JPH07120215A - 投影検査機 - Google Patents
投影検査機Info
- Publication number
- JPH07120215A JPH07120215A JP5287397A JP28739793A JPH07120215A JP H07120215 A JPH07120215 A JP H07120215A JP 5287397 A JP5287397 A JP 5287397A JP 28739793 A JP28739793 A JP 28739793A JP H07120215 A JPH07120215 A JP H07120215A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- projection
- work
- stage
- screen
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 スクリーンを大型化することなく、高倍率に
よる拡大投影検査を可能とし、さらに載物台の移動頻度
を低減することによって、載物台摺動部の早期摩耗や移
動誤差による検査精度の低下を防止する。 【構成】 ワーク６の映像を映し出すスクリーン２と、
載物台４の下方からワーク６を照らす照明装置とを具備
し、投影レンズ取り付け部には、前後２列左右４列の合
計８カ所のなかから選択された取り付け部に所定倍率の
投影レンズ３を、左右方向に４基設ける。投影レンズ取
り付け部の内部には、投影レンズ３が取り付けられない
ときに、取り付け部開口からの光の侵入を遮断するため
のシャッターが設けてある。投影レンズ３から得られた
光はミラーによって反射し、ほぼ中央に設けた集光レン
ズ側へと送られ、コントロールパネル５に設けた投影レ
ンズ選択ボタンによってスクリーン２上へその映像を映
し出すように構成されている。
よる拡大投影検査を可能とし、さらに載物台の移動頻度
を低減することによって、載物台摺動部の早期摩耗や移
動誤差による検査精度の低下を防止する。 【構成】 ワーク６の映像を映し出すスクリーン２と、
載物台４の下方からワーク６を照らす照明装置とを具備
し、投影レンズ取り付け部には、前後２列左右４列の合
計８カ所のなかから選択された取り付け部に所定倍率の
投影レンズ３を、左右方向に４基設ける。投影レンズ取
り付け部の内部には、投影レンズ３が取り付けられない
ときに、取り付け部開口からの光の侵入を遮断するため
のシャッターが設けてある。投影レンズ３から得られた
光はミラーによって反射し、ほぼ中央に設けた集光レン
ズ側へと送られ、コントロールパネル５に設けた投影レ
ンズ選択ボタンによってスクリーン２上へその映像を映
し出すように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、工作機械のバイト刃
先、半導体集積回路の配線パターン、リードフレーム、
金型装置用のパンチなどを拡大投影して表面状態や形状
を検査するための投影検査機に関する。
先、半導体集積回路の配線パターン、リードフレーム、
金型装置用のパンチなどを拡大投影して表面状態や形状
を検査するための投影検査機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の投影検査機は、図２および図３に
示すようにワーク６の映像を映し出すスクリーン２と、
ワーク６を載置し、前後左右上下に移動可能に構成され
た載物台４と、載物台４の下方からワーク６を照らす照
明装置８とを具備しており、その照明装置８からの透過
光を利用してワーク６の上方に配置された所定倍率の投
影レンズ３を通して、スクリーン２上にワーク形状が拡
大表示されるような構成となっている。
示すようにワーク６の映像を映し出すスクリーン２と、
ワーク６を載置し、前後左右上下に移動可能に構成され
た載物台４と、載物台４の下方からワーク６を照らす照
明装置８とを具備しており、その照明装置８からの透過
光を利用してワーク６の上方に配置された所定倍率の投
影レンズ３を通して、スクリーン２上にワーク形状が拡
大表示されるような構成となっている。
【０００３】また、ワーク６の拡大映像をＣＲＴに映し
出す投影検査機の場合は、載物台４上のワーク６の上方
に設けたカメラによって映像信号を得、これを映像信号
処理装置を介してＣＲＴ上に映し出すような構成となっ
ている。
出す投影検査機の場合は、載物台４上のワーク６の上方
に設けたカメラによって映像信号を得、これを映像信号
処理装置を介してＣＲＴ上に映し出すような構成となっ
ている。
【０００４】そして、ワーク６の検査は所望倍率の投影
