JPH07120389A - Gas analyzer - Google Patents

Gas analyzer

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Publication number
JPH07120389A
JPH07120389A JP26763493A JP26763493A JPH07120389A JP H07120389 A JPH07120389 A JP H07120389A JP 26763493 A JP26763493 A JP 26763493A JP 26763493 A JP26763493 A JP 26763493A JP H07120389 A JPH07120389 A JP H07120389A
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JP
Japan
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gas
semipermeable membrane
sample
sample gas
purge
Prior art date
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Pending
Application number
JP26763493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akioki Nakamori
明興 中森
Akinori Kiyofuji
章典 清藤
Yoshizo Ishida
義三 石田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH07120389A publication Critical patent/JPH07120389A/en
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  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To eliminate measuring error and to prevent the fault of an analyzer by a method wherein a purge gas whose dehumidifying performance is high is introduced into a semipermeable-membrane drier. CONSTITUTION:A part of a sample gas which is introduced from a semipermeable-membrane drier 1, is introduced into a zero-gas purifier 7 for a gas for zero calibration. The gas is heated and dried by a gas heater for zero calibration. The gas is heated and dried by a heater provided in the zero- gas purifier 7, an error component around a sensor 10 for an analytical part 6 is removed, and it is then introduced into an outer tube 1b for the semipermeable-membrane drier 1. On the other hand, when the sample gas is passed through a semipermeable-membrane tube 1a, it is dehumidified by a dry gas which is introduced into the outer tube 1b. The dehumidified sample gas is guided to a measuring cell 9 situated in the analytical part 6, it is irradiated with infrared rays R here, their transmitted rays are detected by the sensor 10 situated in the analytical part 6, and the component of the sample gas is analyzed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、大気,煙道排ガス等の
成分分析に使用するガス分析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas analyzer used for analyzing components of the atmosphere, flue gas and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ガス分析装置における測定ガスの
除湿は、半透膜管内に測定ガスを流し、この半透膜の外
側に乾燥空気(以下、パージガスという)を流すことに
より行っている。
2. Description of the Related Art Conventionally, the measurement gas is dehumidified in a gas analyzer by flowing the measurement gas into a semipermeable membrane tube and flowing dry air (hereinafter referred to as purge gas) outside the semipermeable membrane.

【0003】図3に従来のガス分析装置の概略構成を示
す。図3において、1は半透膜ドライヤ、2は試料ガス
入口、3パージガス入口、4は試料ガス出口、5はパー
ジガス出口、6は分析部、a,b,c,d.e,f,g
はガス経路、Aはガス分岐点、Bガス合流点である。ま
た、図4は半透膜ドライヤを示すものであり、1aは半
透膜管、1bは外管である。
FIG. 3 shows a schematic configuration of a conventional gas analyzer. In FIG. 3, 1 is a semipermeable membrane dryer, 2 is a sample gas inlet, 3 is a purge gas inlet, 4 is a sample gas outlet, 5 is a purge gas outlet, 6 is an analyzer, and a, b, c, d. e, f, g
Is a gas path, A is a gas branch point, and B is a gas confluence point. Further, FIG. 4 shows a semipermeable membrane dryer, where 1a is a semipermeable membrane tube and 1b is an outer tube.

【0004】次に、図3の従来のガス分析装置の動作を
説明する。吸入装置(図示省略)により吸入された試料
ガスが、ガス経路aを経て半透膜ドライヤ1の試料ガス
入口2から導入される。試料ガスはこの半透膜ドライヤ
1を通過するとき、ガス経路fを経て導入されたパージ
ガスにより除湿されるが、この半透膜ドライヤ1は、図
4のように構成されていて、ポリイミド膜からなる半透
膜管1aに導入された試料ガスが半透膜管1aを通過す
るときに、パージガス入口3から導入され外管1bを流
れるパージガスにより、半透膜管1aを介して試料ガス
の除湿が行われる。そして、除湿された試料ガスは、試
料ガス出口4から導出され、ガス経路b,cを経て分析
部6へ導入され、この分析部6で赤外光を照射し、透過
光を検出して、試料ガスの成分分析を行う。
Next, the operation of the conventional gas analyzer shown in FIG. 3 will be described. The sample gas sucked by the suction device (not shown) is introduced from the sample gas inlet 2 of the semipermeable membrane dryer 1 via the gas path a. When the sample gas passes through the semipermeable membrane dryer 1, it is dehumidified by the purge gas introduced through the gas path f. The semipermeable membrane dryer 1 is configured as shown in FIG. When the sample gas introduced into the semipermeable membrane tube 1a is passed through the semipermeable membrane tube 1a, the purge gas introduced from the purge gas inlet 3 and flowing in the outer tube 1b dehumidifies the sample gas through the semipermeable membrane tube 1a. Is done. Then, the dehumidified sample gas is led out from the sample gas outlet 4, introduced into the analysis unit 6 through the gas paths b and c, the analysis unit 6 irradiates infrared light, detects transmitted light, Analyze the components of the sample gas.

【0005】一方、半透膜ドライヤ1へ導入されるパー
ジガスは、半透膜ドライヤ1の試料ガス出口4から導出
された試料ガスの一部を使用する。すなわち、分岐点A
で分流された試料ガスの一部が、ガス経路fを介して半
透膜ドライヤ1へ導入される。このパージガスは、上記
した半透膜ドライヤ1の半透膜管1aを通過中の試料ガ
スの除湿を行い、パージガス出口5から導出され、ガス
経路gを経て合流点Bへ導かれる。
On the other hand, as the purge gas introduced into the semipermeable membrane dryer 1, a part of the sample gas derived from the sample gas outlet 4 of the semipermeable membrane dryer 1 is used. That is, branch point A
A part of the sample gas divided in (1) is introduced into the semipermeable membrane dryer 1 via the gas path f. This purge gas dehumidifies the sample gas passing through the semipermeable membrane tube 1a of the semipermeable membrane dryer 1 described above, is led out from the purge gas outlet 5, and is led to the confluence B via the gas path g.

【0006】また、図5に他の従来のガス分析装置を示
す。図5において、1は半透膜ドライヤ、2は試料ガス
入口、3パージガス入口、4は試料ガス出口、5はパー
ジガス出口、6は分析部、a,b,c,dはガス経路で
ある。図5のガス分析装置の場合、吸入装置(図示省
略)により吸入された試料ガスが、ガス経路aを経て半
透膜ドライヤ1の試料ガス入口2から導入され、半透膜
ドライヤ1を通過するときにパージガスにより除湿され
るが、このバージガスは分析部6での測定後の試料ガス
を利用しており、ガス経路cを経てパージガス入口3か
ら導入され、除湿後パージガス出口5から導出される。
FIG. 5 shows another conventional gas analyzer. In FIG. 5, 1 is a semipermeable membrane dryer, 2 is a sample gas inlet, 3 is a purge gas inlet, 4 is a sample gas outlet, 5 is a purge gas outlet, 6 is an analyzer, and a, b, c and d are gas paths. In the case of the gas analyzer of FIG. 5, the sample gas sucked by the suction device (not shown) is introduced from the sample gas inlet 2 of the semipermeable membrane dryer 1 via the gas path a and passes through the semipermeable membrane dryer 1. Although it is sometimes dehumidified by the purge gas, this barge gas uses the sample gas after measurement in the analysis unit 6, is introduced from the purge gas inlet 3 via the gas path c, and is discharged from the purge gas outlet 5 after dehumidification.

【0007】さらに、他の例として、ガス分析装置の外
部に半透膜ドライヤ1への配管を備えたパージガス供給
装置を設けることで、試料ガスの除湿を行うものも知ら
れている。
Further, as another example, it is known that a sample gas is dehumidified by providing a purge gas supply device provided with a pipe to the semipermeable membrane dryer 1 outside the gas analyzer.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】従来のガス分析装置は
上記のように構成されているが、パージガスに半透膜ド
ライヤから排出される試料ガスの一部または測定後の排
出された試料ガスを使用するので、パージガスが充分に
乾燥していないことがあったり、パージガスの流量が足
りなかったりして除湿性能が低下するため、水分を多く
含んだ試料ガスが分析部に導入され、測定誤差を生じる
一方、分析装置の故障の原因ともなった。
The conventional gas analyzer is constructed as described above, but a part of the sample gas discharged from the semipermeable membrane dryer or the sample gas discharged after measurement is used as the purge gas. Since the purge gas may not be sufficiently dried or the flow rate of the purge gas is insufficient, the dehumidification performance will be reduced, so a sample gas containing a large amount of water will be introduced into the analysis section, and measurement errors will occur. While occurring, it also caused a failure of the analyzer.

