JPH07120205A - 位置決め停止装置の変位検出装置 - Google Patents
位置決め停止装置の変位検出装置Info
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- JPH07120205A JPH07120205A JP5285768A JP28576893A JPH07120205A JP H07120205 A JPH07120205 A JP H07120205A JP 5285768 A JP5285768 A JP 5285768A JP 28576893 A JP28576893 A JP 28576893A JP H07120205 A JPH07120205 A JP H07120205A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検出部材の加工のコストを低減し、搬送台
車の変位検出精度を高め、かつ小型軽量化した搬送台車
の位置決め停止装置における変位検出装置を提供する。 【構成】 軌道に沿って移動する搬送台車１の停止位置
に設けられた位置決め停止装置において、該搬送台車１
の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台車１に
固設された移動方向に対して段差Ｌを形成した被検出部
材６と、前記軌道４に固設され前記被検出部材６の被検
出面６Ａ，６Ｂまでの距離を検出する変位センサ３とか
らなる。
車の変位検出精度を高め、かつ小型軽量化した搬送台車
の位置決め停止装置における変位検出装置を提供する。 【構成】 軌道に沿って移動する搬送台車１の停止位置
に設けられた位置決め停止装置において、該搬送台車１
の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台車１に
固設された移動方向に対して段差Ｌを形成した被検出部
材６と、前記軌道４に固設され前記被検出部材６の被検
出面６Ａ，６Ｂまでの距離を検出する変位センサ３とか
らなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は位置決め停止装置の変位
検出装置に係り、特に軌道に沿って移動する搬送台車の
停止位置に配置された位置決め停止装置における、該搬
送台車の移動方向変位を検出する変位検出装置に関す
る。
検出装置に係り、特に軌道に沿って移動する搬送台車の
停止位置に配置された位置決め停止装置における、該搬
送台車の移動方向変位を検出する変位検出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】前記搬送台車の位置決め停止装置は、停
止点で精度よく短時間で停止位置決め動作を行なうこと
が要求される。そのため、位置決め停止動作は停止点近
傍での搬送台車の変位を検出し、その情報により停止点
で搬送台車に移動方向の推力を発生するアクチュエータ
をフィードバック制御して行なっている。このような停
止点近傍での搬送台車の変位の検出は、例えば、実公平
３−１３４６２号公報に開示される位置決め停止装置の
変位検出装置が用いられるのが一般的であった。
止点で精度よく短時間で停止位置決め動作を行なうこと
が要求される。そのため、位置決め停止動作は停止点近
傍での搬送台車の変位を検出し、その情報により停止点
で搬送台車に移動方向の推力を発生するアクチュエータ
をフィードバック制御して行なっている。このような停
止点近傍での搬送台車の変位の検出は、例えば、実公平
３−１３４６２号公報に開示される位置決め停止装置の
変位検出装置が用いられるのが一般的であった。
【０００３】この位置決め停止装置の変位検出装置は、
図５に示すように、搬送台車１に傾斜した被検出部材２
を固設し、軌道４側に固設した変位センサ３によって傾
斜した被検出部材２までの鉛直方向距離（軌道面に対す
る垂直方向距離）ｄを検出する。搬送台車の移動方向の
変位を、被検出部材の傾斜部分から変位センサまでの距
離を測定することにより、間接的に搬送台車の移動方向
変位の検出を行なっていた。
図５に示すように、搬送台車１に傾斜した被検出部材２
を固設し、軌道４側に固設した変位センサ３によって傾
斜した被検出部材２までの鉛直方向距離（軌道面に対す
る垂直方向距離）ｄを検出する。搬送台車の移動方向の
変位を、被検出部材の傾斜部分から変位センサまでの距
離を測定することにより、間接的に搬送台車の移動方向
変位の検出を行なっていた。
【０００４】被検出部材としては、電気伝導度の高いア
ルミ、銅などの導電材が用いられるか、又は透磁率の高
い純鉄などの磁性材が用いられる。変位センサとして
は、被検出部材に導電材が用いられる場合には、その導
電材に生じる渦電流の大きさの変化から変位を検出する
渦電流式センサが用いられる。又、被検出部材に磁性材
が用いられる場合には、インダクタンスの大きさの変化
から変位を検出するインダクタンス型変位センサが用い
られる。
ルミ、銅などの導電材が用いられるか、又は透磁率の高
い純鉄などの磁性材が用いられる。変位センサとして
は、被検出部材に導電材が用いられる場合には、その導
電材に生じる渦電流の大きさの変化から変位を検出する
渦電流式センサが用いられる。又、被検出部材に磁性材
が用いられる場合には、インダクタンスの大きさの変化
から変位を検出するインダクタンス型変位センサが用い
られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記被
検出部材の傾斜した構造の導電材或いは磁性材の加工は
高価である。又、搬送台車の変位検出の分解能は傾斜角
度に依存するため、分解能を高くするために角度を大き
くすると、検出すべき変位センサと被検出部材間の距離
が大きくなり、又被検出部材の厚みを大きくする必要が
あるため、被検出部材の重量の増加、変位センサのコス
トアップ、変位センサの大型化という問題を生じること
となる。
検出部材の傾斜した構造の導電材或いは磁性材の加工は
高価である。又、搬送台車の変位検出の分解能は傾斜角
度に依存するため、分解能を高くするために角度を大き
くすると、検出すべき変位センサと被検出部材間の距離
が大きくなり、又被検出部材の厚みを大きくする必要が
あるため、被検出部材の重量の増加、変位センサのコス
トアップ、変位センサの大型化という問題を生じること
となる。
【０００６】本発明は前記従来の事情に鑑みて為された
ものであり、被検出部材の加工のコストを低減し、搬送
台車の変位検出精度を高め、かつ小型軽量化した位置決
め停止装置における搬送台車の変位検出装置を提供する
ことを目的とする。
ものであり、被検出部材の加工のコストを低減し、搬送
台車の変位検出精度を高め、かつ小型軽量化した位置決
め停止装置における搬送台車の変位検出装置を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の位置決め停止装
置の変位検出装置は、軌道に沿って移動する搬送台車の
停止位置に設けられた位置決め停止装置において、該搬
送台車の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台
車に固設された移動方向に対して段差を形成した被検出
部材と、前記軌道に固設され前記被検出部材の被検出面
までの距離を検出する変位センサとからなることを特徴
とする。
置の変位検出装置は、軌道に沿って移動する搬送台車の
停止位置に設けられた位置決め停止装置において、該搬
送台車の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台
車に固設された移動方向に対して段差を形成した被検出
部材と、前記軌道に固設され前記被検出部材の被検出面
までの距離を検出する変位センサとからなることを特徴
とする。
【０００８】また、軌道に沿って移動する搬送台車の停
止位置に設けられた位置決め停止装置において、該搬送
台車の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台車
に固設された移動方向に対して特性の異なる二種の検出
部材を同一平面上に配列した被検出部材と、前記軌道に
固設され前記被検出部材の被検出面までの距離を検出す
る変位センサとからなることを特徴とする。
止位置に設けられた位置決め停止装置において、該搬送
台車の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台車
に固設された移動方向に対して特性の異なる二種の検出
部材を同一平面上に配列した被検出部材と、前記軌道に
固設され前記被検出部材の被検出面までの距離を検出す
る変位センサとからなることを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成から、被検出部材の構造が簡単とな
る。このため被検出部材の加工コストを低減し、かつ小
型軽量化した搬送台車の変位検出装置を提供することが
できる。また被検出部材の段差（境界）部分で、搬送台
車の変位を検出することができることから、搬送台車の
移動方向変位の検出精度を高めることができる。
る。このため被検出部材の加工コストを低減し、かつ小
型軽量化した搬送台車の変位検出装置を提供することが
できる。また被検出部材の段差（境界）部分で、搬送台
車の変位を検出することができることから、搬送台車の
移動方向変位の検出精度を高めることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面の図１乃至
図４を参照しながら説明する。
図４を参照しながら説明する。
【００１１】図１は、本発明の第１実施例の搬送台車の
位置決め停止装置における変位検出装置の斜視図であ
る。搬送台車１には、被検出部材６が固着されている。
被検出部材６は、搬送台車１の移動方向Ｍに対して、被
検出面６Ａと６Ｂ間に段差Ｌを有している。被検出部材
６に対向して図示しない軌道に変位センサ３が固設され
ている。変位センサ３の検出面と被検出部材６の検出面
とは、垂直方向距離ｄだけ離隔している。
位置決め停止装置における変位検出装置の斜視図であ
る。搬送台車１には、被検出部材６が固着されている。
被検出部材６は、搬送台車１の移動方向Ｍに対して、被
検出面６Ａと６Ｂ間に段差Ｌを有している。被検出部材
６に対向して図示しない軌道に変位センサ３が固設され
ている。変位センサ３の検出面と被検出部材６の検出面
とは、垂直方向距離ｄだけ離隔している。
【００１２】ここで本実施例においては、変位センサ３
は渦電流式変位センサであり、被検出面に生じる渦電流
の大きさにより、被検出面６Ａ，６Ｂとセンサ３の検出
面３Ａ間の距離（間隔）ｄを検出するものである。被検
出部材６は電気伝導度の高いアルミ又は銅等の導電材料
により形成されている。段差Ｌを有する被検出部材６
は、一体的な金属板から切削加工によって形成してもよ
いし、又、二枚の金属板を張り合わせることによって形
成してもよい。このように、被検出部材６は従来の構造
と比較して、低コストで且つ小型軽量に製作することが
できる。
は渦電流式変位センサであり、被検出面に生じる渦電流
の大きさにより、被検出面６Ａ，６Ｂとセンサ３の検出
面３Ａ間の距離（間隔）ｄを検出するものである。被検
出部材６は電気伝導度の高いアルミ又は銅等の導電材料
により形成されている。段差Ｌを有する被検出部材６
は、一体的な金属板から切削加工によって形成してもよ
いし、又、二枚の金属板を張り合わせることによって形
成してもよい。このように、被検出部材６は従来の構造
と比較して、低コストで且つ小型軽量に製作することが
できる。
【００１３】図２は、この変位検出装置の動作特性を示
すものであり、（Ａ），（Ｂ）は被検出部材６の段差Ｌ
が変位センサ３の中心直下に位置していることを示し、
（Ｃ）は被検出部材６の段差Ｌが変位センサ３の中心直
下から距離ｇだけ離隔して位置していることを示す。図
２（Ｂ），（Ｃ）において、ハッチング部分Ｓは、被検
出部材６の面６Ａと渦電流センサ３の検出面３Ａとの重
なり部分を示す。このハッチングされた重なり部分の面
積Ｓに応じて、渦電流センサ３の出力電圧が変化する。
すものであり、（Ａ），（Ｂ）は被検出部材６の段差Ｌ
が変位センサ３の中心直下に位置していることを示し、
（Ｃ）は被検出部材６の段差Ｌが変位センサ３の中心直
下から距離ｇだけ離隔して位置していることを示す。図
２（Ｂ），（Ｃ）において、ハッチング部分Ｓは、被検
出部材６の面６Ａと渦電流センサ３の検出面３Ａとの重
なり部分を示す。このハッチングされた重なり部分の面
積Ｓに応じて、渦電流センサ３の出力電圧が変化する。
【００１４】したがって、渦電流センサ３の出力電圧Ｖ
S は、図２（Ｄ）に示すように搬送台車の移動方向変位
Ｘに対して階段状に変化する。すなわち、変位センサ３
の検出面３Ａから被検出面６Ａ及び６Ｂまでの間隔ｄに
応じて、変位センサ３の出力電圧ＶS が被検出面６Ｂに
対しては高く、被検出面６Ａに対しては低く変化する。
この出力電圧ＶS の遷移幅Ｗは被検出部材６が垂直な段
差Ｌを有しているので、ほぼ変位センサの移動方向の幅
Ｗとなり図示するような急峻な傾斜が得られる。このた
め、位置決め停止装置における搬送台車の変位検出の精
度を高くすることができる。
S は、図２（Ｄ）に示すように搬送台車の移動方向変位
Ｘに対して階段状に変化する。すなわち、変位センサ３
の検出面３Ａから被検出面６Ａ及び６Ｂまでの間隔ｄに
応じて、変位センサ３の出力電圧ＶS が被検出面６Ｂに
対しては高く、被検出面６Ａに対しては低く変化する。
この出力電圧ＶS の遷移幅Ｗは被検出部材６が垂直な段
差Ｌを有しているので、ほぼ変位センサの移動方向の幅
Ｗとなり図示するような急峻な傾斜が得られる。このた
め、位置決め停止装置における搬送台車の変位検出の精
度を高くすることができる。
【００１５】図３は、被検出部材６と渦電流センサ３の
位置関係が回転したときの渦電流センサの検出面と被検
