JPH07117380B2

JPH07117380B2 - 受光変換装置

Info

Publication number: JPH07117380B2
Application number: JP61170594A
Authority: JP
Inventors: 慎太郎稲垣; 彬小林
Original assignee: Anritsu Corp
Current assignee: Anritsu Corp
Priority date: 1986-07-18
Filing date: 1986-07-18
Publication date: 1995-12-18
Anticipated expiration: 2010-12-18
Also published as: JPS6326505A; EP0253391A2; EP0253391A3; US4800288A; DE3787685D1; EP0253391B1; DE3787685T2

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、複数の受光セルとメモリ関数発生器を備え、
該関数発生器で発生し該メモリ中に記憶保持された荷重
関数に係る情報に従って所望の受光セルの出力信号の総
和を出力することにより時間的に並列に受光画像の２次
元変換を実行する受光変換装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来より、空間的に分布する照射光の強度のパターンま
たは画像を検出・計測し有益な情報を取り出すセンシン
グデバイスとしては、大別して次の２種類がある。すな
わち、（１） CCDのように、受光部で検出した画像を時間的
直列な電気信号に変換し、順次、出力するものと、（２）スリット列による集積化空間フィルタのように
空間的荷重関数により並列的に処理した信号を実時間で
出力するものである。

後者の例では、同一発明者・同一出願人による特願昭60
−155462「非接触直径測定装置」、特開昭60−155463
「非接触の直径測定装置」、特願昭60−155464「非接触
式の直径測定装置」及び特願昭60−155465「非接触方式
の直径測定装置」があり、これらはいずれも、2n個の同
寸法の矩形状の光検出器でなる光検出器アレイたるスリ
ット列形空間フィルタを用いて、照射投影された円形像
の移動速度と直径に係る情報を含む出力信号を、実時間
で出力するために、空間的並列として出力するものであ
る。

あるいは、同一発明者、同一出願人による特願昭61−64
694号「可変空間フィルタ」の如く荷重関数を可変と
し、それに基づいて信号処理の方法を変更できる装置等
が知られている。

また、文献II.Langer and B.Meffert:Bildverarbeitung
mit Orthogonal transformation,Nachrichtentech Ele
ctron.Vol.35（４）pp.152−154（1985）には、可変性
を有する液晶マトリクスによって０、１の２値の２次元
直交関数を光透過の強度とする光学的フィルタを実現
し、これを荷重関数として空間フィルタリングを行う着
想が発表されている。

以下，この内容につき第４図により説明する。図におい
て、Ｘ軸液晶駆動回路26及びＹ軸液晶駆動回路27は、液
晶マトリクス23を制御して所望の２次元直交関数の非負
の数値に対応して透過・不透過の切り換えを行う。

液晶マトリクス23は透過，すなわち１及び不透過，すな
わち０の２値のみながら２次元直交関数に従って空間的
分布の透過率を有する光学的フィルタとなる。すなわ
ち、空間フィルタに他ならない。

対象画像21からの光線は投影用光学系22によって液晶マ
トリクス23上に投影される。

そして、透過率の空間的分布に従って選択的に透過し集
光用光学系24によって受光器25に集光する。つまり、２
次元的対象画像と２次元的空間分布の２次元的積分値に
等しい強度の光信号が受光器25で検出され、電気信号と
して外部に出力される。すなわち、空間フィルタリング
が実行される。しかも、０と１の２値ながら、液晶マト
リクス23は可変性を有するので、外部からの設定に応じ
て複数種類の空間フィルタを切り換えて実現できる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来技術のうちCCDなどのように検出した画像を時間的
に直列な電気信号に変換し、順次、出力するものは、外
部に汎用性のある信号処理系を接続して様々な信号処理
を行って有益な情報を取り出すことができるが、信号を
処理系に転送する際、すべての画像情報を順次伝送する
必要があることから一定の時間を要する。従って、該一
定の時間よりも動きの速いものには追従できず動的な情
報を得るには適さなかった。また、集積化した空間フィ
ルタのような空間的に荷重関数により並列的に信号処理
を行い有益な情報を含む信号を実時間で出力するもの
は、対象である移動速度・方向など動的な情報を得るに
は適するが、その反面荷重関数を変えるには適さず、従
って、信号処理は固定化され変更できない欠点があっ
た。

また、可変空間フィルタでは、対象の移動方向に応じて
荷重関数を変更し、様々な方向の移動速度を測定するの
には適するが、そのままでは２次元変換を行う機能を有
していなかった。さらに、前記文献に掲載の液晶マトリ
クスによる２次元直交関数を利用した信号処理では、非
負の関数値を設定できるだけで正負の関数値を設定でき
ないために真の２次元直交関数を実現できず、正負別々
の信号処理を行ったのちその差を取るかまたはその他の
何らかの補助的信号処理手段が必要であった。

本願は、従来から非接触速度測定に用いられた空間フィ
ルタ速度計に可変性、柔軟性を導入した技術思想で、実
時間の時間波形を出力しつつ画像の特徴（数値）を得る
ことを目的としている。これを言い換えると、これまで
に記憶手段に格納された原画像（静止画像）の各画素
に、（主として３×３＝９の）係数を乗じて、ノイズ除
去、エッジ強調などの画質改善を施して、処理画像を得
たもの（特開昭60−134991号公報）があったが、本願は
これまでにない動画像を実時間処理する機能を備えるこ
とを目的としている。

本発明の目的は、以上、述べた欠点を解消すること、並
びに従来技術において実現が困難であった画像やパター
ンの動的な情報を検出でき、かつ、信号処理の内容も変
更できる２次元変換を実時間で実行する受光変換装置を
提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明が採用する手段は、平面的な情報源（検出器ア
レイ）から得た信号に荷重関数を作用して２つの和信号
を作り、該２つの和信号の差によって情報処理を行っ
て、動的な情報処理と可変性を有する荷重関数による変
換との両立ができなかった従来技術の問題を解決するこ
とを骨子とする。前記荷重関数としては、正弦関数と
か、ウオルシ（Walsh）関数の直交関数が適宜採用でき
る。

以下、本発明が問題点を解決するために採用した技術手
段を述べる。

まず、本発明が実行する２次元変換と２次元関数の関係
について説明する。一般に２次元の画像ｆ（x,y）を離
散化して行列〔Fxy〕で表記した時，ある行列〔Gxy〕に
よる２次元変換〔Iij〕は次の（１）式で表される。

〔Iij〕＝〔Gxy〕・〔Fxy〕・〔Gxy〕^Ｔ ……（１）ここで〔Gxy〕^ＴはGxyの転置行列である。

この〔Iij〕には、画像ｆ（x,y）の特徴を代表する特異
な数値が含まれる。よって，前記２次元の画像を処理し
て有益な情報を取り出すたけの信号処理においては重要
な役割をはたすことになる。

次に、行列〔Iij〕の各々の要素Iijについて計算する。

ここで、関数ｇ（i,j,x,y）を次の（３）式のように定
義して（２）式を書替える。

ｇ（i,j,x,y）＝Gix・Gjy ……（３）ここで、Gixをｘの関数と考え、行列〔Gix〕の第ｉ行の
波形関数とみなし、第ｉ次の変換関数と呼ぶことにす
る。特に、〔Gix〕は、直交行列であるとき第ｉ次の直
交関数と呼ばれる。

また、ｇ（i,j,x,y）をGixを拡張した第i,j次の２次元
変換関数と呼ぶことにする。特に、Gixが直交関数のと
きは、第i,j次の２次元直交関数と呼ばれる。上記
（４）式より明らかなように、２次元変換Iijを求める
ことは対象となる画像Fxyと関数ｇ（i,j,x,y）の積を取
りxy平面内で和を取ることと等価である。また、上記
（４）式は、（５）式のように拡張できる。

なお、上記（４）式は、fxyを縦横等間隔の格子状に離
散化した処理を示し、上記（５）式は、fxyを任意の２
次元的配列点で離散化した処理を示すが原理は同じであ
る。

以上より、上記（４）式又は（５）式の演算を実時間で
高速に実行する受光変換装置には、次のような機能が要
求される。

（１）受光する点x,yにおける照射光の強度に対し、
対応したｇ（i,j,x,y）を乗算して出力する機能。

（２）すべてのx,yに対し，前記乗算した出力をすべ
て加算する機能。

（３）前記ｇ（i,j,x,y）の正負にかかわらず前記乗
算及び加算を実行する機能。

（４）前記乗算および加算を実時間で並列的に実行す
る機能。

（５）上記ｇ（i,j,x,y）の次数i,jを外部からの指定
により変更する機能である。

次に上記のような並列性・可変性を実現するための技術
手段を、本発明の構成とともに証明する。

本発明の構成は、第１図に示すように、同一受光面上に
照射光の強度に応じた出力信号を出力する複数個の受光
セル１が設けられ、この受光セル１は２次元的に配列さ
れ、例えば、照射光の強度に応じた光電流を出力するシ
リコンホトダイオードなどで実現される。ここでは受光
セル１が４個の場合を示している。図において、２は第
１の和信号出力線、３は第２の和信号出力線であって、
例えば、基板上に配線された金属薄膜による導線で前記
複数個の受光セル１のうち、１または２以上の受光セル
１からの光電流などの出力信号を受けて、これらの出力
信号の和でなる和信号を差動増幅器５に伝送出力するも
のである。それぞれの受光セル１からの出力信号は、伝
達切換手段４を介して前記第１の和信号出力線２か第２
の和信号出力線３のいずれかに伝達される。この伝達切
換手段４は制御信号に従って該出力信号を増幅したり減
衰したり遮断したりする機能を有し、該受光セル１対応
で設けられ、例えば、ゲート電圧（制御信号）により伝
達・遮断・増幅・減衰の切り換えができるシリコンFET
などで構成される。

第１図においては、４つの受光セル１と、第１の和信号
出力線２及び第２の和信号出力線３のすべての組合せに
ついて伝達ができるようにするために８個の伝達切換手
段４としてある。

メモリ６は、個々の伝達切換手段４に対し、伝達・遮断
・増幅の率・減衰の率を指定するための荷重情報を記憶
保持し、かつ、この荷重情報を該伝達切換手段４に出力
する。このメモリ６は、例えば、シリコントランジスタ
によるフリップフロップなどで実現できる。

メモリ書込み手段７は、該メモリ６に荷重情報を書き込
むためのもので、例えば、行および列デコーダ、列選択
スイッチなどから構成される。

関数発生器８は、例えば、２次元の余弦関数、２次元の
Haar関数あるいは２次元のWalsh関数のような２次元関
数の値を出力する能力を有する。

すなわち、外部より受けた次数の指定i,jなどに従い、
当該次数の２次元関数の値ｇ（i,j,x,y）（以下，荷重
情報という。）を出力するもので，この荷重情報は，対
応するｘ行ｙ列の受光セルからの出力信号が伝達切換手
段４においてｇ（i,j,x,y）倍の信号となるようにする
ための情報で，メモリ書込み手段７を介してメモリ６に
書き込まれる。ここで、伝達切換手段４は、ｇ（i,j,x,
y）が正値の時に該ｇ（i,j,x,y）の信号を第１の和信号
出力線２に伝達し、ｇ（i,j,x,y）が負値の時に該ｇ
（i,j,x,y）倍の信号を第２の和信号出力線３に伝達
し、さらに差動増幅器５がこの２信号の差の信号を出力
する。したがって、実質的に正負の関数値ｇ（i,j,x,
y）を受光セル１の出力信号に乗じる動作が実行され
る。

〔作用〕

本発明の作用について第１図により説明する。同一受光
面上に設けられた受光セル１は、測定対象たる画像また
は照射光パターンを検出する。

関数発生器８は、空間的な並列処理に用いる荷重情報
（荷重パターン）を発生し、メモリ書込み手段７に伝達
する。ここで、荷重情報は、複数個の受光セル１のそれ
ぞれの出力信号が、どんな値と乗算され、第１の和信号
出力線２又は第２の和信号出力線３のいずれに伝達され
るべきかを指定する情報である。

メモリ６は、該荷重情報を記憶保持し、また、指定され
た特定の前記受光セル１の出力信号に対し、特定の増幅
率・減衰率を乗じて第１の和信号出力線又は第２の和信
号出力線のいずれに伝達すべきかについての荷重情報を
伝達切換手段４に出力する。伝達切換手段４は、メモリ
６からの荷重情報に応じて出力信号に対して伝達・遮断
・増幅・減衰の動作を行う。

第１の和信号出力線２と第２の和信号出力線３は，伝達
切換手段４を介して受光セル１からの出力信号を受領
し、それらの和の信号を差動増幅器５に出力する。

差動増幅器５は、該第１の和信号出力線２と第２の和信
号出力線３とから受領した２つの信号の差を出力する。

メモリ書込み手段６は該荷重情報をメモリ６に書込む。

本発明の受光セルの配置は、２次元的になんら制約はな
く、同心円状配置や蜂の巣状最密充填配置など多くの配
置法が可能である。

第１図に示した受光セル１を縦横等間隔に配置する方法
においては、荷重情報ｇ（i,j,x,y）を発生するにあた
り、ｇ（i,j,x,y）＝Gix・Gjyと分解して算出すること
ができるので、分解せず算出する方法に比べ、簡便かつ
高速に荷重情報の発生ができる。

また、本発明の荷重情報たる２次元関数にはなんら制約
はなく、近傍点での平均を取って平滑化に応用したり、
差分形荷重を用いて勾配を検出したり、ラプラシアン形
荷重を用いてエッジの強調をするなど多くの２次元関数
を用いることができる。また、２次元関数として、特
に、２次元直交関数を用いる方法においては、２次元の
三角関数を用いれば対象画像の２次元周波数分析に応用
でき、２次元のWalsh関数を用いれば対象画像の２次元
交番数分析に応用できるなど、用いた特定の２次元直交
関数に特有なスペクトルにおける広義のスペクトル分析
にも応用できる。

本発明の荷重関数たる２次元関数として２次元直交関数
を用いる場合、この２次元直交関数になんら制約はなく
２次元の三角関数、２次元のWalsh関数、２次元のHaar
関数など多くの２次元直交関数が用いられる。特に、２
次元関数ｇ（i,j,x,y）として２次元のWalsh関数wal
（i,j,x,y）を用いる場合においては、wal（i,j,x,y）
の値は＋１と−１の２値のみであるので、伝達切換手段
に増幅・減衰機能を要せず、簡素な構成で実施でき、特
に集積化に適した構成とすることができ、２次元交番数
分析機能を有する受光変換装置が実現できる。

さらにまた、本発明の伝達切化手段の実現の方法にはな
んら制約はない。よって、伝達切換手段としては、荷重
情報ｇ（i,j,x,y）に応じて出力の変化する電気的増幅
器を用いるか、あるいは電気的減衰器を用いるなどの実
現方法が考えられる。

また、伝達切換手段として、２出力セレクタを使用すれ
ば、＋１又は−１の値で荷重情報ｇ（i,j,x,y）を近似
化して２次元変換でき、しかも簡素な構成で実施でき集
積化に適した構成とすることができ、しかも２次元のWa
lsh関数wal（i,j,x,y）のような２値関数を２次元関数
として用いる時は近似でなく必要にして十分な精度で２
次元変換を実行する受光変換装置とすることができる。

本発明の構成要素の形状・構造にはなんら制約はない。

したがって、主要部分を集積化して一体構造とすれば、
受光セル部やメモリなど基本的要素の繰り返しが多く、
かつ、信号出力線は受光セルの数によらず２本のみなの
で半導体集積回路技術の特徴を十分に利用した集積化受
光変換装置とすることができる。

また、二層以上の積層構造に集積化すれば、３次元的な
一体構造とすることができるので、最上層に受光セルを
配置することにより、受光面のほぼ全面を受光セルが占
めるため、受光面の大きな部分をメモリや配線に取られ
ず有効に利用でき、半導体集積回路技術の特徴を十分に
利用した集積化受光変換装置とすることができる。

さらに、メモリが個々の受光セルの荷重情報を記憶保持
する部分に分かれているその部分が対応する受光セルの
近傍に配置される構成の場合においては、個々の受光セ
ルとメモリとの間の配線距離が短いため、全体の配線部
分の占める面積を小さくすることができるので、半導体
集積回路技術の特徴を十分に利用した受光変換装置とす
ることができる。

〔実施例〕

以下，図面に従って本発明を詳細に説明する。第２図は
本発明の一実施例のうち、受光領域近傍における構成の
詳細を、第３図は本実施例の受光セル付近における構成
の詳細を示す図である。

これらの実施例では、荷重情報ｇ（i,j,x,y）として２
次元のWalsh関数wal（i,j,x,y）を採用しているので、
関数発生器８としてWalsh関数発生器を用いている。第
２図では、第１の和信号出力線２及び第２の和信号出力
線３とメモリ書込み手段７を示し、基板９の上に受光セ
ル等を含む画素10を配列してなる受光領域11の内部詳細
については模式的に示してある。

受光領域11は、画素10を多数規則的に、例えば、縦横32
×32＝1024個の格子状に配列してなっている。各々の画
素10にはメモリ書込み手段７より１本のワード線12と１
本または複数本のデータ線13が配線され、両線を適宜選
択して任意の画素を選び、その画素中の任意のメモリの
セルに所望の情報を書き込むことができる。第２図で
は、1024個の画素10のうち１個の画素10についての配線
が示してあるが、実際の配線はすべての画素10について
同様におこなわれる。

本発明の特徴は、出力信号の和信号出力線がすべての画
素10に接続され、前記荷重情報で指定されたすべての受
光セルの出力信号の和が同時に第１の和信号出力線２及
び第２の和信号出力線３に出力されることである。荷重
情報のwal（i,j,x,y）は＋１又は−１の２値のみしか取
らないので、受光セル１のx,yに応じてwal（i,j,x,y）
＝＋１の該受光セル１の出力はすべて第１の和信号出力
線２に接続し、wal（i,j,x,j）＝−１の受光セル１の出
力はすべて第２の和信号出力線３に接続される。すなわ
ち、第１及び第２の和信号出力線により、受光領域11中
における所望の受光セル１すべての信号の和が実時間で
出力される。

第３図では、１個の画素の内部構成を示すと共に、受光
セル１の出力信号に伝達切換手段４を介して第１及び第
２の和信号出力線２、３に伝送するためのメモリ６の近
傍の配線を表わしている。

本実施例では、メモリ６は、通常のSRAM（スタティック
RAM）のセルと同様のフリップフロップである。本実施
例では１画素中に２つのメモリのセルを有するので、通
常SRAMの配線と同様に各々のメモリのセルに対してワー
ド線12が１本とデータ線13が２本必要である。

第３図では、２つのメモリ６のセルに対するデータ線の
うちビット指定をするデータ線13cを共用とし、メモリ
６の記憶の内容を指定するデータ線13a、13bと合わせて
３本で実現している。

そして、メモリ６で記憶保持する電気信号が、論理値１
の場合には対応する伝達切換手段４は伝達動作を用い、
論理値０の場合には対応する伝達切断手段４は遮断動作
を行うものとする。この構成により任意の受光セルの出
力信号を第１及び第２の和信号出力線に出力できる。

本実施例では特定の次数i,jを設定した後は、実時間で
並列的に対象画像fxyの２次元のWalsh関数の変換を実行
し、そのij次要素Iijを出力する。すなわち、対象画像
の２次元交番数分析を並列的に実行し、その２次元交番
数スペクトルのij成分を実時間で出力する。

したがって、高速で移動したり、素早く変化する対象画
像の交番数スペクトルのij成分を実時間で検出すること
ができる。また,iとｊを高速に切換えることにより対象
画像の２次元交番数スペクトルを、i,jに応じて順次、
検出することができる。さらに、対象画像の特徴を最も
良く代表する次数i,jを選択的に設定し、その時の出力
信号によって対象画像の特徴を判定し、その判定結果で
次に検出すべき特徴とその特徴を最も良く代表する次数
i,jとを判断してさらに特徴抽出を続ける如き手順によ
り迅速に対象画像の特徴抽出・パターン分類・形状識別
・認識のどをも行うことができる。このように本実施例
では、１個の素子で数多くの計測が可能である。

また，本実施例では、メモリとしてSRAMに用いられるよ
うなフリップフロップを用いているが、これに代わりDR
AM（ダイナミックRAM）のメモリセルの回路方式を採用
すれば、より集積化に有利な小形のセルで同様の動作を
行うことができる。

さらに、メモリとしてのPROM（プログラマブルROM）を
用いれば、１種類の素子で用途に応じた固定の荷重を設
定しうるプログラマブルな受光変換装置とすることがで
きる。あるいはまたメモリセルを基板中に３次元的に集
積化すれば、基板表面を受光領域として有効に活用した
３次元素子とすることができる。

