生成物付着や液化ガスの再液化防止用ガ
スとして、不活性ガス吹き出し口１７から、ローター隙
１６へ吹き出される。さらに、ポンプが温められた不活
性ガス１０により、異常加熱するのを防ぐため、不活性
ガス排出口１２、流量調整バルブ１３を設け、一定量の
温められた不活性ガス１０を外部に放出し、熱を外に逃
がすようにする。この様に、このドライポンプは、ポン
プの冷却に不活性ガス９を使用するため、冷却系内で錆
が発生せず、冷却媒体が流れずポンプが停止することが
無くなる。また、ポンプを冷却することにより熱を吸収
した不活性ガス１０をローター部１６へ吹き出すので、
予備加熱用ヒーター１９が不要となり、液化ガスを使用
する場合も装置をコンパクトに設計できる。さらに、用
力についても冷却水２２と予備加熱用ヒーター電気２０
が不要となり、必要な用力は、ポンプ用電気１１と不活
性ガス９の２種類になる。
る。図１は、本発明の実施例のドライポンプ図である。
このドライポンプは、ポンプの冷却を不活性ガス９で行
う。この不活性ガス９を冷却媒体導入口８より導入し、
ポンプ回転により高温となった軸受け５やケーシング１
を冷却する。また、軸受け５やケーシング１を冷却する
ことにより熱を吸収し温められた不活性ガス１０は、ロ
ーター部１６の生成物付着や液化ガスの再液化防止用ガ
スとして、不活性ガス吹き出し口１７から、ローター隙
１６へ吹き出される。さらに、ポンプが温められた不活
性ガス１０により、異常加熱するのを防ぐため、不活性
ガス排出口１２、流量調整バルブ１３を設け、一定量の
温められた不活性ガス１０を外部に放出し、熱を外に逃
がすようにする。この様に、このドライポンプは、ポン
プの冷却に不活性ガス９を使用するため、冷却系内で錆
が発生せず、冷却媒体が流れずポンプが停止することが
無くなる。また、ポンプを冷却することにより熱を吸収
した不活性ガス１０をローター部１６へ吹き出すので、
予備加熱用ヒーター１９が不要となり、液化ガスを使用
する場合も装置をコンパクトに設計できる。さらに、用
力についても冷却水２２と予備加熱用ヒーター電気２０
が不要となり、必要な用力は、ポンプ用電気１１と不活
性ガス９の２種類になる。
【０００６】また、本実施例で説明したドライポンプ
は、円周方向に不活性ガス吹き出し口１７を設けたが、
軸方向を含め、どの位置に設けても同様の効果が得られ
ることを言うまでもない。
は、円周方向に不活性ガス吹き出し口１７を設けたが、
軸方向を含め、どの位置に設けても同様の効果が得られ
ることを言うまでもない。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように本発見は、ポンプの
冷却媒体を不活性ガスにしたので、軸受け冷却部やケー
シング冷却部での錆の発生が無いため冷却媒体が流れず
ポンプが停止するということが無くなり、製品不良を減
少させるという結果を有する。また、モーター部へのパ
ージ用不活性ガスの予備加熱をポンプ冷却により吸収し
た熱で行っているので、液化ガスを使用する場合も、予
備加熱用ヒーターが不要になり、装置をコンパクトに設
計できるという結果を有する。さらに、上記のようにし
たので、用力もこれまで電気・冷却水・窒素が必要であ
ったのに対し、電気と窒素だけでよいという結果を有す
る。
冷却媒体を不活性ガスにしたので、軸受け冷却部やケー
シング冷却部での錆の発生が無いため冷却媒体が流れず
ポンプが停止するということが無くなり、製品不良を減
少させるという結果を有する。また、モーター部へのパ
ージ用不活性ガスの予備加熱をポンプ冷却により吸収し
た熱で行っているので、液化ガスを使用する場合も、予
備加熱用ヒーターが不要になり、装置をコンパクトに設
計できるという結果を有する。さらに、上記のようにし
たので、用力もこれまで電気・冷却水・窒素が必要であ
ったのに対し、電気と窒素だけでよいという結果を有す
る。
【図１】本発明の実施例のドライポンプ図。
【図２】従来のドライポンプ図。
１ ケーシング ５ 軸受け ６ 軸受け冷却部 ７ ケーシング冷却部 ８ 冷却媒体導入口 ９ 不活性ガス １０ 温められた不活性ガス １１ ポンプ用電気 １２ 不活性ガス排出口 １３ 流量調整バルブ １６ ローター隙 １７ 不活性ガス吹き出し口 １９ 予備加熱用ヒーター
Claims (1)
- 【請求項１】 真空ポンプの冷却媒体として不活性ガス
を使用することと、ポンプを冷却し、ポンプの熱を吸収
することにより温められた不活性ガスをケーシングから
ローター部へ向けて吹き出すための通路のをケーシング
に設けたことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15849193A JPH0712087A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15849193A JPH0712087A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712087A true JPH0712087A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15672907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15849193A Withdrawn JPH0712087A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712087A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15849193A patent/JPH0712087A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |