JPH07101164B2

JPH07101164B2 - 静電検出装置

Info

Publication number: JPH07101164B2
Application number: JP2220475A
Authority: JP
Inventors: 昇増田; 哲夫大澤; 護石部; 修一本多
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1990-08-21
Filing date: 1990-08-21
Publication date: 1995-11-01
Anticipated expiration: 2010-11-01
Also published as: JPH04102001A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、紙幣、コピー用紙等の紙葉状体の厚みを検出
する静電検出装置に関するものである。

〔従来の技術〕

布、紙等の紙葉状体の厚み検出装置として、ポテンショ
メータを用いた装置が広く利用されている。この種の装
置は、第14図に示すように、紙葉状体１の通過経路のス
テージ２上にポテンショメータ３を配置することにより
構成されている。このポテンショメータ３は回転軸４に
アーム５を取り付け、そのアームの先端部にローラ６を
回転自在に取り付け、ばね７を用いてローラ６を常時ス
テージ２側に付勢したものである。この第14図の状態
で、紙葉状体１が矢印方向に移動して来たときに、ロー
ラ６は紙葉状体１の上に乗り上げ、アーム５を時計方向
に回転させる。そしてこのアーム５の回転が回転軸４に
伝わり、アーム５の回転量、つまり、紙葉状体１の厚み
に比例した出力電圧が第15図に示すように紙葉状体１の
厚み検出信号として出力されるのである。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、ポテンショメータ３で紙葉状体１の厚み
を検出する方式は、紙葉状体１の厚みに対応するアーム
５の回転量が非常に小さく、このため、ポテンショメー
タ３からの出力電圧レベルも非常に小さく、薄紙等の紙
葉状体１の厚みを精度良く検出することができないとい
う不便があった。

また、紙葉状体１が高速で搬送されて来るような場合に
は、ローラ６が紙葉状体１に乗り上げるとき、反動によ
り余分な動きが生じ、第15図に示すように、出力電圧波
形にオーバーシューＰが現れるという不都合がある。こ
のようなオーバーシューＰを生じないようにするには、
ばね７の付勢力を非常に強くする必要があり、そうする
と、ローラ６がステージ２に強く接するので、これが紙
葉状体１の搬送系の負荷となり、搬送系の消費電力が大
きくなるという不都合が生じる。

さらに、この種のポテンショメータ３を用いた厚み検出
を正確に行うためには、ローラ６の取り付けをステージ
２に対して紙葉状体１の走行方向であるＸ方向とそれに
平面上で直交するＹ方向と、上下のＺ方向に対してわず
かの傾きも生じないように高精度に組み立てなければな
らないという組み付け上の困難性があった。

さらに、例えば紙幣を１枚ずつ搬送するような場合、２
枚重なりの状態を紙厚によって検出するような場合に
は、紙葉状体１の幅方向に複数のローラ６を密に配置し
て紙葉状体１の厚みを全幅に渡って検出する必要がある
が、周知のように、ポレンショメータ３は幅方向の寸法
が大きいので、高密度でローラ６を紙葉状体１の幅方向
に配置できないという不便がある。

本発明は上記従来の課題を解決するためになされたもの
であり、その目的は、紙葉状体の厚み検出を非接触状態
で行うことができ、前記従来のポテンショメータによる
各種の問題点を効果的に解消することができる静電検出
装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、次のように構成さ
れている。すなわち、本発明は、発振回路と、この発振
回路とは別個独立の共振器を含み外部静電容量の変化に
対応して同調点を変化させ、その同調点の変化に対応す
る検出信号を出力する同調回路とを有する静電センサ回
路が当該静電センサ回路がシールドケースによって覆わ
れており、前記同調回路の共振器には検出電極が接続さ
れるとともに、この検出電極の検出先端部は前記シール
ドケースの外に向けて突出されており、シールドケース
は前記静電センサ回路のグランド電位に接続されて前記
検出電極の検出先端部から放射される電界の受け面とし
て構成され、前記検出電極とシールドケース間で形成す
る電界中を被検出体が通過する如く構成されていること
を特徴としており、また、前記静電センサ回路を覆って
いるシールドケースは匡体内に収容されており、検出電
極は第１の電極と第２の電極に分割され、第１の電極は
静電センサ回路の回路基板に固定され、第２の電極は匡
体側に固定されるとともに、前記第１の電極と第２の電
極の一方はばね体によって構成され、このばね体の弾性
復元力によって第１の電極と第２の電極が圧接接続され
ていることも本発明の特徴的な構成とされており、さら
に、前記第１の電極と第２の電極は微小間隙を介して静
電的に対向接続されていることも本発明の特徴的な構成
とされており、さらに、検出電極先端部と対向してステ
ージが設けられ該ステージはグランド電位のシールドケ
ースと高周波的にイマジナリーショート状態に静電結合
されてグランド電位面に形成されてなることもまた本発
明の特徴的な構成とされている。

〔作用〕

上記構成において、紙葉状体が通過経路に沿って搬送さ
れて検出電極部分を通過しようとするときに、被検出体
は検出電極が形成する電界を横切る。このように、被検
出体が電界の領域に入ると、電界領域の誘電率が変化す
る。換言すれが、空間誘電率に被検出体の誘電率が加算
された状態となる。被検出体が複数枚重なると、その枚
数に応じて誘電率の変化が大きくなる。このように、電
界を横切る被検出体の厚みに応じて電界形成空間の誘電
率が変化し、この誘電率の変化に対応して静電容量が変
化する。そしてこの静電容量の変化によって同調回路の
同調点が変化し、この同調点の変化に対応する電圧信号
が紙葉状体の厚み検出信号として静電センサ回路から出
力されるのである。

〔実施例〕以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図〜第３図には本発明に係る静電検出器装置の第１の実
施例が示されている。これらの図において、紙幣、コピ
ー用紙、プラスチックフィルム、布等の紙葉状体１が通
る搬送系の通過経路のステージ２上にはセンサ本体部８
が配置されている。そして、センサ本体部８とステージ
２の間には紙葉状体１が非接触状態で通過する間隙９が
形成されている。前記センサ本体部８は匡体10の収容凹
部11内に静電センサ回路が形成された回路基板12を収容
してなる。前記匡体10は合成樹脂や絶縁材によって被覆
された金属板等の絶縁部材により形成されている。そし
て、前記回路基板12は導体のシールドケース13により覆
われており、匡体10内には回路基板12がシールドケース
13で覆われた状態で収容されている。

第３図には回路基板12に形成される静電センサ回路の一
例が示されている。この静電センサ回路は、発振回路14
と、同調回路として機能するセラミック共振器15と、検
波回路16と、増幅回路17と、AFC（Automatic Frequency
Control）回路18とによって構成されており、この回路
のグランド面はシールドケース13に接続されている。こ
こでグランド電位とは、高周波的に大地アースとイマジ
ナリーショートの状態にある電位をいう。発振回路14は
セラミック共振器19を内蔵し、0.5GHz〜10GHz、本実施
例では1GHzの超高周波数の発振周波数信号を出力するよ
うに決定したが、適用装置の関係から0.5〜10GHzの間の
周波数が選定される。同調回路として機能するセラミッ
ク共振器15の出力端子側には検出電極20が接続されてい
る。この検出電極20はハンダ付け等により回路基板12に
固定され、その検出先端面は匡体から外に突出されてい
る。セラミック共振器15は検出電極20が検出する静電容
量の変化を受けて発振回路14との同調点を変化させ、そ
の同調点の変化に対応する電圧信号を前記発振回路の発
振周波数を搬送波とする振幅変調信号として出力する。
検波回路16は前記セラミック共振器15から出力される振
幅変調信号を検波して紙葉状体１の厚み検出信号帯域の
信号に変換し、これを増幅回路17に加える。増幅回路17
は前記検波出力を増幅して所望の信号処理回路へ供給す
る。AFC回路18は環境変化等によるセラミック共振器15
の同調点の変化を補正し、セラミック共振器15の同調点
の安定化作用を行う。

本実施例では、匡体10の底面が基準面10aとなってお
り、この基準面10aに検出電極20の先端面を一致させて
検出電極20の先端側が匡体10の電極挿入孔21に収容され
ている。匡体10の適宜の位置には取り付け穴22が設けら
れており、この取り付け穴22の一方を利用してセンサ本
体部８は第１図に示すようにステージ２の上側に回転位
置の調整が可能に固定される。ステージ２は金属板、プ
ラスチック板等の適宜の材料により構成されるもので、
本実施例ではこのステージ２がグランド電位面23を構成
している。一般に、1GHz程度の超高周波数の信号で回路
を駆動させると、シールドケース13とグランド電位面23
との間には一種のコンデンサの機能が強く働き、このコ
ンデンサは前記超高周波数の信号駆動に際してはシール
ドケース13に対してイマジナリーショート状態となり、
シールドケース13とグランド電位面23は同電位面とな
る。

一般に、検出電極20とそれに近いグランド電位部分との
間に電界が発生する。この実施例ではシールドケース13
はグランド電位となっているので、シールドケース13は
検出電極20の先端部から放射される電界の受け面として
機能し、検出電極20の先端部と、シールドケース13との
間に電界が発生する。検出電極20はシールドケース13よ
りも外に向けて突設されているので、検出電極20の先端
部から放射される電界は紙葉状体１の通過経路を横切っ
た後、シールドケース13側に向きを変えて、該シールド
ケース13に達する。この電界を紙葉状体１が横切ると検
出電極20とグランド電位のシールドケース13との間の誘
電率が変化し、これが静電容量の変化として検出電極20
により検出される。この原理をさらに発展させ、シール
ドケース13に対してイマジナリーショートとなるグラン
ド電位面23を設けると、このグランド電位面23は検出電
極20の先端部から放射される電界の受け面として機能
し、検出電極20からグランド電位面23に向けて電界が発
生し、この電界を紙葉状体１が横切ると検出電極20から
シールドケース13に向かう電界が紙葉状体１により横切
られた状態と等価な状態となり、検出電極20とグランド
電位面23との誘電率の変化が静電容量の変化として検出
電極20から直接検出されることになる。このように、グ
ランド電位面23を設けることで、グランド電位面23と検
出電極20との間を紙葉状体１の通過経路とすることが極
めて容易となり、紙葉状体１の厚み検出装置を容易に作
り出すことが可能となる。第４図は検出電極20の各種形
状を示したもので、使用目的に応じてそれに適した形状
のものが使用される。例えば、紙葉状体１の全幅に渡り
厚み検出を行う場合には、第４図（ｄ）〜（ｇ）に示す
ような広幅の検出電極を用い、紙葉状体１の局部的な微
小幅の厚みを検出するときには電極幅の小さい第４図
（ｉ）に示すような電極が使用されることになる。

第５図には本実施例の装置による紙厚の検出例が示され
ており、第６図にはその紙厚の検出結果が示されてい
る。まず、１枚の紙からなる紙葉状体１がグランド電位
面23として機能するステージ２と検出電極20との間を通
過すると、１枚の紙厚に対応する電圧レベル変化が現れ
る。次に、２枚重なり状態の紙葉状体１が検出電極20と
ステージ２との間を通過すると、紙葉状体１枚あたりの
厚み分だけ電界が形成された空間部分の誘電率がその分
大きくなる結果、その２枚の厚みに対応する出力信号が
静電センサ回路から出力される。したがってこの静電セ
ンサ回路の出力変化を分析することにより被検出体とし
ての紙葉状体１の厚みを非接触状態で正確に求めること
が可能となる。

第７図、第９図、第10図にはセンサ本体部８部分の第２
の実施例が示されている。この第２の実施例は、匡体10
を本体側と蓋側とに半割り状に形成し、収容凹部11に係
止段部24を形成し、収容凹部11の上端側には押え爪25を
内側に向けて突設するとともに、検出電極20を第１の電
極20aと第２の電極20bとに分割して構成し、第９図に示
すように、第１の電極20aはばね形状に形成してその基
端側を回路基板12側に固定し、第２の電極20bは柱状に
形成して第２の電極20bの先端面を匡体10の基準面10aに
一致させて電極挿入孔21に固定したものである。

この第２の実施例では、シールドケース13を前記押え爪
25を上側に押し広げて収容凹部11に収容すると、シール
ドケース13は押え爪25の弾性復元力により下方に押さ
れ、その下端面が係止段部24に係止されて位置決めされ
る。このとき、第１の電極20aはばねの弾性復元力でも
って第２の電極20bに圧接し、第１の電極20aと第２の電
極20bと導通接続が達成されるのである。

検出電極20を前記第１の実施例のように一体で構成した
ときには、検出電極20を回路基板12に固定するときの位
置合わせが非常に難しく、検出電極20が例えば第２図
（ａ）の左右方向にずれたり、傾いて固定されると、検
出電極20の中心軸と電極挿入孔21の中心軸とがずれて、
検出電極20を電極挿入孔21に挿入収容するのが困難にな
る。この点、この第２の実施例のように検出電極を第１
の電極20aと第２の電極20bとにより分割し、両電極20a,
20bをばねの復元力を利用して導通接続させる構成とす
れば、第１の電極20aの回路基板12に対する取り付け位
置が多少ずれても、電極挿入孔21に収容された第２の電
極20bと確実に導通接続することができ、検出電極20を
一体形とする場合に問題となる検出電極20の取り付けの
位置ずれの問題を解消することができるとともに、シー
ルドケース13の匡体10への収容作業を容易化することが
できる。この第２の実施例では、本体側の収容凹部11に
シールドケース13を収容した後、匡体の蓋側が被せら
れ、本体側と蓋側とがねじ止め等により一体に結合され
ることになる。

なお、匡体10は半割り状に構成するほかに、様々な形態
に構成できるものであり、例えば、第８図に示すよに、
匡体10を本体側と蓋側とに分割せずに一体的に形成し、
その内部の収容凹部11に上側から矢印方向にシールドケ
ース13を挿入し、シールドケース13の上端面が係止突起
26を乗り越えて挿入されたときにシールドケース13の下
端面が係止段部24に係止し、匡体10側の第２の電極20b
と回路基板12側の第１の電極20aとがばねの復元力によ
り導通接続されるように構成することもできる。また、
このとき、係止突起26を省略し、例えば匡体10の上端側
からねじをシールドケース13の上端側に当接し、このね
じを螺合進出させてシールドケース13を係止段部24に押
し当て、シールドケース13を匡体10に位置決めするよう
にしてもよく、あるいは、第１の電極20aと第２の電極2
0bとを圧接接続した状態でシールドケース13を金型内に
収容し、この状態で金型に合成樹脂を注入してシールド
ケース13を匡体10と一体成形により形成することができ
る。

また、前記第９図では、第１の電極20a側をばね体によ
り構成したが、例えば、第10図に示すように、第２の電
極20bをばね体（図では板ばね状）に形成し、この第２
の電極20bの弾性復元力により第１の電極20aと第２の電
極20bとを圧接状態で導通接続するようにしてもよい。
また、場合によっては、スプリング部分がコイルとして
働き浮遊容量を除去する。

第11図には検出電極20を第１の実施例のように分割しな
いで構成した場合と、第２の実施例のように第１の電極
20aと第２の電極20bとに分割構成した場合のそれぞれの
等価回路が示されている。検出電極20を分割しないで構
成した場合には、第11図（ａ）に示すように、その等価
回路は、検出電極20の抵抗R_Eと、被検出体、つまり、こ
の実施例では紙葉状体１の厚みに依存する容量C_dと、検
出電極20の回路基板12に対する上下方向の取り付け精度
に起因する容量C_L1との直列回路となる。これに対し、
検出電極20を分割したときには、第11図（ｂ）に示すよ
うに、第１の電極20aの抵抗R_E1と、第１の電極20aと第
２の電極20bとの接触部分における接触抵抗R_Cおよびそ
の接触部分における容量C_cとの並列回路と、第２の電極
20bの抵抗R_E2と、被検出体の容量C_dとの直列回路とな
る。

このとき、R_c＜＜R_E1＋R_E2，C_d＞＞C_cであるので、近似
的に第11図（ａ）と同図（ｂ）の等価回路はほぼ等しく
なり、被検出体、つまり紙葉状体１の容量変化に対し、
検出電極20を分割した場合も分割しない場合と同等の信
号レベルを得ることができる。したがって、検出電極20
を分割形成することにより、その分、検出電極の回路基
板への取り付けの困難性を回避することができ、シール
ドケース13の匡体10への組み込みも容易となり、センサ
本体部８の組み立て作業の効率化を図ることができる。

第12図には本発明に係る静電検出装置のセンサ本体部に
おける第３の実施例が示されている。この第３の実施例
は、前記第２の実施例と同様に検出電極20を第１の電極
20aと第２の電極20bにより分割形成し、第１の電極20a
の基端側は回路基板12側に接続固定し、第２の電極20b
は匡体10の電極挿入孔21内に固定し、第１の電極20aと
第２の電極20bとの突き合わせ端面を鍔状に張り出して
平面積を大きくし、この第１の電極20aと第２の電極20b
との大径平面を一定の間隙27を介して対向させ、第１の
電極20aと第２の電極20bとを静電的に接続したものであ
る。

この第３の実施例では、前記間隙27の空間幅L_hをL_h≧e_A
＋e_B＋e₁＋e₂のように大きく形成している。ここに、e_A
は第１の電極20aの軸方向の組み立て誤差、e_Bは第２の
電極20bの軸方向の組み立て誤差、e₁は第１の電極20aの
製造時の寸法公差、e₂は第２の電極の製造時の寸法公差
である。

このように、間隙27を各種の組み立て誤差の和以上の大
きさに形成することにより、電極20a,20bの組み込みが
非常に容易になる。しかも、このときの電極部分の等価
回路は第13図のように表される。この等価回路でR_E1，R
_E2，C_dは前記第11図に示す等価回路の場合と同様であ
り、C_L2は間隙27部分の容量である。この等価回路を前
記第11図（ａ）の等価回路（検出電極を分割しないとき
の等価回路）と比べると、C_d≧C_L1であり、C_L2≒C_L1と
見なせるので、この第３の実施例の等価回路はほぼ電極
を分割しない第11図（ａ）の等価回路と等しくなり、検
出電極を第１の電極20aと第２の電極20bとに分割しても
検出電極20を分割しない場合と同等の検出能力を得るこ
とができ、検出電極を分割することにより、検出電極を
一体形としたときの回路基板12への取り付け時の位置ず
れの問題を解消できるので、検出電極を分割した分だけ
検出電極の組み込み作業の容易化を達成できるという効
果が得られる。

なお、本発明は上記各実施例に限定されることはなく、
様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記各実施例で
はステージ２をグランド電位面23として構成している
が、このグランド電位面23は検出電極20から発せられる
電界（電気力線）が紙葉状体１の通過経路を横切るよう
な位置に設ければよく、必ずしもステージ２をグランド
電位面として構成しなければならないということはな
い。また、グランド電位面23を省略することもできる。
この場合は、検出電極の先端部から出る電界は紙葉状体
１の通過経路を横切ってグランド電位のシールドケース
13に達することとなり、この電界を横切って紙葉状体１
が搬送されるので、紙葉状体１の厚み等の検出を同様に
行うことができる。

〔発明の効果〕

本発明は、静電センサ回路を覆っているシールドケース
から突出させて検出電極を設け、シールドケースを静電
センサ回路のグランド電位に接続して検出電極の検出先
端部から放射される電界の受け面とし、検出電極とシー
ルドケース間で形成する電界中を被検出体が通過する如
く構成したものであるから、検出電極から紙葉状体の通
過経路を通ってシールドケースに達する電界が安定に形
成され、例えば、通過経路に沿って紙葉状体が搬送され
て来たとき、その紙葉状体が検出電極が形成する電界を
横切ることにより、その紙葉状体の厚みによる誘電率の
変化を静電容量の変化として検出電極により検出するこ
とができる。本発明ではこの静電容量の変化を同調回路
の同調点の変化を利用して検出しているので、１×10^-5
PF程度の超高感度のもとで紙葉状体の厚み検出を行うこ
とが可能となる。

また、本発明は、検出電極と、前記シールドケースや検
出電極先端部と対向して設けられるステージのグランド
電位面との間に電界を発生させ、被検出体がその電界を
横切ることにより紙葉状体の厚み検出を行う構成である
から、その厚み検出を従来のようにポテンショメータを
使用する場合のローラの組み付けの困難性や、ローラの
紙葉状体に乗り上げる際の反動によるオーバーシュー出
力の発生という不都合も生じることがない。また、紙葉
状体の厚み検出を紙葉状体と非接触状態で検出できるの
で、その厚み検出に際し、紙葉状体の搬送系に大きな負
荷の負担をかけるということもない。その上、前記ステ
ージのグランド電位面は高周波的にグランド電位のシー
ルドケースと空間を介して容量的に結合し、イマジナリ
ーショート状態となってグランド電位になるので、静電
センサ回路に導体を介して接続する必要がなく、静電セ
ンサ回路に接続されるのは検出電極とシールドケースの
みであるので、ステージの配線接続作業が省略でき、装
置製造が容易となるばかりでなく、ステージのグランド
電位面と検出電極との間を紙葉状体の通過経路とするこ
とが極めて容易になり、装置の取り扱いも非常に容易で
ある。

さらに、本発明の装置は、従来のポテンショメータに比
べ装置が薄型に形成できるので、検出電極を紙葉状体の
幅方向に高密度で実装することが可能となり、紙葉状体
の幅方向の厚み変動をきめ細かく検出することができ
る。

さらに、本発明の装置を構成する検出電極を二分割によ
り構成し、その一方の電極を静電センサ回路の回路基板
側に取り付け、他方側の電極を匡体側に取り付け、その
第１の電極と第２の電極とをばね圧により加圧接続した
り、あるいは一定の間隙を介して静電的に接続する構成
にあっては、装置の組み込み作業が非常に容易化され、
装置製造の効率化と装置コストの低減化を図ることが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る静電検出装置の一実施例を示す斜
視図、第２図（ａ）は同装置のセンサ本体部の縦断正面
図、第２図（ｂ）は同センサ本体部の縦断側面図、第２
図（ｃ）は同センサ本体部の底面図、第３図は同実施例
における静電センサ回路の一例を示す回路図、第４図は
同実施例を構成する検出電極の各種形態例を示す説明
図、第５図は同実施例の装置による紙葉状体の厚み検出
例を示す説明図、第６図は紙葉状体の厚み検出結果を静
電センサ回路の出力波形で示す説明図、第７図は本発明
に係る静電検出装置の第２の実施例の要部を匡体の断面
状態で示す正面図、第８図はシールドケースと匡体との
他の組み込み例を示す説明図、第９図は前記第２の実施
例における検出電極の各種分割接続例の説明図、第10図
は検出電極の他の分割接続例を示す説明図、第11図は第
２の実施例の検出電極の等価回路を検出電極を分割しな
い状態の等価回路との比較で示す回路図、第12図は本発
明に係る静電検出装置の第３の実施例の要部を匡体の断
面状態で示す正面図、第13図は第３の実施例における検
出電極の等価回路を示す回路図、第14図はポテンショメ
ータを用いた従来の厚み検出装置を示す斜視図、第15図
は従来装置による紙葉状体の厚み検出波形の説明図であ
る。１……紙葉状体、２……ステージ、３……ポテンショメ
ータ、４……回転軸、５……アーム、６……ローラ、７
……ばね、８……センサ本体部、９……間隙、10……匡
体、10a……底面（基準面）、11……収容凹部、12……
回路基板、13……シールドケース、14……発振回路、15
……セラミック共振器、16……検波回路、17……増幅回
路、18……AFC回路、19……セラミック共振器、20……
検出電極、20a……第１の電極、20b……第２の電極、21
……電極挿入孔、22……取り付け穴、23……グランド電
位面、24……係止段部、25……押え爪、26……係止突
起、27……間隙。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者本多修一京都府長岡京市天神２丁目26番10号株式会社村田製作所内 (56)参考文献特開昭61−116603（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】発振回路と、この発振回路とは別個独立の
共振器を含み外部静電容量の変化に対応して同調点を変
化させ、その同調点の変化に対応する検出信号を出力す
る同調回路とを有する静電センサ回路がシールドケース
によって覆われており、前記同調回路の共振器には検出
電極が接続されるとともに、この検出電極の検出先端部
は前記シールドケースの外に向けて突出されており、シ
ールドケースは前記静電センサ回路のグランド電位に接
続されて前記検出電極の検出先端部から放射される電界
の受け面として構成され、前記検出電極とシールドケー
ス間で形成する電界中を被検出体が通過する如く構成さ
れている静電検出装置。
【請求項２】静電センサ回路を覆っているシールドケー
スは匡体内に収容されており、検出電極は第１の電極と
第２の電極に分割され、第１の電極は静電センサ回路の
回路基板に固定され、第２の電極は匡体側に固定される
とともに、前記第１の電極と第２の電極の一方はばね体
によって構成され、このばね体の弾性復元力によって第
１の電極と第２の電極が圧接接続されている特許請求の
範囲第１項の静電検出装置。
【請求項３】静電センサ回路を覆っているシールドケー
スは匡体内に収容されており、検出電極は第１の電極と
第２の電極に分割され、第１の電極は静電センサ回路の
回路基板に固定され、第２の電極は匡体側に固定される
とともに、前記第１の電極と第２の電極は微小間隙を介
して静電的に対向接続されている特許請求の範囲第１項
の静電検出装置。
【請求項４】検出電極先端部と対向してステージが設け
られ該ステージはグランド電位のシールドケースと高周
波的にイマジナリーショート状態に静電結合されてグラ
ンド電位面に形成されてなる特許請求の範囲第１項の静
電検出装置。