JPH07117476B2 - 屈折率分布の測定方法及び測定装置 - Google Patents
屈折率分布の測定方法及び測定装置Info
- Publication number
- JPH07117476B2 JPH07117476B2 JP1130992A JP13099289A JPH07117476B2 JP H07117476 B2 JPH07117476 B2 JP H07117476B2 JP 1130992 A JP1130992 A JP 1130992A JP 13099289 A JP13099289 A JP 13099289A JP H07117476 B2 JPH07117476 B2 JP H07117476B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- index distribution
- light
- cylindrical glass
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
本発明は、例えば光ファイバ用プリフォームやロッドレ
ンズに使用される円柱ガラス屈折率分布を測定する測定
方法及び測定装置に関するもので、特に異なる屈折率を
有するプリフォーム等の屈折率分布測定の簡易化、高精
度化に役立つものである。
ンズに使用される円柱ガラス屈折率分布を測定する測定
方法及び測定装置に関するもので、特に異なる屈折率を
有するプリフォーム等の屈折率分布測定の簡易化、高精
度化に役立つものである。
光ファイバ用プリフォーム(母材)やロッドレスに使用
される円柱ガラスは、半径方向の屈折率がほぼ2乗分
布、軸方向の屈折率は均一になっている。これを線引き
して光ファイバが形成される。線引き前のプリフォーム
の屈折率分布を正確に測定することが良好な製品を得る
ために必要である。 屈折率分布の測定法としては、例えば特開昭63−95336
号公報に光ファイバ用のプリフォームの中心軸と垂直方
向から光線を入射させ、その出射角を求めてプリフォー
ムの屈折率分布を測定する方法が開示されている。第4
図には同公報に開示された屈折率分布測定装置を示して
ある。図に示すように光源5とレンズ6からなる入射光
学系から、セル2内のマッチングオイル3中に設置され
たプリフォーム1に入射され、プリフォーム1を通って
出射された出射光はレンズ21を有する出射光学系を通過
してTVカメラ22の観察面に投影される。この投影像をTV
カメラ22で取り出し、投影像の座標xと出射光学系の焦
点距離fとから出射角φを φ=tan-1(x/f) で求めている。そしてパルスモータによりプリフォーム
を載置した移動テーブル4を移動しながら求めた出射角
φを用いプリフォーム1の屈折率分布n(r)を次式 あるいは出射光学系を通った出射光の像をスクリーン上
に形成し、スクリーン上の投影像をTVカメラ22で観察し
て出射角φを求めている。
される円柱ガラスは、半径方向の屈折率がほぼ2乗分
布、軸方向の屈折率は均一になっている。これを線引き
して光ファイバが形成される。線引き前のプリフォーム
の屈折率分布を正確に測定することが良好な製品を得る
ために必要である。 屈折率分布の測定法としては、例えば特開昭63−95336
号公報に光ファイバ用のプリフォームの中心軸と垂直方
向から光線を入射させ、その出射角を求めてプリフォー
ムの屈折率分布を測定する方法が開示されている。第4
図には同公報に開示された屈折率分布測定装置を示して
ある。図に示すように光源5とレンズ6からなる入射光
学系から、セル2内のマッチングオイル3中に設置され
たプリフォーム1に入射され、プリフォーム1を通って
出射された出射光はレンズ21を有する出射光学系を通過
してTVカメラ22の観察面に投影される。この投影像をTV
カメラ22で取り出し、投影像の座標xと出射光学系の焦
点距離fとから出射角φを φ=tan-1(x/f) で求めている。そしてパルスモータによりプリフォーム
を載置した移動テーブル4を移動しながら求めた出射角
φを用いプリフォーム1の屈折率分布n(r)を次式 あるいは出射光学系を通った出射光の像をスクリーン上
に形成し、スクリーン上の投影像をTVカメラ22で観察し
て出射角φを求めている。
例えば光ファイバ用のプリフォームは、製造行程におけ
るわずかな条件の変動により、軸方向の屈折率分布が変
動するとともに、屈折率分布がプリフォームの中心軸に
対して非対称になる場合がある。このような軸方向の屈
折率分布変動を、上記した従来の屈折率分布測定装置で
測定するためにはプリフォームを軸方向に移動させなが
ら繰り返して屈折率分布を測定する必要があり、正確な
屈折率分布を得るのに時間を要するという問題があつ
た。またプリフォームの中心軸に対する非対称性を測定
する場合は、プリフォームを90度回転させて測定を繰り
返す必要があり、やはり正確な屈折率分布を得るのに時
間を要した。 本発明は、これらの欠点を解消するためになされたもの
であり、屈折率分布を短時間で高精度に測定することが
できる屈折率分布の測定方法及び測定装置を得ることを
目的とするものである。
るわずかな条件の変動により、軸方向の屈折率分布が変
動するとともに、屈折率分布がプリフォームの中心軸に
対して非対称になる場合がある。このような軸方向の屈
折率分布変動を、上記した従来の屈折率分布測定装置で
測定するためにはプリフォームを軸方向に移動させなが
ら繰り返して屈折率分布を測定する必要があり、正確な
屈折率分布を得るのに時間を要するという問題があつ
た。またプリフォームの中心軸に対する非対称性を測定
する場合は、プリフォームを90度回転させて測定を繰り
返す必要があり、やはり正確な屈折率分布を得るのに時
間を要した。 本発明は、これらの欠点を解消するためになされたもの
であり、屈折率分布を短時間で高精度に測定することが
できる屈折率分布の測定方法及び測定装置を得ることを
目的とするものである。
上記課題を解決するための本発明を適用する屈折率分布
の測定方法は、軸方向には均一な屈折率、径方向には屈
折率が変化する円柱ガラスの中心軸と垂直方向から光を
入射させ、その出射角を測定して円柱ガラスの径方向に
対する屈折率分布を求める屈折率分布の測定方法におい
て、2次元的に分布する平行光線束を円柱ガラスに入射
させ、該円柱ガラスから出射する光線束の2次元分布を
測定して得られた出射角分布から屈折率分布を求める。
前記2次元的に分布する平行光線束を複数の光線束に分
離し、複数の光線束を直交させて円柱ガラスに入射させ
てもよい。前記円柱ガラスからの出射光を光学系を介す
ることなく撮像管により受光して出射角をそれぞれ測定
する。 同じく上記課題を解決するための本発明を適用する屈折
率分布の測定装置は、軸方向には均一な屈折率、径方向
には屈折率が変化する円柱ガラスの中心軸と垂直方向か
ら光を入射させ、その出射角を測定して円柱ガラスの径
方向に対する屈折率分布を求める屈折率分布の測定装置
において、光源と、円柱ガラスの軸方向と平行な軸心で
回転し該光源からの光線を反射する回転ミラーと、該回
転ミラーの反射部分に焦点を有するコリメータレンズと
からなる入射光学系を備えている。 同じく上記課題を解決するための本発明を適用する屈折
率分布の測定装置の別の構成は、入射光学系が、光源
と、円柱ガラスの軸方向と平行な軸心で回転し該光源か
らの光線束を反射する回転ミラーと、該回転ミラーの反
射部分に焦点を有するコリメータレンズと、該コリメー
タレンズを通る光線束の光路上に設けられたハーフミラ
ーと、該ハーフミラーの反射方向に設けられたミラー
と、透過方向に設けら入れたミラーとからなる。 これらの屈折率分布の測定装置では、前記円柱ガラスか
らの出射光の光路上に撮像管を配置してある。
の測定方法は、軸方向には均一な屈折率、径方向には屈
折率が変化する円柱ガラスの中心軸と垂直方向から光を
入射させ、その出射角を測定して円柱ガラスの径方向に
対する屈折率分布を求める屈折率分布の測定方法におい
て、2次元的に分布する平行光線束を円柱ガラスに入射
させ、該円柱ガラスから出射する光線束の2次元分布を
測定して得られた出射角分布から屈折率分布を求める。
前記2次元的に分布する平行光線束を複数の光線束に分
離し、複数の光線束を直交させて円柱ガラスに入射させ
てもよい。前記円柱ガラスからの出射光を光学系を介す
ることなく撮像管により受光して出射角をそれぞれ測定
する。 同じく上記課題を解決するための本発明を適用する屈折
率分布の測定装置は、軸方向には均一な屈折率、径方向
には屈折率が変化する円柱ガラスの中心軸と垂直方向か
ら光を入射させ、その出射角を測定して円柱ガラスの径