【0009】また、外部に半透膜ドライヤへの配管を備
えたパージガス供給装置を設けた構成では、除湿性能の
充分なパージガスを取り込むことができるが、装置の大
型化やコストアップの原因となった。
Further, in the structure in which the purge gas supply device provided with the pipe to the semipermeable membrane dryer is provided outside, it is possible to take in the purge gas with sufficient dehumidification performance, but this causes the size increase and cost increase of the device. It was

【0010】本発明は、上記の問題を解決するために創
案されたものであり、装置を大型化することなく、充分
乾燥したパージガスを流すことができ、測定誤差の発生
および分析装置の故障を防止することができるガス分析
装置を提供することを目的とする。
The present invention was devised to solve the above-mentioned problems, and a sufficiently dry purge gas can be flowed without increasing the size of the device, which may cause a measurement error and a failure of the analyzer. It is an object of the present invention to provide a gas analyzer that can prevent the above.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、半透膜管の外
側の除湿ガスによりこの半透膜管内を通過する試料ガス
を除湿する手段と、前記除湿手段により除湿された試料
ガスに赤外光を照射する手段と、前記試料ガスを透過し
た赤外光を検出する手段とを備えたガス分析装置におい
て、試料ガスの一部が導入され前記検出手段の外側に乾
燥ガスを導入するガス精製手段と、前記検出手段外側か
ら排出された乾燥ガスを前記除湿手段に導入する手段と
を備え、この乾燥ガスで半透膜管内を通過する試料ガス
の除湿を行うことを特徴とする。
According to the present invention, a means for dehumidifying a sample gas passing through the semipermeable membrane tube by a dehumidifying gas on the outside of the semipermeable membrane tube, and a red gas for the sample gas dehumidified by the dehumidifying means are provided. In a gas analyzer provided with a means for irradiating external light and a means for detecting infrared light transmitted through the sample gas, a gas in which a part of the sample gas is introduced and a dry gas is introduced outside the detecting means. It is characterized by comprising a purifying means and a means for introducing the dry gas discharged from the outside of the detecting means into the dehumidifying means, and dehumidifying the sample gas passing through the semipermeable membrane tube with this dry gas.

【0012】[0012]

【作用】半透膜管へ導入された試料ガスの一部が、ゼロ
校正用ガスの精製手段へ導入される。このガスは前記ガ
ス精製手段に備えられた加熱手段で加熱し乾燥されて、
赤外光検出手段周辺の誤差成分を除去(測定ガス対象の
ガス成分の除去および除湿)した後、半透膜外部へ導入
される。
A part of the sample gas introduced into the semipermeable membrane tube is introduced into the zero calibration gas purification means. This gas is heated and dried by the heating means provided in the gas purification means,
After removing the error component around the infrared light detecting means (removing and dehumidifying the gas component of the measurement gas target), it is introduced to the outside of the semipermeable membrane.

【0013】一方、試料ガスは半透膜管を通過するとき
に半透膜外部に導入された前記乾燥ガスにより除湿され
る。そして、除湿された試料ガスに赤外光を照射し、こ
の透過光を前記検出手段で検出して、試料ガスの成分分
析を行う。
On the other hand, the sample gas is dehumidified by the dry gas introduced outside the semipermeable membrane when passing through the semipermeable membrane tube. Then, the dehumidified sample gas is irradiated with infrared light, and the transmitted light is detected by the detecting means to analyze the components of the sample gas.

【0014】[0014]

【実施例】図1に本発明のガス分析装置の概略構成を示
す。図1において、1は半透膜ドライヤ、2は試料ガス
入口、3パージガス入口、4は試料ガス出口、5はパー
ジガス出口、6は分析部、7はゼロガス精製器、8は赤
外線ヒータ、9は測定セル、10はセンサ、11,12
はバルブ、a,b,c,d,e,f,g,h,i,j,
kはガス経路、Aはガス分岐点、B,Cはガス合流点で
ある。また、図2は分析部の概略構成を示すものであ
り、8は赤外線ヒータ、9は測定セル、9aは測定セル
のガス入口、9bはガス出口、10はセンサ、10aは
センサのケース、10bはケースに設けられた窓、10
cはケースのガス入口、10dはガス出口、d,e,
h,iはガス経路である。
EXAMPLE FIG. 1 shows a schematic configuration of a gas analyzer according to the present invention. In FIG. 1, 1 is a semipermeable membrane dryer, 2 is a sample gas inlet, 3 is a purge gas inlet, 4 is a sample gas outlet, 5 is a purge gas outlet, 6 is an analysis unit, 7 is a zero gas purifier, 8 is an infrared heater, and 9 is Measuring cell, 10 is sensor, 11 and 12
Is a valve, a, b, c, d, e, f, g, h, i, j,
k is a gas path, A is a gas branch point, and B and C are gas confluence points. Further, FIG. 2 shows a schematic configuration of the analysis unit, 8 is an infrared heater, 9 is a measurement cell, 9a is a gas inlet of the measurement cell, 9b is a gas outlet, 10 is a sensor, 10a is a case of the sensor, 10b. Is a window provided on the case, 10
c is the gas inlet of the case, 10d is the gas outlet, d, e,
h and i are gas paths.

【0015】次に、図1のガス分析装置の動作を説明す
る。試料ガスの分析時においては、バルブ10を開、バ
ルブ11を閉の状態とする。吸入装置(図示省略)によ
り吸入された試料ガスは、ガス経路aを経て半透膜ドラ
イヤ1の試料ガス入口2から導入される。この試料ガス
は、半透膜ドライヤ1を通過するときに、ガス経路jを
経てパージガス入口3から導入された乾燥したパージガ
スにより除湿されるが、この半透膜ドライヤ1は従来装
置と同様、図3のように構成されていて、ポリイミド膜
からなる半透膜管1aに導入された試料ガスが、この半
透膜管1aを通過するときに、パージガス入口3から導
入されて外管1bを流れるパージガスにより、この半透
膜管1aを介して試料ガスの除湿が行われる。そして、
除湿された試料ガスは試料ガス出口4から導出され、ガ
ス経路b,c,dを経て、分析部6の測定セル9中へガ
ス入口9aから導入される。このとき、試料ガスには赤
外線ヒータ8から赤外光Rが照射され、透過した赤外光
Rをフッ化カルシウムの結晶からなる窓10bを介し
て、ケース10aにあるセンサ10で検出して、試料ガ
スの成分分析を行う。
Next, the operation of the gas analyzer shown in FIG. 1 will be described. When analyzing the sample gas, the valve 10 is opened and the valve 11 is closed. The sample gas sucked by the suction device (not shown) is introduced from the sample gas inlet 2 of the semipermeable membrane dryer 1 via the gas path a. When this sample gas passes through the semipermeable membrane dryer 1, it is dehumidified by the dry purge gas introduced from the purge gas inlet 3 via the gas path j. This semipermeable membrane dryer 1 has the same structure as the conventional device. 3, the sample gas introduced into the semipermeable membrane tube 1a made of a polyimide film is introduced from the purge gas inlet 3 and flows through the outer tube 1b when passing through the semipermeable membrane tube 1a. The purge gas dehumidifies the sample gas through the semipermeable membrane tube 1a. And
The dehumidified sample gas is led out from the sample gas outlet 4, and introduced into the measurement cell 9 of the analysis unit 6 from the gas inlet 9a via the gas paths b, c, d. At this time, the sample gas is irradiated with the infrared light R from the infrared heater 8, and the transmitted infrared light R is detected by the sensor 10 in the case 10a through the window 10b made of calcium fluoride crystal, Analyze the components of the sample gas.