レンズ３を取り付けた投影検査機の載物台４上にワーク
６を搭載し、載物台４の移動用ハンドル７を動かしなが
ら、ワーク６の検査位置を決定することによって行われ
る。
レンズ３を取り付けた投影検査機の載物台４上にワーク
６を搭載し、載物台４の移動用ハンドル７を動かしなが
ら、ワーク６の検査位置を決定することによって行われ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
投影検査機では、例えばワーク６の全体を一度に投影で
きない場合は、載物台４を前後左右に移動させて位置合
わせを行う必要があり、載物台４の３次元方向での移動
精度の誤差が投影誤差として表れるという問題があっ
た。
投影検査機では、例えばワーク６の全体を一度に投影で
きない場合は、載物台４を前後左右に移動させて位置合
わせを行う必要があり、載物台４の３次元方向での移動
精度の誤差が投影誤差として表れるという問題があっ
た。
【０００６】さらに、リードフレームのように左右方向
に同一パターンが複数回繰り返されるワーク６の場合
は、載物台４移動の後にスクリーン２上に取り付けられ
た製品原図との位置合わせが困難で検査に時間がかかる
という作業性の問題もあった。
に同一パターンが複数回繰り返されるワーク６の場合
は、載物台４移動の後にスクリーン２上に取り付けられ
た製品原図との位置合わせが困難で検査に時間がかかる
という作業性の問題もあった。
【０００７】また、より高精度な検査のためには、高拡
大倍率での投影が必要となるが、投影できる領域が狭く
なり、ワーク６の全体を投影検査するためには、載物台
４を頻繁に移動させる必要が生じ、載物台４の摺動部の
早期摩耗による精度低下が懸念され、載物台４の移動を
少なくして高倍率投影を実現させるためには、スクリー
ンの大型化を行う以外手段はなかった。
大倍率での投影が必要となるが、投影できる領域が狭く
なり、ワーク６の全体を投影検査するためには、載物台
４を頻繁に移動させる必要が生じ、載物台４の摺動部の
早期摩耗による精度低下が懸念され、載物台４の移動を
少なくして高倍率投影を実現させるためには、スクリー
ンの大型化を行う以外手段はなかった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願発明は上記実情に鑑
みてなされたもので、載物台４の左右方向または前後方
向に複数のカメラまたは投影レンズ３を配置するととも
に、前記カメラまたは投影レンズ３から得られた映像を
前記投影装置に選択的に表示可能とした投影検査機で、
好ましくは載物台４の左右方向または前後方向に配置さ
れた複数のカメラまたは投影レンズ３は、相互に干渉し
ない範囲で移動可能に取り付けられている。
みてなされたもので、載物台４の左右方向または前後方
向に複数のカメラまたは投影レンズ３を配置するととも
に、前記カメラまたは投影レンズ３から得られた映像を
前記投影装置に選択的に表示可能とした投影検査機で、
好ましくは載物台４の左右方向または前後方向に配置さ
れた複数のカメラまたは投影レンズ３は、相互に干渉し
ない範囲で移動可能に取り付けられている。
【０００９】また、載物台４の左右方向または前後方向
に配置された複数のカメラは、相互に干渉しない範囲で
移動可能に取り付けられている。
に配置された複数のカメラは、相互に干渉しない範囲で
移動可能に取り付けられている。
【００１０】さらに、載物台４の左右方向または前後方
向に投影レンズ取り付け部が設けられ、当該取り付け部
からの反射光または透過光は、ミラーによって集光レン
ズの入射光面側へと進行方向が変えられるとともに、ワ
ーク６の形状やサイズに応じて、投影レンズ取り付け部
を任意に選択可能としている。
向に投影レンズ取り付け部が設けられ、当該取り付け部
からの反射光または透過光は、ミラーによって集光レン
ズの入射光面側へと進行方向が変えられるとともに、ワ
ーク６の形状やサイズに応じて、投影レンズ取り付け部
を任意に選択可能としている。
【００１１】
【作用】このように構成された投影検査機によれば、載
物台４を移動させることなく複数箇所の検査を行うこと
が可能となり、また検査位置の変更も使用する投影レン
ズ３またはカメラを選択指示するこによって、瞬時に切
り替えることが可能となる。
物台４を移動させることなく複数箇所の検査を行うこと
が可能となり、また検査位置の変更も使用する投影レン
ズ３またはカメラを選択指示するこによって、瞬時に切
り替えることが可能となる。
【００１２】または、ワーク６のパターンやサイズ、種
類によって、投影レンズ３またはカメラの配置を変更し
