JPH0690111B2 - Dynamic surface access measuring device - Google Patents
Dynamic surface access measuring deviceInfo
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- JPH0690111B2 JPH0690111B2 JP2377589A JP2377589A JPH0690111B2 JP H0690111 B2 JPH0690111 B2 JP H0690111B2 JP 2377589 A JP2377589 A JP 2377589A JP 2377589 A JP2377589 A JP 2377589A JP H0690111 B2 JPH0690111 B2 JP H0690111B2
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- laser beam
- laser
- incident
- polygon mirror
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザフリンタ等に用いられるポリゴンミラ
ーを使ったレーザスキャニング装置の評価装置に関する
ものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an evaluation device for a laser scanning device using a polygon mirror used for a laser flinter or the like.
（従来の技術） レーザフリンタでは、高解像度，高印字品質などの性能
を維持するため、各ユニットには高い加工精度が要求さ
れる。なかでも、レーザ光学系の中核となるレーザスキ
ャナ部ではサブミクロンの精度で加工組み立てを行な
い、ユニット全体として長時間にわたって高精度を保証
しなければならない。スキャナでは、ポリゴンミラーが
スピンドルに直結し高速に回転している。これまでもス
キャナの寸法、面倒れ等の加工精度などの光学特性を静
的に測定する方法は実用化されている。しかし、スキャ
ナが高速に回転している状態での動的な面の出入り（軸
ぶれを含む）を実測する有効な手段がなく、装置に実装
のうえ印字の結果でその良否を判定する方法を採用する
しかなかった。(Prior Art) In a laser flinter, in order to maintain performance such as high resolution and high print quality, each unit requires high processing accuracy. Above all, the laser scanner, which is the core of the laser optical system, must be processed and assembled with sub-micron accuracy to ensure high accuracy for the entire unit over a long period of time. In the scanner, the polygon mirror is directly connected to the spindle and rotates at high speed. Up to now, a method of statically measuring optical characteristics such as the size of a scanner and processing accuracy such as surface misalignment has been put into practical use. However, there is no effective means to measure the dynamic movement (including axis deviation) of the surface while the scanner is rotating at high speed, and there is a method to judge the quality based on the printing result after mounting on the device. I had no choice but to employ it.
（発明が解決しようとする課題） 前記従来の方法では、作業効率が低く生産性の向上が期
待出来ず、従ってスキャナの特性を動的な条件下で高速
・高精度に測定できる手法の開発が切望されていた。(Problems to be Solved by the Invention) In the above-mentioned conventional method, work efficiency is low and improvement in productivity cannot be expected, and therefore, development of a method capable of measuring scanner characteristics at high speed and with high accuracy under dynamic conditions has been developed. I was coveted.
（課題を解決するための手段） 本発明は前記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第１図を用いて説明する。(Means for Solving the Problems) The present invention has been made to solve the above problems, and will be described with reference to FIG. 1 corresponding to the embodiments.
回転しているポリゴンミラー１に第１のレーザ光源２か
ら出射されたレーザビームL1を角度をもって入射し、そ
の反射されたレーザビームL2がシリンドリカルレンズ７
を通り、通過後のレーザビームの位置を検出する位置検
出器３を有し、又第２のレーザ光源４から出射されたレ
ーザビームL3はハーフミラ５を通過し、その通過したレ
ーザビームL4をポリゴンミラー１に入射し、その反射さ
れたレーザビームL5が前記ハーフミラー５に入射し、そ
の反射光L6をトリガ発生器６に入射するようにした動的
面出入り測定装置。The laser beam L1 emitted from the first laser light source 2 is incident on the rotating polygon mirror 1 at an angle, and the reflected laser beam L2 is applied to the cylindrical lens 7
The laser beam L3 emitted from the second laser light source 4 passes through the half mirror 5 and has a position detector 3 for detecting the position of the laser beam after passing therethrough. A dynamic surface entrance / exit measuring device in which a laser beam L5 reflected by a mirror 1 is incident on the half mirror 5 and a reflected light L6 thereof is incident on a trigger generator 6.
（作用） 本発明によれば、レーザ光を２個用いることにより、ス
キャナモータが回転しているときの回転ジッタの影響を
受けずに回転している動的な面の出入りが測定できる。(Operation) According to the present invention, by using two laser beams, it is possible to measure the entrance / exit of the rotating dynamic surface without being affected by the rotation jitter when the scanner motor is rotating.
（実施例） 第１図は本発明の一実施例を説明する図であって、第１
のレーザ光源２からほぼ平行なレーザビームL1が出射さ
れ、回転しているポリゴンミラー１に入射する。入射さ
れたレーザビームL1はポリゴンミラーの回転に伴い走査
するが、ポリゴンミラーが同図のような状態になったと
きポリゴンミラーからの反射光L2はシリンドリカルレン
ズ７を通り、レーザビーム位置検出器３に入射する。こ
のシリンドリカルレンズ７は、同時に発生しているポリ
ゴンミラーの面倒れに起因した、副走査方向のビーム位
置ずれによるビーム位置検出器３の出力誤差を低減する
ためのものである。(Embodiment) FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention.
A substantially parallel laser beam L1 is emitted from the laser light source 2 and enters the rotating polygon mirror 1. The incident laser beam L1 scans as the polygon mirror rotates, but when the polygon mirror is in the state shown in the figure, the reflected light L2 from the polygon mirror passes through the cylindrical lens 7 and the laser beam position detector 3 Incident on. The cylindrical lens 7 is for reducing the output error of the beam position detector 3 due to the beam position shift in the sub-scanning direction, which is caused by the surface tilt of the polygon mirror which occurs at the same time.
又、第２のレーザ光源４から出射されたレーザ光L3はハ
ーフミラー５を通過しポリゴンミラー１に入射する。こ
のレーザビームL3も同様にポリゴンの回転に伴って走査
するが同図のようにポリゴンのミラー面と入射レーザビ
ームL4が垂直になったとき、反射レーザビームL5がハー
フミラー５に入射し、その反射光L6がトリガ発生器６に
入射する。従ってポリゴンミラー１が同図のような状態
になったとき、トリガ発生器６からトリガ信号が発生
し、前記ビーム位置検出器３の出力信号を観測すれば動
的面出入り量が測定される。ここで第２図により面出入
り量の計算方法を説明すると、第１のレーザ光源２から
出射されたレーザビームL1が、ポリゴンミラー面がＡの
状態の時、反射光はLaのようになる。ここで面が出てＢ
の状態になった時の反射光はLbとなる。ここでビームの
移動量を図のようにd1とすると面の出た量doは do＝d1cos（θ/2） となる。The laser light L3 emitted from the second laser light source 4 passes through the half mirror 5 and enters the polygon mirror 1. This laser beam L3 also scans as the polygon rotates, but when the mirror surface of the polygon and the incident laser beam L4 become vertical as shown in the figure, the reflected laser beam L5 enters the half mirror 5 and The reflected light L6 is incident on the trigger generator 6. Therefore, when the polygon mirror 1 is in the state as shown in the figure, a trigger signal is generated from the trigger generator 6, and the output signal of the beam position detector 3 is observed to measure the amount of dynamic surface entry / exit. Here, the calculation method of the surface entrance / exit amount will be described with reference to FIG. 2. When the laser beam L1 emitted from the first laser light source 2 has the polygon mirror surface in the state A, the reflected light becomes La. B comes out here
When the state becomes, the reflected light becomes Lb. Here, if the beam movement amount is d 1 as shown in the figure, the surface do amount do becomes do = d 1 cos (θ / 2).
この様に反射レーザビームla,lbの位置ずれを測定でき
るので面の出入り量を求めることが出来る。In this way, the positional deviation of the reflected laser beams la and lb can be measured, so that the entering / exiting amount of the surface can be obtained.
（発明の効果） 以上、詳細に説明したように本発明によれば、レーザ光
を２個用いることによりスキャナモータが回転している
ときの回転ジッタの影響を受けずに回転している動的な
面の出入りが測定できる。(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the present invention, by using two laser beams, the dynamics of rotating without being affected by the rotation jitter when the scanner motor is rotating. The entrance and exit of various surfaces can be measured.
従って、スキャナの回転時の特性を定量化できるパラメ
ータが一つ増えることになり、スキャナの評価・解析に
有効な測定装置を与えるという利点を有する。Therefore, the number of parameters for quantifying the characteristics of the scanner during rotation is increased by one, which has the advantage of providing a measurement device effective for scanner evaluation and analysis.
第１図は本発明の一実施例を示すスキャナの動的面出入
り測定装置の構成図、第２図は本実施例の動作原理を説
明する図である。 １……ポリゴンミラー ２……第１のレーザ光源 ３……レーザビーム位置検出器 ４……第２のレーザ光源 ５……ハーフミラー ６……トリガ発生器 ７……シリンドリカルレンズFIG. 1 is a block diagram of a scanner dynamic surface entrance / exit measuring device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram for explaining the operation principle of the present embodiment. 1 ... Polygon mirror 2 ... First laser light source 3 ... Laser beam position detector 4 ... Second laser light source 5 ... Half mirror 6 ... Trigger generator 7 ... Cylindrical lens
Claims (1)
ーザ光源２から出射されたレーザビームL1を角度をもっ
て入射し、その反射されたレーザビームL2がシリンドリ
カルレンズ７を通り、通過後のレーザビームの位置を検
出する位置検出器３を有し、又第２のレーザ光源４から
出射されたレーザビームL3はハーフミラ５を通過し、そ
の通過したレーザビームL4をポリゴンミラー１に入射
し、その反射されたレーザビームL5が前記ハーフミラー
５に入射し、その反射光L6をトリガ発生器６に入射する
ようにした動的面出入り測定装置。1. A laser beam L1 emitted from a first laser light source 2 is incident on a rotating polygon mirror 1 at an angle, and the reflected laser beam L2 passes through a cylindrical lens 7 and passes through the laser beam. It has a position detector 3 for detecting the position of the beam, and the laser beam L3 emitted from the second laser light source 4 passes through the half mirror 5 and the passed laser beam L4 is incident on the polygon mirror 1. The dynamic surface entrance / exit measuring device in which the reflected laser beam L5 is incident on the half mirror 5 and the reflected light L6 is incident on the trigger generator 6.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2377589A JPH0690111B2 (en) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | Dynamic surface access measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2377589A JPH0690111B2 (en) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | Dynamic surface access measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02204713A JPH02204713A (en) | 1990-08-14 |
| JPH0690111B2 true JPH0690111B2 (en) | 1994-11-14 |
Family
ID=12119716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2377589A Expired - Fee Related JPH0690111B2 (en) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | Dynamic surface access measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0690111B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084331A (en) | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Eccentricity measuring device of polygon mirror motor |
| JP4661167B2 (en) * | 2004-11-02 | 2011-03-30 | パナソニック株式会社 | Measuring device for polygon mirror motor |
-
1989
- 1989-02-03 JP JP2377589A patent/JPH0690111B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02204713A (en) | 1990-08-14 |
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