方向に対する屈折率分布を求める屈折率分布の測定装置
において、光源と、円柱ガラスの軸方向と平行な軸心で
回転し該光源からの光線を反射する回転ミラーと、該回
転ミラーの反射部分に焦点を有するコリメータレンズと
からなる入射光学系を備えている。 同じく上記課題を解決するための本発明を適用する屈折
率分布の測定装置の別の構成は、入射光学系が、光源
と、円柱ガラスの軸方向と平行な軸心で回転し該光源か
らの光線束を反射する回転ミラーと、該回転ミラーの反
射部分に焦点を有するコリメータレンズと、該コリメー
タレンズを通る光線束の光路上に設けられたハーフミラ
ーと、該ハーフミラーの反射方向に設けられたミラー
と、透過方向に設けら入れたミラーとからなる。 これらの屈折率分布の測定装置では、前記円柱ガラスか
らの出射光の光路上に撮像管を配置してある。
上記本発明の測定方法は、入射光学系から円柱ガラスに
2次元的に分布する平行光線束を入射し、入射した光線
束の円柱ガラスからの出射角をそれぞれ測定することに
より、複数箇所の屈折率分布を同時に測定する。また、
複数の光線束を直交させて円柱ガラスに入射することに
より、90度異なる方向の屈折率を同時に測定することが
できる。 本発明の屈折率分布の測定装置は、レンズを通る光線束
を2次元的に分布する平行光線束として円柱ガラスに入
射させる。さらに、レンズを通った光線束をハーフミラ
ーで分割し、分割された光線束をハーフミラーの反射面
とそれぞれ平行に設けられたミラーで反射することによ
り、直交する光線束を円柱ガラスに同時に入射させるこ
とができる。
2次元的に分布する平行光線束を入射し、入射した光線
束の円柱ガラスからの出射角をそれぞれ測定することに
より、複数箇所の屈折率分布を同時に測定する。また、
複数の光線束を直交させて円柱ガラスに入射することに
より、90度異なる方向の屈折率を同時に測定することが
できる。 本発明の屈折率分布の測定装置は、レンズを通る光線束
を2次元的に分布する平行光線束として円柱ガラスに入
射させる。さらに、レンズを通った光線束をハーフミラ
ーで分割し、分割された光線束をハーフミラーの反射面
とそれぞれ平行に設けられたミラーで反射することによ
り、直交する光線束を円柱ガラスに同時に入射させるこ
とができる。
以下、本発明の実施例を図面により詳細に説明する。 第1図は本発明を適用する屈折率分布の測定装置の実施
例の概略構成図である。同図において、1はプリフォー
ム、2はプリフォーム1を装着したセルであり、セル2
内にはプリフォーム1の表面における急激な屈折率変化
を除くためにマッチングオイル3が満たされている。4
はセル2が設置された移動テーブルであり、移動テーブ
ル4はパルスモータ(不図示)により駆動され、中心軸
をx軸方向と一致させたプリフォーム1をx軸とy軸方
向に移動させる。 5は例えばHe−Neレーザ発振器からなる光源、6は光源
5からの光を集光するレンズである。7は移動テーブル
8に統裁された回転ミラーであり、回転ミラーは移動テ
ーブル8上で矢印A方向に回転しながら光源5から入射
した光を回転軸で反射する。9は回転ミラー7の光源5
から入射した光を反射する部分に焦点を有するコリメー
タレンズである。10はレンズ9で平行にされプリフォー
ム1を通った光を受光する撮像管、11は撮像管10で得た
電気信号のデータを蓄えるフレームメモリ、12は中央処
理装置であり、中央処理装置12はフレームメモリ11に蓄
えられたデータの直線近似等を行ない出射角φを演算し
て表示部13に出力する。 次に、上記のように構成された屈折率分布の測定装置に
よりプリフォーム1の屈折率分布を測定するときの動作
を説明する。 光源5からレンズ6を通って集光された光は回転ミラー
7の回転軸で反射してレンズ9に入射する。このレンズ
9の焦点は回転ミラーの光源5から入射した光を反射す
る部分にあるため、レンズ9に入射した光はレンズ9の
光軸と平行に屈折され、プリフォーム1に対して中心軸
と垂直方向に入射しプリフォーム1により屈折されて出
射する。この出射光は撮像管10で観察され、その像の画
像データがフレームメモリ11に送られ蓄えられる。この
データを中央処理装置12に送り、中央処理装置12で出射
光の像の座標値から出射角φを演算して表示部13に送
る。そして、プリフォーム1を搭載した移動テーブル4