〔発明の効果〕

以上、述べたように、本発明は、動的な情報処理と可変
性を有する荷重関数による変換の両立ができる受光変換
装置を提供する。この受光変換装置は、照射投影された
像の２次元変換を得るのに適した空間的に並列な信号処
理機能を有し、実時間の信号を出力するのみならず，荷
重情報を書替えることにより１個の素子で様々な２次元
変換およびその係数を切換えて実行できる。また、和信
号の出力線の数は受光セルの数によらず２本のみである
から集積化に適した構造である。

よって、本発明の産業上の利用効果は十分なものといえ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の全体構成を示す図、第２図は本発明の
一実施例のうち、受光領域の近傍における構成の詳細を
示す図、第３図は本発明の一実施例のうち、受光セルの
近傍における構成の詳細を示す図、第４図は従来技術の
液晶マトリクスによる２次元直交変換の構成を示す図で
ある。図において、１は受光セル、２は第１の和信号出力線、
３は第２の和信号出力線、４は伝達切換手段、５は差動
増幅器、６はメモリ、７はメモリ書込み手段、８は関数
発生器をそれぞれ示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭60−134991（ＪＰ，Ａ) 特開昭54−22848（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−222106（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−15401（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】同一受光面上に２次元的に配列し、照射光
の強度に応じた出力信号を実時間の時間波形として出力
する複数個の受光セル（１）と、受領した信号の和を伝送出力する第１の和信号出力線
（２）と、受領した信号の和を伝送出力する第２の和信号出力線
（３）と、前記複数個の受光セルの各々と前記第１の和信号出力線
及び第２の和信号出力線各々との間に介挿され、受光セ
ルからの出力信号を受領し、該出力信号を遮断または増
幅して、減衰してもしくはそのままの大きさで前記いず
れかの和信号出力線に実時間の時間波形として伝達する
伝達切換手段（４）と、該伝達切換手段に対して遮断、増幅の率または減衰の率
を指定するための荷重情報を記憶保持し、該荷重情報を
前記伝達切換手段に出力するメモリ（６）と、該メモリに前記荷重情報を書込むメモリ書込み手段
（７）と、外部からの指定に従い、前記荷重情報として２次元関数
の荷重情報を発生し、前記メモリ書込み手段に出力する
関数発生器（８）と、前記第１の和信号出力線の和信号と第２の和信号出力線
の和信号とを受領し、それら和信号の差の信号を出力す
る差動増幅器（５）とを備えた受光変換装置。
【請求項２】前記受光セル（１）が、縦横等間隔に格子
状に配列していることを特徴とする特許請求の範囲第
（１）項に記載の受光変換装置。
【請求項３】前記２次元関数が、２次元直交関数である
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項または第
（２）項に記載の受項変換装置。
【請求項４】前記２次元関数が、２次元のウォルシュ
（Walsh）関数であることを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項、第（２）項または第（３）項に記載の受光
変換装置。
【請求項５】前記伝達切換手段（４）が切換え可能な２
出力セレクタより成ることを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項、第（２）項、第（３）項または第（４）項
に記載の受光変換装置。
【請求項６】前記受光セル（１）、前記第１の和信号出
力線（２）、前記第２の和信号出力線（３）、前記伝達
切換手段（４）、前記メモリ（６）及び前記メモリ書込
み手段（７）が集積化され、一体構造をなすことを特徴
とする特許請求の範囲第（１）項、第（２）項、第
（３）項、第（４）項または第（５）項に記載の受光変
換装置。
【請求項７】前記受光セリ（１）、前記第１の和信号出
力線（２）、前記第２の和信号出力線（３）、前記伝達
切換手段（４）、前記メモリ（６）及び前記メモリ書込
み手段（７）が２層以上の積層構造に集積化され、３次
元的な一体構造をなすことを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項、第（２）項、第（３）項、第（４）項、第
（５）項または第（６）項に記載の受光変換装置。
【請求項８】前記メモリ（６）が、前記複数個の受光セ
ル（１）それぞれの荷重情報を記憶保持する部分に分か
れ該部分が対応する受光セルの近傍に配置されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項、第（２）
項、第（３）項、第（４）項、第（５）項、第（６）項
または第（７）項に記載の受光変換装置。