【0016】一方、半透膜ドライヤ1に導入されるパー
ジガスは、半透膜ドライヤ1の試料ガス出口4から導出
された試料ガスの一部が使用される。すなわち、分岐点
Aで分流されたガスは、ガス経路fを介してゼロガス精
製器7へ導入され、ここで例えば大気中CO濃度を測定
する場合、ゼロガス精製器7に備えられたヒータ(図示
省略)で約120度に加熱、乾燥し、触媒を通してガス
中のすべてのCOを酸化してCO2 を精製する。そし
て、このCOを含まない乾燥ガスを、ガス経路hを経
て、ガス入口10cからケース10a内へ導入して、こ
のセンサ10周辺に存在する測定誤差成分の除去(測定
ガス対象のガス成分COの除去および除湿)を行う。こ
れによって、センサ10周辺の大気中に含まれる測定誤
差成分が除去される。さらに、ガス出口10dから排出
されたパージガスは、測定セル9のガス出口9bから排
出されたガスと合流点Cで合流した後、ガス経路iを経
てパージガス入口3から半透膜ドライヤ1の外管1bに
導入され、上記した半透膜ドライヤ1の半透膜管1aを
通過中の試料ガスの除湿を行い、パージガス出口5から
導出される。
On the other hand, as the purge gas introduced into the semipermeable membrane dryer 1, a part of the sample gas derived from the sample gas outlet 4 of the semipermeable membrane dryer 1 is used. That is, the gas branched at the branch point A is introduced into the zero gas purifier 7 through the gas path f, and when measuring the atmospheric CO concentration, for example, a heater (not shown) provided in the zero gas purifier 7 is used. ) To about 120 ° C. and dry, and all CO in the gas is oxidized through a catalyst to purify CO 2. Then, this dry gas containing no CO is introduced into the case 10a from the gas inlet 10c via the gas path h, and the measurement error component existing around the sensor 10 is removed (of the gas component CO of the measurement gas target). Removal and dehumidification). As a result, the measurement error component contained in the atmosphere around the sensor 10 is removed. Further, the purge gas discharged from the gas outlet 10d merges with the gas discharged from the gas outlet 9b of the measurement cell 9 at a confluence point C, and then passes through the gas path i from the purge gas inlet 3 to the outer tube of the semipermeable membrane dryer 1. 1b, the sample gas passing through the semipermeable membrane tube 1a of the semipermeable membrane dryer 1 described above is dehumidified, and is discharged from the purge gas outlet 5.

【0017】次に、ゼロ校正時の本装置の動作を説明す
る。このとき、バルブ10は閉、バルブ11は開の状態
とする。半透膜ドライヤ1の試料ガス出口4から導出さ
れた試料ガスは、バルブが閉状態であるため、分岐点A
で分流されることなく、すべてガス経路b,fを介して
ゼロガス精製器7へ導入される。そして、このゼロガス
精製器7で試料ガス中のCOをすべて酸化してCOを除
去したガスの一部は、ゼロ校正用のガスとしてガス経路
g,バルブ10,11を介して測定セル9に導入され
る。このとき、この測定セル9を介してゼロガスに照射
された赤外光(図示省略)の透過光をセンサ10で検出
して、COを含まないときの試料ガスの赤外線透過光量
をあらかじめ知り、この透過光量を基準として、実際に
上記した試料ガスの測定を行う。なお、ゼロガス精製器
7で精製されたガスの一部は、ゼロ校正時においても、
センサ10のパージガスとして使用される。
Next, the operation of this apparatus at the time of zero calibration will be described. At this time, the valve 10 is closed and the valve 11 is opened. The sample gas derived from the sample gas outlet 4 of the semipermeable membrane dryer 1 has a valve closed, so that the branch point A
All are introduced into the zero gas purifier 7 via the gas paths b and f without being split. Then, a part of the gas obtained by oxidizing all the CO in the sample gas by the zero gas purifier 7 and removing the CO is introduced into the measurement cell 9 as a zero calibration gas through the gas path g and the valves 10 and 11. To be done. At this time, the sensor 10 detects the transmitted light of infrared light (not shown) radiated to the zero gas through the measurement cell 9 to know the amount of infrared transmitted light of the sample gas when CO is not contained in advance. The above-mentioned sample gas is actually measured on the basis of the amount of transmitted light. In addition, a part of the gas purified by the zero gas purifier 7 is
It is used as a purge gas for the sensor 10.