をレンズ9の光軸に対して垂直方向であるy軸方向に移
動しながら、プリフォーム1に入射する光の位置をプリ
フォーム1の半径方向に変えて出射角φの変化を求め
る。 上記のようにして、例えば第2図に示すようにコアの最
大屈折率n1、クラッドな屈折率n2のプリフォーム1の入
射位置rと出射角φの関係を測定し、測定した出射角φ
により屈折率分布n(r)を求める。 一方、回転ミラー7は移動テーブル8上で回転している
ため、回転ミラー7からレンズ9に送られる光はレンズ
9の光軸を中心に回転し、レンズ9の入射点を変える。
このためレンズ9から出射する光軸に平行な2次元的に
分布する平行光線束がx軸方向に移動し、プリフォーム
1をx軸方向に操作する。この結果プリフォーム1をx
軸方向に移動させずに、同時にプリフォーム1の中心軸
方向の複数箇所の出射角φを測定することができる。 このようにして、プリフォーム1の中心軸方向に3本光
線を走査して、繰り返し出射角φを測定し、次式に示す
比屈折率差Δ Δ=(n1−n2)×100/n1 を求め、非屈折率差Δの差σを求めた結果 σ=0.006 であることがわかった。 同じ測定範囲を測定する場合、従来の方法によると3回
の測定に33分要したのに対し、この実施例の場合は測定
時間を16分に短縮することができた。 上記実施例はプリフォーム1の中心軸方向から平行な複
数の光線束を入射する場合について説明したが、上記実
施例の入射光学系に複数のミラーを設けることにより、
プリフォーム1の半径方向から直交する光線束を同時に
入射させるて、プリフォーム1の半径方向における屈折
率分布の対称性を1回の測定で得ることもできる。 第3図はプリフォーム1の半径方向における屈折率分布
の対称性を測定する場合の概略構成を示す。同図におい
て、第1図と同一符号は上記実施例と同じものを示す。
14はコリメータレンズ9で屈折された光線束の一部を透
過し、一部を反射するハーフミラーであり、ハーフミラ
ー14はレンズ9の光軸に対して反射面が45度傾いて設置
されている。15、16はハーフミラー14の反射面と反斜面
がそれぞれ平行に設けられたミラーであり、ミラー15は
ハーフミラー14の透過光を反射し、ミラー16はハーフミ
ラー14の反射光を反射して、各々その反射光をプリフォ
ーム1に入射する。10aは撮像管10に対して垂直方向に
設けられた撮像管、11aはフレームメモリ、12aは中央処
理装置、13aは表示部である。 上記のように構成された屈折率分布の測定装置によりプ
リフォーム1の屈折率分布を測定するときは、レンズ9
で屈折された光軸に平行な光線束はハーフミラー14で直
交する光線束に分割され、分割された光はそれぞれミラ
ー15、16で反射して、互いに直交する光をプリフォーム
1の半径方向から入射する。この入射した光のプリフォ
ーム1からの出射光を撮像管10、10aで観察し、フレー
ムメモリ11、11aに蓄える。そしでフレームメモリ11、1
1aに蓄えられたデータを中央処理装置12、12aで処理し
て、プリフォーム1の半径方向に対して互いに90度異な
る方向の屈折率分布を測定する。 このようにして、プリフォーム1の半径方向に対して互
いに90度異なる方向の屈折率分布を実際に測定し、屈折
率分布のそれぞれの方向の偏心度ε1,ε2を求め、偏心
度ε1,ε2から次式で示す対称度εを計算した。 ε=(ε1 2+ε2 2)1/2 この結果、対称度εとして0.3/125を得ることができ
た。 同じ測定を従来の方法で測定する場合と比べると、この
実施例の場合は測定時間を半分に短縮することができ
た。
例の概略構成図である。同図において、1はプリフォー
ム、2はプリフォーム1を装着したセルであり、セル2
内にはプリフォーム1の表面における急激な屈折率変化
を除くためにマッチングオイル3が満たされている。4
はセル2が設置された移動テーブルであり、移動テーブ
ル4はパルスモータ(不図示)により駆動され、中心軸
をx軸方向と一致させたプリフォーム1をx軸とy軸方
向に移動させる。 5は例えばHe−Neレーザ発振器からなる光源、6は光源
5からの光を集光するレンズである。7は移動テーブル
8に統裁された回転ミラーであり、回転ミラーは移動テ
ーブル8上で矢印A方向に回転しながら光源5から入射
した光を回転軸で反射する。9は回転ミラー7の光源5
