JPH07101178B2 - リアクタンス測定回路 - Google Patents

リアクタンス測定回路

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JPH07101178B2
JPH07101178B2 JP59501665A JP50166584A JPH07101178B2 JP H07101178 B2 JPH07101178 B2 JP H07101178B2 JP 59501665 A JP59501665 A JP 59501665A JP 50166584 A JP50166584 A JP 50166584A JP H07101178 B2 JPH07101178 B2 JP H07101178B2
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor

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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は線型性を改善したリアクタンス測定回路、特
に、圧力を測定するための容量変換型リアクタンス測定
回路に関する。
従来の技術 実用に供されているリアクタンスセンサまたは測定回路
は、普通次式で表わされる変換関数を有している。
O=MX+NX2+QX3 ここに、O=出力信号 X=測定されるべき変数 M=感度定数 N=2次の非線型定数 Q=3次の非線型定数 出力信号Oと測定されるべき変数Xとの間に、所望の線
型関係が得られるようにするためには、2次および3次
の非線型定数NとQをできるだけ小さな値にすることが
望まれる。従来回路では、3次の定数Qを調節すること
によって、2次の定数Nと3次の定数Qの結合効果を最
小にすることができる。本発明においては、2次と3次
の非線型定数NとQを独立に調節できるようにし、その
結果、改善された効果を得られるようにしている。
発明の概要 本発明は、改善された線型性を有する出力信号を提供す
るためのリアクタンス測定回路を提供することにある。
この回路は、圧力のような検知されるべき条件すなわち
状態に応答して変化するリアクタンス手段を含んでい
る。発振器は該リアクタンス手段に対して、時間信号を
提供する。整流手段は、センサ信号を充電信号としてリ
アクタンス手段に供給し、一方、リアクタンス手段から
の信号を放電させるように、リアクタンス手段に接続さ
れている。制御手段は、発振器への入力信号を、少くと
も2個のセンサ信号の和の関数として提供するために、
センサ信号と発振器に結合されている。前記2個のセン
サ信号の少くとも1つが選択されて増幅される。このよ
うに、少くとも1個のセンサ信号を選択的に増幅する
と、出力信号と検知条件(状態)との関係をより線型に
することができる。
本発明の好ましい実施例においては、出力信号に感知さ
れたパラメータに関する2次の依存項を含んでいる。セ
ンサ信号の少くとも1つを選択的に増幅すると、そのよ
うな2次の依存性を補償でき、かつ出力信号を増大する
ことができる。
増幅手段はまた、インピーダンスネットワークのインピ
ーダンス機能として、センサ信号の1つを選択された増
幅度で増幅するためのインピーダンスネットワークを含
んでいる。センサ信号の1つをそのように選択的に増幅
すると、感知条件に関して、出力信号の2次の線型性の
改善に優れた効果を示す。増幅器としてオペアンプを用
いると、バイアスや関連周辺回路の応答に悪い影響を与
えることなく、出力信号と感知パラメータとの間の関係
を改善でき、2次の線型性の調節を行なうことができ
る。
2次の線型性の調節が、他の回路調節と結合されると、
最低から最高までの全測定範囲にわたって改善された出
力信号が得られる。このようなスパン,ゼロおよびレン
ジ調節は、線型性の再調節を行なう必要なしに行なうこ
とができる。
実施例 第1図において、符号200で示されている本発明の一実
施例の回路はACリアクタンスタイプの差動圧力センサセ
ルを使用している。これは、好ましくは、一対の容量C1
とC2を有し、少くともそのうちの1つは、あるパラメー
タ、好ましくは圧力に応答して変化する性質を有してい
る。第1図は、本明細書で記述されるような違いを除い