【0018】上記実施例において、ガス経路i,e,j
のいずれかの途中に空気吸入装置を設けて空気を吸入
し、センサ10のケース10aから導出されたパージガ
スに混合することにより、パージガスの流量を増加させ
ることができる。
In the above embodiment, the gas paths i, e, j
An air suction device is provided in the middle of any of the above conditions to suck air and mix it with the purge gas derived from the case 10a of the sensor 10, whereby the flow rate of the purge gas can be increased.

【0019】また、上記実施例では半透膜管1aにはポ
リイミド膜を使用したが、フッソ樹脂膜を使用しても除
湿することができる。
Further, in the above embodiment, the polyimide film is used for the semipermeable membrane tube 1a, but it can be dehumidified by using the fluorine resin film.

【0020】さらに、上記実施例ではパージガスとし
て、センサ10のケース10aから排出されたガスと測
定セル9から排出されたガスを合流させて使用したが、
センサ10からのガスのみをパージガスとして使用する
こともできる。
Further, in the above-mentioned embodiment, the gas discharged from the case 10a of the sensor 10 and the gas discharged from the measuring cell 9 are used as the purge gas by combining them.
It is also possible to use only the gas from the sensor 10 as the purge gas.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明の装置は上記のように構成されて
おり、試料ガスの一部を加熱手段を備えたゼロガス精製
器で加熱し乾燥させるため、除湿性能の高いパージガス
を半透膜ドライヤへ導入することができ、測定誤差を除
去できるとともに、分析装置の故障を防止することがで
きる。
The apparatus of the present invention is configured as described above, and since a part of the sample gas is heated and dried by the zero gas purifier equipped with the heating means, the purge gas having a high dehumidifying performance is used as the semipermeable membrane dryer. The measurement error can be removed and the failure of the analyzer can be prevented.

【0022】また、ガス経路i,e,jのいずれかの途
中に空気吸入装置を設けて空気を吸入し、センサ10を
囲むケース10aから排出されたパージガスと混合する
ことにより、簡単な構成でパージガス流量を増加させる
ことができ、半透膜ドライヤ1の除湿効果を高めること
ができる。
Further, an air suction device is provided in the middle of any of the gas paths i, e, and j to suck in air and mix with the purge gas discharged from the case 10a surrounding the sensor 10 so that the structure is simple. The purge gas flow rate can be increased, and the dehumidifying effect of the semipermeable membrane dryer 1 can be enhanced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明におけるガス分析装置の概略構成を示す
図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a gas analyzer according to the present invention.

【図2】本発明における分析部の概略構成を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of an analysis unit in the present invention.

【図3】従来のガス分析装置の概略構成を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional gas analyzer.

【図4】半透膜ドライヤを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a semipermeable membrane dryer.

【図5】従来のガス分析装置の変形の概略構成を示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a modification of a conventional gas analyzer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半透膜管の外側の除湿ガスによりこの半
透膜管内を通過する試料ガスを除湿する手段と、前記除
湿手段により除湿された試料ガスに赤外光を照射する手
段と、前記試料ガスを透過した赤外光を検出する手段と
を備えたガス分析装置において、試料ガスの一部が導入
され前記検出手段の外側に乾燥ガスを導入するガス精製
手段と、前記検出手段外側から排出された乾燥ガスを前
記除湿手段に導入する手段とを備え、この乾燥ガスで半
透膜管内を通過する試料ガスの除湿を行うことを特徴と
するガス分析装置。
1. A means for dehumidifying a sample gas passing through the semipermeable membrane tube by a dehumidifying gas outside the semipermeable membrane tube, and a means for irradiating the sample gas dehumidified by the dehumidifying means with infrared light. In a gas analyzer provided with a means for detecting infrared light transmitted through the sample gas, a gas purifying means for introducing a dry gas to the outside of the detecting means by introducing a part of the sample gas, and the outside of the detecting means. Means for introducing the dry gas discharged from the dehumidifying means to the dehumidifying means, and dehumidifying the sample gas passing through the semipermeable membrane tube with the dry gas.
JP26763493A 1993-10-26 1993-10-26 Gas analyzer Pending JPH07120389A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003075307A (en) * 2001-08-31 2003-03-12 Nikkiso Co Ltd Sampling system for sampling gas of exhaust gas having radioactive material

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