出部材との重なり状態を示す。図中ハッチングの部分Ｓ
は、被検出部材６の検出面６Ａと渦電流センサ３の検出
面３Ａとの重なり部分を示す。（Ａ）は、搬送台車が回
転していない状態を示し、（Ｂ）は、搬送台車の回転中
心Ｂと渦電流センサ３の検出面中心Ｋとが同一の位置に
あり、角度θだけ回転した状態を示す。（Ｂ）に示す回
転状態においては、ハッチング部分の面積Ｓは（Ａ）に
対して変化しないので、変位センサの出力電力ＶS は変
化しない。
位置関係が回転したときの渦電流センサの検出面と被検
出部材との重なり状態を示す。図中ハッチングの部分Ｓ
は、被検出部材６の検出面６Ａと渦電流センサ３の検出
面３Ａとの重なり部分を示す。（Ａ）は、搬送台車が回
転していない状態を示し、（Ｂ）は、搬送台車の回転中
心Ｂと渦電流センサ３の検出面中心Ｋとが同一の位置に
あり、角度θだけ回転した状態を示す。（Ｂ）に示す回
転状態においては、ハッチング部分の面積Ｓは（Ａ）に
対して変化しないので、変位センサの出力電力ＶS は変
化しない。
【００１６】これに対して、（Ｃ）に示すように、被検
出部材６の回転中心Ｂと、変位センサの検出面中心Ｋと
が距離ｍだけ離隔している時には図示するように面積Ｓ
は大幅に変化する。したがって、このように搬送台車の
回転中心Ｂと変位センサの検出面中心Ｃとが離隔してい
る場合には、搬送台車の回転角度を検出することができ
る。このように搬送台車の回転中心Ｂと変位センサの検
出面中心Ｋとの位置関係によって、移動方向の変位を検
出するが回転を検出しない搬送台車の変位検出装置と、
搬送台車の回転角度を検出する変位検出装置との両方に
適用することができる。
出部材６の回転中心Ｂと、変位センサの検出面中心Ｋと
が距離ｍだけ離隔している時には図示するように面積Ｓ
は大幅に変化する。したがって、このように搬送台車の
回転中心Ｂと変位センサの検出面中心Ｃとが離隔してい
る場合には、搬送台車の回転角度を検出することができ
る。このように搬送台車の回転中心Ｂと変位センサの検
出面中心Ｋとの位置関係によって、移動方向の変位を検
出するが回転を検出しない搬送台車の変位検出装置と、
搬送台車の回転角度を検出する変位検出装置との両方に
適用することができる。
【００１７】なお、以上の説明は被検出部材として導電
性材料を用い、変位センサとして渦電流式センサを用い
た例について説明した。被検出部材６として例えば純鉄
等の高透磁率の磁性材料を用い、変位センサ３としてイ
ンダクタンス型センサを用いてもよい。インダクタンス
型変位センサは、センサの検出面に垂直方向に離隔した
位置にある磁性体との間隔をインダクタンスの変化を検
出することによって検出する変位センサである。この場
合の被検出部材６も前述の実施例と同様に低コストで小
型軽量に製作することができ、搬送台車の変位検出動作
も上述の説明と同様である。
性材料を用い、変位センサとして渦電流式センサを用い
た例について説明した。被検出部材６として例えば純鉄
等の高透磁率の磁性材料を用い、変位センサ３としてイ
ンダクタンス型センサを用いてもよい。インダクタンス
型変位センサは、センサの検出面に垂直方向に離隔した
位置にある磁性体との間隔をインダクタンスの変化を検
出することによって検出する変位センサである。この場
合の被検出部材６も前述の実施例と同様に低コストで小
型軽量に製作することができ、搬送台車の変位検出動作
も上述の説明と同様である。
【００１８】図４は、本発明の第２実施例の搬送台車の
位置決め停止装置における変位検出装置を示す。図４
（Ａ）は、絶縁体のプラスチック板７Ａの上に電気電導
度の高い材料（例えばアルミ板）の導電材７Ｂを貼付け
した被検出部材７を用いるものである。また図４（Ｂ）
は、絶縁体のプラスチック板７Ａに高導電率の導電材７
Ｂを埋め込み被検出部材７を形成し、その検出面を平坦
にしたものである。軌道側に固設された変位センサとし
ては、渦電流式変位センサが用いられる。本実施例の検
出部材７は、プラスチック等の絶縁基板に単にアルミ又
は銅等の薄い金属板を貼り付けることだけで製作するこ
とができる。従って、第１実施例と比較しても、更に被
検出部材を低コスト且つ小型軽量化することができる。
導電率の異なる二種の部材７Ａ，７Ｂ間の境界面Ｎで
は、軌道側に固設された変位センサの出力電圧ＶS が図
２（Ｄ）に示したのと同様に変化する。したがって、第
１実施例に示す同一の導電材料に段差Ｌを設けたのと同
様に、搬送台車の変位検出を高精度に行なうことができ
る。
位置決め停止装置における変位検出装置を示す。図４
（Ａ）は、絶縁体のプラスチック板７Ａの上に電気電導
度の高い材料（例えばアルミ板）の導電材７Ｂを貼付け
した被検出部材７を用いるものである。また図４（Ｂ）
は、絶縁体のプラスチック板７Ａに高導電率の導電材７
Ｂを埋め込み被検出部材７を形成し、その検出面を平坦
にしたものである。軌道側に固設された変位センサとし
ては、渦電流式変位センサが用いられる。本実施例の検
出部材７は、プラスチック等の絶縁基板に単にアルミ又
は銅等の薄い金属板を貼り付けることだけで製作するこ
とができる。従って、第１実施例と比較しても、更に被
検出部材を低コスト且つ小型軽量化することができる。
導電率の異なる二種の部材７Ａ，７Ｂ間の境界面Ｎで
は、軌道側に固設された変位センサの出力電圧ＶS が図
２（Ｄ）に示したのと同様に変化する。したがって、第
１実施例に示す同一の導電材料に段差Ｌを設けたのと同
様に、搬送台車の変位検出を高精度に行なうことができ
る。
【００１９】又、導電材に代えて、純鉄等の磁性材を用
い、変位センサとしてインダクタンス型センサを用いる
ことによっても、上述と同様の作用効果が得られる。
い、変位センサとしてインダクタンス型センサを用いる
ことによっても、上述と同様の作用効果が得られる。
【００２０】このように、本発明の被検出部材は、特性
の異なる二種の導電材又は磁性材を搬送台車の移動方向
に配列したものである。従って、上述の実施例にとらわ
れることなく本発明の趣旨を逸脱することなく、各種の
変形実施例が可能である。なお、各図中同一符号は同一
または相当部分を示す。
の異なる二種の導電材又は磁性材を搬送台車の移動方向
に配列したものである。従って、上述の実施例にとらわ
れることなく本発明の趣旨を逸脱することなく、各種の
変形実施例が可能である。なお、各図中同一符号は同一
または相当部分を示す。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように本発明の位置決め
停止装置の変位検出装置によれば、被検出部材を簡単な
構造とすることにより、その製作コストを低減し、且つ
小型軽量化して搬送台車の変位を精度よく検出すること
ができる。
停止装置の変位検出装置によれば、被検出部材を簡単な
構造とすることにより、その製作コストを低減し、且つ
小型軽量化して搬送台車の変位を精度よく検出すること
ができる。
【図１】本発明の第１実施例の搬送台車の変位検出装置
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】図１の変位検出装置の動作を説明する説明図で
あり、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は被検出部材と変位セン
サとの位置関係を示し、（Ｄ）は変位センサの出力電圧
ＶS と搬送台車の移動変位Ｘとの関係を示す。
あり、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は被検出部材と変位セン
サとの位置関係を示し、（Ｄ）は変位センサの出力電圧
ＶS と搬送台車の移動変位Ｘとの関係を示す。
【図３】搬送台車の回転に伴う変位センサの出力特性を
示す説明図であり、（Ｂ）は、搬送台車の回転中心Ｂと
変位センサの検出面中心Ｋとが一致した状態を示し、
（Ｃ）は搬送台車の回転中心Ｂと変位センサ検出面の中
心Ｋとが距離ｍだけ離隔した場合を示す。
示す説明図であり、（Ｂ）は、搬送台車の回転中心Ｂと
変位センサの検出面中心Ｋとが一致した状態を示し、
（Ｃ）は搬送台車の回転中心Ｂと変位センサ検出面の中
心Ｋとが距離ｍだけ離隔した場合を示す。
【図４】本発明の第２実施例の搬送台車の変位検出装置
の説明図である。
の説明図である。
【図５】従来の搬送台車の変位検出装置の説明図であ
る。
る。
１ 搬送台車 ２，６，７ 被検出部材 ３ 変位センサ ４ 軌道 Ｌ 段差 Ｎ 境界面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】搬送台車の回転に伴う変位センサの出力特性を
示す説明図であり、（Ａ）、（Ｂ）は、搬送台車の回転
中心Ｂと変位センサの検出面中心Ｋとが一致した状態を
示し、（Ｃ）は搬送台車の回転中心Ｂと変位センサ検出
面の中心Ｋとが距離ｍだけ離隔した場合を示す。
示す説明図であり、（Ａ）、（Ｂ）は、搬送台車の回転
中心Ｂと変位センサの検出面中心Ｋとが一致した状態を
示し、（Ｃ）は搬送台車の回転中心Ｂと変位センサ検出
面の中心Ｋとが距離ｍだけ離隔した場合を示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
Claims (6)
- 【請求項１】 軌道に沿って移動する搬送台車の停止位
