JPH07104131A - Optical fiber line shaped light guide - Google Patents

Optical fiber line shaped light guide

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JPH07104131A
JPH07104131A JP24697493A JP24697493A JPH07104131A JP H07104131 A JPH07104131 A JP H07104131A JP 24697493 A JP24697493 A JP 24697493A JP 24697493 A JP24697493 A JP 24697493A JP H07104131 A JPH07104131 A JP H07104131A
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JP
Japan
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optical fiber
light
light emitting
light guide
emitting end
Prior art date
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Application number
JP24697493A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Kawai
隆志 川井
Kiyoshi Hatsutori
希義 服部
Masatoshi Toda
正利 戸田
Shintaro Tashiro
慎太郎 田代
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Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Publication date
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  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PURPOSE:To illuminate by a light guide so that the faults such as very slight scratches, fine wrinckels and stripes may be detected as the faults even in the case these faults are generated in a direction of carrying an object to be inspected. CONSTITUTION:The light guide is constituted of plural optical fibers 1 which are bundled on the light incident ends 2 and arranged on the light emitting end 3 in a line, a line shaped ferrule 3 for supporting the light emitting end part and a metal fixture 5 for bundling the light incident ends 2, and the light emitting end part of the optical fiber 1 is arranged while being inclined to the light emitting end face 6 of the light guide, the light emitting end face of the optical fiber 1 is formed perpendicularly to the light emitting axis of the optical fiber, and also, the end face is mirror-finished.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバを用いた
ライン状ライトガイドに関し、より詳細には、欠陥検出
において照明に使用される光ファイバライン状ライトガ
イドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber linear light guide, and more particularly to an optical fiber linear light guide used for illumination in defect detection.

【0002】[0002]

【従来の技術】フィルム、紙、樹脂板、不織布、金属
箔、セラミックなど連続的に生産されるもの、また、ガ
ラス板、回路基板、光ディスク、ドラムなど枚葉で生産
されるものに対する欠陥検査には、高解像度の高速な検
査が必要である。このような欠陥検査では、連続的に若
しくは間欠的に搬送される被検査対象に対して、通常、
被検査対象を横断する方向に配置されたライン状照明
と、被検査対象からの反射光若しくは透過光を受光する
ラインCCDカメラとが用いられる。
BACKGROUND OF THE INVENTION For defect inspection of films, papers, resin plates, non-woven fabrics, metal foils, ceramics, etc. that are continuously produced, and glass plates, circuit boards, optical disks, drums, etc. Require high resolution, high speed inspection. In such a defect inspection, normally, for an object to be inspected that is continuously or intermittently transported,
A line-shaped illumination arranged in a direction traversing the inspection object and a line CCD camera that receives reflected light or transmitted light from the inspection object are used.

【0003】フィルムや回路基板などの上記被検査対象
に見られる欠陥としては、表面付着異物、内包異物、
泡、打痕等の凹凸、表面傷、汚れ、シワなどがあり、ま
た、コーティングや蒸着を行うものであれば、ピンホー
ル、コーティングスジ、塗膜ムラ等がある。上記欠陥検
出において照明に使用されるライン状照明としては、蛍
光灯あるいは、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ
などのランプ光源、光ファイバライトガイドなどと、こ
れらの組合せがある。
Defects found in the above-mentioned objects to be inspected, such as films and circuit boards, include surface-attached foreign matter, inclusion foreign matter,
There are irregularities such as bubbles and dents, surface scratches, stains and wrinkles, and if coating or vapor deposition is performed, there are pinholes, coating stripes, coating film unevenness and the like. As the linear illumination used for illumination in the above defect detection, there are a fluorescent lamp, a lamp light source such as a halogen lamp and a metal halide lamp, an optical fiber light guide and the like, and a combination thereof.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】フィルムや回路基板な
どの上記被検査対象に対する欠陥検出において、非常に
浅い傷、細いシワやスジなど、特に被検査対象の搬送方
向に発生したこれらの傷は、従来のライン照明で欠陥と
して検出することが難しい。これは、これらの浅い傷が
光の散乱などに方向性があるからである
In the detection of defects on the above-mentioned object to be inspected such as a film or a circuit board, very small scratches, fine wrinkles and stripes, especially those scratches which occur in the conveying direction of the object to be inspected, It is difficult to detect as a defect by conventional line illumination. This is because these shallow scratches are directional to light scattering, etc.