から入射した光を反射する部分に焦点を有するコリメー
タレンズである。10はレンズ9で平行にされプリフォー
ム1を通った光を受光する撮像管、11は撮像管10で得た
電気信号のデータを蓄えるフレームメモリ、12は中央処
理装置であり、中央処理装置12はフレームメモリ11に蓄
えられたデータの直線近似等を行ない出射角φを演算し
て表示部13に出力する。 次に、上記のように構成された屈折率分布の測定装置に
よりプリフォーム1の屈折率分布を測定するときの動作
を説明する。 光源5からレンズ6を通って集光された光は回転ミラー
7の回転軸で反射してレンズ9に入射する。このレンズ
9の焦点は回転ミラーの光源5から入射した光を反射す
る部分にあるため、レンズ9に入射した光はレンズ9の
光軸と平行に屈折され、プリフォーム1に対して中心軸
と垂直方向に入射しプリフォーム1により屈折されて出
射する。この出射光は撮像管10で観察され、その像の画
像データがフレームメモリ11に送られ蓄えられる。この
データを中央処理装置12に送り、中央処理装置12で出射
光の像の座標値から出射角φを演算して表示部13に送
る。そして、プリフォーム1を搭載した移動テーブル4
をレンズ9の光軸に対して垂直方向であるy軸方向に移
動しながら、プリフォーム1に入射する光の位置をプリ
フォーム1の半径方向に変えて出射角φの変化を求め
る。 上記のようにして、例えば第2図に示すようにコアの最
大屈折率n1、クラッドな屈折率n2のプリフォーム1の入
射位置rと出射角φの関係を測定し、測定した出射角φ
により屈折率分布n(r)を求める。 一方、回転ミラー7は移動テーブル8上で回転している
ため、回転ミラー7からレンズ9に送られる光はレンズ
9の光軸を中心に回転し、レンズ9の入射点を変える。
このためレンズ9から出射する光軸に平行な2次元的に
分布する平行光線束がx軸方向に移動し、プリフォーム
1をx軸方向に操作する。この結果プリフォーム1をx
軸方向に移動させずに、同時にプリフォーム1の中心軸
方向の複数箇所の出射角φを測定することができる。 このようにして、プリフォーム1の中心軸方向に3本光
線を走査して、繰り返し出射角φを測定し、次式に示す
比屈折率差Δ Δ=(n1−n2)×100/n1 を求め、非屈折率差Δの差σを求めた結果 σ=0.006 であることがわかった。 同じ測定範囲を測定する場合、従来の方法によると3回
の測定に33分要したのに対し、この実施例の場合は測定
時間を16分に短縮することができた。 上記実施例はプリフォーム1の中心軸方向から平行な複
数の光線束を入射する場合について説明したが、上記実
施例の入射光学系に複数のミラーを設けることにより、
プリフォーム1の半径方向から直交する光線束を同時に
入射させるて、プリフォーム1の半径方向における屈折
率分布の対称性を1回の測定で得ることもできる。 第3図はプリフォーム1の半径方向における屈折率分布
の対称性を測定する場合の概略構成を示す。同図におい
て、第1図と同一符号は上記実施例と同じものを示す。
14はコリメータレンズ9で屈折された光線束の一部を透
過し、一部を反射するハーフミラーであり、ハーフミラ
ー14はレンズ9の光軸に対して反射面が45度傾いて設置
されている。15、16はハーフミラー14の反射面と反斜面
がそれぞれ平行に設けられたミラーであり、ミラー15は
ハーフミラー14の透過光を反射し、ミラー16はハーフミ
ラー14の反射光を反射して、各々その反射光をプリフォ
ーム1に入射する。10aは撮像管10に対して垂直方向に
設けられた撮像管、11aはフレームメモリ、12aは中央処
理装置、13aは表示部である。 上記のように構成された屈折率分布の測定装置によりプ
リフォーム1の屈折率分布を測定するときは、レンズ9
で屈折された光軸に平行な光線束はハーフミラー14で直
交する光線束に分割され、分割された光はそれぞれミラ
ー15、16で反射して、互いに直交する光をプリフォーム
1の半径方向から入射する。この入射した光のプリフォ
ーム1からの出射光を撮像管10、10aで観察し、フレー
ムメモリ11、11aに蓄える。そしでフレームメモリ11、1
1aに蓄えられたデータを中央処理装置12、12aで処理し
て、プリフォーム1の半径方向に対して互いに90度異な
る方向の屈折率分布を測定する。 このようにして、プリフォーム1の半径方向に対して互