置に設けられた位置決め停止装置において、該搬送台車
の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台車に固
設された移動方向に対して段差を形成した被検出部材
と、前記軌道に固設され前記被検出部材の被検出面まで
の距離を検出する変位センサとからなることを特徴とす
る位置決め停止装置の変位検出装置。 - 【請求項２】 前記被検出部材は導電性材料で構成さ
れ、かつ前記変位センサは渦電流式変位センサを用いた
ことを特徴とする請求項１記載の位置決め停止装置の変
位検出装置。 - 【請求項３】 前記被検出部材は磁性材料で構成され、
かつ前記変位センサとしてインダクタンス型変位センサ
を用いたことを特徴とする請求項１記載の位置決め停止
装置の変位検出装置。 - 【請求項４】 軌道に沿って移動する搬送台車の停止位
置に設けられた位置決め停止装置において、該搬送台車
の移動方向変位を検出する検出装置は、該搬送台車に固
設された移動方向に対して特性の異なる二種の検出部材
を同一平面上に配列した被検出部材と、前記軌道に固設
され前記被検出部材の被検出面までの距離を検出する変
位センサとからなることを特徴とする位置決め停止装置
の変位検出装置。 - 【請求項５】 前記特性の異なる二種の検出部材は、電
気伝導度の異なる材料を同一平面上に配列したものであ
り、かつ前記変位センサとして渦電流式変位センサを用
いたものであることを特徴とする請求項４記載の位置決
め停止装置の変位検出装置。 - 【請求項６】 前記特性の異なる二種の検出部材は、透
磁率の異なる材料を同一平面上に配列したものであり、
かつ前記変位センサとしてインダクタンス型変位センサ
を用いたものであることを特徴とする請求項４記載の位
置決め停止装置の変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5285768A JPH07120205A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 位置決め停止装置の変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5285768A JPH07120205A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 位置決め停止装置の変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120205A true JPH07120205A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17695807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5285768A Pending JPH07120205A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 位置決め停止装置の変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120205A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200015501A (ko) * | 2017-05-26 | 2020-02-12 | 알레그로 마이크로시스템스, 엘엘씨 | 코일 구동 위치 센서들을 위한 타겟들 |
-
1993
- 1993-10-21 JP JP5285768A patent/JPH07120205A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200015501A (ko) * | 2017-05-26 | 2020-02-12 | 알레그로 마이크로시스템스, 엘엘씨 | 코일 구동 위치 센서들을 위한 타겟들 |
| JP2020521962A (ja) * | 2017-05-26 | 2020-07-27 | アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー | コイル作動型位置センサのための標的 |
| US11320496B2 (en) | 2017-05-26 | 2022-05-03 | Allegro Microsystems, Llc | Targets for coil actuated position sensors |
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