【0005】これに対して、傷の発生している方向に対
して、平行な光源にて指向性の強い光を照射するため
に、搬送方向にライン状光源を傾斜することが提案され
ている。しかし、搬送方向には、光源自体の巾などから
傾斜に制限がある上に、ライン状光源の長手方向(ライ
ン幅方向)には、傾斜することが難しい。また、複数本
光ファイバの光出射端をライン状に配列し、ライトガイ
ドの出射端面に対して光出射端部分を傾斜して配列しか
つ光出射端面を斜めに形成して出射端面を揃えたライン
状光ファイバライトガイドが提案されている。ある程度
は斜めに光が出射されるが、光の出射角度が広がり、ま
た、浅い傷を検出に必要な光成分が十分ではない。
On the other hand, it has been proposed to incline the linear light source in the transport direction in order to irradiate light having a strong directivity with a light source parallel to the direction in which the scratch is generated. . However, in the carrying direction, there is a limit to the inclination due to the width of the light source itself, and it is difficult to incline in the longitudinal direction (line width direction) of the linear light source. Further, the light emitting ends of the plurality of optical fibers are arranged in a line, the light emitting end portions are arranged to be inclined with respect to the light emitting end face of the light guide, and the light emitting end faces are formed obliquely to align the light emitting end faces. Line-shaped fiber optic light guides have been proposed. Although the light is obliquely emitted to some extent, the emission angle of the light is widened, and the light component necessary for detecting shallow scratches is insufficient.

【0006】この発明は上述の背景に基づきなされたも
のであり、その目的とするところは、非常に浅い傷、細
いシワやスジなどの欠陥であって、被検査対象の搬送方
向に発生したこれらのものであっても、欠陥として検出
可能なように照明することができる光ファイバライン状
ライトガイドを提供することである。
The present invention has been made on the basis of the background described above, and its object is to provide defects such as very shallow scratches, fine wrinkles and stripes, which are generated in the carrying direction of the object to be inspected. It is an object of the present invention to provide an optical fiber linear light guide that can be illuminated so that it can be detected as a defect.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題は、この発明に
よる光ファイバライン状ライトガイドにより解決され
る。すなわち、この光ファイバライン状ライトガイド
は、光入射端が集束され光出射端がライン状に配列され
た複数本の光ファイバと、ライン状に配列された光出射
端部分を支持するライン状口金と、光入射端を集束する
金具とからなるライン状ライトガイドであって、このラ
イトガイドの出射端面に対して、光ファイバの光出射端
部分がその配列角度が10〜75゜になるように傾斜し
て配列され、光ファイバの光出射端面が光ファイバ出射
光軸に対して垂直に形成され、かつ鏡面加工されている
ことを特徴とするものである。この発明による好ましい
態様において、ライン状に配列された光出射端を、複数
層に形成することができる。
The above-mentioned problems can be solved by the optical fiber linear light guide according to the present invention. That is, the optical fiber linear light guide includes a plurality of optical fibers whose light incident ends are focused and whose light emitting ends are arranged in a line, and a line-shaped die which supports the light emitting ends arranged in a line. And a metal fitting for converging the light incident end, wherein the light emitting end portion of the optical fiber has an arrangement angle of 10 to 75 ° with respect to the light emitting end face of the light guide. It is characterized in that the light emitting end faces of the optical fibers are arranged so as to be inclined, are formed perpendicularly to the optical axis of the optical fibers emitted, and are mirror-finished. In a preferred embodiment according to the present invention, the light emitting ends arranged in a line can be formed in a plurality of layers.

【0008】[0008]

【作用】上記構成を有するこの発明による光ファイバラ
イン状ライトガイドは、以下のように動作作用します。
光入射端から入った光は光ファイバ内を伝わり光出射端
から出る。欠陥検出における照明では、出射光は、搬送
・走行する被検査対象に当たり欠陥の検出に用いられ
る。
[Operation] The optical fiber linear light guide according to the present invention having the above structure operates as follows.
The light entering from the light incident end propagates in the optical fiber and exits from the light emitting end. In the illumination for defect detection, the emitted light hits an object to be inspected that is conveyed and travels, and is used to detect a defect.