いに90度異なる方向の屈折率分布を実際に測定し、屈折
率分布のそれぞれの方向の偏心度ε1,ε2を求め、偏心
度ε1,ε2から次式で示す対称度εを計算した。 ε=(ε1 2+ε2 2)1/2 この結果、対称度εとして0.3/125を得ることができ
た。 同じ測定を従来の方法で測定する場合と比べると、この
実施例の場合は測定時間を半分に短縮することができ
た。
以上詳細に説明したように、本発明の測定方法によれ
ば、入射光学系から円柱ガラスに2次元的に分布する平
行光線束を入射し、入射した光線束の円柱ガラスからの
出射角をそれぞれ測定することにより、複数個所の屈折
率分布を同時に測定するようにしたから、屈折率分布の
測定時間を大幅に短縮することができる。また軸方向の
複数箇所の屈折率分布を同時に測定することができると
ともに、軸方向の屈折率分布を連続して測定することが
できるから、軸方向の屈折率分布の微小変動も検出する
ことができる。複数の光線束を直交させて円柱ガラスに
入射することにより、90度異なる方向の屈折率を同時に
測定することができ、屈折率の非対称性も同時に測定す
ることができる。円柱ガラスからの出射角を測定するに
あたり、円柱ガラスからの出射光を光学系を介すること
なく、直接、撮像管により受光して出射角をそれぞれ測
定することができる。 本発明の屈折率分布の測定装置は、レンズを通った2次
元的に分布する平行光線束をハーフミラーで分割し、分
割された光線束をハーフミラーの反射面とそれぞれ平行
に設けられたミラーで反射することにより、直交する光
線束を円柱ガラスに同時に入射させることができるか
ら、簡単な構造で屈折率の非対称性を測定することがで
きる。また、円柱ガラスの出射光の光路上に光学系を介
することなく撮像管を配置してあるから、光学系の軸合
わせの手間が軽減され、簡便な装置となる。
ば、入射光学系から円柱ガラスに2次元的に分布する平
行光線束を入射し、入射した光線束の円柱ガラスからの
出射角をそれぞれ測定することにより、複数個所の屈折
率分布を同時に測定するようにしたから、屈折率分布の
測定時間を大幅に短縮することができる。また軸方向の
複数箇所の屈折率分布を同時に測定することができると
ともに、軸方向の屈折率分布を連続して測定することが
できるから、軸方向の屈折率分布の微小変動も検出する
ことができる。複数の光線束を直交させて円柱ガラスに
入射することにより、90度異なる方向の屈折率を同時に
測定することができ、屈折率の非対称性も同時に測定す
ることができる。円柱ガラスからの出射角を測定するに
あたり、円柱ガラスからの出射光を光学系を介すること
なく、直接、撮像管により受光して出射角をそれぞれ測
定することができる。 本発明の屈折率分布の測定装置は、レンズを通った2次
元的に分布する平行光線束をハーフミラーで分割し、分
割された光線束をハーフミラーの反射面とそれぞれ平行
に設けられたミラーで反射することにより、直交する光
線束を円柱ガラスに同時に入射させることができるか
ら、簡単な構造で屈折率の非対称性を測定することがで
きる。また、円柱ガラスの出射光の光路上に光学系を介
することなく撮像管を配置してあるから、光学系の軸合
わせの手間が軽減され、簡便な装置となる。
第1図は本発明を適用する装置の実施例の概略構成図、
第2図はプリフォームの屈折率分布を示す特性図、第3
図は別な実施例の概略構成図、第4図は従来の装置例を
示す概略構成図である。 1……プリフォーム、2……セル 4……移動テーブル、5……光源 6、9……レンズ、7……回転ミラー 8……移動テーブル、10……撮像管 11……フレームメモリ、12……中央処理装置 13……表示部、14……ハーフミラー 15、16……ミラー
第2図はプリフォームの屈折率分布を示す特性図、第3
図は別な実施例の概略構成図、第4図は従来の装置例を
示す概略構成図である。 1……プリフォーム、2……セル 4……移動テーブル、5……光源 6、9……レンズ、7……回転ミラー 8……移動テーブル、10……撮像管 11……フレームメモリ、12……中央処理装置 13……表示部、14……ハーフミラー 15、16……ミラー
Claims (6)
- 【請求項1】軸方向には均一な屈折率、径方向には屈折
率が変化する円柱ガラスの中心軸と垂直方向から光を入