て、基本的には、1983年5月3日に、Ruesch,frickおよ
びGrindheimに対して発行された米国特許第4,381,677号
(その内容は特許出願公表公報昭57−502230号と同じ)
の第3図の回路と同じである。回路200の基本的な動作
は、米国特許明細書第4,381,677号に十分に説明されて
おり、本発明の明細書においても、十分に説明されるで
あろう。
電流加算節点210には、第1の放電信号、すなわちコン
デンサC1の容量値に応答する第1の電流i1、および第2
の充電信号、すなわちコンデンサC2の容量値に応答する
第2の電流i2が供給される。後者の電流i2は、該第2の
電流i2を反転増幅する反転増幅器212を通して供給され
る。加算節点210は、電流を演算的に結合することによ
って、第1および第2の電流を加算する。第1および第
2の電流は、他の好ましい実施例では、充電又は放電信
号であってもよい。制御増幅器のような制御手段216
は、回路の共通ラインに結合された非反転入力と、加算
節点210に結合された反転入力とを有し、電圧制御発振
器(VCO)のような発振手段218の発振周波数を制御する
ための信号を出力する。
発振器218は、実質的に不変の振幅(ピーク・ピーク値V
pp)を有し、電圧信号に応じて周波数が変化する信号に
よって、整流手段220を介して、コンデンサC1およびC2
を反復的に充電する。なお、該周波数はC1およびC2の容
量値の変化に応答して変化する。コンデンサC1およびC2
は、これらに対する反復的な充電に応答し、整流手段22
0を介して反復的に放電する。このように、コンデンサC
1は第1の充放電信号をもち、またコンデンサC2は第2
の充放電信号をもっている。整流手段220は、C1およびC
2の反復的な充電および放電の結果発生する電流i1およ
びi2を整流する。したがって、回路200は、制御増幅器2
16の出力電圧に従って周波数を変化する発振器218の出
力周波数によって動作するということができる。
可変コンデンサC3は、ダイオード242および244ならびに
ライン243および245のそれぞれを介して加算節点210に
結合され、該加算節点210に電流icsを供給する。温度に
対する安定性を増大するために、ダイオード242および2
44が整流手段220A中に含まれている。C3は2つの別の経
路、すなわち、それぞれダイオード242とライン243およ
びダイオード244とライン245からなる経路を通して加算
節点210に結合されている。このため、コンデンサC3
ダイオード244を通ってのみ加算節点210に結合されてい
る装置が開示されている米国特許第4,381,677号に述べ
られているように、コンデンサC3の容量値に2を乗ずる
必要はなくなる。2個のダイオード244と242を通してコ
ンデンサC3を結合すると、約2倍の電流icsが得られる
ため、前記容量値に2を乗ずる必要がなくなる。増幅器
212は、出力と反転入力を有し、その出力は第1の抵抗2
50を介して該反転入力に結合される。またこの出力は、
第2の抵抗252を介して加算節点210に結合される。な
お、米国特許第4,381,677号の第3図では、上記第1お
よび第2の抵抗には、符号を付されていない。
出力と反転入力とを有する出力増幅器230は、その反転
入力が整流手段220に接続され、出力信号Voは、出力電
流信号Ioを引き込むような2線式電流制御読取装置など
の適当な手段232に提供される。
増幅器212は第2の電流i2とコンデンサC3の電流icsを、
選択的に増幅する。電流i2とicsは、抵抗250の抵抗値を
抵抗252の抵抗値で除算することによって得られる値、
換言すれば、インピーダンスの比である係数K1で増幅さ
れる。第2の電流i2と電流icsは、バイアスや、制御増
幅器216の応答又は他の関連回路から悪影響を受けるこ
となく選択的に増幅される。電流i1,K1i2およびコンデ
ンサC3からの電流(1+K1)icsは加算節点210に供給さ
れ、抵抗214を通って基準電圧(−VREF)へ流れる。そ
の結果、加算節点210において、第1および第2の信号
に応答する電圧が発生する。電流K1icsとK1i2は、前記
米国特許第4,381,677号の第3図に示されている電流と
は異なっている。
コンデンサC1とC2の容量値は、圧力の変化に応じて変化
する。出力信号Ioは次の形で表わすことができる。