【0009】この発明において、ライトガイドの出射端
面に対して、光ファイバの光出射端部分が10〜75゜
の配列角度で傾斜して配列されているので、搬送・走行
する被検査対象の表面にある非常に浅い傷、細いシワ、
スジなど、特に、被検査対象の走行方向に発生した傷な
どに対して、角度をもって、すなわち、傾斜して照射・
照明する。このように傷などに対して傾斜してするの
で、浅い傷などであっても光の散乱を強くする。
In the present invention, since the light emitting end portion of the optical fiber is arranged at an inclination angle of 10 to 75 ° with respect to the light emitting end surface of the light guide, the surface of the object to be inspected that is conveyed and travels. Very shallow scratches, fine wrinkles,
Irradiation is performed at an angle, that is, at an angle, especially for scratches that occur in the running direction of the inspection target, such as lines.
Illuminate. In this way, since it is inclined with respect to a scratch or the like, light scattering is strengthened even if it is a shallow scratch or the like.

【0010】また、光ファイバの光出射端面が光ファイ
バ出射光軸に対して垂直に形成され、かつ鏡面加工され
ているので、上述の傾斜角度方向に、出射角度を絞って
光を出射する。そのために、光を有効に利用することが
でき、光量を確保することができる。しかも、光ファイ
バの光出射端部分が傾斜して配列されているので、隣接
する片方の光ファイバの側面で、出射角度が抑制され、
出射光の指向性が更に高まる。
Further, since the light emitting end face of the optical fiber is formed perpendicular to the optical axis of the optical fiber and is mirror-finished, the light is emitted with a narrowed emission angle in the above-mentioned inclination angle direction. Therefore, the light can be effectively used and the amount of light can be secured. Moreover, since the light emitting end portions of the optical fibers are arranged so as to be inclined, the emitting angle is suppressed on the side surface of one adjacent optical fiber,
The directivity of the emitted light is further enhanced.

【0011】[0011]

【実施例】この発明を、以下の実施例により具体的に説
明する。図1の外観図にに、この発明による光ファイバ
ライン状ライトガイド一実施例を示す。このライン状ラ
イトガイド8は、光入射端2が集束され光出射端3がラ
イン状に配列された複数本の光ファイバ1と、ライン状
に配列された光出射端部分を支持するライン状口金4
と、光入射端を集束する金具5とからなる。図2に、ラ
イトガイドの出射端面近傍の拡大断面図を示す。図2に
示すように、このライトガイドの出射端面6に対して、
光ファイバの光出射端部分がその配列角度Aが10゜に
なるように傾斜して配列され、光ファイバの光出射端面
7が光ファイバ出射光軸に対して垂直に形成され、かつ
光学研磨による鏡面に加工されている。
The present invention will be specifically described with reference to the following examples. FIG. 1 is an external view showing an embodiment of an optical fiber linear light guide according to the present invention. The line-shaped light guide 8 includes a plurality of optical fibers 1 in which the light incident ends 2 are focused and the light emitting ends 3 are arranged in a line, and a line-shaped base that supports the light emitting ends arranged in a line. Four
And a metal fitting 5 for focusing the light incident end. FIG. 2 shows an enlarged cross-sectional view near the emission end face of the light guide. As shown in FIG. 2, with respect to the emission end face 6 of this light guide,
The light emitting end portions of the optical fibers are arranged so as to be inclined so that the arrangement angle A is 10 °, the light emitting end face 7 of the optical fibers is formed perpendicular to the optical fiber emitting optical axis, and is formed by optical polishing. It is processed into a mirror surface.

【0012】この発明において使用される光ファイバ
は、好ましくは、クラッド(鞘)とコア(芯)とを有す
るものであり、その構造としては、屈折率が段階的に変
化するステップインデックス型マルチモード光ファイ
バ、屈折率が段階的に変化し単一モードからなるステッ
プインデック型シングルモード光ファイバ、異なるモー
ドを伝搬するグレーデッドインデックス型マルチモード
光ファイバがある。
The optical fiber used in the present invention preferably has a clad (sheath) and a core (core), and the structure thereof is a step index type multimode in which the refractive index changes stepwise. There are an optical fiber, a step-index type single-mode optical fiber having a single mode in which the refractive index changes stepwise, and a graded index type multi-mode optical fiber that propagates different modes.

【0013】コア(芯)材を構成する素材としては、多
成分ガラス、石英ガラス等の無機材料、或いは、ポリメ
チルメタクリレート系樹脂、ポリカーボネート樹脂など
の有機材料を用いることができる。この発明において用
いられるクラッド(鞘)材としては、コア材より屈折率
が小さいものである。芯材としてPMMA系樹脂を用い
た場合、鞘材としては、例えば、フッ素系重合体、パー
フルオロアルキルメタクリレート系重合体、メタクリル
酸エステル系重合体などがある。
As a material forming the core material, an inorganic material such as multi-component glass or quartz glass, or an organic material such as polymethylmethacrylate resin or polycarbonate resin can be used. The clad (sheath) material used in the present invention has a smaller refractive index than the core material. When a PMMA-based resin is used as the core material, examples of the sheath material include a fluorine-based polymer, a perfluoroalkylmethacrylate-based polymer, and a methacrylic acid ester-based polymer.

【0014】図3に、この実施例によるライン状ライト
ガイド8の使用態様を示す。被検査対象のシート9を走
行させ、そのすぐ上に横断して斜めにライン状ライトガ
イド8を配置する。更に、上方にCCDカメラ10を設
置する。光源(図示せず)に接続し、ライン状ライトガ
イド8の光入射端から入った光は、光ファイバ内を伝わ
り光出射端から出る。出射光は、走行する被検査対象9
に当たり欠陥部分(傷など)で光散乱し、その散乱光を
CCDカメラ10で検出する。
FIG. 3 shows a mode of use of the linear light guide 8 according to this embodiment. The sheet 9 to be inspected is run, and the linear light guide 8 is obliquely arranged across the sheet 9 immediately above. Further, the CCD camera 10 is installed above. The light, which is connected to a light source (not shown) and enters from the light incident end of the linear light guide 8, travels in the optical fiber and exits from the light emitting end. The emitted light is the traveling inspection target 9
Upon hitting, light is scattered at a defective portion (such as a scratch), and the scattered light is detected by the CCD camera 10.

【0015】この態様において、ライトガイドの出射端
面6に対して、光ファイバの光出射端部分が10゜の配
列角度で傾斜して配列されているので、走行する被検査
対象9の表面にある走行方向に発生した非常に浅い傷、
細いシワ、スジなどに対して、角度をもって、すなわ
ち、傾斜して照明し、浅い傷などであっても光の散乱を
強める。
In this aspect, since the light emitting end portion of the optical fiber is arranged at an inclination angle of 10 ° with respect to the light emitting surface 6 of the light guide, it is on the surface of the running object 9 to be inspected. Very shallow scratches in the direction of travel,
It illuminates thin wrinkles, stripes, etc. at an angle, that is, at an angle, and enhances the scattering of light even with shallow scratches.

【0016】また、光ファイバの光出射端面が光ファイ
バ出射光軸に対して垂直に形成され、かつ光学研磨され
ているので、傾斜方向に、出射角度を絞って光を出射す
る。そのために、光を有効に利用することができ、光量
を確保することができる。この発明において、ライン状
光ファイバの配列は、単層であっても、複数層であって
もよい。この様に複数層に形成することにより、光量を
確保することができる。図5にライトガイドの出射端面
の正面図を示す。この態様では、4層の光ファイバ配列
が形成されている。
Further, since the light emitting end face of the optical fiber is formed perpendicular to the optical axis of the optical fiber and is optically polished, the light is emitted with a narrowed emission angle in the inclined direction. Therefore, the light can be effectively used and the amount of light can be secured. In the present invention, the linear optical fibers may be arranged in a single layer or plural layers. By forming a plurality of layers in this way, the amount of light can be secured. FIG. 5 shows a front view of the emission end face of the light guide. In this aspect, a four-layer optical fiber array is formed.

【0017】この発明は上記実施例に限定されず、種々
の変形態様ができる。例えば、上述の実施例では、片方
向の傾斜であったが、図4に示すように、両方向に傾斜
させてもよい。この様な両方向傾斜態様により、多種の
欠陥に対応することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment, but various modifications can be made. For example, in the above-described embodiment, the inclination is in one direction, but as shown in FIG. 4, it may be inclined in both directions. With such a bidirectional inclination mode, it is possible to deal with various types of defects.

【0018】[0018]

【発明の効果】上記構成を有するこの発明の光ファイバ
ライン状ライトガイドによって、非常に浅い傷、細いシ
ワやスジなどの欠陥であって、被検査対象の搬送方向に
発生したこれらのものであっても、欠陥として検出可能
なように照明することができる。
According to the optical fiber linear light guide of the present invention having the above-mentioned structure, there are defects such as very shallow scratches, fine wrinkles and lines, which are generated in the carrying direction of the object to be inspected. However, it can be illuminated so that it can be detected as a defect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、この発明による光ファイバライン状ラ
イトガイドの一実施例の外観図である。
FIG. 1 is an external view of an embodiment of an optical fiber linear light guide according to the present invention.

【図2】図2は、この発明による光ファイバライン状ラ
イトガイドの一実施例の出射端面の拡大部分図である。
FIG. 2 is an enlarged partial view of an emission end face of an embodiment of an optical fiber linear light guide according to the present invention.

【図3】図3は、この発明による光ファイバライン状ラ
イトガイドの使用態様を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a mode of use of the optical fiber linear light guide according to the present invention.

【図4】図4は、この発明による光ファイバライン状ラ
イトガイドの一実施例の両方向に傾斜させた態様の出射
端面の拡大部分図である。
FIG. 4 is an enlarged partial view of the emission end face of the embodiment of the optical fiber linear light guide according to the present invention in a state of being inclined in both directions.

【図5】図5は、ライン状に配列された光出射端が4層
に形成されている態様の出射端面の正面図である。
FIG. 5 is a front view of an emission end face of a mode in which light emission ends arranged in a line are formed in four layers.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光ファイバ 2 入射端 3 出射端 4 口金 5 金具 6 ライトガイドの出射端面 7 光ファイバ出射端面 8 ライトガイド 9 被検査対象 10 CCDカメラ 1 optical fiber 2 incident end 3 emitting end 4 base 5 metal fitting 6 light emitting end face of light guide 7 optical fiber emitting end face 8 light guide 9 object to be inspected 10 CCD camera

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田代 慎太郎 神奈川県川崎市多摩区登戸3816番地 三菱 レイヨン株式会社東京研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shintaro Tashiro 3816 Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Tokyo Research Laboratory

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光入射端が集束され光出射端がライン状
に配列された複数本の光ファイバと、ライン状に配列さ
れた光出射端部分を支持するライン状口金と、光入射端
を集束する金具とからなるライン状ライトガイドであっ
て、 該ライトガイドの出射端面に対して、光ファイバの光出
射端部分がその配列角度が10〜75゜になるように傾
斜して配列され、 光ファイバの光出射端面が光ファイバ出射光軸に対して
垂直に形成され、かつ鏡面加工されていることを特徴と
する光ファイバライン状ライトガイド。
1. A plurality of optical fibers each having a light incident end focused and a light emitting end arranged in a line, a line-shaped base for supporting the light emitting end arranged in a line, and a light incident end. A line-shaped light guide comprising a metal fitting for focusing, wherein the light emitting end portion of the optical fiber is inclined with respect to the emitting end face of the light guide so that the arrangement angle is 10 to 75 °. An optical fiber linear light guide characterized in that a light emitting end surface of an optical fiber is formed perpendicular to an optical axis of the optical fiber and is mirror-finished.
【請求項2】 ライン状に配列された光出射端が、複数
層形成されている、請求項1記載の光ファイバライン状
ライトガイド。
2. The optical fiber linear light guide according to claim 1, wherein the light emitting ends arranged in a line form a plurality of layers.
JP24697493A 1993-10-01 1993-10-01 Optical fiber line shaped light guide Pending JPH07104131A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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