射させ、その出射角を測定して円柱ガラスの径方向に対
する屈折率分布を求める屈折率分布の測定方法につい
て、2次元的に分布する平行光線束を円柱ガラスに入射
させ、該円柱ガラスから出射する光線束の2次元分布を
測定して得られた出射角分布から屈折率分布を求めるこ
とを特徴とする屈折率分布の測定方法。 - 【請求項2】前記2次元的に分布する平行光線束を複数
の光線束に分離し、複数の光線束を直交させて円柱ガラ
スに入射させる請求項第1項記載の屈折率分布の測定方
法。 - 【請求項3】前記円柱ガラスからの出射光を光学系を介
することなく撮像管により受光して出射角をそれぞれ測
定することを特徴とする請求項第1項または第2項記載
の屈折率分布の測定方法。 - 【請求項4】軸方向には均一な屈折率、径方向には屈折
率が変化する円柱ガラスの中心軸と垂直方向から光を入
射させ、その出射角を測定して円柱ガラスの径方向に対
する屈折率分布を求める屈折率分布の測定装置におい
て、光源と、円柱ガラスの軸方向と平行な軸心で回転し
該光源からの光線束を反射する回転ミラーと、該回転ミ
ラーの反射部分に焦点を有するコリメータレンズとから
なる入射光学系を備えたことを特徴とする屈折率分布の
測定装置。 - 【請求項5】入射光学系が、光源と、円柱ガラスの軸方
向と平行な軸心で回転し該光源からの光線を反射する回
転ミラーと、該回転ミラーの反射部分に焦点を有するコ
リメータレンズと、該コリメータレンズを通る光線束の
光路上に設けられたハーフミラーと、該ハーフミラーの
反射方向に設けられたミラーと、透過方向に設けられた
ミラーとからなることを特徴とする請求項第4項記載の
屈折率分布の測定装置。 - 【請求項6】前記円柱ガラスからの出射光の光路上に撮
像管を配置したことを特徴とする請求項第4項または第
5項記載の屈折率分布の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1130992A JPH07117476B2 (ja) | 1989-05-24 | 1989-05-24 | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1130992A JPH07117476B2 (ja) | 1989-05-24 | 1989-05-24 | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02309227A JPH02309227A (ja) | 1990-12-25 |
JPH07117476B2 true JPH07117476B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=15047398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1130992A Expired - Fee Related JPH07117476B2 (ja) | 1989-05-24 | 1989-05-24 | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07117476B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011080962A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Denso Corp | 振れ計測装置及び振れ計測方法 |
CN104215431A (zh) * | 2014-09-25 | 2014-12-17 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种快速倾斜镜性能测试装置 |
JP7216042B2 (ja) * | 2020-03-27 | 2023-01-31 | Kddi株式会社 | 光ファイバの屈折率分布の測定装置及び当該測定装置の処理装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6170436A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | Univ Kyoto | 円柱内屈折率分布測定方法 |