ておくことにより、載物台位置の微調整も不要となり、
検査時間の短縮が図れる。
類によって、投影レンズ３またはカメラの配置を変更し
ておくことにより、載物台位置の微調整も不要となり、
検査時間の短縮が図れる。
【００１３】
【実施例】図面に基づいて本願発明の一実施例を詳細に
説明する。
説明する。
【００１４】本願発明では図１に示すように、ワーク６
の映像を映し出すスクリーン２と、ワーク６を載置し、
前後左右上下に移動可能に構成された載物台４と、載物
台４の下方からワーク６を照らす照明装置８とを具備し
ており、投影レンズ取り付け部は、前後２列左右４列の
合計８カ所に設けてあり、このなかから選択された取り
付け部に所定倍率の投影レンズ３が、左右方向に４基設
けてある。
の映像を映し出すスクリーン２と、ワーク６を載置し、
前後左右上下に移動可能に構成された載物台４と、載物
台４の下方からワーク６を照らす照明装置８とを具備し
ており、投影レンズ取り付け部は、前後２列左右４列の
合計８カ所に設けてあり、このなかから選択された取り
付け部に所定倍率の投影レンズ３が、左右方向に４基設
けてある。
【００１５】投影レンズ取り付け部の内部には、投影レ
ンズ３が取り付けられないときに、取り付け部開口から
の光の侵入を遮断するためのシャッターが設けられてお
り、このシャッターは投影レンズ３の取り付けられたこ
とおよび、スクリーン２への投影が指示されたことによ
ってのみ、開放されるように構成されている。
ンズ３が取り付けられないときに、取り付け部開口から
の光の侵入を遮断するためのシャッターが設けられてお
り、このシャッターは投影レンズ３の取り付けられたこ
とおよび、スクリーン２への投影が指示されたことによ
ってのみ、開放されるように構成されている。
【００１６】さらに、投影レンズ３から得られた光はミ
ラーによって反射し、ほぼ中央に設けた集光レンズ側へ
と送られ、その後はいくつかのミラーとレンズを経由し
て、スクリーン２上へその映像を映し出すように構成さ
れている。
ラーによって反射し、ほぼ中央に設けた集光レンズ側へ
と送られ、その後はいくつかのミラーとレンズを経由し
て、スクリーン２上へその映像を映し出すように構成さ
れている。
【００１７】作業者は、コントロールパネル５に設けた
投影レンズ選択ボタンによって使用する投影レンズ３を
選択することにより、選択された投影レンズ３に設けら
れたシャッターが開放され、スクリーン２上にその投影
レンズ３から得られた映像がスクリーン２上に映し出さ
れることとなる。
投影レンズ選択ボタンによって使用する投影レンズ３を
選択することにより、選択された投影レンズ３に設けら
れたシャッターが開放され、スクリーン２上にその投影
レンズ３から得られた映像がスクリーン２上に映し出さ
れることとなる。
【００１８】実施例では、投影レンズ取り付け部を８カ
所、取り付ける投影レンズ３を４基としたが、ワーク６
の形状やサイズ等の諸条件に応じて任意に変更可能であ
り、取り付ける投影レンズ３の倍率も任意に変更可能で
ある。
所、取り付ける投影レンズ３を４基としたが、ワーク６
の形状やサイズ等の諸条件に応じて任意に変更可能であ
り、取り付ける投影レンズ３の倍率も任意に変更可能で
ある。
【００１９】また、ワーク６の拡大映像をＣＲＴに映し
出す投影検査機の場合は、載物台４上のワーク６の上方
に複数のカメラが設置され、かつ近接するカメラが相互
に干渉しない程度に移動可能に取り付けられ、任意に選
択されたカメラによって映像信号を得、これを映像信号
処理装置を介してＣＲＴ上に映し出すような構成となっ
ている。
出す投影検査機の場合は、載物台４上のワーク６の上方
に複数のカメラが設置され、かつ近接するカメラが相互
に干渉しない程度に移動可能に取り付けられ、任意に選
択されたカメラによって映像信号を得、これを映像信号
処理装置を介してＣＲＴ上に映し出すような構成となっ
ている。
【００２０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本願発明に
よれば、載物台４の移動精度の影響を受けることがなく
検査精度が向上するばかりでなく、使用する投影レンズ
３またはカメラを任意に選択できるため、検査時間の短
縮が図れる。
よれば、載物台４の移動精度の影響を受けることがなく
検査精度が向上するばかりでなく、使用する投影レンズ
３またはカメラを任意に選択できるため、検査時間の短
縮が図れる。
【００２１】さらに、載物台４の移動頻度が低減するた
め摺動部の精度維持が容易で、かつ連続投影が可能であ
るため、スクリーンの小型化が図れる。
め摺動部の精度維持が容易で、かつ連続投影が可能であ
るため、スクリーンの小型化が図れる。
【００２２】
【図１】本願発明にかかる投影検査機の一実施態様を示
す。
す。
【図２】従来の投影検査機を示す。
【図３】従来の投影検査機内部構造の概略を示す。
１ 投影検査機 ２ スクリーン ３ 投影レンズ ４ 載物台 ５ コントロールパネル ６ ワーク ７ ハンドル ８ 照明装置
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークを載置するための載物台と、前記
載物台上のワークを照明する照明装置と、前記ワークか
らの反射光又は透過光を利用してワーク形状をスクリー
ンまたはＣＲＴ等に拡大表示する投影装置を具備した投
影検査機において、前記載物台の左右方向または前後方
向に複数のカメラまたは投影レンズを配置するととも
に、前記カメラまたは投影レンズから得られた映像を前
記投影装置に選択的に表示可能としたことを特徴とする
投影検査機。 - 【請求項２】 載物台の左右方向または前後方向に配置
された複数のカメラは、相互に干渉しない範囲で移動可
能に取り付けられていることを特徴とする請求項第１項
記載の投影検査機。 - 【請求項３】 載物台の左右方向または前後方向に投影
レンズ取り付け部が設けられ、当該取り付け部からの反
射光または透過光は、ミラーによって集光レンズの入射
光面側へと進行方向が変えられるとともに、ワークの形
状やサイズに応じて、投影レンズ取り付け部を任意に選
択可能としたことを特徴とする請求項第１項記載の投影
検査機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5287397A JPH07120215A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 投影検査機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5287397A JPH07120215A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 投影検査機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120215A true JPH07120215A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17716819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5287397A Pending JPH07120215A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 投影検査機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120215A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1980816A1 (en) * | 2007-04-12 | 2008-10-15 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring machine |
-
1993
- 1993-10-21 JP JP5287397A patent/JPH07120215A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1980816A1 (en) * | 2007-04-12 | 2008-10-15 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring machine |
| US7528968B2 (en) | 2007-04-12 | 2009-05-05 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring machine |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050729 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051227 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060214 |
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