Io=MP+NP2+QP3 …(1) ここに、Io=増幅器230の出力信号 P=差圧力 M=感度定数 N=2次の非線型定数 Q=3次の非線型定数 出力信号Ioは、差圧力の1次,2次および3次関数であ
り、容量値を用いて概略次式で表わすことができる。
Io∝(C1−C2)/{C1+K1C2−(1+K1)C1} …
(2) ここに、Io=増幅器230の出力信号 C1=C1の容量値 C2=C2の容量値 K1=抵抗250の抵抗値/抵抗 252の抵抗値 C3=C3の容量値 C1およびC2の容量値は、次式で表わすことができる。
C1=A/(1−BP)+C …(3) C2=D/(1−EP)+F …(4) ここに、A=C1の能動静止容量値 (active rest capacitance) B=C1の標準化された逆スプリング 定数(inverse spring constant) C=C1の漂遊容量 D=C2の能動静止容量値 E=C2の標準化された逆スプリング 定数 F=C2の漂遊容量 P=差圧力 前記式2,3および4を結合すると、次の式が得られる。
Io∝[A−D+C−F+{AE+DB+ (C−F)(E−B)}P−(C−F) BEP2]/{A+K1D+C+ K1F−C3(1+K1)+[AE− K1DB+{C+K1F−C3(1+ K1)}(E−B)]P−{C+K1F− C3(1+K1)BEP2} …(5) 5式中の圧力Pに対する実際の係数を文字G,H,I,J,Kお
よびLで置換すると、5式は次のように簡単にすること
ができる。
Io∝(G+HP+IP2)/(J+ KP+LP2) …(6) ここに、G=A−D+C−F H=AE+DB+(C−F)(E−B) I=−(C−F)BE J=A+K1D+C+K1F− C3(1+K1) K=AE−K1DB+{C+K1F− C3(1+K1)}(E−B) L=−{C+K1F−C3(1+ K1)}BE 6式が圧力Pに関して線型であるためには、次の2つの
式が満足されなければならない。
L=0 …(7) および (IJ2/K2)−(HJ/K)+C=0 …(8) 8式は、6式において、L=0と置き、6式の分子を6
式の分母で割算し、その商に1次の圧力項が表われたと
きの剩余を0に等しいと置くことによって得られる。
K1とコンデンサC3の容量値を変化させることによって、
7式と8式を実質的に満足するための十分な融通性(fl
exibility)を提供することができる。C3の容量値を調
節すると、圧力の選ばれた範囲にわたって出力信号Io
線型性を調節するのに以前用いられた3次の調節を正確
に行なうことができる。
第2図は代表的なデータを用いたグラフであり、これに
は、コンデンサC3を3次の依存項を最小にするように調
節した時の、圧力に対する出力信号Ioの両端(上限値お
よび下限値)を基準にした線型性が示されている。ここ
で、出力信号Ioは、(例えば、米国特許第4,381,677号
の第3図と同様に)4〜20ミリアンペアの信号である。
2次の差圧依存項は、線型から約−0.29%の最大偏差を
有している。
トリミング抵抗250と252とによってK1を調節すると、2
次の依存性の制御を良好に行なうことができる。この実
施例においては、抵抗250と252の各々は、並列接続され
た少くとも2個の抵抗から構成されるのが望ましい。そ
の中の少くとも1個は、並列抵抗値を変えるために、レ
ーザでトリミングできるようにされている。なお、K1
並列接続された抵抗250の等価抵抗値を並列接続された
抵抗252の等価抵抗で割った値である。コンデンサC3
抵抗250および抵抗252が正確に選ばれる時、実質的に線
型化された関数が得られ、7式と8式が実質的に満足さ
れ、6式のIoは圧力の線型関数となる。抵抗250と252は
可変であってもよく、例えば、2次の差圧依存性に影響
を与える圧力あるいは他のパラメータの関数であっても
よい。
本発明によれば、スパン、ゼロおよび差圧送信器のレン
ジ(これは標準的なプロセス測定の学術用語である)の
調節によって得られる最低圧力から最高圧力までの全範
囲にわたって、線型の再調節を行なうことなしに、改善
された線型を提供することができる。また、3次の調節
のみによる線型化と比較すると、線型はさらに良好に改
善される。コンデンサC3を調節することによって2次の
線型を部分的に補償すると、2次の依存度は最小になら
ない。しかし、3次の依存と2次の依存の両方が残存す
るが、2次と3次の依存を総合すると、最良になる。抵
抗250,252およびコンデンサC3を選択することによっ
て、2次と3次の依存を、実質的に独立に最小にするこ
とができ、出力信号Ioと、最低から最高までの全範囲の
圧力との関係を実質的に線型にすることができる。ま
た、線型の再調節を必要とせずに、最低から最高までの
圧力の全範囲にわたって、スパンとゼロの変更が可能に
なる。
第1図に従って構成された回路から得られる出力信号Io
(4〜20ミリアンペアの信号)の両端(上限値,下限
値)を基準にした線型性を表わす第3図のグラフは、コ
ンデンサC3および抵抗250,252を線型を改善するように
選択すると、出力信号Ioの線型性が改善されることを示
している。線型からの最大の偏差は0.04%以下になる。
コンデンサC3は3次の依存性を最小にするように選ばれ
ており、抵抗250と252は2次の依存性を最小にするよう
に選ばれている。第2図の最大偏差から第3図の最大偏
差を引いた値(−0.29−(−0.04)=−0.25%)は、2
次の線型性が補正されていないことに起因することを示
している。なぜなら、第2図のグラフは3次の依存性は
補償しているが2次の依存性は補償していないからであ
る。
K1の大きさを0.900〜1.100にすると、結合された回路に
悪い影響を与えることなく2次の非線型を十分に補償す
ることができることが知られている。好ましくは、K1
0.975〜1.025の間がよい。0.975〜1.025のK1を用いる
と、2次の依存性は、あらゆる場合において、実質的に
最小になる。上述の本実施例の回路では、抵抗250の等
価抵抗値を27,807オームとし、抵抗252の等価抵抗値を2
8,088オームとした。この結果、K1は0.990となった。
本発明の他の実施例は、米国特許第4,381,677号の第1
図に示された回路において、抵抗54と56を、2次の線型
性が改善され、出力信号が大きくなるよに変えたもので
ある。抵抗64と66もまた同様に変えてもよい。
さらに、出力信号を増大させるようにC3を調節したり、
i1,i2を増幅したりしても良い。
図面の簡単な説明 第1図は本発明によるリアクタンス測定回路の概略図で
ある。
第2図は3次の依存項が削除され、端点線型性として表
現された従来回路のデータのグラフである。
第3図は、第1図に従って構成された本発明の実施例回
路の端点線型性を表わすグラフである。
符号の説明 210……電流加算点、212……増幅器、216……制御手
段、218……VCO、220……整流手段、230……出力増幅器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭48−69451(JP,A) 特公 昭54−38509(JP,B2) 実公 昭55−25364(JP,Y2) 特表 昭57−502230(JP,A))

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】検知状態に応じて少くとも一つのリアクタ
    ンスが変化する少くとも二つのリアクタンス手段を有
    し、検知状態を代表し、かつ2次および3次の非直線性
    を有する出力信号を発生するリアクタンス測定回路であ
    って、この回路が、 その発振出力を前記リアクタンス手段に供給するよう
    に、当該リアクタンス手段に接続された発振器手段と、 リアクタンス値の関数である前記リアクタンス手段の充
    電および放電信号を生成するように、前記リアクタンス
    手段に接続された整流手段と、 該整流手段および該発振器手段に接続され、前記発振器
    手段にその入力制御信号を供給する制御手段と、 前記充電および放電信号の少くとも一つを増幅して制御
    手段から発振器手段への入力制御信号を調整し、さらに
    被増幅信号の関数として前記発振出力を調整することに
    より、前記出力信号の非直線性を実質上補償して出力信
    号および検知状態間に予定の関係をもたらす増幅手段
    と、 前記発振器手段および増幅手段に接続され、前記増幅手
    段によって補償される次数の非直線性とは異なる次数の
    出力信号の非直線性を実質上補償する補償手段とからな
    ることを特徴とするリアクタンス測定回路。
  2. 【請求項2】リアクタンス手段が少くとも一つの可変コ
    ンデンサで構成されたことを特徴とする前記特許請求の
    範囲第1項記載の回路。
  3. 【請求項3】感知されるパラメータが圧力であることを
    特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載の回路。
  4. 【請求項4】リアクタンス手段が、感知される状態に応
    答する少くとも第1および第2のリアクタンス手段から
    なり、少くともその一方が可変であることを特徴とする
    前記特許請求の範囲第1項記載の回路。
  5. 【請求項5】第1のリアクタンス手段に応答する第1の
    充電信号と第1の放電信号、および第2のリアクタンス
    手段に応答する第2の充電信号と第2の放電信号とを含
    むことを特徴とする前記特許請求の範囲第4項記載の回
    路。
  6. 【請求項6】出力信号が感知パラメータに関する2次の
    依存項を含み、増幅された信号が出力信号の該2次の感
    知パラメータ依存項を実質的に補償するようにしたこと
    を特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載の回路。
  7. 【請求項7】増幅される信号は第2の充電信号であり、
    さらに、 制御手段および整流手段に接続されており、増幅された
    第2の充電信号と、第1の放電信号とを接続する加算点
    手段を具備したことを特徴とする前記特許請求の範囲第
    5項記載の回路。
  8. 【請求項8】該増幅手段は、入力された信号と増幅され
    た信号との間の関係を制御するためのインピーダンス回
    路網を具備していることを特徴とする前記特許請求の範
    囲第1項記載の回路。
  9. 【請求項9】該増幅手段は、反転入力と出力とを有する
    第1のオペアンプを具備していることを特徴とする前記
    特許請求の範囲第8項記載の回路。
  10. 【請求項10】インピーダンス回路網手段が、 第1の増幅器の反転入力と出力との間に接続された第1
    のインピーダンス手段と、 該第1の増幅器の出力と加算点手段との間に接続された
    第2のインピーダンス手段とを具備し、 該第1および第2のインピーダンス手段の関係が該増幅
    手段の増幅率を決定することを特徴とする前記特許請求
    の範囲第9項記載の回路。
  11. 【請求項11】前記整流手段に接続されており、第1の
    充電信号と第1の放電信号の少くとも一方および、第2
    の充電信号と第2の放電信号の少くとも一方を差動増幅
    する出力増幅手段をさらに含むことを特徴とする前記特
    許請求の範囲第1項記載の回路。
  12. 【請求項12】実質的に、圧力と線型関係にある出力信
    号を得るように、出力増幅手段に接続された出力手段を
    さらに含むことを特徴とする前記特許請求の範囲第11項
    記載の回路。
  13. 【請求項13】制御手段が、加算点手段に接続された入
    力、および発振器手段に接続された出力を有する第2の
    増幅器を含み、発振器手段に入力制御信号を供給するこ
    とを特徴とする前記特許請求の範囲第7項記載の回路。
  14. 【請求項14】該加算点手段が、増幅された信号と、第
    2の充電信号および第2の放電信号の少くとも一方との
    和を代表する信号を、第2の増幅器の入力へ供給するこ
    とを特徴とする前記特許請求の範囲第13項記載の回路。
  15. 【請求項15】補償手段は可変コンデンサよりなること
    を特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載の回路。
JP59501665A 1983-04-29 1984-04-05 リアクタンス測定回路 Expired - Lifetime JPH07101178B2 (ja)

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JPS60501229A JPS60501229A (ja) 1985-08-01
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