JPS6353402A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 透光性を有する長尺体の偏心率測定方法 |
JPS6395336A (ja) * | 1986-10-10 | 1988-04-26 | Fujikura Ltd | 屈折率分布の測定方法 |
-
1989
- 1989-05-24 JP JP1130992A patent/JPH07117476B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02309227A (ja) | 1990-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AU2009202383B2 (en) | Apparatus for low coherence ranging | |
US10245683B2 (en) | Apparatus and method for beam diagnosis on laser processing optics | |
JP2008541101A (ja) | 物体の表面測定装置およびその表面測定方法 | |
CN103358018A (zh) | 激光光轴校准方法和利用该方法的激光加工装置 | |
US4583851A (en) | Method and apparatus for monitoring optical fiber concentricity | |
JP3726028B2 (ja) | 3次元形状計測装置 | |
EP0110937A1 (en) | APPARATUS FOR MEASURING THE DIMENSIONS OF CYLINDRICAL OBJECTS BY MEANS OF A FLOATING LASER BEAM. | |
JPH07117476B2 (ja) | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 | |
JPS6395336A (ja) | 屈折率分布の測定方法 | |
US3619067A (en) | Method and apparatus for determining optical focal distance | |
JPH0812130B2 (ja) | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 | |
US3288021A (en) | Microscope for measuring the size of an object | |
JP2519775B2 (ja) | 屈折角測定装置 | |
JPS632322B2 (ja) | ||
Harding et al. | Hybrid, high accuracy structured light profiler | |
JPH07311117A (ja) | 多眼レンズ位置測定装置 | |
CN212620587U (zh) | 一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置 | |
JPH09269278A (ja) | レンズ性能測定方法及び測定装置 | |
JP2661001B2 (ja) | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 | |
JPH0339709Y2 (ja) | ||
RU2366895C2 (ru) | Фотоэлектрическое устройство для измерения отклонений от прямолинейности расположения объектов и их геометрических форм | |
RU2242846C1 (ru) | Лазерный центратор для рентгеновского излучателя | |
JPH0436629A (ja) | 走査光学系におけるビーム形状測定装置 | |
JPH053537B2 (ja) | ||
JPH03225250A (ja) | 屈折率分布の測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |